摘要
%q/62f7 ? _( _a*ml 对于许多应用来说（例如背光、
光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的
衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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!POl;%\ *? 5*m+ 设计任务
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F |d\k Q i2@VB6]? 1级
参数优化
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RHaI ~jb WQ~;;. v# 结果-容差分析
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fL_4uC i\ g-Mj.owu= 结果-容差分析
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G 3+.H nim*/LC[: VirtualLab Fusion一瞥
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1{r3#MVL whmdcVh. VirtualLab Fusion中的工作流程
*EOdEFsR/ _g+JA3sIJ 构建光栅结构
xAqb\|$^ −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
H2&@shOOQJ −倾斜光栅高级设定[用例]
OP~HdocB •光栅衍射效率分析
I3=%h −光栅阶序分析器[用例]
Ov }; e •使用参数优化进行光栅参数优化
D2<fw# •使用参数运行的容差分析
C\3y {s {v=T [D 
gcE|#1> Uo -)pFN^ VirtualLab Fusion技术
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VYu~26Zr
