摘要
Mm7n?kb6 Gx a.<E^k 对于许多应用来说（例如背光、
光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的
衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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设计任务
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.f<VmUca rWfurB5f 1级
参数优化
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L%O8vn^3 ~W *j^+T" 结果-容差分析
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[O+^e E6h %3+hz $E 结果-容差分析
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5m7Ax] \ g#%FY1xp VirtualLab Fusion一瞥
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^@p g7LW?Ewr VirtualLab Fusion中的工作流程
.d!*<`S| Cl.T'A$ 构建光栅结构
j"sO< Q{6% −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
k\< Ln
w −倾斜光栅高级设定[用例]
; ,-Vap z •光栅衍射效率分析
J'c9577$ −光栅阶序分析器[用例]
k Q(y^t W •使用参数优化进行光栅参数优化
5_C #_=E •使用参数运行的容差分析
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Ib8{+j M*6 @1.n VirtualLab Fusion技术
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