切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • ZEMAX光学系统设计实战 Zemax光学设计从基础到实践 成像衍射光学元件设计及应用 现代光学与光子学技术
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 199阅读
    • 0回复

    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    5431
    光币
    21335
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 07-24
    摘要 8.`5"9Vh  
    ]tK<[8Y  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 w~9Y=|YI7  
    G8W^XD  
    Z79Y$d>G<E  
     A sf]sU..  
    建模任务 ap|V}j C  
    ;x{J45^  
    jvE&%|Ngw  
    概述 .a]av   
    8`b_,(\N  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ;ahI}}  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 $>l65)(E\  
    HFj@NRE6  
     &ujq6~#  
    60 p*4>^v  
    光线追迹仿真 Q@l.p-:^U  
    LCpS}L;  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 XlxB%  
    •单击go！ @F5QgO J&r  
    •获得了3D光线追迹结果。 c$%I^f}'  
    2 mvp|< "  
     H]f8W]"c[  
    v.H@Ey2  
    光线追迹仿真 'F8:|g  
    xb(y15R\I  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 V@ph.)z  
    •单击go！ oJ}$ /_  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 /{X2:g{  
    QW@`4W0F  
     q&k?$rn  
    ?m.Ry  
    场追迹仿真 ,#=;V"~9  
    -f[95Z3}  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ^5gB?V,  
    •单击go！ Nj4^G ~_  
    p8u -3  
    :,dO7dJi  
     ]u O|YLWp  
    场追迹仿真（相机探测器） F1zsGlObu}  
    _Nq7_iT0  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 <Okl.Iz>  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Wp$'#HhB  
    *[['X%f  
     RV+0C&0ff  
    [mI;>q  
    场追迹仿真（电磁场探测器） {f)"F;]V  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Y]t)k9|vv  
    'd 6z^Z6  
    y{\K:    
     Gl>_C@n0h  
    场追迹仿真（电磁场探测器） m:XMF)tW  
     |b:91l  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Wd_KZ}lX  
    zz+[]G+"2m  
     $T80vEi+u  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表