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摘要 }
3JOC!;; ?CSv;: 光栅结构广泛用于光谱仪、近眼显示系统等多种应用。VirtualLab Fusion通过应用傅立叶模态方法(FMM)以简易的方式提供对任意光栅结构的严格分析。在光栅工具箱中,可以通过使用堆栈内的各种接口或/和介质来配置光栅结构。 用于设置堆栈几何形状的用户界面是人性化的,并且可用于生成更复杂的光栅结构。 本用例中,介绍了基于界面的光栅结构的配置具体操作流程。 v)s;
wD V8}jFib
(pT7m Xcw6mpLt 本用例展示了...... AZf$XHP2 •如何使用界面配置光栅工具箱中的光栅结构,例如: 7 DW_G - 矩形光栅界面 ?my2dd,| - 过渡点列表界面 C|-QU - 锯齿光栅界面 `g^b Qx - 正弦光栅界面 (K`@OwD •如何在计算之前更改高级选项并检查定义的结构。 YLehY {2T;^+KE 光栅工具箱初始化 TaNcnAY>9 •初始化 m
^'! - 开始 H*E4+3y 光栅 }2.0e5[ 通用光栅光路图 b/6!>qMMk% •注意:使用特殊类型的光栅,例如: 矩形形状, ),5|Ves;t[ 可直接选择特定的光路图。 F/w*[Xi
Sh .~7:o.BE`n
91\]Dg u )kQ*& 光栅结构设置 HJ0Rcw% •首先,必须定义基板(基块“Base Block”)的厚度和材料。 HC(7,3
mJ JF •在VirtualLab中,光栅结构在所谓的堆栈(stack)中定义。 K %.>o •堆栈可以附到基板的一侧或两侧。 Apbgm[m|{ m,^UD{
L7PMam I~)A!vp •例如,选择第一个界面上的堆栈。 +~\ 1g^h k<QZ_*x}G 堆栈编辑器 vu|-}v?: •在堆栈编辑器(Stack Editor)中,可以从目录中添加或插入界面。 0T.kwZ8 •VirtualLab的目录提供了几种类型的界面。 所有界面都可以用来定义光栅。 aK?PK }@ q"Th\? }%
@r3,|tkrz .kp3<. 矩形光栅界面 |oX1J<LM bu,xIT ^ •一种可能的界面是矩形光栅界面。 b:(t22m#? •此类界面适用于简单二元结构的配置。 Hd89./v`: •在此示例中,由银制成的光栅位于玻璃基板上。 >TG# •为此,增加了一个平面界面,以便将光栅结构与基块分开。 e {805^X} •在堆栈编辑器的视图中,根据折射率(黑暗表示更高),其他颜色表示不同的材料。 p@[n(?duC. Z}yd`7
<K {|#ND# )(-aw,iK 矩形光栅界面
, )PpE& •请注意:界面的顺序始终从基板表面开始计算。 $ 9
k5a •所选界面在视图中以红色突出显示。 ^a?g~G
6!Uk c'r •此外,此处无法定义光栅前方的介质(指最后一个接界面后面的介质)。 它自动取自光栅元件前面的材料。 6wH:jd9, •可以在光路编辑器(Light Path Editor)中更改此材质。 t`pbEjE0K L|Bjw3K&D •堆栈周期(Stack Period)允许控制整个配置的周期。 EnP> •此周期也适用于FMM算法的周期性边界条件。 f[Xsri •如果是简单的光栅结构,建议选择“取决于界面周期”(Dependent from Period of Interface)选项,并选择适当的周期性界面索引。 K96N{"{iI% }.r) (CrP6]= bA\(oD+:
C=8IQl[^e VYnB&3%DF 矩形光栅界面参数 NS){D7T •矩形光栅界面由以下参数定义 =F/ EzS - 狭缝宽度(绝对或相对) zvR;Tl6] - 光栅周期 bwe)_<c - 调制深度 q+{yv •可以选择设置横向移位和旋转。 z
LZHVvL3 &/8B(0<
}% `f%/ SS!b` 高级选项和信息 jKb4d9aX •在传播菜单中,有几个高级选项可用。 FYIz_GTk •传播方法选项卡允许编辑FMM算法的精度设置。 Qb8Z+7 •可以设置总级次数或衰逝波级次数 ?G 'sb}. (evanescent orders)。 fU|4^p) •如果考虑金属光栅,这项功能非常实用。 N9 TM •相反,在介质光栅的情况下,默认设置就足够了。 gdkHaLL" +2g}wH)l 2hY"bpGW S2:G#%EAa •高级设置(Advanced Settings)选项卡可提供有关结构分解的信息。 ,:%
