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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 07-24
    摘要 3l rT3a3vV  
    , qMzWa  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 <? q?Mn  
    rBQ_iB_  
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    建模任务 }bb;~  
    L +b6!2O,  
    I9|mG'  
    概述 *& BQTZ6  
    D+TD 95t  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 03$mYS_?  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 )1?y 8_B  
    &GpRI(OB/+  
     rD*jp6Cl  
    I ce~oz)  
    光线追迹仿真 Wf+cDpK  
    .]8ZwAs=&  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Cjn#00  
    •单击go！ 8I=2lK  
    •获得了3D光线追迹结果。 S|Q@:r"  
    Kg{+T`  
     ?>7[7(|  
    ; 5*&xz  
    光线追迹仿真 !z\h| wU+  
    q`Go`v  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 'g}!  
    •单击go！ E^ B'4  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ?qb}?&1  
    g@d*\ P)  
     Tf>bX_L?  
    u+9hL4  
    场追迹仿真 )HEa<P^kJl  
    5?f ^Rz  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ^ gdaa>L  
    •单击go！ fW?vdYF  
    =>m<GvQz  
    iDpSj!x/_  
     z<MsKD0Q  
    场追迹仿真（相机探测器） p?02C# p  
    34f?6K1c  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 +Q/R{#O  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 &sl0W-;0  
    f[]dfLS"W  
     ?>VLTp8]  
    x'8x   
    场追迹仿真（电磁场探测器）  {y)=eX9  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ]}V<*f  
    M`0V~P`^  
    4j-Xi  
     -{("mR&]  
    场追迹仿真（电磁场探测器） N:^n('U&j  
     AzPu)  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 y#`tgJ:  
    &eJfGt5  
     @ JGP,445  
     
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