摘要
NS&~n^ *k< &1Az`[zKGW 对于许多应用来说（例如背光、
光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的
衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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Kfj*#) SZ -7+Fb^"L 设计任务
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9xu&n%L= 1级
参数优化
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)s^XVs.- >#8`Zy:/Y 结果-容差分析
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S"_vD<q L9AfLw5&X 结果-容差分析
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IjrTM{f "#JoB X@yE VirtualLab Fusion一瞥
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1yE~#KpH $~9U-B\ VirtualLab Fusion中的工作流程
I5D\Z rhUZ9Fdv 构建光栅结构
[Zua7&( 5 −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
DSnsi@Mi −倾斜光栅高级设定[用例]
JHMj4Zkp •光栅衍射效率分析
G-:DMjvN −光栅阶序分析器[用例]
eM~i (]PY •使用参数优化进行光栅参数优化
4H " *.l •使用参数运行的容差分析
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iu :e> r +~[19'GH VirtualLab Fusion技术
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