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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 LjX&' ,  
    &7JEb]1C  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 LH1BZ(5g  
    "4k"U1  
    DB!uv[c  
     .kz(V5  
    建模任务 sT@u3^>  
    ~ly`u  
    D]3bwoFo&u  
    概述 h:eN>yW  
    *(>F'>F1"  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 s2kGU^]y  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 3ytx"=B%  
    %!1@aL]pQ  
     1KNkl,E  
    xow6@M,  
    光线追迹仿真 1ZGQhjcx  
    bUpmU/ RW  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 !^rITiy  
    •单击go！ ZC>`ca  
    •获得了3D光线追迹结果。 .oW~:mY  
    ~M|NzK_9  
     zSX'  
    i|:: v l  
    光线追迹仿真 Uj y6vgU;  
    +^o3}`  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 0$Qn#K  
    •单击go！ UeIqAG8  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 vUA)#z<  
    !c3Qcva  
     Phk`=:xh  
    |~1rKzZwF  
    场追迹仿真 OoA5!HEh  
    Z)b)v  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 T% jjs  
    •单击go！ @p?b"?QaB  
    rVc zO+E  
    ^$T!@ +:  
     Q)7L^  
    场追迹仿真（相机探测器） 2xz%'X%  
    3 tx0y  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Z:r$;`K/  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 pEqr0Qwh  
    N23+1h  
     ^+Y-=2u:  
    Oa3=+_C~$1  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 'IqK M  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 A$$R_3ne  
    9|?(GG  
    vi()1LS/!  
     $TH'"XK  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 071E%u,  
     Z1qATX Xf  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Sj=69>m]5  
    )e <! =S  
     b*F :l#  
     
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