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摘要 ~OO&%\$k ="hh=x.5J 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 #&a-m,Y$sx
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xrd@GTaI 建模任务 })f 4`$qf +MU|XT_5|6  gI a/sD2m> 概述 $Kw )BnV :I*G tq
•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 qP@d)XRQ •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 6Tjj++b(* h.+{cOA;n
 <J" 7ufHSQ w],+l N; 光线追迹仿真 DdJ>1504 jSNUU.lur •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 =>Ss:SGjT •单击go！ t-7^deG'/n •获得了3D光线追迹结果。 WxwSb`U| %6 r MS}
 Hg$t,\j / ;>U0~K 光线追迹仿真 g$+u;ER5 t:y}
7un •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 H 6 i4>U* •单击go！ V8AF;1c?-' •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Sz4G,c M\\t)=q
 ;{' {*g[ R(_UR)G0 @ 场追迹仿真 pd2Lc
$O@ &-^|n*=g6 •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 }@Rq'VPZd •单击go！ 4JF)w; X} "";[U  .u[h K
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场追迹仿真（相机探测器） 4wfT8CL rw> X JE •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 &+F|v(|r •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 f`Km ctI
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 my+y<C-o` W[B%,Km%] 场追迹仿真（电磁场探测器） fu3~W •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 \GA6;6%Oo `R:p-"'b  d#~^)r
}py6H[ 场追迹仿真（电磁场探测器） ?M2#fD]e
n27df 9L •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 ch2Q k8 8$Igo$U-
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