摘要
l |2D/K5 thlY0XCq,% 对于许多应用来说（例如背光、
光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的
衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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Ex amD">T 1Na@|yY 设计任务
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"p&Y^] Cwa ^"r3P1 1级
参数优化
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~/pzxo$ r|Z3$J{^" 结果-容差分析
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& F:IIo7 O|IG_RL] 结果-容差分析
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5@IB39 "xI" VirtualLab Fusion一瞥
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<P[T!gST 9_ s6l VirtualLab Fusion中的工作流程
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h+p*=|j` 构建光栅结构
RoA?p;]< −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
U @ ?LP −倾斜光栅高级设定[用例]
(s<Dd2&.H •光栅衍射效率分析
q\Q{sv_ −光栅阶序分析器[用例]
{e[%;W%c& •使用参数优化进行光栅参数优化
'|]e<Mt- •使用参数运行的容差分析
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T{wpJ"F5<] LZJA4 ?C VirtualLab Fusion技术
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