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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 mxGvhkj  
    5\EHu8  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 ?ix0n,m  
    nV"[WngN  
    hMhD(X  
     3)42EM'9(  
    建模任务 *.voN[$~  
    _lyP7$[: c  
    Ldt7?Y(V(  
    概述 O&d(FJZ  
     6~$ <  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 POUB{ba  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 YJeZ{Wws  
    gjyg`%  
     pN4!*7M  
    !Me%W3  
    光线追迹仿真 ?vf\_R'M  
    ?R"5 .3  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 br$!}7#=L  
    •单击go！ PX2Ejrwj  
    •获得了3D光线追迹结果。 f_.1)O'83  
    (IJf2  
     q2gc.]K \  
    )@SIFE  
    光线追迹仿真 J8? 6yd-7  
    &\C vrxa  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 t'm]E2/  
    •单击go！ B>a`mFM  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 >`,v?<>+  
    [ .dNX  
     D|9B1>A,m  
    -b)p6>G-C  
    场追迹仿真 ~R!(%j ]  
    *;"^b\f5_  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ']+H P9i$  
    •单击go！ ?:n{GK  
    pklcRrx,a  
    mn0QVkb}lc  
     iP' }eQn]c  
    场追迹仿真（相机探测器） #)cRD#0  
    =bv8W < #  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 aoF>{Z4&B  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 %q ja:'k  
    o#0NIn"GS/  
     o~es> ;  
    ~Ycz(h'(  
    场追迹仿真（电磁场探测器） fjp>FVv3  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 {6/%w,{,  
    IwWo-WN7.  
    /0SPRf}p  
     5bZ`YO  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ' P-K}Y  
     >|z=-hqPK  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 0Vy* 0\{S  
    _DJ0 MR~3  
     Txoc  
     
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