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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 =\mJ5v"hA  
    <AK9HPxP  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 [7NO !^  
    4aW[`  
    :, 3S5!(y  
     @( 0O9L F  
    建模任务 64vj6 &L  
    [KCR@__  
    /x4L,UJ= P  
    概述 .gM6m8l9wp  
    R&$fWV;'  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 @}Q!K*  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 c`/=)IO4%  
    oS}fr?  
     9 Q*:II  
    m77 !i>V)  
    光线追迹仿真 Z>l<.T"t'  
    L$rr:^J  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 .&`apQD}  
    •单击go！ "{trK?-8%  
    •获得了3D光线追迹结果。 YQWq*o^:  
    dpX Fx"4A  
     Ypxp4B  
    uy<<m"cA;  
    光线追迹仿真 gI"cZ h3}  
    IVa6?f6H_  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Z[0/x.pp$  
    •单击go！ \;!7IIe#  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 LFr$h`_D5  
    ]h=5d09z  
     _^`V0>Mh:  
    eKo=g|D  
    场追迹仿真 o wI:Qs_/4  
    V-E 77u6{0  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 -F 9 xPw  
    •单击go！ E25w^x2  
    /5Vv5d/Z4!  
    5:#|Op N  
     _%23L|  
    场追迹仿真（相机探测器） W}%"xy]N  
    ~ Nf|,{[(5  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 JT=ax/%Mo  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 Z[B:6\oQ  
    rq Uk_|Xa  
     >3~)2)Q  
    2m} bddS  
    场追迹仿真（电磁场探测器） /k(wb4Hv  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 * dk(<g=fM  
    x34GRe!!  
    Qpj[]c5  
     mlUj%:Gm#  
    场追迹仿真（电磁场探测器） FMhuCl2  
     Q04 `+Vr  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 4%|r$E/TQ  
    MJCz %zK  
     y y[Y=  
     
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