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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 &da:{  
    s[VYd:}se  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 %'VzN3Q5V  
    *;Cpz[N  
    =E-o@#BS  
     +G+1B6S  
    建模任务 2`A[<S  
    a'd=szt  
    uo(LZUjPbN  
    概述 rC_saHo>#R  
    y1[@4TY]  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 KOoV'YSC[(  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 `i+2YCk  
    A`"?~_pHC  
     f{u S  
    cucT |y  
    光线追迹仿真 8L]Cc!~  
    4J?\JcGs  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 "'/+}xM"5  
    •单击go！ TX7dwmt) N  
    •获得了3D光线追迹结果。 tI5*0  
    P@% L.y B  
     ~Q5]?ZNX  
    c= ?Tu  
    光线追迹仿真 d= ?lPEzSA  
    r%NzKPW'  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 3{$>-d  
    •单击go！ 7]~|dc(  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 y\[q2M<  
    m"6K_4r]  
     @ZrNV*&<  
    Wtp=1  
    场追迹仿真 `$FB[Z} &  
    QL2 `X2  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ):A.A,skf  
    •单击go！ AYfe_Dj  
    ",#Ug"|2  
    ^:,wk7  
     W|(<z'S  
    场追迹仿真（相机探测器） t:xTmK&vt  
    O^ 5C  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 (cV1Pmn  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 (+<66 T O  
    [nlq(DGJhp  
     px(~ZZB"  
    #r1y|)m`  
    场追迹仿真（电磁场探测器） a^ys7UV  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 (ak&>pk;  
    y,@yaM}-/K  
    ^NM>x Ienf  
     'pO-h,{TS  
    场追迹仿真（电磁场探测器） de[NIDA;`  
     JbMp /  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 UIU6rilB  
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