摘要
HkP')= sa 5q.d$K | 对于许多应用来说（例如背光、
光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的
衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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l\?HeVk^ _4#8o\ 设计任务
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Q?Y\WD gG 9e.++: 1级
参数优化
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M<A jtDF% WeqE 9@V 结果-容差分析
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[YGPcGw HP$GI 结果-容差分析
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(.CEEWj%{ \NiW(!Z} VirtualLab Fusion一瞥
<~%e{F:[# X\z `S##kj 
/8)-j}gZa #[Z1W8e VirtualLab Fusion中的工作流程
eaG _)y ke+3J\;> 构建光栅结构
S\,~ 6]^T −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
o ~aK[
−倾斜光栅高级设定[用例]
'aWrjfDy: •光栅衍射效率分析
?yfw3s −光栅阶序分析器[用例]
x)wlp{rLf •使用参数优化进行光栅参数优化
y@T 0
jI •使用参数运行的容差分析
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`eLu 
) &nfV5@" k\ 2.\Lwb VirtualLab Fusion技术
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