[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 t'0r4&\  
-twIF49  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 fd*=`+P  
g#5g0UP)V  
t`H^! b  
6Z|/M6f  
设计任务 'Ys"yY@  
E{Y0TZ+  
ObMsncn  
t3v*P6  
1级参数优化 x\;`x$3t  
qV8;;&8r  
HC}D<FX|  
duV|'ntr  
结果-容差分析 AN
n{*h  
%NX  
@QVAsNW:O  
aztP`S$h  
结果-容差分析 n4(w?,w}  
;^O^&<  
x-CYG?-x  
<`*6;j.&  
VirtualLab Fusion一瞥 -:cS}I  
M1Od%nz3  
]n\WCU]0  
hFj
.d]S  
VirtualLab Fusion中的工作流程 %!p14c*J H  
u#la+/   
构建光栅结构 noh3mi  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] pRUN[[L
 
−倾斜光栅高级设定[用例] SX/yY  
•光栅衍射效率分析 8Tv;,a  
−光栅阶序分析器[用例] 9"_qa q  
•使用参数优化进行光栅参数优化 l yO_rZT  
•使用参数运行的容差分析 ^7F!>!9Ca  
dq"b_pr;  
Qf7]t-Kp  
\*!g0C8 o  
VirtualLab Fusion技术 dSk\J[D  
.'5yFBS  
\TC&/'7}