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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 T[eTT]Z{Ia  
    D058=}^HE  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 |xaA3UA  
    ;xa]ke3]  
    U=%S6uL\bx  
     413r3/  
    建模任务 M|`%4vk>  
    g;bkV q  
    Wm.SLr,o0  
    概述 y#Ch /Jg?|  
    y?aOk-TaRA  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 s\Cl3  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ~GS`@IU}  
    n4CzReG  
     ?(U> )SvF  
    @v2kAOw[  
    光线追迹仿真 eGLLh_V"  
    J(-#(kMyf  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Ty]CdyL$  
    •单击go！ `pN]Ykt  
    •获得了3D光线追迹结果。 h_d!G+-]  
    8F4#E U  
     ipKkz  
    poHDA=# 3  
    光线追迹仿真 /sdkQ{J!.  
    F{f "xM  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。  ;nv4lxm  
    •单击go！ |g 4!Yd  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 >1mCjP  
    9^s sT>&/  
     5'>(|7~%\  
    2@ACmh  
    场追迹仿真 x%x:gkq  
    ~&4,w9b)j  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 z6FG^  
    •单击go！ o*I-~k  
    [?Aq#av  
    T?7 ZF+yo6  
     kRE^G*?  
    场追迹仿真（相机探测器） xb_35'$M  
    6z=:x+m  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 I%*o7"  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 lcIX l&  
    Fz)z&WT  
     UwdcU^xt9  
    uu=e~K  
    场追迹仿真（电磁场探测器） %qfEFhRC  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 |n~,$  
    R4QXX7h!  
    ;U}lh~e11  
     XRj<2U 5  
    场追迹仿真（电磁场探测器） cKK 1$x  
     HHoh//(\  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 R[Kyq|UyVr  
    UTmX"Li  
     uj;-HN)6  
     
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