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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 5Iu5N0cn  
    @xG&K{j  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 xh6(~'$  
    N_t,n^i9>*  
    \BOoY#!a  
     QxT'\7f  
    建模任务 wcHk]mLM  
    %lKw+D  
    GR,2^]<{  
    概述 ~z[`G#dU  
    OY*y<>  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 J?4{#p  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ,5'o>Y  
    Y#U.9>h  
     v|?@k^Ms  
    uLms0r\@!  
    光线追迹仿真 j*=!M# D  
    Wzq W1<*`  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 J%|?[{rO{'  
    •单击go！ G,8mFH  
    •获得了3D光线追迹结果。 dg D-"-O  
    PA2} 4`  
     zI88IM7/  
    wG3L+[,  
    光线追迹仿真 F)P:lvp<r  
    /%$Zm^8c  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 9#E *o~1  
    •单击go！ x/QqG1q  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 2g(_Kdj*{  
    DR"Y(-xl  
     uJ`N'`Z  
    tX*@r  
    场追迹仿真 SH*'<  
    *i#2>=)  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 vE]ge  
    •单击go！ ;H$ Cq' I  
    O{:{P5  
    " <bjS  
     (6%T~|a  
    场追迹仿真（相机探测器） WC_.j^sW  
    pj'gTQ),0  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ,@Csa#  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 o:8ns m  
    8X;?fjl`"  
     hvt]VC]]  
    \Y#  
    场追迹仿真（电磁场探测器） "|\hTRQ  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 .0Ud?v>=  
    _/[qBe  
    ] 0i[=  
     +V=<vT  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ui]iO p  
     vuQA-w7  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 l|g*E.:4  
    <Qq {&,Le  
     /Pjd"  
     
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