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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 t)1`^W}  
    YjH~8==  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Ec2;?pvd%J  
    flT6y-d  
    .5uqc.i"f  
     >n^780S|  
    建模任务 tzthc*-<  
    @fb"G4o`:  
    @{W"mc+  
    概述 |Ve,Y  
    2vWn(6`  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 axpZ`BUc  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 NBHpM}1xtU  
    v2_` iwE  
     yM~bUmSg  
    7i!VgV  
    光线追迹仿真 J ZkQ/vp(  
    ?U{<g,^  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 9z..LD(  
    •单击go！ e[16 7uU  
    •获得了3D光线追迹结果。 -]+pwZ4g  
    z$WLx  
     {`G d  
    U (#JC(E-#  
    光线追迹仿真 5C&*PJ~WA  
    fbU3-L?  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 uKXNzz  
    •单击go！ 1[T7;i$  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 *= ?|n   
    /-,\$@J5)  
     r0 )ne|&Hp  
    X\/M(byn  
    场追迹仿真 r *]pL<  
    |-G2pu;  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 QeG9CS)E}j  
    •单击go！ Mx$&{.LFJ  
    W"^=RY  
    !Av9 ?Q:  
     marZA'u%B1  
    场追迹仿真（相机探测器） T4HJy|  
    h='F,r5#2  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 (v%24bv  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 BqY_N8l&E  
    B+snHabS6  
     OU"%,&J  
    @J"tM.  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Ff%V1BH[  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 c#sHnpP  
    u;gO+)wqv  
    Z sTtSM\Ac  
     4] uj+J  
    场追迹仿真（电磁场探测器） AoeRoqg&#  
     `}$o<CJ  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Ph1XI&us9  
     D**GC  
     b1Kt SRLV  
     
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