摘要
u" nyx0< &Jq ?tnNd 对于许多应用来说（例如背光、
光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的
衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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$"^x e)O6k7U$ 设计任务
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参数优化
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D[ny%9 : T~_+\w 结果-容差分析
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m;k' j@: VcA87*pel 结果-容差分析
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]hc.cj`\W& 5) nm6sf VirtualLab Fusion一瞥
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[.;VCk)0x l\JoWL VirtualLab Fusion中的工作流程
o=7 -&F. Od)]FvO 构建光栅结构
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f*0 −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
V\Cu|m&HI −倾斜光栅高级设定[用例]
Syo 1Dq6z. •光栅衍射效率分析
R=xT \i{4h −光栅阶序分析器[用例]
V_$ BZm%8J •使用参数优化进行光栅参数优化
vaW, O/F •使用参数运行的容差分析
&dH/V-te }]'Z~5T 
}PUQvIGZZ& YOqGFi~` VirtualLab Fusion技术
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