h`P_ •层分解(Layer Decomposition)和过渡点分解(Transition Point Decomposition)设置可用于调整结构的离散化。 默认设置适用于几乎所有光栅结构。 z?W kHQ9 •此外,有关数量的信息提供了层数和过渡点的信息。 lm|s% •分解预览(Decomposition Preview)按钮提供用于FMM计算的结构数据的描述。 折射率由色标表示。 /Nns3oE V\=%u<f ^+x ,211f T@mYHKu 过渡点列表界面 @?5pY^>DK •另一种可用于光栅配置的界面是过渡点列表界面。 '#lc?Y(pJ2 •此界面允许根据周期内不同位置的高度值配置结构。 S^{tRPF%d •同样,平面界面用于将光栅材料或介质与其中一个基板分离。 ?N]G;%3/ &'u%|A@ CEJqo8ds 过渡点列表参数 "qoJIwl#q •过渡点列表界面由包含x位置和高度数据的列表定义。 &Z%'xAOGR •上限(Upper Limit)必须设置为大于所需光栅周期一半的值,但在周期性结构的情况下自动设置。 dQ
Lo,S8( ?dmwz4k0 )3^#CD &/?OP)N,} •必须在周期化(Periodization)选项卡中设置此界面的周期。 T;v^BVn •此处,可以定义x方向和y方向的周期。 [nLd> 2P •在这种情况下,可以忽略内部和外部定义区域的设置,因为接口的扩展已经被周期性边界条件截断。 !eP0b~$/^J wlpcuz@
.J?RaH{i 7pM&))R 高级选项及信息 ^ #3,*(S •同样,可以在高级设置选项卡页面上调整和研究分解结构的数据。 :=\`P 2 ]}e4@{
2=$ F*B>9 2{S*$K[M 正弦光栅界面 H[N~)3x •另一种可用于配置光栅的界面是正弦光栅界面。 0yxwsBLy •此界面允许配置具有平滑形状的正弦函数类型的光栅。 Up*6K =Tny •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: dTqL[?wH? - 脊的材料:基板的材料 O@>{%u - 凹槽材料:光栅前面的材料 L#fS P 64D4*GQ M7ug<
8i F6"Qs FG 正弦光栅界面参数 JqtOoR - 正弦光栅界面也由以下参数定义: zLg_0r*h1 •光栅周期 mxICQ>s
b •调制深度 qWJap-hb - 可以选择设置横向移位和旋转。 M1I4Ot - 由于这是光栅界面(类似于矩形和锯齿借口),因此不必选择周期。 d.k'\1o aZ}z/.b] -v=tM6 5;A=8bryU 高级选项和信息 le2 v"Y •同样,可以在高级设置选项卡中调整和研究分解结构的数据。 ?uXY 6J" KJ_L>$
]*
XlJ+:st 4|NcWpaV7 高级选项及信息 Ca0t}`<S •如果增加层数(例如,增加2倍),则离散化变得光滑。 5K00z?kD2V Mm%b8#Fe! cBU@853 锯齿光栅界面 =<U'Jtu6' •另一种可用于光栅配置的界面是锯齿光栅界面。 8},fu3Z •此界面允许配置闪耀结构的光栅。 `!.c_%m2 •如果使用单个界面来描述光栅结构,则会自动选择材料: x)T07,3: - 脊的材料:基板的材料 '>>@I~<\ - 凹槽材料:光栅前面的材料 Co`:D kv`5"pa7M
hcQv!!Q"k$ SpZmwa #\ 锯齿光栅界面参数 o+?Ko=vYw •锯齿光栅界面也由以下参数定义: ,62BZyT,T, - 光栅周期 h|ja67VG - 调制深度 !&o>zU. •此外,闪耀的方向可以是通过设定倾斜度进行调整。 N}q*(r!q< •可以选择设置横向移位和旋转。 %Z(lTvqG •由于这是光栅界面(类似矩形和正弦型),因此不必选择周期。 ,J'@e+jV #uuNH( *'R2Lo<C k_1oj[O 高级选项和信息 F-Ywl) •同样,可以在高级设置中调整和研究分解结构的数据。 2_){4+,fu /(bn+l}W 探测器位置的注释 ;MjOs&1f0K 关于探测器位置的注释 =[o/D0-Kn •在VirtualLab中,探测器默认位于基板后面的空气中。 [q!)Y:|u_> •如果光栅包含在复杂的光学装置中,则必须这样做。 ;^P0+d^5C •但是,完美的平面和平行基板可能会产生一些干涉效应,而实际情况并非如此。 CvqUaHW@ •因此,为了计算光栅效率,应将探测器设置在基板材料内(同样适用于大多数光栅评估软件)。 \>4x7mF! •可以避免这些干涉效应的不良影响。 iD2>-yf 6
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