摘要
3tO= EpX.{B@B_[ 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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'F\@KE-d X=8CZq4 设计任务
(R.l{(A hu]l{TXi
!O`aaLc ;;^OKrzWW 1级
参数优化
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t",=]k
9BZyCz 结果-容差分析
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I@$cw3 b"DV8fdX 结果-容差分析
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CFLWo1 ~t>i+{JKE VirtualLab Fusion一瞥
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ii3{HJ*C agbG) t0 VirtualLab Fusion中的工作流程
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^$N}[1 构建光栅结构
(bX77 Xr −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
pie,^- _.g −倾斜光栅高级设定[用例]
[Yq*DkW •光栅衍射效率分析
e5}KzFZmZ −光栅阶序分析器[用例]
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[%ITqA$ •使用参数优化进行光栅参数优化
R_vF$X'O w •使用参数运行的容差分析
TtWE:xE + a,x
m,Fug1+N <>Nq]WqA VirtualLab Fusion技术
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