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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 :+Om]#`Vls  
    ';Zi@f"  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 \.YS%"Vz  
    K*UgX(xu4P  
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    建模任务 Mj[f~  
    Mi'8 ~J  
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    概述 bwiPS1+);  
    FFdBtB  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 oF(Lji?m  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 w?kJ+lmOQy  
    M@0;B30L  
     7$h#OV*@,  
    P) 3mX.(}  
    光线追迹仿真 3bnS W5  
    -'~ LjA(  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ,|&9M^  
    •单击go！ x#Sqn#  
    •获得了3D光线追迹结果。 $!&*xrrNM  
    |$5[(6T|  
     AL>$HB$  
    Sb~MQ_  
    光线追迹仿真 k'0Pi6  
    Xy5e5K  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 g=I8@m  
    •单击go！ \=_{na_  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 AU2i%Q!  
    =s<( P1|"  
     qucq,Yw  
    yj^+ G  
    场追迹仿真 [l,Ei?  
    dAy?EO0\7  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 bV,}Pp+/"!  
    •单击go！ c y8;@[#9  
    6{txm+U  
    ,\NFt`]j  
     GvBHd%Ot  
    场追迹仿真（相机探测器） s6>ZREf#J  
    u*hSj)vr1  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 K4kMM*D  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 jy'13G/b\  
    G37U6PuZi  
     1dK*y'rx  
    >y,-v:Vy  
    场追迹仿真（电磁场探测器） eH{[C*  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 K5lmVF\$P  
    Hw4%uS==V  
    Qjb:WC7he  
     >p"c>V& 8  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 55z]&5N  
     [UH||qW  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 wp&=$Aa)'  
    soQ1X@"0  
     /FRm2m83  
     
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