[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 F-0PmO~3+W  
#jiqRhm  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 ^^uD33@_  
Uiw7Y\Im|  
*`T&Dlt'8  
!@k@7~i  
设计任务 YU(*kC8   
^/vWK\-  
1H7Q[ 2E  
yG$@!*|  
1级参数优化 -74T C  
4'&BpFDUb  
ZRGZ'+hw  
y/eX(l<{  
结果-容差分析 a=VT|CX[  
%nF\tVP3]  
!Jl0Eu  
|LH*)GrD*t  
结果-容差分析 C
t+%  
Qe.kNdT+_  
IQ~7vk()  
l}c2l'  
VirtualLab Fusion一瞥 a@ }r[0O  
;NeEgqW"
 
/j@ `aG(a  
|/s2AzDD  
VirtualLab Fusion中的工作流程 JZxF)]^  
~la04wR28  
构建光栅结构 \ZZy`/~z*7  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] ^VPl>jTg  
−倾斜光栅高级设定[用例] "e<. n  
•光栅衍射效率分析 ODA#vAc!  
−光栅阶序分析器[用例] ?I#hrv@  
•使用参数优化进行光栅参数优化 Hd`p_?3]  
•使用参数运行的容差分析 ?^4sE-C6  
[:@?,?V\N  
}/3pC a  
6'!{0 5=m  
VirtualLab Fusion技术 OUO^/] J1S  
){6)?[G  
8w?\_P7QA