摘要
vddh 2G w7Y>B`wm? 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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nd?R|._R mbCY\vEl 设计任务
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参数优化
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^7O,Vk"Z i[x;k;m2q 结果-容差分析
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DU.nXwl] #6 yi VirtualLab Fusion一瞥
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.Lc<1s |[]"{Eo"} VirtualLab Fusion中的工作流程
-A A='s MX.=k> 构建光栅结构
?[K\X −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
q>X%MN y −倾斜光栅高级设定[用例]
}\oy?_8~ •光栅衍射效率分析
0W1=9+c|X −光栅阶序分析器[用例]
Tfba3+V •使用参数优化进行光栅参数优化
&v#* •使用参数运行的容差分析
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ua-cX3E c>*RQ4vE VirtualLab Fusion技术
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