摘要
GfDA5v[ M4| L 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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_),@^^&x ~&kV 设计任务
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0!Yi.'+ "2mVW_k 1级
参数优化
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#]rw@c VuGSP]$q 结果-容差分析
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p~t$ll0s @B+];lr/- VirtualLab Fusion一瞥
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.$Y[>9 1z)+P1nH] VirtualLab Fusion中的工作流程
xed$z K|iNEhuc 构建光栅结构
<R2bz1!h. −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
^pn:SV −倾斜光栅高级设定[用例]
t;'__">:q •光栅衍射效率分析
*fE5Z;!} −光栅阶序分析器[用例]
1UOFTI2S| •使用参数优化进行光栅参数优化
~!@a •使用参数运行的容差分析
(q)W<GYP f.!cR3XgV
MD%86m{Sg= ~U`aH~R VirtualLab Fusion技术
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