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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 .mwW`D  
    BGVnL}0  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 %q r,Ssa/  
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     Xa-TNnws?  
    建模任务 *EO*Gg0d  
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    概述 w?3ww7yf`  
    5m@'( ] j  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 3J8>r|u;1'  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ,| 8aDL?  
    ]n@T5*=  
     82)=#ye_P  
    wYFkGih  
    光线追迹仿真 |ggtb\W  
    :Eh}]_  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 _ZJQE>]nWu  
    •单击go！ AW_YlS  
    •获得了3D光线追迹结果。 19% "F!^i  
    "tO m  
     D'moy*E  
    Uv?^qe0=  
    光线追迹仿真 pi70^`@'B  
    ZJFF4($qN  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 aox@- jyr  
    •单击go！ : maBec)  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 zZY1E@~  
    PGZe'r1E9  
     s9Tn|Pm+!\  
    "Ar|i8^G3  
    场追迹仿真 2u0B=0x  
    [SKDsJRPP  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 '9qyf<MlY  
    •单击go！ ut]&3f''  
    m'G=WO*%  
    3ohHBo  
     SY.koW  
    场追迹仿真（相机探测器） `6YN/"unfp  
    V2;Nv\J\  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ncVt (!c,e  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 FKe/xz  
    3*{l^<`:gA  
     [EVyCIcY,h  
    _BgWy#  
    场追迹仿真（电磁场探测器） TR `C|TV>  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 2h}FotlO  
    Q?>*h xzoP  
    %k"hzjXAw  
     1Qjc*+JzO.  
    场追迹仿真（电磁场探测器） {~#01p5  
     _ Fk^lDI-  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 "*c&[ALw  
    z0YL,  
     Du-Q~I6  
     
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