切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 光学设计仿真实验指导 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 京东年货节，领红包！更优惠！
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 584阅读
    • 0回复

    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6589
    光币
    27094
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 rBa <s  
    ;H /*%2  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 yZ)GP!cM4c  
    ,Y=r] fk  
    ?~uTbNR  
     }legh:/*?O  
    建模任务 o)Kx:l +f  
    %@3AA<  
    ~?m';  
    概述 %/b?T]{  
    [5,aBf) X  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ]24aK_Uu  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 GLQ1rT  
    su/l'p'  
     I0P)DR  
    %sP C3L  
    光线追迹仿真 87c7p=/0`  
    YpoO:  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 6 /gh_'&  
    •单击go！ S Y>i@s+ML  
    •获得了3D光线追迹结果。 .pNWpWL.  
    5s_7 P"&H  
     m619bzFlB  
    ^;@q^b)ZP  
    光线追迹仿真 t%ye :  
    ~Wjm"|c  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 @'j=oTT  
    •单击go！ PN[ `p1F  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 I>o+INb:  
    \{@s@VBx[  
     (xpj?zlmM  
    6js94ko[  
    场追迹仿真 ]3wg-p+  
    mv|eEz)r  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Wz}RJC7p  
    •单击go！ $D +6=m[  
    N ncur]  
    l-xKfp`  
     7YsBwo  
    场追迹仿真（相机探测器） *gfx'$  
    <DP_`[+C  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 kmPK |R  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 >B/ jTn5=  
    }UJS*mR  
     } NW^?37  
    \.y|=Ql_u  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 2%U)y;$m2  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 )QEvV:\  
    *#-X0}'s  
    uN20sD}  
     WL$Ee=  
    场追迹仿真（电磁场探测器） < gB>j\:  
     2.CjjI  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 S453oG"  
    SO%x=W  
     90L,.  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表