摘要
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p[ 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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W6\s@)b; B*?v`6 设计任务
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Y$,]~Qzq &}P62& 1级
参数优化
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)IhI~,0Nmj v,2{Vr 结果-容差分析
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hd^?svID .c BJA&/ 结果-容差分析
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LiN{^g^fx A\ LTAp(I VirtualLab Fusion一瞥
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IcaF4# o"5R^a@ VirtualLab Fusion中的工作流程
ph3[}><6 M6g!bK2l 构建光栅结构
Dj %jrtT −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
thUs%F.5? −倾斜光栅高级设定[用例]
H!s &]b •光栅衍射效率分析
Kh%9Oy −光栅阶序分析器[用例]
WE=`8`Li •使用参数优化进行光栅参数优化
1_yUv7uhX •使用参数运行的容差分析
kw1PIuz4& T}fo:aB}
LM<OYRB( <.= VirtualLab Fusion技术
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