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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 #HZ W57"  
    oxL)Jx\c9A  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 3!{Tw6A8(  
    }{)Rnb@ >  
    xxA^A  
     3^5h:OaT  
    建模任务 6-FM<@H{  
    KW$.Yy  
    8:[ l1d86  
    概述 @km4qJZ  
    M4(57b[`  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 Vh>|F}%E  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 LW k/h 1  
    sDAP'&  
     '2 Y8  
    ) ]DqK<-  
    光线追迹仿真 TbLU[(m-n  
    _D$1CaAYo  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 Rh#`AM`)j  
    •单击go！ 9WI5\`*"  
    •获得了3D光线追迹结果。 hu.p;A3p;  
    *,t/IA|  
     p=3t!3  
    R+z'6&/ =I  
    光线追迹仿真 Ve${g`7&  
    Z_fwvcZ?05  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 B):ZX#  
    •单击go！ maeQ'Sv_&  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 $@O?  
    3iUJ!gK  
     %|D) U>o{  
    "?<(-,T  
    场追迹仿真 :W6'G@ p  
    1rs.  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 :aBm,q9i:}  
    •单击go！ WP?]"H  
    -<9Qez)y  
    H4sW%nZ0  
     -v-kFzu  
    场追迹仿真（相机探测器） HEAW](s  
    &n6L;y-  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 <-fvYer  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 'HJ+)[0X*  
    ycSGv4 )  
     !#~KSO}zW2  
    (EvYrm4  
    场追迹仿真（电磁场探测器） *JfGGI_E  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 $gN\%X/n"1  
    M$Bb,s  
     v\CBw"  
     \4^zY'  
    场追迹仿真（电磁场探测器） W -HOl!)  
     _|W&tB *  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 >F:1a\c  
    ,A $IFE  
     k=mLcP  
     
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