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摘要 hUm'8)OJ WK SPBT; 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 VM0j`bs'K*
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bBY^+c< 建模任务 san,|yrMn cm[c ze+*  ?MQ.% J 概述 }mZwd_cK aj}(E + •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 xz:J •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 | `;54_f l{D'uI[&
 r:]1 O* 1nu^F,M 光线追迹仿真 5 QO34t2 \Vl`YYjZ •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 1LJUr"6] •单击go！ 1 1cWy+8D •获得了3D光线追迹结果。 ;.bm6(; ,()0' h}n
 _.-;5M- n!qV> k9Y 光线追迹仿真 r$wxk 4%Rz qL94SW; •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 IVW1]y •单击go！ ~0b O} •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 5MSB dO } E_#k]#*
 \);4F=h}f x=#VX\5k: 场追迹仿真 A7c/N=Cp^ XQ*eP?OS{ •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 #A8@CA^d •单击go！ C
XHy .&Vt CX m+)a-L  p c?>cs8
<?D\+khlq 场追迹仿真（相机探测器） [ib P%x b %4W$Lq} •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 CwX Z •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 OnWx #84 aC< KN:TN6
 *~/OOH$" z(\4 M==2O 场追迹仿真（电磁场探测器） Q# IG; •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 WF\)fc#;_o ?i`l[+G  _ Ob@ `
&[hLzlrg 场追迹仿真（电磁场探测器） e]Zngt? b
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&GRPu27 •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 +,2Jzl'-
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