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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 ])V2}gH  
    tL~,ZCQz  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ]$~Fzs  
    StU  4{  
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     ~h)@e\Kc  
    建模任务 DS:>/m>)  
    ietRr!$.  
    v2hZq-q  
    概述 `DLp<_z>  
    M{?zvq?d  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ~;M)qR?]W  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 o84UFhm   
    v B h;  
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    No`|m0 :j  
    光线追迹仿真 /g_9m  
    O: ,$%  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 vQ:wW',i  
    •单击go！ =p <?Hu  
    •获得了3D光线追迹结果。  _e%dM  
    :e*DTVv8  
     !fY7"E{%%  
    qgoJ4Z*  
    光线追迹仿真 Hd9XfU  
    $ +;+:K  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ! Tx&vtq  
    •单击go！ 1y J5l,q  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 9lf*O0Z&n  
    ,CP 5~4u  
     vY6oV jM  
    K]c4"JJ  
    场追迹仿真 )qL&%xz  
    _AFQ>j  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 E@-ta):  
    •单击go！ h.)h@$d  
    98R KCc9h  
    "- 31'R-  
     J'b<z.OW  
    场追迹仿真（相机探测器） #2RiLht  
    [}OgSP9i  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ~. YWV  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 #`(WUn0H?  
    9i5tVOhE  
     .Da'pOe  
    Kv37s0|g  
    场追迹仿真（电磁场探测器） +x=)/;:  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 5!I4l1  
    FdzNE  
    %ft &Q  
     W=JAq%yd<  
    场追迹仿真（电磁场探测器） |l0Ea  
     r X'*|]  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 *T`-|H*6@  
    #>[a{<;Kn  
     m/B6[  
     
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