摘要
2=l !b/m @*c ) s_ 对于许多应用来说（例如背光、
光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的
衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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4x:Odt5 J ;wA 设计任务
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Dk fw*Oo 1级
参数优化
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-h8! O+7 . *7I=vro 结果-容差分析
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M VirtualLab Fusion一瞥
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|C S[>0mV! AsM""x1Ix VirtualLab Fusion中的工作流程
gGU3e(!Uc c" J(? 1O 构建光栅结构
>}/"g x −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
um&e.V)N −倾斜光栅高级设定[用例]
bct&ge7YX •光栅衍射效率分析
E4[ \lX$J −光栅阶序分析器[用例]
qD#-q vn •使用参数优化进行光栅参数优化
_wf"E(c3D •使用参数运行的容差分析
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SJ7>*Sa(u$ h{ce+~X VirtualLab Fusion技术
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