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    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 L#h:*U{@40  
    HRa@  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 l95<QI  
    6gO9 MQY  
    ^(x^6d  
     Y;J*4k]  
    建模任务 XR+3j/zEQ  
    ww d'0P`/  
    SpTdj^]4>  
    概述 L):U"M>]=  
    pb;")Q'  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ZFh+x@  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 (X[2TT3j!  
    $A\m>*@  
     8%{q%+  
    < a rZbM  
    光线追迹仿真 QGnxQ{ko  
    "kW!{n  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 -f(/B9}  
    •单击go！ wOgE|n  
    •获得了3D光线追迹结果。 %kI} [6J_  
    oUDVy_k  
     @)YY\l#  
    ^+70<#Xc  
    光线追迹仿真 (il0M=M  
    !%L,* '  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 M++0zhS  
    •单击go！ 7()?C}Ni-  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 j#A%q"]8  
    m7]hJ,0  
     @ CsV]97`  
    &M&{yc*%  
    场追迹仿真 !4#"!Md4o  
    `\$8`Zb;  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 `|e!Kq?#Q  
    •单击go！ H:&?ha,9  
    UV7%4xM5v  
    dXvt6kF  
     P!g-X%ngo  
    场追迹仿真（相机探测器） Qu*1g(el!o  
    K\! #4>yd  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 }6zbT-i  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 h,t|V}Wb  
    $ACx*e%  
     ^J=hrYGA  
    t={0(  
    场追迹仿真（电磁场探测器） U\<-mXv  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 {[G`Z9]z&-  
    lPq\=V  
    SOh-,c\C  
     ?s%v0cF  
    场追迹仿真（电磁场探测器） `H%G3M0a  
     &k>aP0k"  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 eBr4O i  
    6 DF  
     m9$:9yRm  
     
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