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摘要 Y^ ,G}
&p ( z.\,M 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 n^rzl6dy
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P L*kjrLu7 建模任务 1Gk'f?dw .p\<niu7  AO0aOX8_+D 概述 ;3N>m| ?D= wTVd){q`. •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 .4,l0Nn`W •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 gOn^}%4.I ~`VD}{[,B
 )}T0 SGY CGCSfoS9f 光线追迹仿真 W$u/tRF QCvst* •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 P\.1w>X •单击go！ EN~ha:9 •获得了3D光线追迹结果。 _,E ! < bOdyrynh
 RhumNP <M RQd 5Q. 光线追迹仿真 <@H=XEn \ dZD2e4 •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 2]-xmS>|b •单击go！ _iW-i •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 GZNfx8zsY+ ^+Stvj:N
 H iDL:14 iC Z1ARi 场追迹仿真 1$rrfg F7qQrE5bl •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 %z AN@ •单击go！ /mFa*~dj2 /N\[ C"8  |>AHc_:$$
#kL4Rm; 场追迹仿真（相机探测器） u7ER 9/R< , •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 7%Ii:5Bp •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 YNWAef4 9_\1cSk'
 ttC+`0+H =;@?bTmqD 场追迹仿真（电磁场探测器） RF.8zea{O` •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 7Ys\=W1 b>"=kN/  \H$j[" 3
CGN:=D< 场追迹仿真（电磁场探测器） fW.)!EPO
$Xr9<)?, •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 LzJNQ d' > 6zXr.
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