摘要
}Fb966 $ bh UghHT 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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~0Xx] 2hE+Om^n 设计任务
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参数优化
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Oy~X@A lBfG#\rdW~ 结果-容差分析
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#(d/A< e%.|PZ) VirtualLab Fusion一瞥
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d> L*2 g 2 [yfo8H VirtualLab Fusion中的工作流程
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6+x>g 构建光栅结构
+u'y!@VV −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
E>w|i −倾斜光栅高级设定[用例]
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< •光栅衍射效率分析
S}XVr?l2O −光栅阶序分析器[用例]
AX2On}&bf •使用参数优化进行光栅参数优化
0O7VM)[ •使用参数运行的容差分析
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L+d4&x ?)'+l VirtualLab Fusion技术
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