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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 D HT&,=  
    V-r3-b  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 $aPfGZ<i  
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    建模任务 b-*3 2Y%  
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    概述 9{8GP  
    >ap1"n9k  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 /q$,'^.A  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 U}l14  
    ^3FE\V/=  
     ~ Yngkt  
    D.6,VY H  
    光线追迹仿真 FSb Hn{@  
    Uyr3dN%*r  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 k8uvNLA)a  
    •单击go！ gOK\%&S]  
    •获得了3D光线追迹结果。 ?cEskafb>  
    .*JA!B  
     eBO@7F$  
    D'hW|  
    光线追迹仿真 rzI|?QaPi  
    NAzX". g  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 |s)?cpb  
    •单击go！ a9?y`{%L  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 \S)2  
    ii0Ce}8d~  
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    zn @N'R/  
    场追迹仿真 3u\;j; Td!  
    k%op> &  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 zPKr/  
    •单击go！ ZB[Qs   
    + EM_TTf4  
    UYtuED  
     :g\rQazxO  
    场追迹仿真（相机探测器） oq_6L\ ~  
    |J~eLh[d  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 ^v@4|E$  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ?<yM7O,4  
    ez9k4IO  
     a3 >zoN  
    >u(>aV|A  
    场追迹仿真（电磁场探测器） eb8w~   
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 a%Jx `hx  
    M-uMZQ e  
    DBs*F x[  
     [!VOw@uz  
    场追迹仿真（电磁场探测器） x4#T G  
     Jj^GWZRu  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 9=/N|m8.  
    9Of FM9(:  
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