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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要  &9*MO  
    oP0ZJK&;  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 s/=.a2\  
    ?t{ 2y1  
    hV6=-QL*B  
     |n_es)A  
    建模任务 "VfV;)]|w  
    4qc 0QA%  
    3|FZ!8D  
    概述 k.d Q;v}  
    |##rs  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 HcKZmL. wp  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 C6neZng  
    i H^Gv*  
     +#/`4EnI  
     XM" {"  
    光线追迹仿真  K#LG7faj  
    #P''+$5,  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 ~1`ZPLVG  
    •单击go！ , 7kS#`P  
    •获得了3D光线追迹结果。 D]h~ \  
    YV 5kzq  
     Wxxnc#;lv  
    8UANB]@Y}  
    光线追迹仿真 5jYZ+OB  
    <X{hW^??)  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 2\: z   
    •单击go！ *YI>Q@F9  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 3X,SCG  
    OGjeE4  
     <f'2dT@6  
    Y8fahQ#  
    场追迹仿真 '[6o(~ *  
    h{sY5d'D  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 tl:+wp7P`  
    •单击go！ ` iiZ  
    LT5rLdn  
    #O |Z\|n  
     A>c/q&WUk  
    场追迹仿真（相机探测器） N]k(8K  
    #78P_{#!  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 9b0M'x'W5  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 kr_!AW<.tz  
    ;goR0PN  
     !Hk$  t  
    #xopJaY  
    场追迹仿真（电磁场探测器） V@(7K0  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 #] @<YKoV{  
    l^F%fIRp)  
    @"`{gdB$  
     LQnkpy3A  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 2|1s!Q  
     R`RLq1WA  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 kUdl2["MZ  
    v GF<  
     ~[CtsCiQ  
     
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