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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 d-`z1'  
     w\y)  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 2:G/Oj h&]  
    11?d,6Jl  
    `y$@zT?j  
     47!k!cHa  
    建模任务 Ru@ { b`  
    SAhk`_  
    e#!p6+#"  
    概述 }///k]_Sh  
    Xxr"Gc[  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 WSbD."p<  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 yq12"Rs  
    (?1/\r  
     9k;%R5(  
    =0mn6b9-=  
    光线追迹仿真 o^W.53yX  
    2]cU:j6G  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 w^MiyX  
    •单击go！ tHV+#3h  
    •获得了3D光线追迹结果。 \.YJs"<3  
    Qv]>L4PO  
     Y_/w}HB  
    P c'\  
    光线追迹仿真 `JcWH_[  
    0t%`jY~%  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 *g"X hk  
    •单击go！ soh9Oedml-  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 cUr5x8<W).  
    BG/RNem  
     %R  P\,|  
    lBLL45%BIN  
    场追迹仿真 up2wkc8  
    UN|S!&C$  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 F#a'N c9  
    •单击go！ + S@[1 N  
    R%"'k<`#  
    )i<Qg.@MX  
     465?,EpS  
    场追迹仿真（相机探测器） X'p%K/-m  
    lJt?0;gn  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 yM*_"z!L  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 * BKIA  
    (Q"~bP{F  
     O@a7MzJ  
    f1|&umJ$  
    场追迹仿真（电磁场探测器） {J-Ojw|Y b  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 |xrnLdng0R  
    iN1_ T  
    ZQAiuea  
     ijmGk:L(  
    场追迹仿真（电磁场探测器） +iw4>0pi  
     yC[Q-P*rG  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 NXOcsdcZu  
    T:g%b @  
     bJ]blnH  
     
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