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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 .8T\Nr\~2  
    I"8d5a}  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 o{{:|%m3Q  
    < -Hs<T|tW  
    hi;WFyJTu  
     E/wQ+rv  
    建模任务 ERp:EZ'  
    (j8GiJ]{L,  
    )3]83:lD2  
    概述 lSn5=^]q  
    ]PR|d\O  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 `"xk,fVYd  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 9nng}em>.  
    z3^RUoGU  
     -@%t"8  
    2UU 2Vm_6  
    光线追迹仿真 /{fZH,!L  
    tv 4s12&  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 a);O3N/*I  
    •单击go！ " t5 +*  
    •获得了3D光线追迹结果。 ]{K5zSK  
    (g%JK3  
     8s QQK.N(  
    D-Bv(/Pz]$  
    光线追迹仿真 -/M9 vS  
    J Z %`%rA  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 }Q`/K;yq  
    •单击go！ 5c<b|  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 t *o7,  
    \# 7@a74  
     nHI(V-E2:H  
    kj x>  
    场追迹仿真 @kwLBAK}@  
    bHO7* E  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 fkW3~b  
    •单击go！ Ezi' 2Sc  
    *GCA6X  
    #t=[w  
     OF-E6bc  
    场追迹仿真（相机探测器） ~@%(RMJm&  
    !IO&&\5  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 .KFA218h*x  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ;rNd701p"  
    p:Iw%eZ:  
      G5!|y#T  
    vAi"$e  
    场追迹仿真（电磁场探测器） {GUb'J  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 Lqg] Fd  
    1pWk9Xuh  
    $ b4*/vMr  
     )qbI{^_g  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ]9fS@SHdx  
     D._{E*vg  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 +<gg  
    -_s%8l^  
     (2: N;  
     
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