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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 5sJi- ^  
    hz#S b~g  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 BG:l Zj'I  
    '@enl]J  
    k^3 ?Z2a  
      .b] 32Ww  
    建模任务 t}m6];  
    ~5Wr |qg%{  
    8B ZTHlUB  
    概述 rl-r8?H}  
    U 7mA~t2E  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 }p-<+sFo  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 |jB]5ciT  
    \2cbZQx  
     !wH7;tU  
    2 mM0\ja  
    光线追迹仿真 9>~UqP9  
    48X;'b,h  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 &t)dE7u5  
    •单击go！ YrAaL"20  
    •获得了3D光线追迹结果。 lK;/97Ze  
    {SH +lX0]{  
     jU')8m[  
    jR~2mf!h*e  
    光线追迹仿真 gM=oH   
    A:Y]<jt  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 oXw}K((|  
    •单击go！ {l&6= z  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 $47cKit|k:  
    fdr.'aMf%  
     ;{b 1'  
    m~s.al(G91  
    场追迹仿真 F@Bh>Vb  
    CD#:*  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ^bpxhf x  
    •单击go！ a<+Qw'  
    aYQ!`mS::M  
    4>]^1J7Wz  
     ;)ff Gg>  
    场追迹仿真（相机探测器） ;u;YfOr  
    |a@$KF$  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 s=`1wkh0  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 gE8=#%1<  
    >o{(f  
     12)~PIaF  
    b~\gV_Z  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ~7PPB|XY  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 yC. ve;lG  
    0Eq.l<  
    ;6aTt2BQ  
     x#yL&+'?Mj  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Alh"G6  
     Ve>*KHDSt  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 u?[P@_i<  
    xQs2 )  
     .E:QZH'M  
     
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