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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 }y0UyOa{C  
    gReaFnm  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 k,&W5zBKe  
    C( r?1ma  
    */ qv}  
     zU}0AVlIL:  
    建模任务 >uUbWKn3  
    3 Zbvf^  
    $B(B  
    概述 U 26Iz  
    Y${ $7+@  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ]w')~yk  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 lc'Jn$O@  
    L'Wcb =;  
     $U6)km4  
    N,;Bl&EU  
    光线追迹仿真 DLz~$TF^  
    0_j!t  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 g;*~ xo  
    •单击go！ Eu0 _/{:  
    •获得了3D光线追迹结果。 f"PApV9[  
    =izB :  
     t<`BaU  
    uH7u4f1Q  
    光线追迹仿真 KQ2]VN"?_  
    gFW1Nm_DJ  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 :oZ30}  
    •单击go！ 6x.#K9@q4  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 3_D$6/i  
    C f<,\Aav  
     / AW]12_  
    mH8"k+k  
    场追迹仿真 {0[qERj"z  
    7.]xcJmt>'  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 !e%#Zb MIo  
    •单击go！ \K>6-0r|  
    /njN*rhx&Z  
    s^E%Uk m  
     W;o\}irep  
    场追迹仿真（相机探测器） :,cSEST  
    jF'S"_/?  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 jd$lu^>I  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Yr0%ZYfN  
    PvO>}(=  
     0z%]HlPg  
    {o;J'yjre1  
    场追迹仿真（电磁场探测器） o05) I2  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 VpD9!;S  
    1[^2f70n  
    6@ nEcr  
     Gm_Cq2PD(  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ,(]hykbXp  
     zfv l<"Rv  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 7$/ O{GBJ  
    [P"#?7 N  
     &"25a[x{B  
     
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