摘要
/ooGyF Wr%ov6: 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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$ TC?B_;a 设计任务
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LpU}. 6P1s*u 1级
参数优化
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{h?pvH_> Y[6T7eZ0g 结果-容差分析
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l(:r\% 结果-容差分析
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W. VirtualLab Fusion一瞥
8)X9abC j,M$l mR')
DXLXGvcM IL].!9 VirtualLab Fusion中的工作流程
_Op%H) o+a= 构建光栅结构
M~taZt4 −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
|p6d]#z3 −倾斜光栅高级设定[用例]
n[3z_QI •光栅衍射效率分析
)d2Z g −光栅阶序分析器[用例]
$o[-xNn1 •使用参数优化进行光栅参数优化
m-AF&( ;K •使用参数运行的容差分析
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B <~smBd
Ei4^__g\' 4[gmA VirtualLab Fusion技术
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