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摘要 "kLu]M< &8l"Dl 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Mw0Kg9M
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 WBo|0(#
Ez3>}E, 建模任务 7O_@b$Q rmX'Ym9#  6#,VnS)`q 概述 n9Mi?#xIp X1 A ~#w> •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 (<= &#e? •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 sH//*y l!U_ 7)s/
 $VWe o#b SJYy,F],V" 光线追迹仿真 o\_@4hXf [ k"@n+% •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 8Z=d+}Gg< •单击go！ $6W o$c% •获得了3D光线追迹结果。 E]^wsS>= g4NxNjM;
 oKl^Ttr xQ4'$rL1d 光线追迹仿真 &f}a` /{@ *W'F 6Hpu •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 =hs
!t|(* •单击go！ _\H MF •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 z9@Tg= #i \DP*?D_}?
 5t` :=@u &3
QdQ n, 场追迹仿真 *Q?ZJS ~ h0YIPB •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 n:hHm, •单击go！ 8PWx>}XPt 6g/ <FM  NVEjUt/
? o@5PL 场追迹仿真（相机探测器） ub C(%Y_k 2OXcP!\Y •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ZI' MfkEZ* •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 fS08q9,S / -ZTe#@J
 gW{<:6}!* EXlmIY4 场追迹仿真（电磁场探测器） }b9"& io •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 UL81x72O m5O;aj* i  e:SBX/\j
KeU|E<|! 场追迹仿真（电磁场探测器） 7
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<ptgFR + •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 <a)B5B> 7Ao9MF-
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