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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 \OVtvJV]  
    - C q;  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 \6SjJ]o>  
    s/IsrcfM  
    PmE)FthdP(  
     :L NE ?@  
    建模任务 hOAZvrfQ4  
      < v]  
    70c]|5  
    概述 L/tn;0  
    GmWr  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 v{a%TA9-  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 B{j><u xl  
    mfQ#n!{ZH  
     c("|xe  
    (4R(5t  
    光线追迹仿真 fx_#3=bXi  
    32\.-v  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 >J:=)1`  
    •单击go！ 2P"9m  
    •获得了3D光线追迹结果。 g;63$_<  
    @=VxW U  
     o?Hfxp0}  
    ;3cbXc@]  
    光线追迹仿真 DYr#?} 40  
    !lgL=Ys(  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 \tI%[g1M  
    •单击go！ K4!-%d$  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 U8Y%rFh1  
    luf5-XT  
     46A sD  
    R#d~a;j  
    场追迹仿真  l!|c_  
    `uMEK>b  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 X=$Jp.  
    •单击go！ .c"nDCFVR  
    }]vUr}Els  
    6^"QABc  
     2nB99L{6  
    场追迹仿真（相机探测器） {q0+PzgP  
    !uEEuD#  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 SN{+ Pk  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 `$6o*g>:  
    5.~Je6K U  
     V*4Z.3/E5  
    cJ96{+  
    场追迹仿真（电磁场探测器） v03cQw\"WE  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Ap dXsL  
    x4'@U<  
    q9/v\~m  
     ff#7}9_mh  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ]<f)Rf">:`  
     ANhtz1Fl  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 .{1$;K @  
    ]ZY2\'  
     2zBk#c+  
     
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