切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 光学设计仿真实验指导 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 京东年货节，领红包！更优惠！
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 588阅读
    • 0回复

    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6589
    光币
    27094
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 AtCT  
    d0I s|Gs  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Ex p ?x  
    o1(;"5MM  
    &]n }fq  
     Y%"$v0D  
    建模任务 St%x\[D  
    (?1$  
    iLSUz j`  
    概述 K.}jOm  
    (rBsh6@)  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ~3:hed7:  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 u$%C`v>  
    u$aK19K/  
     iptA#<Yj  
    X.4WVI  
    光线追迹仿真 .2JZ7  
    jD S\  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 9/0H,qZc  
    •单击go！ x/<]/D  
    •获得了3D光线追迹结果。 ]C,j80+pK  
    9abUh3  
     ZSQiQ2\)  
    yg}O9!MJ  
    光线追迹仿真 | 9S8sfw  
    " C0dZ  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 fW2NYQP$:  
    •单击go！ h 8UhrD<:  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 #h=V@Dh  
    U!|)M  
     PxrT@.T$  
    )4uWB2ZRoi  
    场追迹仿真 lF(v<drkB  
    qA7,txQ:  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 aYa`ex  
    •单击go！ #(614-r/  
    GqCBD-@4v.  
    Zt9G[[]  
     K@1gK<,a  
    场追迹仿真（相机探测器） ENhLonM eV  
    =_k  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 -M=BD-_.h  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 akbB=:M,x  
    Fc`IRPW<  
     RM_%u=jC  
    >WLX5i&  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Xf&YcHo  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 N/0aO^"V  
    .c]>*/(+  
    Wd;t(5Xl  
     1<m`38'  
    场追迹仿真（电磁场探测器） s&nat4{B  
     tdRvg7v,N%  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Q |o$^D,  
    ^O7sQ7V"f=  
     OlyW/hd  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表