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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 p/Sbt/R  
    y;cUl, :v  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 e>rRTN  
    3\O|ii  
    NH<gU_s8{9  
     X r63?N  
    建模任务 aVs(EHF  
    RprKm'b8x`  
    6DTTV66  
    概述 L WoG4s?w  
    C;+(Zp  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 A5:qKaAq  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 %sBAl.!BN  
    .{KjEg 6  
     &GTI  
    }T^cEfX  
    光线追迹仿真 Gc]~w D$  
    KOq;jH{$  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 EJ}!F?o  
    •单击go！ D%mXA70  
    •获得了3D光线追迹结果。 63|+2-E2Q  
    sxKf&p;  
     {#P `^g  
    r[(xj n  
    光线追迹仿真 Jf)bHjC_V  
    )5j;KI%t  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 j:T/iH!YF  
    •单击go！ `O?TUQGR  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 WO4=Mte?  
    G|w=ez  
     yH 9!GS#  
    /v|"0  
    场追迹仿真 3nZ9m  
    @RFs/'  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ev0oO+u  
    •单击go！ jr7C}B-Fb^  
    02`$OTKz  
    /yz=Cjoz  
     {Sl57!U5  
    场追迹仿真（相机探测器） m=AqV:%|  
    5J)=}e  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 do-ahl,  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 f'Iz G.R  
    [XRCLi}  
     [3l*F  
    [ xOzzp4  
    场追迹仿真（电磁场探测器） bPD`+: A_  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 cfox7FmW  
    tt?58dm|  
    KTvzOI8  
     YCe7<3>J4  
    场追迹仿真（电磁场探测器） &zQ2M#{82  
     (Rk_-9_E.  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 +_v$!@L8  
    IM$2VlC  
     #po5_dE\*  
     
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