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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 (i)O@Jve  
    Dk~ JH9#  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 e ~G IUwJ  
    g C@=]Y  
    &>@EfW](  
     q_6 <}2m,U  
    建模任务 !O,`Z`T?  
    9@(V!G  
    Yu9(qRK  
    概述 b<g9L4s  
    _t7aOH  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 %Y].i/".;P  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 :as2fO$?  
    v~O2y>8Z  
     CJLfpvV  
    0bIhP,4&  
    光线追迹仿真 M-f; ,>  
    2)`4(38  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 "CQ:<$|$  
    •单击go！ /vPcg  
    •获得了3D光线追迹结果。 *Q3q(rdrp  
    al Q:'K  
     PwxRu  
    A3e83g~L  
    光线追迹仿真 a/ Z\h{*  
    X04JQLhy"  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 /`B:F5r  
    •单击go！ LT '2446  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 , rc %#eF  
    ON3~!Q)  
     ,dk!hm u  
    .{#J2}+[_}  
    场追迹仿真 &qFy$`"  
    >uDE<MUC  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 /4 -6V d"8  
    •单击go！ |rk4,NG.  
     F| O  
    5F|oNI}$:  
     ~@Eu4ip)F  
    场追迹仿真（相机探测器） ^b`aO$  
    U> 1voc  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 \ssqIRk  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 0W >,RR)  
     HO =\  
     _0e;&2')  
    r5aOQ  
    场追迹仿真（电磁场探测器） z0-`D.D@\  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 CrI:TB>/ "  
    2_Otv2  
    9TbRrS09  
     .~dNzonq  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 7^Q4?(A  
     S6Fn(%T+9  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 pbePxOG  
    2i_k$-  
     S U$U  
     
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