[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 bS >0DU   
cst}Ibfi  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 N$TL;T>  
^`SA'F,  
!;6Jng%  
rdnRBFt  
设计任务 8F)G7 H,  
E42eOGp9i  
`.#@@5e  
qzFQEepso  
1级参数优化 Omi^>c4G  
aS|wpm)K>8  
7ZUiY  
m,')&{Rd  
结果-容差分析 CzV(cSS9-  
[!^-J}^g~\  
>)_ojDO  
0)Rw|(Fpo]  
结果-容差分析 l7JY]?p  
s7r9,8$  
xt4)Ya  
7n)&FXK`  
VirtualLab Fusion一瞥 0Q593F  
p.fF}B  
NZu)j["  
%~j2 ('Y  
VirtualLab Fusion中的工作流程 <DH*~tLp2  
 ni  
构建光栅结构 IMQ]1uq0$  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] [oc~iDx%W  
−倾斜光栅高级设定[用例] `\<37E\N}  
•光栅衍射效率分析 NYABmI/0c  
−光栅阶序分析器[用例] 5&CDHc7Oj  
•使用参数优化进行光栅参数优化 _SZ5P>GIU  
•使用参数运行的容差分析 ]WJfgN4  
(1pEEq84  
jnuY{0(&  
5/m$)wE  
VirtualLab Fusion技术 g^kx(p<u`  
OlxX.wP  
Swtbl
`,