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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 07-24
    摘要 EH".ki=e  
    O%%Q./oh  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 =8_b&4.:&  
    <*vR_?!  
    bI.hG32  
     SX,$ $43  
    建模任务 @@ j\OR  
    j32*9  
    c{^1`(#?  
    概述 L IKuK#  
    :@(1~Hm  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 <ppdy,j:  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 [l=@b4Og  
    iKq_s5|sW  
     dPO"8HQ  
    i59 }6u_f  
    光线追迹仿真 Az8b_:=  
    OcB&6!1u  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 uV|F 3'jT  
    •单击go！ F]RPM(!5O)  
    •获得了3D光线追迹结果。 1<:5b%^c  
    (YJ2- X~  
     23|JgKuA  
    f0eQq;D$K  
    光线追迹仿真 f (C:J[;Z  
    ; FI'nL  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 9z?c0W5x  
    •单击go！ RZEq@q  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 UhR^Y{W5  
    ;nlJ D#  
     ?121 as}z  
    MoxWnJy}  
    场追迹仿真 _)@G,E33f@  
    >'n[B    
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 -qpvVLR,  
    •单击go！ 2V 8 "jc  
    em7L `,  
    j7d^g a-`  
     : xg J2  
    场追迹仿真（相机探测器） Cw^iA U  
    3N]ushMO  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 S%H"i y  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 $[_5:@T%N  
    "[/W+&z[~  
     NI/'SMj%  
    PL"=>  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Obu 6k[BE.  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 AW;xlY= g  
    %-YWn`yEm  
    7E* 0;sA#  
     ` *hTx|!'  
    场追迹仿真（电磁场探测器） o^5UHFxTCB  
     t<+>E_Xw  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 nzO -\`40  
    ,nog6\  
     |0^IX   
     
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