切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 光学系统设计：理论、仿真与系统检测 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 543阅读
    • 0回复

    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    在线infotek
    科学家
     
    发帖
    6519
    光币
    26744
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 #vIF]Y  
    N!,@}s  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 aK,G6y  
    kQYX[e7n  
    :#+VH_%N  
     GU_R6Wt+  
    建模任务 N5 g!,3  
    HQ]g{JVld\  
    l2$6ojpo  
    概述 rtOXK4)]I  
    kMUjSa~\  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ? -6oh~W<  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 HogT#BMs  
    kMK-E<g  
     / S]<MS  
    <zrGPwk  
    光线追迹仿真 3C5<MxtK  
    @dw0oRF  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 6VIi nuOW  
    •单击go！ 40mgB4I  
    •获得了3D光线追迹结果。 @'dtlY5;  
    6tj +  
     yw2sK7  
    _},u[+  
    光线追迹仿真 %gmf  
    SxH b76 ;  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 O TSbhI'v  
    •单击go！ H:2#/1Oz>  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 y1z4qSeM  
    ]Z6==+mCP  
     <w<&,xM  
    kbiMqiPG  
    场追迹仿真 jgbE@IA@!'  
    ~:v" TuuK  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 3y<;fdS7  
    •单击go！ "/g/Lc  
    i#=s_v8  
    ?o?~Df&  
     9F@Q  
    场追迹仿真（相机探测器） yMB*/vs  
    L^!E4[ ^4  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 -ich N/U]s  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 C/U^8,6\n  
    >+LFu?y  
     9Eu.Y  
    4At{(fw W  
    场追迹仿真（电磁场探测器） OLg=kF[[  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 #+>8gq^5  
    +a0q?$\  
    / p}^ Tpu  
     rI23e[  
    场追迹仿真（电磁场探测器） PS7ta?V QC  
     W^v3pH-y#  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 L/t'|<m  
    E>NRC\^@  
     #0GvL=}k  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表