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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 H#i,Ve '  
    C$p012D1  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 z3Yi$*q <  
    $PG(>1e  
    )DmydyQ'  
     5o0n4W  
    建模任务 ?q7MbQw  
    qfG:v Tm  
     v%$l(  
    概述 g$ HL::  
    -:95ypi  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 vf zC2  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 ^vxx]Hji  
    (/2rj[F&  
     wo+`WnDh  
    oi]XSh[_s  
    光线追迹仿真 Ell14Iki  
    w[F})u]E  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 >|, <9z`D  
    •单击go！ zJP jsD]  
    •获得了3D光线追迹结果。 l9C `:g  
    TE;f*!  
     3b\s;!  
    i9Beap/t$  
    光线追迹仿真 ysZ(*K n(?  
    YzQ(\._s  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 =dH=3iCG  
    •单击go！ %19~9Tw  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Zo-,TKgY'  
    vmEn$`&2t  
     .rG~\Ws  
    4i.&geX A.  
    场追迹仿真 oQrfrA&=M  
    }cI-]|)|2  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 O'B3sy  
    •单击go！ xOPQ~J|z  
    utRO?]%d !  
    C$ K?4$  
     xv Xci W  
    场追迹仿真（相机探测器） 7FkiT  
    ZQym8iV/  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 =$+0p3[r  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 eaNfCXHDN  
    ygV_"=+|N  
     :CezkD&  
    K|\0jd)N  
    场追迹仿真（电磁场探测器） </ "Wh4>C  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 X^dasU{*  
    O-ENFA~E;v  
    5D=U.UdR  
     k"%JyO8Y  
    场追迹仿真（电磁场探测器） GIkeZV{4}  
     j@#RfVx  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 fQ"Vx!  
    Mv/ SU">F  
     -dF (_ %C  
     
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