摘要
*T*MLD]Q '^}l| ( 对于许多应用来说（例如背光、
光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的
衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
N!^U{;X7/ Qq^>7OU>Co 
&&TQ0w&T 5>"-lB & 设计任务
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cMI QbBM tb^3-ZUb 1级
参数优化
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zT`LPs6T "{ AS5jw 结果-容差分析
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` SPn0D9 b] 结果-容差分析
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0ppZ~}& BoHMz/DB VirtualLab Fusion一瞥
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N? ky2wG `$fwLC3j VirtualLab Fusion中的工作流程
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iA AJI,>I,}} 构建光栅结构
Wx;:_F7'\ −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
AN\ : −倾斜光栅高级设定[用例]
MrXhVZ"d* •光栅衍射效率分析
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_7 −光栅阶序分析器[用例]
9pb4!=g* •使用参数优化进行光栅参数优化
;%"UZ~]f •使用参数运行的容差分析
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qHt!)j9GKv SYOND>E VirtualLab Fusion技术
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