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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 %Q~Lk]B?t  
    zghm2{:`?g  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 qZ }XjL  
    s30_lddD  
    lukV G2wDL  
     QD~ `UJe>  
    建模任务 5al{[mi  
    A'EA!  
    h`j gF  
    概述 Dw3! ibg  
    M(jH"u&f  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 1hG O*cq!  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 M3kE91  
    x6tY _lzJ  
     9@B+$~:}7  
    A-$BB=Ot  
    光线追迹仿真 2ZeL  
    5?MvO]_  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 k:xV[9ev:  
    •单击go！ +s}28U!  
    •获得了3D光线追迹结果。 B=Os?'2[  
    =x}/q4}L  
     quYZD6IH  
    Yw<:I&  
    光线追迹仿真 oJ+$&P(  
    )^+$5OR\c  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Fu/CX4R_|  
    •单击go！ { Se93o  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 ffVYlNQ7L  
    Dn?L   
     8ic_|hfY  
    oH0\6:S  
    场追迹仿真 bJD"&h5  
    =Yk$Q\c  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ez>@'yhK  
    •单击go！ [PT_y3'%  
    O.dNhd$  
    yw0uF  
     aRmS{X3  
    场追迹仿真（相机探测器） =l+p nG  
    @C2<AmY9q*  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 W>y_q  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 $7,dKC &  
    b4wJnmC8  
     iC]}M  
    TxWj gW~  
    场追迹仿真（电磁场探测器） n'H\*9t  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 |7-tUHMo[  
    s7?kU3 y=s  
    k*Kq:$9"  
     :EjIV]e  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ,3j*D+  
     mx yT==E  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 i=4bY[y  
    }!LYV  
     U#}.r<  
     
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