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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 P]- #wz=S  
    b( 1 :w"wD  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 g kn)V~ij  
    YLE/w@*  
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     <a fO 6?`  
    建模任务 <ipWMZae0F  
    {H'X)n$  
    y%FYXwR{  
    概述 eq{ [?/  
    lj Y  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ,k\/]9  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 Zq^^|[)bA  
    vv!Bo~L1,  
     A^t"MYX@  
    @??u})^EL  
    光线追迹仿真 Agz=8=S%  
    vLr&ay!w  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 hj+p`e S  
    •单击go！ C!hXEtK  
    •获得了3D光线追迹结果。 [Zh2DNp  
    16L"^EYq  
     k 5t{  
    GG*BN<(>!  
    光线追迹仿真 Z rA Um  
    2nJYS2mT7  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 uRFNfX(*  
    •单击go！ X:DMT>5k  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 KoFv0~8Q  
    M*v^N]>"G  
     }=TqJy1  
    =?^-P{:\?  
    场追迹仿真 xS-w\vbLV  
    @PKAz&0  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 a!&bc8J7  
    •单击go！ 80dSQ"y  
    { qjUI  
    xiEcEz'lk  
     W%=Zdm rv  
    场追迹仿真（相机探测器） \G]K,TG  
    58 kv#;j  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ]!q }|bP  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Q:kwQg:~  
    ixg\[5.Q+  
     HhzkMJR8  
    6V+V zDo  
    场追迹仿真（电磁场探测器） y(V&z"wk[  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 `Yg7,{A\J  
    i[mC3ghM6,  
    uwmoM>I W^  
     Q=^ktKMeR  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ux%&lff  
     c]S+70!n  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 =CWc`  
    k>7gy?Y!K<  
     pHigxeV2  
     
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