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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 07-24
    摘要 t;6<k7h  
    gac31,gH  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 `G1"&q,i  
    -d A9x~o  
    L6PgWc;m  
     yuBRYy#E|%  
    建模任务 5\C(2naf  
    &)tiO>B^6  
    pxgf%P<7  
    概述 Ye&/O<G'V  
     x _>1x#  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 rHB>jN@$  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 py:L-5  
    h~\k;ca  
     4X]/8%]V  
    iL);bv W  
    光线追迹仿真 [mu8V+8@d4  
    JCn HEH  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。  Y4 z  
    •单击go！ P|@[D=y  
    •获得了3D光线追迹结果。 +_J@8k  
    pI-Qq%Nwt  
     -Yse^(^"s  
    )VkVZf | S  
    光线追迹仿真 ocWl]h].  
    7FcZxu\  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 X-(( [A  
    •单击go！ aOGoJCt C  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ~6kF`}5  
    >~Zj  
     jyW={%&  
    Nuot[1kS  
    场追迹仿真 I F6$@Q  
    _ikKOU^8  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 /B?wn=][  
    •单击go！ G{fPQ=  
    &,%n  
    Nm z5:Rq  
     t;VMtIW+E  
    场追迹仿真（相机探测器） fVgK6?<8^  
    ME]4tu  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ; X+tCkzF  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 qfl!>  
    ,Ohhl`q(  
     Lm=EN%*#9  
    yg'CL/P  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ^UKY1Q .  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 7QTS@o-  
    ,= ApnNUgX  
    ##Pzc~xSn  
     P_0X+Tz  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ffL]_E  
     &%j`WF4p  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 U.SC,;N^  
    rBmW%Gv  
     0Sd>*nC  
     
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