[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 9nPc>O$  
Jk!*j  
对于许多应用来说（例如背光、光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 ]1 OZY@  
x7]Yn'^'  
KoNJ;YiKtN  
2U;ImC1g  
设计任务 L.@o  
6-<>P E2  
xui.63/  
+MfdZD  
1级参数优化 $NtbI:e{  
Xr@]7: ,  
2=6}! Y  
5L}qL?S`x|  
结果-容差分析 \We\*7^E  
n_/_Y>{M0  
X_eh+>D  
8&"@6/)[  
结果-容差分析 ~)JNevLZ  
VY5/C;0^h  
1c} %_Z/  
26,!HmtC  
VirtualLab Fusion一瞥 TYQ7jt0=.-  
6:(*
u{  
+JMB98+l  
./009p  
VirtualLab Fusion中的工作流程 ni@N/Z?!pA  
Ty21-0F  
构建光栅结构 [BpIzhy&}  
−使用特殊材料的光栅结构设定[用例] v/E_A3Ay&  
−倾斜光栅高级设定[用例] i0%S6vmaS  
•光栅衍射效率分析 s3*h=5bX=  
−光栅阶序分析器[用例] x05yU  
•使用参数优化进行光栅参数优化 p<2A4="&  
•使用参数运行的容差分析 =~i~SG/f  
+d0&(b  
Ls#=R  
^f-?xXPx  
VirtualLab Fusion技术 dcgz<m  
1{8SKfMdP  
gm63dE>