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摘要 TnrMR1Zx )/Vr 5b@ 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 f.{0P -Np
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4C$,X!kzF 建模任务 w>e OERZa 0 #ph1a<  i.]}ooI 概述 k dqH36&< \]D;HR`vo •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 aVlH Y E •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 >; Bhl|r~z Ptg73Gm&R
 .T7ciD *w;f\zW 光线追迹仿真 K{c^.&6D oj/ti m •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 #KwFr lZ •单击go！ kF5}S8B •获得了3D光线追迹结果。 2+' &||h
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"*O j +RM3EvglDQ 光线追迹仿真 X* sF-T$. qy !G& •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 T'X Rl@ •单击go！ )\e_I\- •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 &&JMw6
&[` =F`h2 A;a
 1_' ZbZv4h 5segzaI 场追迹仿真 REw3 >/= 0Ec -/
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 N O&OuiN •单击go！ t :_7 O7 Zqao4  E,;nx^`!l
*6 h.#$\ 场追迹仿真（相机探测器） %l,Xt"nS# \ l:n •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 _CgD7 d •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 &I70veNY @U&|38
 b x@CzXre; i55']7+0 场追迹仿真（电磁场探测器） {k C]x2 U •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 &,\S<B2. H dGy$m`  \+,jM6l}-
NzEuiI} 场追迹仿真（电磁场探测器） Nb$ )YMbA
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