摘要
!/SFEL@_B U@WT;:.T 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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$9/r*@bu8d q6dq@ 设计任务
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YuZnuI@m9 t!tBN 1级
参数优化
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aryr AyUVsIuPT= 结果-容差分析
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4-MA!& F`l1I=; VirtualLab Fusion一瞥
R0>L[1o 6 S8#[b
\;]~K6= 8Vx'sJ>r4 VirtualLab Fusion中的工作流程
\)bwdNWI P;GUGG*W 构建光栅结构
P&K~wP] −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
uv$y"1'g −倾斜光栅高级设定[用例]
dFlx6H+R!0 •光栅衍射效率分析
P7n~Ui~U −光栅阶序分析器[用例]
iiu\_ a=0b •使用参数优化进行光栅参数优化
Q["}U7j •使用参数运行的容差分析
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+q1@,LxN {r"HR%*u VirtualLab Fusion技术
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