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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 ZiYm:$CJ  
    SrFS#  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 !O.[PH(,*  
    >ELlnE8  
    nL$x|}XAcj  
     CM<]ZG7  
    建模任务 ~/8M 3k/  
    $U$V?x uE  
    1QcT$8HA  
    概述 Oy<5>2^P  
    28/ ADZ  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 KhCzD[tf  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 5Xl /L  
    %1.]c6U  
     U~} U\_  
    fV v.@HL{  
    光线追迹仿真 PqyA1  
    u)ev{)$TM  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 VtzI9CD  
    •单击go！ t~E<j+<2B  
    •获得了3D光线追迹结果。 }j2Y5  
    -6tgsfEr  
     Di@GY!  
    UPc<gB  
    光线追迹仿真 M t*6}Cl  
    :N<.?%Kf  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 #l4)HV  
    •单击go！ #'-Sh7ycW  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 L lw&& K  
    FuUD 61JHY  
     2u"7T_"2D  
    uQ=^~K:Z~  
    场追迹仿真 a@@M+9Q  
    >_c5r?]SG  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 !eAo  
    •单击go！ L4b:F0  
    kaxvP v1  
    DNR~_3Aq  
     1VF    
    场追迹仿真（相机探测器） ?_oF:*~\  
    yf?h#G%24  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Ul_M3"Z  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ?9HhG?_x  
    RbGJ)K!  
     :-iMdtm  
    PN$X N<  
    场追迹仿真（电磁场探测器） t4q ej  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Fhv2V,nZ<  
    L>!8YUz7p$  
    T"p(]@Ng  
     [L6w1b,  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Nrah;i+H\o  
     p1D[YeF4  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 xrqv@/kJ  
    =?])['VaA  
     kF{*(r=.o  
     
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