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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 4a646jg)  
    0<Pe~i_=  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 RE7[bM3a  
    Y}WO`+Vf5  
    TZ*ib~  
     C<7J5  
    建模任务 X:!%"K%}  
    gT+/CVj R  
    |LjCtm)@+  
    概述 :?^(&3;  
    woR)E0'qx  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 cCj3,s/p  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 dZYS5_wr  
    r%a$u%)oD  
     xGH%4J\  
    L_A|  
    光线追迹仿真 p1D-Q7F  
    "?il07+w%  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 9\n}!{@i  
    •单击go！ UU !I@  
    •获得了3D光线追迹结果。 AKWw36lm  
    uL= \t=  
     0FW=8hFp,  
    m[7a~-3:J  
    光线追迹仿真 {:dE_tqo  
    .9E`x>C  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 5 QT9  
    •单击go！ -^Lj~O  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 -`gC?yff:  
    {B}0LJIpL  
     tJn2:}-s  
    9 o18VJR  
    场追迹仿真 Zsuh8t   
    j IW:O  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 XNl!(2x'pb  
    •单击go！ jBQQ?cA  
    T S.lFg:K  
    :I7MP   
     61KJ( rSX3  
    场追迹仿真（相机探测器） ] x Kmz  
    I2Us!W>6-  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 1,mf]7k$  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 OGVhb>LO1  
    W%wS+3Q/  
     X >**M  
     z/ i3  
    场追迹仿真（电磁场探测器） m$ JQ[vgh  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 1ERz:\  
    y^XwJX-f  
    HR}c9wy,q\  
     :[rx|9M6  
    场追迹仿真（电磁场探测器） vrbS-Z<S9  
     8sIGJ|ku   
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 vS0P] AUo  
    9}\T?6?8pX  
     \}2Wd`kD  
     
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