摘要
H[x$65ND VEc^Ap1?' 对于许多应用来说（例如背光、
光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的
衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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T'K6Q cu )tD[Ffvr 设计任务
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参数优化
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=.Hq]l6+ -aV!ZODt 结果-容差分析
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zZhA]J 01_*^iCf5 结果-容差分析
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yPmo@aw]1 5.TeH@( VirtualLab Fusion一瞥
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~Q3y3,x Y+kfMA v VirtualLab Fusion中的工作流程
W[R^5{ k` "dItv#<:} 构建光栅结构
!%lcn
O −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
26D,(Y$* −倾斜光栅高级设定[用例]
ALO0 yc •光栅衍射效率分析
]E :K8E
−光栅阶序分析器[用例]
:MF F*1 •使用参数优化进行光栅参数优化
5dNM:1VoE •使用参数运行的容差分析
o ]jPG <|kS`y 
n5G|OK0, 8=T[Y`;x VirtualLab Fusion技术
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