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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 6 &Aa b56  
    H 1X]tw.  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 f0bV]<_9  
    q _|5,_a  
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     1 b%7FrPkd  
    建模任务 ]c=1-Rl  
    s3!LR2qiF  
    &bgi0)>  
    概述 D)Rf  
    myX0<j3G5  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 wz)9/bL  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 U+M?<4J) "  
    E }j8p_p  
     F@K;A%us)  
    sBI%lrO  
    光线追迹仿真 YEoT_>A$dB  
    Z*3}L  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 qyfxTQ5  
    •单击go！ l<%~w U  
    •获得了3D光线追迹结果。 R*C+Yk)Tkt  
    ,WK$jHG]  
     5FKd{V'  
    g}KZL-p4\m  
    光线追迹仿真 xmx;tq  
    g$LwXfg  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 @ &yj7-]  
    •单击go！ ' uw&f;/E  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 TBT*j&!L  
    QLg9aG|  
     ^ w1R"qE"m  
    ?{")Wt  
    场追迹仿真 Wy )g449  
    }"k(kH  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 uNBhVsM6<  
    •单击go！ S6X<3L`FfH  
    )KQum`pO  
    >AFpO*q"  
     'A2"&6m)28  
    场追迹仿真（相机探测器） .w)t<7 y  
    K a|\gl;V  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 X#<Sv>c^  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 6LQO>k  
    ?\r3 _  
     r!iuwE@  
    /=}vP ey  
    场追迹仿真（电磁场探测器） }dl(9H=4  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 X  jN.X  
    l/NK.Jr  
    <2d@\"AoHE  
     +dv@N3GV  
    场追迹仿真（电磁场探测器） )' #(1 ,1k  
     gId+hxFa:r  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 V  ""  
    oMbCljUC  
     Ls{fCi/2F  
     
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