摘要
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$6= 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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ohJo1}{ @> |3d 设计任务
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+,Ud 3iS W(jOD,QMB 1级
参数优化
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c80Ffq Qx")D?u 结果-容差分析
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{1eW*9 `VrQ?s 结果-容差分析
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d=nv61] $2E&~W % VirtualLab Fusion一瞥
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'" 4;;( eH_< <Xh!v VirtualLab Fusion中的工作流程
29HyeLB@ ID]E3K 构建光栅结构
,W| cyQ −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
|yinV fZ0C −倾斜光栅高级设定[用例]
|}o6N5) •光栅衍射效率分析
im3BQIPR −光栅阶序分析器[用例]
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c •使用参数优化进行光栅参数优化
60R]Q •使用参数运行的容差分析
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,hOi5,|?L |jB/d@RE VirtualLab Fusion技术
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