[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 oxXCf%!  
/[
+%<5s  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 @23~)uiZa  
Q%n$IQr4gM  
*:V+whBY  
MkX=34oc^  
设计任务 }
0idFotck  
M*2 Nq=3  
3H,?ZFFGz  
dq^vK
  
1级参数优化 )%vnl~i!  
W.Z`kH *B  
&l?AC%a5  
M$U
Zn  
结果-容差分析 a9y+FCA  
tQ(4UHqa~  
ug^esB  
~Aw.=Yi=  
结果-容差分析 HMmB90P`  
a6!|#rt  
]-cSTtO  
DhD^w;f]  
VirtualLab Fusion一瞥 hO; XJyv  
-mw`f)?Ev  
R
'Uf#.  
aKz:hG  
VirtualLab Fusion中的工作流程 I`;SA~5  
y~^-I5!_ u  
构建光栅结构 odWK\e  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] Fs&r^ [/b  
−倾斜光栅高级设定[用例] ;Q,,i  
•光栅衍射效率分析 <.hutU*1  
−光栅阶序分析器[用例] nYE%@Up  
•使用参数优化进行光栅参数优化 '8=/v*j>?  
•使用参数运行的容差分析 vn4z C  
DB3qf>@?  
%"^8$A?>,k  
<nc6&+  
VirtualLab Fusion技术 ?OS0.  
T{)_vQ  
_{/[&vJ