[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 ZB}A^X  
y|zIuI-p  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 ?Iq{6O>D.  
uBxoMx
Wm  
?% A2  
+cKOIMu9  
设计任务 7p1B"%  
^AiQNL}  
*z.rOY= 8  
\jmZt*c  
1级参数优化 5:C>:pAV  
FZIC|uz  

yvnDS"0<  
ZOpKi:\  
结果-容差分析 #=;
vg  
/)kx`G_  
EVC]B}  

B<HN$/  
结果-容差分析 \9uK^oS  
>#Xz~xI/I  
FCWk8/  
+S`cUn7  
VirtualLab Fusion一瞥 9!kp3x/`  
<q>d@Foi  
`S.I,<&  
YD0hDp  
VirtualLab Fusion中的工作流程 >5?:iaq z  
HFlExau  
构建光栅结构 Tku6X/LF  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] WW>m`RU`  
−倾斜光栅高级设定[用例] ~"<^4h  
•光栅衍射效率分析 i5&,Bpfo-  
−光栅阶序分析器[用例] .U44p*I  
•使用参数优化进行光栅参数优化 Px9 K  
•使用参数运行的容差分析 #TC}paIpj  
 ST0TWE'  
Pai8r%Zfu  
>EZZEd  
VirtualLab Fusion技术 ^!0z+M:>^  
M ?AX:0  
/oLY\>pD