摘要
2ij&Db/ w%8y5v5 对于许多应用来说（例如背光、
光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的
衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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%ek0NBE7 Pq8oK'z - 设计任务
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K&Bbjb_| Y;%LwDC 1级
参数优化
(CY D]n CtV|oeJ 
r-TrA$k x^ EW'-a 结果-容差分析
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$#p5BQQ| BAY e:0 VirtualLab Fusion一瞥
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_ #NibW IZ7o6Etti VirtualLab Fusion中的工作流程
lwrh4<~\,* IG QBTdPUa 构建光栅结构
pGjwI3_K −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
X% j`rQk` −倾斜光栅高级设定[用例]
4=/j h:h •光栅衍射效率分析
PJ0~ymE1~G −光栅阶序分析器[用例]
R54ae:8 •使用参数优化进行光栅参数优化
GWWg3z.o"W •使用参数运行的容差分析
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s_XCKhN: r KUtTj VirtualLab Fusion技术
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