摘要
]FJpe^
ua 94=aVM\>> 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
{y{&tzZ FyXz(l:
</K"\EU `_IgH 设计任务
Ha~g8R& \#bk$R@
fbbk;Rq.'3 i;1EXM 1级
参数优化
:Fm{U0;" T~nm Eap
lP@/x+6tg YpFh_Zr[ 结果-容差分析
P'prp=JD @wWro?s'p
yDt3)fP# [Z3B~c 结果-容差分析
ZMSP8(V ToUeXU
[
^&o38=70* W$x'+t5H VirtualLab Fusion一瞥
R<}Yf[TQ C+B`A9
|[k/% wIW]uo/= VirtualLab Fusion中的工作流程
3{mu 77
*mQOW]x% 构建光栅结构
M<3P −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
*$ZLu jy7 −倾斜光栅高级设定[用例]
L0_qHLY •光栅衍射效率分析
[u_-x3` −光栅阶序分析器[用例]
:y)'_p *l/ •使用参数优化进行光栅参数优化
jk0Ja@8PK •使用参数运行的容差分析
Fe(qf>E O87Ptr8
7o$4ov;T `>@n6>f VirtualLab Fusion技术
33O@jbs@ |w(@a:2kw
]M|Iy~
X