[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 Oh]RIWL  
N#!**Q 0  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 BnwYyh  
) Z^b)KAk  
\YN(rD-  
=IC cN|  
设计任务 W5c?f,  
$sa5aUg }  
a|5^4 J\%  

NB@TyU  
1级参数优化 Fr{}~fRW<  
{!]7=K)W9  
K>_~zWnc  
G-#]|)  
结果-容差分析 !YZ$WiPl  
5
52U~t  
~REP@!\r^  
TTQ(\l4  
结果-容差分析 /jB0  
CA8N  
K'tck
J#%  
^{+,j}V_H  
VirtualLab Fusion一瞥 e4rhB"qQdn  
M%S.Z4D (0  
R&P}\cf8T  
x4 .Y&Wq#  
VirtualLab Fusion中的工作流程 M"l<::z  
+@5@`"Jry  
构建光栅结构 hF4gz*Q  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] |w)S &+  
−倾斜光栅高级设定[用例] |(Q !$  
•光栅衍射效率分析 \'[C_+;X  
−光栅阶序分析器[用例] c'Mi9,q  
•使用参数优化进行光栅参数优化 'v?"TZ  
•使用参数运行的容差分析 1nAAs;`'  
\7elqX`.yY  
9&VfbrBM  
^PrG5|,s  
VirtualLab Fusion技术 YVT\@+
C'  
p*l]I*x'<  
9@{=2 k