摘要
jf25Ky~ "]h4L 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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z%-Yz-G9 P__JN\{9 设计任务
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?HwW~aO x<^+nTzN 1级
参数优化
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Sq^f}q .?{rd3[ec 结果-容差分析
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S9/oBxGN N~7xj? 结果-容差分析
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r}kQ<SRx f P'qUN VirtualLab Fusion一瞥
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Q;r9>E! ny# ?^.1 VirtualLab Fusion中的工作流程
W4n;U-Hb [vM ksHk4 构建光栅结构
?d@3y<A,~ −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
`-a](0QU −倾斜光栅高级设定[用例]
Q72}V9I9 •光栅衍射效率分析
o5=1 −光栅阶序分析器[用例]
J2A+x\{< •使用参数优化进行光栅参数优化
8m%+O# •使用参数运行的容差分析
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b=nQi./f 6mcxp+lm| VirtualLab Fusion技术
W/03L, 1 =!}n .
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