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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 Fk*C8  
    L55VS:'  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 =(cfo_B@K  
    ZK p9k6  
    |iLf;8_:  
     aSVR +of  
    建模任务 E# UAC2Q  
    %~$coZY^  
    &RL j^A!  
    概述 4;D>s8dgG  
     Bl1^\[#  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 qvN`46c  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 _>=QZ`!r  
    ?Zv>4+Y'  
     )r|Pm-:A{  
    nSR<(-j!  
    光线追迹仿真 p/WE[8U  
    d"U'\ID2y  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 )~LqBh  
    •单击go！ L+N;mI8  
    •获得了3D光线追迹结果。 *\"+/   
    N`xXH  
     ^9`S`Bhp  
    /4wPMAlb  
    光线追迹仿真 d: {#Dk#  
    W'3~vQF  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 $_orxu0W  
    •单击go！ WN6%%*w  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 G'c6%;0)  
    ,he1WjL  
     `Dp_c&9]  
    qtYVX:M@,  
    场追迹仿真 5q95.rw  
    Cj1nll8c  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 s.j6" Q[W  
    •单击go！ ~;D5j) 9I  
    .h=H?Hr(V]  
    & T&>4I!'M  
     C $*#<<G  
    场追迹仿真（相机探测器） ee\xj$,  
    {T'M4y=)i  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 P&.-c _  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 q)QM+4  
    cj@ar^=`K  
     .\}nDT  
    fj:q_P67o  
    场追迹仿真（电磁场探测器） dSPye z  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 W0;MGBfb  
    I6lWB(H!u  
    HBiUp$(mB  
     $-p#4^dg  
    场追迹仿真（电磁场探测器） KbM1b  
     kDWMget$  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 `Ti?hQm/  
    =PAsyj  
     [iGL~RiXtn  
     
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