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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 M-}j9,oR`  
    u-8X$aJ  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 bnA T,v{  
    ?"5~Wwp.T  
    W?SP .-I  
     =# k<Kw#  
    建模任务 i5ajM,i/K  
    o+]Y=r2  
    Gr`MGQ,  
    概述 ^#<: <X6  
    bE VO<x+  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 j;1~=j])  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 N*_/@qM> a  
    +a7EsR  
     B"pFJ"XR  
    4iYgs-,  
    光线追迹仿真 3bT6W, J4T  
    m1~qaD<DZ$  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 j|^-1X  
    •单击go！ O;"*_Xq(`  
    •获得了3D光线追迹结果。 5`1(}  
    x.0k%H  
     d,GtH)(s  
    zhVa.r A  
    光线追迹仿真 FYx `o\  
    hqhu^.}]  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 PfwI@%2  
    •单击go！ M<SbVP|V "  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 iBGSBSeL&  
    >z fq*_  
     0%GqCg  
    vF*^xhh  
    场追迹仿真 xA[Wb'  
    kT Z?+hx  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 IGh !d?D  
    •单击go！ mkj;PYa  
    * zw R=  
    I =tyQ`  
     % K9; qJ5  
    场追迹仿真（相机探测器） 73^ T*  
    m>Yo 9/XpZ  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 zkT`] @`J  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 gL[1wM%?  
    LK   
     d'Ik@D]I  
    v -|P_O&z  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 'XZI{q2i  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 S:2u3th7  
    A4 A6F<  
    0gwm gc/#  
     CN8@c!mB  
    场追迹仿真（电磁场探测器） *MnG-\{j  
     ]RJb;  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 (T%F!2i([U  
    +qh< Fj>  
     ]]h:#A2  
     
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