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摘要 q !7z4Cn [ k^6#TQcn 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ]d9;YVAU
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~4= 4Ks0 建模任务 |bi"J;y w)&] k#r  Up`$U~%- 概述 p"Oi83w;9 ]8htJ]<|Q •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 0jrcXN~ •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ',z ' .t ) Y\} ,O
 16ke CG\ -qs.'o
;2 光线追迹仿真 FGr0W|?v j08 G-_Gjn •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 2xni! *T+ •单击go！ qp"gD-,-o •获得了3D光线追迹结果。 U/&?r Y^| ykRKZYfsw(
 #`:60#l |LcN_ , }6 光线追迹仿真 Cm JI" %HL@ O]ftS •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 LdU, 32 •单击go！ ti`z:8n7 •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 'ujt w:Z: |C=^:@}ri?
 C&NoEtL>s F{[2|u(4 场追迹仿真 #| A
@ 3+{hO@ O •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 >H ic
tH •单击go！ ro}plK(<WQ YXg:cXE8e  Mn7 y@/1
zO9$ fU 场追迹仿真（相机探测器） *. Y! ZaK w<J$12
"p+ •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 j
& ,vju •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 gEO#-tMjOQ 3i?{E ^
 6IPhy.8 Nq9Qsia& 场追迹仿真（电磁场探测器） vo!:uvy;2 •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 J^
P/2a#a h}q+Dw.i  _S,2j_R9
O(~`fN?n 场追迹仿真（电磁场探测器） q}ZZqYk
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