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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 w<LV5w+  
    FFtB#  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 W:VX^8</  
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    建模任务 )">uI\bi  
    Cu! S|Xj.  
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    概述 * ,L e--t  
    U<|*V5   
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 I ]ZksC  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 X=@bzL;eq  
    @$fvhEkrT@  
     uCx6/ n6'  
    kO/YO)g  
    光线追迹仿真 zI= 9  
    Q_6v3no1  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 7Hg;SK6t0  
    •单击go！ OUhlQq\  
    •获得了3D光线追迹结果。 GYrUB59  
    5cj&D74o  
     d(YAH@  
    *X!+wK-+  
    光线追迹仿真 .npD<*  
    ]+5Y\~I  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 G0u H6x?  
    •单击go！ u p zBd]  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 e$`;z%6y  
    e7yn"kd  
     jZk dTiI  
    b63DD(  
    场追迹仿真 Ip0`R+8  
    *JOp)e0b  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 1()pKBHf  
    •单击go！ W[LQ$uj  
    &`}d;r|yn1  
    C:_-F3|]cJ  
     19bqz )  
    场追迹仿真（相机探测器） J;k8 a2$_  
    [5PQrf~Mo  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 a+B3`6  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 YRu/KUT$ 7  
    -n:;/ere7-  
     *-3*51 jW  
    D1V^DbUm_  
    场追迹仿真（电磁场探测器） sWq@E6,I  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 x|*m ok  
    /&em%/  
    U9XOs)^  
     Ny$N5/b!!  
    场追迹仿真（电磁场探测器） +.a->SZ5"  
     ?'si ^N  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 8aY}b($*ZI  
    M1eM^m8U  
     gMPvzBpP  
     
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