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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 )oEHE7y  
    In[!g  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 hJkP_( +J\  
    H$M#+EfL  
    [?dsS$Y3  
     29W~<E8K-  
    建模任务 QYm]&;EI  
    /(iq^  
    hKG)* Q  
    概述 Ukf4Q\@w  
    b7thu5  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 \`FpBE_e)  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 !$q *~F"S  
    `R9}.?7  
     )SX2%&N  
    f WUFCbSU  
    光线追迹仿真 ;9WS#>o  
    Thlqe?  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ;x]CaG)f  
    •单击go！ GmjTxNU@  
    •获得了3D光线追迹结果。 ?h7,q*rxk  
    nfL-E:n=  
     E46+B2_~zk  
    RM5$O+"  
    光线追迹仿真 J )*7JX  
    4#dS.UfI  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 O]| T !  
    •单击go！ /Dmuvb|A  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 l r16*2.  
    _LYI#D  
     /t4#-vz  
    nm8XHk]  
    场追迹仿真 xcVF0%wVC  
    V2v}F=  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 pGwBhZnb>  
    •单击go！ w &b?ze{  
    %^zGM^PD  
    `vMrlKq  
     4s <|8   
    场追迹仿真（相机探测器）  D|8Pe{`  
    NFAjh?#  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ZQ MK1  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 y)Y0SY1\j  
    l-~ o&n  
     a7Xa3 vlpO  
    Ub"6OT1tl  
    场追迹仿真（电磁场探测器） x/)o'#d$|l  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 _e9S"``  
    !_a@autj  
    dPVl\<L1  
     Xy[*)<  
    场追迹仿真（电磁场探测器） [f8mh88 r  
     3-%F)@n  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 +|iJQF  
    <$:Hf@tpMo  
     @i9eH8lT  
     
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