摘要
t'0r4&\ -twIF49 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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b 6Z|/M6f 设计任务
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ObMsncn t3v*P6 1级
参数优化
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HC}D<FX| duV|'ntr 结果-容差分析
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x-CYG?-x <`*6;j.& VirtualLab Fusion一瞥
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]n\WCU]0 hFj.d]S VirtualLab Fusion中的工作流程
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构建光栅结构
noh3mi −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
pRUN[[L −倾斜光栅高级设定[用例]
SX/yY •光栅衍射效率分析
8Tv;,a −光栅阶序分析器[用例]
9"_qa q •使用参数优化进行光栅参数优化
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yO_rZT •使用参数运行的容差分析
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Qf7]t-Kp \*!g0C8 o VirtualLab Fusion技术
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