摘要
nV ,qC .z o"R[#E&Yx 对于许多应用来说（例如背光、
光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的
衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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kih;'>H< uDay||7^g 设计任务
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X,:^})] ++-HdSHY 1级
参数优化
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@X?DHLM hU3c;6]3 结果-容差分析
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g2 JNa?z <w`
R ; 结果-容差分析
d^mw&F) S ;"-(QE?Mv 
f)l:^/WP+ UX;?~X VirtualLab Fusion一瞥
Ij` %'/J S3EY9:^ C 
8{#W F# V$VqYy9 * VirtualLab Fusion中的工作流程
ynvU$}w ~' >N62t9Ll[ 构建光栅结构
z6]dF"N −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
U BzX%:A −倾斜光栅高级设定[用例]
J:Ea|tXK^ •光栅衍射效率分析
0f&B;?)! −光栅阶序分析器[用例]
D+P( •使用参数优化进行光栅参数优化
Ci4`, •使用参数运行的容差分析
#3>o^cN~8k H<#M) 8 
)=;GQ*<8Zs ztTj2M" VirtualLab Fusion技术
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