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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 -t%{"y  
    q'%[[<  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 sd]54&3A  
    0+K`pS'  
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     b:FEp'ZS  
    建模任务 ;!l*7}5X=  
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    概述 1A%N0#_(Md  
    &547`*  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 |&elZ}8  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 &TP:yA[  
    $PatHY@h  
     4i_spF-3  
    DA+A >5/  
    光线追迹仿真 l~]hGLviJE  
    %uGleY]~  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 9tzoris[~  
    •单击go！ c!\.[2n  
    •获得了3D光线追迹结果。 '[>\N4WD  
    ?(5o@Xq  
     DO7- =74=  
    aUypt(dv  
    光线追迹仿真 xb4Pt`x)rS  
    <Jwi ~I=^  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 IvEMg2f}  
    •单击go！ =7 Jy  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 BW'L.*2  
    H!unIy|  
     gHQPhe#n  
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    场追迹仿真 )ZT6:)  
    'ox0o:  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 u iBl#J Q  
    •单击go！ 4 t&gW  
    SX1X< 9  
    +dqk 6RE  
     Dh hG$  
    场追迹仿真（相机探测器） SQh+5  
    N7e`6d!  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 bH'S.RWp=  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ,9=gVW{  
    6N9 c<JC  
     c:=7lI  
    AI&qU/}  
    场追迹仿真（电磁场探测器） p Tcbq  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 C1h#x'k  
    f=t:[ < )  
    tRLE,(S,-  
     rlR !&  
    场追迹仿真（电磁场探测器） {/-y>sm  
     S4L-/<s[*  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 WHp97S'd  
    Wt>J`  
     TG1P=g5h  
     
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