摘要
o /fq Xklp6{VH9 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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参数优化
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_jZDSz|Yb M14_w, VirtualLab Fusion一瞥
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!4jS=Lhe> df1* [ VirtualLab Fusion中的工作流程
aXC`yQ? -"a+<(Y 构建光栅结构
i}<R>]S −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
z4-AOTo2y −倾斜光栅高级设定[用例]
>uOc#+5M. •光栅衍射效率分析
o-O/M S −光栅阶序分析器[用例]
^s5.jlZr@ •使用参数优化进行光栅参数优化
VY _(0 •使用参数运行的容差分析
E7_^RWG o
JA58/
t41cl ~82jL%-u VirtualLab Fusion技术
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