摘要
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':vZ& 对于许多应用来说（例如背光、
光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的
衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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C3>Ff' 53])@Mmus 
1hG # al9wNtMT 设计任务
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? }M81 *S.U8;*Xj 1级
参数优化
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Y 结果-容差分析
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jS :o'x?] 结果-容差分析
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\R#SoOd %j7b0pb VirtualLab Fusion一瞥
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IO \4dU) 4ijtx)SA VirtualLab Fusion中的工作流程
J usU5 e| m@Z# 构建光栅结构
c7e,lgG- −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
` z&#|0O −倾斜光栅高级设定[用例]
;k <dp7^ •光栅衍射效率分析
VXeO }>2S −光栅阶序分析器[用例]
M-o'` e' •使用参数优化进行光栅参数优化
'R 7 \ •使用参数运行的容差分析
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KF. {r _ \D % VirtualLab Fusion技术
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