摘要
6+Jry@ 4OEKx|:5n 对于许多应用来说（例如背光、
光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的
衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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l% |cB93 qwP $~Bj 设计任务
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_-6e0sr Z `A"Q3sf% 1级
参数优化
`x4E ;Wjv g 9|qbKQ:[ 
-? Tz.y& 6s5b$x 结果-容差分析
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=Pj@g/25u IW] *i?L 结果-容差分析
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oc((Yo+B Dh?vU~v(6 VirtualLab Fusion一瞥
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5a VirtualLab Fusion中的工作流程
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m6\C5 WT?b Bf 构建光栅结构
]DU61Z"v?b −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
j,4,zA1j| −倾斜光栅高级设定[用例]
b^%?S8]h •光栅衍射效率分析
.
Jb?]n −光栅阶序分析器[用例]
s1Okoxh/!V •使用参数优化进行光栅参数优化
_l<| 1nH •使用参数运行的容差分析
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D-~G|8g AX8 gij VirtualLab Fusion技术
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