摘要
@E1N9 S?> 9.<$&mVk7` 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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QJxcH$ o9JJ_-O" 设计任务
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1级
参数优化
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aXwFQ, h)sc-e 结果-容差分析
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X)\t=><< W Qe>1 VirtualLab Fusion一瞥
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+3VY0J vAX %i( 4 VirtualLab Fusion中的工作流程
o;}o"-s {whR/rX` 构建光栅结构
bjbm"~ −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
N"T+.
r −倾斜光栅高级设定[用例]
4W6gKY •光栅衍射效率分析
:0r@o:H −光栅阶序分析器[用例]
!s5 _JO •使用参数优化进行光栅参数优化
Nq-qks.& •使用参数运行的容差分析
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0&zp9(G5 -K PbA`j+ VirtualLab Fusion技术
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