切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 350阅读
    • 0回复

    [技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    5786
    光币
    23082
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-24
    摘要 %9T~8L @.  
    d $fvg8^  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 3cOY0Z#T  
    6[*;M  
    0{?: FQ#  
     Cs:+93w  
    建模任务 "H>r-cyh  
    <rX \LwR  
    ]6{(Hjt  
    概述 =`qRu  
    [x!i* rW3  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 P>*Fj4 Z~  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 qr)v'aC3  
    %n05 Jitl  
     =U4f}W;  
    e9CP802#2  
    光线追迹仿真 .P)s4rQ\  
    @[MO,J&h  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 nnt8 sf@\  
    •单击go！ `d7gm;ykp  
    •获得了3D光线追迹结果。 N;-/wip  
    j)jCu ;`  
     |7 &|>  
    }#yU'#|d  
    光线追迹仿真 |',M_ e]  
    K;oV"KRK  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 H LjvKE=W  
    •单击go！ /8xH$n&xoC  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 w&p~0cA~  
    JY{X,?s  
     [IiwNqZ[~  
    \un sh^M  
    场追迹仿真 VmN}FMGN  
    Hm>-LOCcl  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 P}HC(S1  
    •单击go！ m</]D WJ  
    ,H>W:O  
    \UQ9MX _  
     N 0+hejz  
    场追迹仿真（相机探测器） oJ^C]E  
    r"R(}`<,  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 \B_i$<Sz  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 wGg0 hL  
    xEjx]w/&  
     }N?g|  
    -*?p F_*w  
    场追迹仿真（电磁场探测器） n_v02vFAHT  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 .>}BNy  
    jDR')ascn  
    rfYP*QQY  
     G'u|Q mb1  
    场追迹仿真（电磁场探测器） k@S)j<  
     8qn 9|  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 j(j#0dXLh  
    C>^,*7dS  
     0; 7#ji  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表