[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 (nda!^f_s  
D"1ciO8^I]  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 UQW;!8J#R(  
i-E&Y*\^9H  
?wwY8e?S  
?Cu#(  
设计任务 sMO3eNLn  
#On1Q:d  
I[t)V*L9  
{8I
93]  
1级参数优化 bJ. ((1$  
/.WD'*H  
)_bXKYUX*0  
TS3 00F  
结果-容差分析 |Q:`:ODy`5  
QT%&vq  
O4$: xjs  
wRie{Vk  
结果-容差分析 tO~H/0  
P$4?-AZ  
>656if O  
SZwfYY!ft0  
VirtualLab Fusion一瞥 MF E%q  
&x=<>~Ag
3  
CtSAo\F  
s_1]&0<  
VirtualLab Fusion中的工作流程 b$gDFNa  
HmX(=Y  
构建光栅结构 .2Rh_ful  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] #),QWTl3  
−倾斜光栅高级设定[用例] EKoCm)}d  
•光栅衍射效率分析 Jge;/f!i  
−光栅阶序分析器[用例] \*_a#4a  
•使用参数优化进行光栅参数优化 T@Q.m.iV4  
•使用参数运行的容差分析 r2&{R!Fj`  
8@$QN4^u^  
VJ1`&  
hR{Fn L  
VirtualLab Fusion技术 LQ{4r1,u]  
}l[t0C t  
g" M1HxlV