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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要  f;a6ux#  
    cKAl 0_[f"  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 &Y$rVBgQ  
     1qF.0  
    b L~<~gA  
     Kfl+8UR5=  
    建模任务 _Qas+8NW  
    MvFXVCT#  
    D%v yO_k  
    概述 =c'LG   
    /2 N%Z  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 zFIKB9NUn  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 2$=HDwv  
    H++rwVwj#h  
     50A_+f.7%  
    B%/Pn 2  
    光线追迹仿真 I%`2RXBt3^  
    i`;I"oY4  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 lvlH5Fc  
    •单击go！ -d]z_ SP@  
    •获得了3D光线追迹结果。 lLv0lf  
    DS fKUx&  
     arJ[.f9s  
    8:bNFgJD  
    光线追迹仿真 P.0-(  
    0a5P@;"a  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 D~}4N1  
    •单击go！ x4K5  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 b;{C1aa>}  
    "yumc5kt  
     &knnWm"  
    2_Qzc&"[ 4  
    场追迹仿真 03PVbDq-  
    B$G8,3,:  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 U Lq%,ca  
    •单击go！ IP3-lru  
    iu .{L(m  
    Jz6PqU|=  
     foeVjL:T  
    场追迹仿真（相机探测器） @?U5t1O<  
    T>?~eYHXs  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 zV]0S o  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 ,\M'jV"S K  
     T-\,r  
     q% "nk  
    VF-d^AGt  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ?cJ$=  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 lc#H%Qlg  
    )UeG2dXx7  
    _ :z~P<%s  
     ,#A,+!4  
    场追迹仿真（电磁场探测器） vlD]!]V:h  
     z}%to0W  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 UpITx]y?"m  
    ,-Na'n  
     I4hr5M3  
     
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