摘要
.eXA.9|jm 0F'UFn>{ 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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?JTyNg4< X0QS/S-+ 设计任务
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I/V#[K C gO!h<1 ! 1级
参数优化
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`0sk2fn lfeWtzOf 结果-容差分析
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2Lgvy/uN iB`]Z@ZC 结果-容差分析
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gc[J.[ tvxcd*{ VirtualLab Fusion一瞥
gt (nZ 3Dv koV
=u"|qD EZRZ)h VirtualLab Fusion中的工作流程
Ayt!a+J :.df( 1(RL 构建光栅结构
>*xzSd?\ −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
Jc^ozw −倾斜光栅高级设定[用例]
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Oq! •光栅衍射效率分析
Y!$z7K
−光栅阶序分析器[用例]
l%~zj,ew •使用参数优化进行光栅参数优化
F|{?GV%hF •使用参数运行的容差分析
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7N=VVD~!b j/|qge4 VirtualLab Fusion技术
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