xX]92Q 1. 建模任务 nQW`X=Ku 1.1
模拟条件
umD[4aP~; 模拟区域:0~10
R0!qweGi@ 边界条件:Periodic
^7l^/GSO 偏移
角度:12°(Domain A),-12°(Domain B)
7>Oa, \ 单位长度:0.5
`]xot8
8+7=yN( >nL9%W}8M 1.2堆栈
结构 .g6DKjy> k TLA["<m 2. 建模过程 0G.y_<= 2.1设置模拟条件
P_f>a?OL:
@94_'i7\ ]JXpe]B 2.2创建堆栈结构,修改各层
参数 nxc35 9-9:]2~g! D>c-h)2| 2.3创建掩膜并生成多畴结构
%)K)h&m