[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 a4HUP*  
v%O KOrJ  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 &Rw4ub3  
hKP7p  
r7w1~z  
#rSm;'%,  
设计任务 PveY8[i  
G+Ft2/+\  
x(J|6Ey7!n  
FncK#hZ.  
1级参数优化 LQT^1|nq  
w"Gci~]bXU  
<SeK3@Gi  
h}PeXnRU  
结果-容差分析 EA.4m3  
e>`+Vk^Jc  
yPG,+uQ$.  
!{'C.sb?~  
结果-容差分析 |F)BKo D  
px6[1'|g  
ciRn"X=l  
,PH;j_  
VirtualLab Fusion一瞥 o^P/ -&T  
l{tpFu9v  
l-` M 9#  

$#R@x.=  
VirtualLab Fusion中的工作流程 +]I7]  
sPMCN's  
构建光栅结构 nrqr p  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] )C^ZzmB  
−倾斜光栅高级设定[用例] ]PWK^-4P  
•光栅衍射效率分析 F+yu[Dh:  
−光栅阶序分析器[用例] V$U#'G>m  
•使用参数优化进行光栅参数优化 D@9adwQb  
•使用参数运行的容差分析 l/?Jp+]  
jK`b6:#(,  
W&E?#=*X  
OW}ny  
VirtualLab Fusion技术 S]_iobWK  
OV<'v%_&  
/)6+I(H