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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 :Q+ rEjw+  
    ;NLL?6~  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 <g>_#fz"K  
    -T4?5T_  
    &oTSff>p}  
     7<IrN\@U  
    建模任务 kL*Q})  
    p'KU!I }  
    (}4tj4d  
    概述  ;lW0p8  
    [p}J=1S  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 8@6:UR.)  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 zoC/Hm  
    hrU.QF8  
     ORcl=Eo>  
    Z=8 25[p  
    光线追迹仿真 e`k 2g ^  
    hP3I_I[qF}  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 m[ay  
    •单击go！ A[htG\A` 0  
    •获得了3D光线追迹结果。 !fzqpl\ze  
    eW\7X%I  
     wF?THkdFo  
    B wtD!de$  
    光线追迹仿真 T>vHZZiO  
    }k\a~<'X  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 )w;XicT  
    •单击go！ N=tyaS(YJ  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 |5e/.T$  
    RBt"7'  
     ZzzQXfA#  
    o \b8lwA,  
    场追迹仿真 =;dupz\7  
    LtejLCf/  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 %9{4g->  
    •单击go！ UbY-)9==  
    p*#SSR9<  
    yK"U:X  
     `5[VO  
    场追迹仿真（相机探测器） pR`.8MMc8  
    r^WO$u|@i  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 9zi/z_G  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 r'{pTgm#  
    y'2K7\>E  
     {< jLfL1  
    aJI>qk h?]  
    场追迹仿真（电磁场探测器） /A|ofAr)  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 kW6}57iV  
    =!{}:An1$  
    _V-@95fK  
     ,o*b-Cv/  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 8 l}tYl`|  
     s8@fZ4  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 L!mQP  
    j(/"}d3osm  
     rZ:  
     
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