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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 q],/%W  
    15ImwQ  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 @] 3`S  
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    建模任务 Y|L]#  
    lFD/hz7lc  
    [-2Tj)P C  
    概述 =|qYaXjT$  
    [Y8ot-6  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 H;Gd  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 hEAP,)>F  
    Xagz(tm/  
     Rip[  
    ,S-zY\XB  
    光线追迹仿真 NLZUAtx(  
    L87=*_!B;  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 7-c3^5gn{  
    •单击go！ g>H\"cUv  
    •获得了3D光线追迹结果。 rQ&F Gb  
    0b+End#mp  
      &W? hCr  
    '/@i} digf  
    光线追迹仿真 4H hQzVM{  
    6mC% zXR5  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 C[nacAi  
    •单击go！ ?Bsc;:KF  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 aKw7m= {  
    `:5W1D(  
     AUPTtc`#Y  
    E\XD~  
    场追迹仿真 o & kgRv[  
    g BV66L  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 }bYk#6KX  
    •单击go！ )Qc>NF0  
    ef]60OtP  
    9P#<T7  
     @mu=7_$U  
    场追迹仿真（相机探测器） ,{sCI/  
    tkf^sGgNO  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 dPyZzMes=  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 hlBqcOpkKg  
    Fo GSCg%  
     6" |+\  
    z[De?8=)  
    场追迹仿真（电磁场探测器） Schvwlm~i  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 A IsXu"  
    CO"Nv  
    UYsyVY`Fm|  
     !KmSLr7xU  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 3<ry/{#%  
     Rx.dM_S  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 O"f|gc)GLz  
    gIcm`5+T  
     Ugv"A;l  
     
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