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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 Bbl)3$`,  
    ' 1P=^  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Sv7>IVC?@  
    {DEzuU  
    FVsu8z u  
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    建模任务 IqhICC1V-  
    'R4>CZ%jV  
    e8d5(e  
    概述 Ad]<e?oN=  
    P Pwxk;  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ><;l:RGK|  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 A*7Io4e!  
    qJ{r!NJJ 8  
     <qbZG}u  
    Kk!6B  
    光线追迹仿真 E8T"{ R80  
    ,+ns {ppn  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 gdoJ4b  
    •单击go！ Y!++C MzU  
    •获得了3D光线追迹结果。 !lQ#sL`  
    H$~M`Y9I~  
     WF ?/GN  
    Lnh':7FQJx  
    光线追迹仿真 xa87xX=a  
    tA`mD>[  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 94T}iY.  
    •单击go！ to99 _2  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 KWFyw>*)  
    Sk8%(JD7  
     \We"?1^  
    gB(9vhj $  
    场追迹仿真 &mh Ln4^  
    0zeUP {MQ  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 uk`T+@K  
    •单击go！ YHs?QsP  
    r_4T tP&UW  
    i Td-n9  
     25xcD1*  
    场追迹仿真（相机探测器） ixOEdQ  
    7d3 'CQQ4  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 n=f`AmF;  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Z:I*y7V-  
    %z(9lAe  
     Px'R`1^  
    $Llta,ULE  
    场追迹仿真（电磁场探测器） OI~}e,[2z  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 C= >B_EO  
    .|T2\M  
    (l Lu?NpIi  
     CXBzX:T?#  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Q 2*/`L}m\  
     @(Z( /P;:  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ;5<P|:^  
    ;!'qtw"CB  
     ?#?e(mpo  
     
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