摘要
|l-O e "=ki_1/P 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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$DaQM'- _F(Np\%_ 设计任务
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bXeJk]#y 1\%@oD_zG 1级
参数优化
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B MJ$.ST 结果-容差分析
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ArjRoXDE a*t @k*d_ VirtualLab Fusion一瞥
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6
As5-@l`@ HRJ\H-
V VirtualLab Fusion中的工作流程
'(SivD LqO=wK~ 构建光栅结构
`Z#':0Z −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
+*Fe −倾斜光栅高级设定[用例]
L&rtN@5; •光栅衍射效率分析
pN_%>v"o −光栅阶序分析器[用例]
ll[&O4.F •使用参数优化进行光栅参数优化
S&.xgBR •使用参数运行的容差分析
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]D`b6p VirtualLab Fusion技术
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