[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 VnJ-nfA  
;|hEXd?b  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 ^3-Wxn9&  
BU="BB/[  
4P>tGO&*x  
u%7a&1c  
设计任务 P9p{j1*;  
IFX|"3[$  
47iwb  
}bv0~}G4  
1级参数优化 $DfaW3bJ  
FBGHVV w!  
$<UX/a\sH  
4R U1tWQ%  
结果-容差分析 B=;pyhc  
J9LS6~ 7  
sJlX]\RLQ  
toipEp<ci  
结果-容差分析 / -=(51}E  
Zw5\{Z0  
s'^zudx  
a.5s5g)8  
VirtualLab Fusion一瞥 ~PNO|]8j  
P#H#@:/3  
-?b@6U  
!40t:+I  
VirtualLab Fusion中的工作流程 R0<ka[+  
*x| <\_+  
构建光栅结构 H&L=WF+x  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] QD:0iD?  
−倾斜光栅高级设定[用例] >:]fN61#  
•光栅衍射效率分析 x~GV#c  
−光栅阶序分析器[用例] \2<2&=h?  
•使用参数优化进行光栅参数优化 ~MY(6P  
•使用参数运行的容差分析 mm=Y(G[_%y  
'KGY;8<x]  
oQDOwM,  
![5<\  
VirtualLab Fusion技术 wN)R !6  
D,eJR(5I  
 FZ>*<&