摘要
_u~`RlA &oFgZ . 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
{L M Q C9>^!?>
-KqMSf&9 PevT`\> 设计任务
4v#s!W !4YmaijeN
A\.{(,;kp ykGA.wo7/P 1级
参数优化
w.=rea~ ,z+n@sUR:
1{qG?1<zZ6 xBqZ:
BQ 结果-容差分析
8Qkwg]X )cm^;(#pV
T[J8zLO K>-01AGHL 结果-容差分析
8N`Rf;BM F 9q!Upr_+
1Z_ H%( 3i9~'j;F3 VirtualLab Fusion一瞥
W4nhPH( ;9vY5CxzC
vOtILL6 mZjP;6 VirtualLab Fusion中的工作流程
nKjT&R JDOn`7!w 构建光栅结构
Hig.` P −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
#smfOGSd −倾斜光栅高级设定[用例]
RXO5pd •光栅衍射效率分析
?H8dyQ5" −光栅阶序分析器[用例]
?MvL}o\| •使用参数优化进行光栅参数优化
jk%H+<FU` •使用参数运行的容差分析
lKS 2OOYC` uaha)W;'9
M L7 vP ]Z[0xs VirtualLab Fusion技术
Z[1|('
._&SS,I5VZ
|jcIn[)=