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摘要 Q gZ`~ 5UU1HC;C 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 y53f73Cg
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d=J$H < 建模任务 (^)" qs B g4"0:^ /  ,|u^-J@
概述 [ h;&r" 1 hnf7Q l} •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 md. #n •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ) }. <lSw /j|Rz5@ =
 U.mVz,k3 Eh{]so 光线追迹仿真 #;*0 Pwe` J#OiY
•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 f5p:o }U* •单击go！ `~ , •获得了3D光线追迹结果。 ZM$}Xy\9 _pM~v>~*+
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> 光线追迹仿真 &y~EEh| AR}q<k6E •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 4PsJs<u •单击go！ ]`S3 5b •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 s2'] "wM h_{//W[
 T+9#& .&R j2 d 场追迹仿真 & N^^[
uG _ h7qS •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 %?`TyVt&0 •单击go！ 2S`D7R#6s O5;$cP:  NjL^FqA[
={GYJ. *Ah 场追迹仿真（相机探测器） WOg PhJ 1`;,_>8 •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 vxmz3ht,Q •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 l[)ZEEP DQ a0S7I
 sp V E'"^ Q:/BC= ~ 场追迹仿真（电磁场探测器） 2G4OK7x •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 "N|gU;~W k&kx%skz  HU='Hk!
Ba]J3Yp,z 场追迹仿真（电磁场探测器） q_sQC5:s
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