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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 WAwfL?  
    mI7rx`4H  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 F9k I'<Q  
    g<2lPH  
    I(^jOgYU  
     ti{H(;;@  
    建模任务 5mna7 BCEb  
    Ufaqhh  
    3{Ek-{ 9  
    概述 R(2HY Z  
    e7XsyL'|p  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 GP{$v:RG  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 O^X[9vrW  
    V#gF*]q  
     "[Qb'9/Jc  
    .7pGx*WH^Y  
    光线追迹仿真 Sv~YFS :oy  
    (o x4K{  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Jt-X mGULB  
    •单击go！ +}c|O+6g  
    •获得了3D光线追迹结果。 :]B% >*;}  
    r^w\9a_  
     $[M} K  
    (30<oE{  
    光线追迹仿真 >/TB_ykb  
    L.09\1?.n  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 943I:, B  
    •单击go！ F!OOrW]p0  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Y )u_nn'[  
    e9~cBG|  
     9RG\UbX)^|  
    /h?<MI\7V  
    场追迹仿真 F5N>Uqr*oN  
    v!<PDw2'  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 O`wYMng)  
    •单击go！ jIAW-hc]  
    2 ) TG  
    CrnB{Z4L  
     hAV2F #  
    场追迹仿真（相机探测器） 4R& *&GZ#  
    hl AR[]  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 +M44XhT  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 KY4d+~2  
    ? .c?Pu  
     V/aQ*V{  
    !Oeq G  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Ms.PO{wb  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 b%Wd<N2  
    9 '2=  
    (bg}an  
     kRmj"9oA  
    场追迹仿真（电磁场探测器） xK$}QZ)  
     {iA^rv|  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 r#LnDseW  
    wENzlXeOP  
     |'ZN!2u  
     
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