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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 -z~ V   
    w2C!>fJ]1  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 c:,{ O 0 #  
    c7TWAG_+  
    Tdmo'"m8z_  
     d`q)^  
    建模任务 XL&eJ  
    Fi3(glgd-  
    d&R\7)0  
    概述 hb8@br  
    mX_Uhpw?t  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 =iN_Ug+  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 fz?Wr: I  
    Vx4pP$S  
     Jm1AJ4mw  
    -mYI[AG)  
    光线追迹仿真 XJ1nhE  
    4.kkxQR7r  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 K|J#/  
    •单击go！ nF[eb{GR`  
    •获得了3D光线追迹结果。 5J2p^$s  
    +7vh__  
     cZK?kz_Y  
    S0QU@e  
    光线追迹仿真 T+{'W  
    XxU}|jTO#  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 89e.\EH  
    •单击go！ SD.*G'N&2f  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 l0bT_?LhK  
    $bC!T  
     C5z  
    7a.#F]`  
    场追迹仿真 3eDx@8N }  
    -a^sX%|Bl  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 OZ]3OL,  
    •单击go！ e5\1k#@  
    CvSG!l.6f<  
    #7:9XID /  
     l:C0:m%  
    场追迹仿真（相机探测器） J0)WRn"h  
    a}]@o"  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 lVBy&f  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 J3JRWy@?P  
    ]vyF&`phb  
     x,*t/nzR  
    SmEd'YD!J  
    场追迹仿真（电磁场探测器） WW/m /+  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ?\$/#zak  
    (I 0t*Se  
    F(n))`(  
     5DBd [u3  
    场追迹仿真（电磁场探测器） _4#psxl[M  
     |,~A9  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 t`3T_t Y  
    )8>f  
     [5:7 WqB  
     
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