摘要
#: w/vk ^'*9,.ltd 对于许多应用来说（例如背光、
光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的
衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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T Jp( ,57g_z]V 设计任务
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参数优化
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C5\bnk{ '|G_C%,B 结果-容差分析
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b5 VirtualLab Fusion一瞥
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6,7Fl=< -:Nowb VirtualLab Fusion中的工作流程
8G?'F${` PnJr 构建光栅结构
@AvXBMq| −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
z%Op_Ddp −倾斜光栅高级设定[用例]
TSt-#c4B •光栅衍射效率分析
#U{^L{1Gx −光栅阶序分析器[用例]
vS6} R5 •使用参数优化进行光栅参数优化
$M@SZknm •使用参数运行的容差分析
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j/ 5>zS 1c(1 YGuH VirtualLab Fusion技术
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