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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 1x^GWtRp  
    ,,TnIouy  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Z:gyz$9w  
    ]'S^]  
    !9x}  
     xD$\,{  
    建模任务 5-M-X#(  
    =c7;r]Ol  
    'q.!|G2U  
    概述 t<qiGDJ<d  
    pk~WrqK}  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ;}t(Wnu.  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 p[cX O=  
    Pz^544\~ou  
     I:.s_8mH}  
    EK'!}OGCG  
    光线追迹仿真 Ss`LLq0LO  
    I@3MO0V^  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ite~E5?#  
    •单击go！ 28nFRr  
    •获得了3D光线追迹结果。  _4f;<FL  
    F}zDfY\-  
     pJ{Y lS{  
    Debv4Gr;^  
    光线追迹仿真 f 1d?.)  
    gFh*eCo   
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 '<M{)?  
    •单击go！ r=4eP(w=  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 %$mA03[MQ  
    ##{taR8  
     y)*RV;^  
    <uJ@:oWG7  
    场追迹仿真 ctUp=po  
    Y$zSQ_k;U  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 +n)9Tz5  
    •单击go！ OKV8zO  
    ;\]@K6m/Ap  
    #1[u (<AS  
     Je{ykL?N  
    场追迹仿真（相机探测器） H#&00Q[  
    UI#h&j5pW  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 T;uX4,|(  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 u&NV,6Fj2[  
     XilS!,  
     _g. {MTQ  
    BzzTGWq\  
    场追迹仿真（电磁场探测器） +d>IHpt  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 |^aKs#va  
    7 3m1  
    ,s(,S  
     #`IN`m|  
    场追迹仿真（电磁场探测器） O84i;S+-p  
     xA/D'  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 `9 L>*  
    v1[29t<I!  
     ys~x $  
     
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