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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 od@!WjcM[8  
    <}mA>c'k  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 3]\'Q}  
    sj+ )   
    3]NKAPY  
     :3se/4y}  
    建模任务 6QHUBm2  
    Dir# [j  
    lh\`9F:  
    概述 "SKv'*\b  
    17:7w  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ee<'j~{A  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 O|v8.3[cT  
    t|&hXh{  
     ,S}wOjb@  
    # b3 14  
    光线追迹仿真 svC m }`  
    \*fXPJ4  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 }PMlG  
    •单击go！ fTy{`}>  
    •获得了3D光线追迹结果。 8`<3rj  
    3;//o<  
     UOe@R|79q  
    m9'bDyyK  
    光线追迹仿真 3!KyO)8  
    HT_nxe`E  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 I'J-)D`  
    •单击go！ |>JRJ"CFE  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 C]zG@O !  
    vQ5rhRG)E  
     `'rvDaP  
    -ADb5-px  
    场追迹仿真 ! 4 "$O@U4  
    ?;rRR48T9E  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 Mf9x=K9  
    •单击go！ < ?rdhx  
    t4zKI~cO  
    Fp+fZU  
     pW<l9W  
    场追迹仿真（相机探测器） 9KL)5_6 M  
    9*a"^  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 {ZUgyGE{  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 2N&S__  
    gp\o|igT  
     C9%A?'`  
    PmUq~YZ7  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ;3 =RM\  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Z(ToemF)hi  
    ocj^mxh =O  
    Gbb*p+ (  
     1:Raa5  
    场追迹仿真（电磁场探测器） kc[<5^b5  
     .UUT@ w?  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 opReAU'I  
    69Q#UJ  
     zrA =?[  
     
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