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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 x zmg'Br  
    z zL@3/<j  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 G3]TbU!!T  
    O#}T.5t  
    (+}H ih  
     dc UaZfON  
    建模任务 _r+2o-ZR  
    \C;cs&\Q  
    K#q1/2  
    概述 <PL94  
    &r s+x<  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 urmx})=  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 jyRSe^x  
    dLl/V3C6t  
     `tKrTq>  
    RWM9cV5  
    光线追迹仿真 0OLE/T<Xv  
    KhK:%1po  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 yT<6b)&*&  
    •单击go！ guJS;VC6U  
    •获得了3D光线追迹结果。  =`fJ  
    S*,DX~vig  
     \x D.rBbt  
    vAZc.=+ >  
    光线追迹仿真 =\mAvVe  
    .OI&Zm-  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 1fwjW0t  
    •单击go！ G3O`r8oZcJ  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Y'tPD#|r  
    1FC'DH!  
     Cx(|ZD^  
    82ay("ZY  
    场追迹仿真 ( )K,~  
    67Z@Hg  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ;"/[gFD5u  
    •单击go！ 7,0^|P  
    &&Ruy(&]I  
    tQz=_;jy  
     3ZRi@=kWz  
    场追迹仿真（相机探测器） dq d:V$o  
    8w-2Q  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 1.p2{  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ]o}g~Xn  
    :&*Y Io  
     yV`H_iC  
    ^5j+O.zgN  
    场追迹仿真（电磁场探测器） -E, d)O`;$  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 PvW {g5)S  
    ^e*Tg&  
    MR$R#  
     ko-|hBNv  
    场追迹仿真（电磁场探测器） FKhmg&+>  
     7K"{}:  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 @~t^zI1  
    VRe7Q0  
     (9gL  
     
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