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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 o4[  
    M0B6v} ^H  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ]-rhc.Gk@1  
    A^%li^qz  
    ,m HQ  
     nfldj33*  
    建模任务 >~%EB?8  
    rfz\DvV d  
    1"hd5a  
    概述 7])cu>/  
    RaT_5PH~g  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 9 rMP"td  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 `U.VfQR:  
    Z$X[x7e.  
     "mk4O4dF  
    \ZOH3`vq  
    光线追迹仿真 bV3az/U  
    G1!yPQa7d  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 *GGiSt  
    •单击go！ 8Qo~zO  
    •获得了3D光线追迹结果。 C.#\ Pz0  
    Li?_P5+a  
     .{=|N8*py8  
    CyWMr/'  
    光线追迹仿真 |_} LMkU)  
    l>kREfHq!{  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 6m\MYay  
    •单击go！ 6-+q3#e  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 <mk'n6B  
    AB:JXMyK  
     O^2@9 w  
    #Bih=A #  
    场追迹仿真 5gg Yg $  
    fqY; > Z  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 J^Mq4&  
    •单击go！ ! D \u2h  
    MB"TwtW  
    IQm[ ,Fh  
     Il8,g+W]  
    场追迹仿真（相机探测器） ^W*T~V*8  
    =.Hq]l6+  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 -aV!ZODt  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 4[.DQ#r  
    CI}zu;4|  
     Pw :{  
    f)b+>!  
    场追迹仿真（电磁场探测器） -,Oq=w*EV  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 2BGS$$pP  
    &hSABtr}  
    p!_3j^"{  
     Ocp`6Fj  
    场追迹仿真（电磁场探测器） C-:lM1  
     q; n  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 RP9jZRDbZ  
    ) u(Gf*t  
     %Ums'<xJ  
     
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