摘要
!vQDPLBL QN'v]z 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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设计任务
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;=ci7IT' rjJ-ZRs\ 1级
参数优化
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/EXubU73 1$^=M[v 结果-容差分析
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`tjH#W` @m99xF\e 结果-容差分析
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(8?5REz /[|ODfY VirtualLab Fusion一瞥
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SyWLPh g'Id31r' VirtualLab Fusion中的工作流程
(q|EC; C $r]]MSj 构建光栅结构
U if61)+!i −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
:: 2pDtMS −倾斜光栅高级设定[用例]
kpU-//lk+ •光栅衍射效率分析
u3XQ<N{Gj −光栅阶序分析器[用例]
"k%B;!We) •使用参数优化进行光栅参数优化
/t<C_lLM •使用参数运行的容差分析
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iZ"? VirtualLab Fusion技术
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