[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 v23Uh2[@Yy  
&_hCs![  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 u9~J1s<e  
mn
aD KeA  
Vxs`w  
% x;!s=U  
设计任务 zW`koRH@  
Bzt`9lg  
yzl\{I&  
]Wm
?<7H  
1级参数优化 |^{" 2l"j  
ov>L-  
1Sk6[h'CL  
~,-O  
结果-容差分析 jc`',o'[+  
=_6h{f&Q  
tX}S[jdq  
,WK$jHG]  
结果-容差分析 5FKd{V'  
P;/wb/  
C>VZf,JE1  
4x=Y9w0?8  
VirtualLab Fusion一瞥 6+#cyKj  
k(+u"T  
MCG~{#`  
c)fp;^  
VirtualLab Fusion中的工作流程 JAlsc]XtO9  
i_ TdI  
构建光栅结构 (.+n1)L?  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] 'PbA/MN  
−倾斜光栅高级设定[用例] Z"T(8>c;g  
•光栅衍射效率分析 Ls*=mh~IY  
−光栅阶序分析器[用例] X;>} ;Li
K  
•使用参数优化进行光栅参数优化 1e} 3L2rC  
•使用参数运行的容差分析 cLP@0`^H  
%;?3A#  
HE'8  
5~0;R`D  
VirtualLab Fusion技术 +[
9"M+4-  
k@U`?7X  
S`
KCVQ>V