[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 U[?f@.&  
kl1/(  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 b<%c ]z  
u#y#(1 =  
gF
d*\Dk  
8|(],NyEJ  
设计任务 i;atYltEJ2  
CZE!@1"<{  
5Bt~tt  
UfIr"bU6  
1级参数优化
wPX^P  
Gr>CdB>~+  
2OpkRFFa  

W~PMR/^i  
结果-容差分析 P4zwTEk`  
k }{o: N  
q65]bs4M  
Ms
Zx 0]  
结果-容差分析 `8r$b/6  
!"o\H(siT  
i&8|@CACb  
l,~`o$_  
VirtualLab Fusion一瞥 :+ mULUi  
}'?qUy3x  
eY-h<K)y  
V;W{pd-I  
VirtualLab Fusion中的工作流程 @q`T#vd  
<5^m`F5  
构建光栅结构 6#AEVRJKU@  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] U{j4FlB  
−倾斜光栅高级设定[用例] |Y8}*C\M.h  
•光栅衍射效率分析 ?pcbso  
−光栅阶序分析器[用例] *?*~<R  
•使用参数优化进行光栅参数优化 R(*t1R\  
•使用参数运行的容差分析 1Q!kk5jE  
lT*@f39~g  
rHM^_sYRb  
MV
??S{^4  
VirtualLab Fusion技术 Qwt0~9n(  
fL#r@TB-s  
{6WG