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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 1t'\!  
    h 42?^mV4?  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 5P x_vtqP  
    (^\i(cfu6Q  
    aH~"hB^e  
     GjBQxn  
    建模任务 |05LHwb>  
    <'33!8 G  
    -XB>&dNl)T  
    概述 dI|/Xm>  
    2[eY q1f!  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 \3/'#  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 "'(4l 2.  
    SYx)!n6U  
     \ 3N#%  
    9 |Y?#oZ1  
    光线追迹仿真 >sq9c/}X  
    [ Ma9  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 hRu%> =7  
    •单击go！ ~gD]JiiA  
    •获得了3D光线追迹结果。 ~Ji A  
    XMdYted  
     X)+N>8o?N  
    P2kZi=0  
    光线追迹仿真 ]gZjV  
    l?~h_8&fT  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 wd *Jq  
    •单击go！ sM K/l @7  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 3ssio-X  
    j? A +qk  
     }{"\"Bn_  
    hAdEq$  
    场追迹仿真 IcZ'KV  
    ~S9nLb:O{  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 >KJ]\`2>)c  
    •单击go！ /e\dsC{uJ  
    N INiX(  
    RWE%? `   
     "7DPsPs  
    场追迹仿真（相机探测器） N>_7Ltw/  
    iy 5  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 c=gUY~Rl  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 F 7=-k/k  
    moGbBkO  
     gE&f}M-  
    "?!IPX2\S  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ~Y(M>u.+!  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 x?kZD~|{)  
    #LZ`kSlv4  
    jn[a23;G)  
     $W2AiE[Wm  
    场追迹仿真（电磁场探测器） g6farLBF  
     @fw U%S[v  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 >cp9{+#f  
    m`|Z1CT  
     #3S/TBy,  
     
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