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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 Sj IDzNI5  
    c~}FYO$  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 *_]fe&s=%  
    O-box?  
    ,@I\'os  
     vu&ny&=`  
    建模任务 J% ZM V  
    >U?#'e{qW  
    T!Lv%i*|Y  
    概述 qQ1D}c@  
    eu?P6>urA  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 rv<qze;?|  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 # %'%LY=  
    AS0mM HJk  
     SR`A]EC(V  
    rrq7UJ;  
    光线追迹仿真 !& >LLZ  
    ad52a3deR  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 B9 ,  
    •单击go！ -y[y.#o  
    •获得了3D光线追迹结果。 h 0)oQrY  
    _X@ Q`d  
     ]mjKF\  
    R/ x-$VJ  
    光线追迹仿真 P ?96;  
    2wgcVQ Awa  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 ,dF Y]  
    •单击go！ aC<fzUD;  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 8ZJ6~~h  
    `6LV XDR  
     ldc`Y/:{  
    wo$ F_!3u  
    场追迹仿真 z6h/C {  
    1^[]#N-Bu  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 woN d7`C}7  
    •单击go！ QUF1_Sa  
    zy~*~;6tW  
    Uo[`AzD3  
     VTi; y{  
    场追迹仿真（相机探测器） L:jv%;DM  
    'lgS) m  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 Bma.Uln  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 u N_<G  
    "L9pFz</  
     9Z3Vf[n5\  
    JqEo~]E]  
    场追迹仿真（电磁场探测器） rKl  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 zCu+Oi6  
    'o7V6KG  
    NIC.c3  
     wB<cW>6  
    场追迹仿真（电磁场探测器） P_gai7Xg  
     59?$9}ob  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Yof ]  
    P{,=a]x,mz  
     RVpo,;:  
     
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