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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    $M j\ 3  
    RJUIB  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 ' tHa5`  
    gq;>DY]   
    TpwN2 =  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 ";7xE#jRk  
    g~b$WV%  
    u}%6=V  
    激光雷达的基本原理如下图: L&y"oAp<  
    rQ_]%ies8  
    2.1设计要求
    \gkhSL q  
    6D[]Jf,9  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: <5mv8'{L  
     BdiV  
    lz ::6}  
    ^a`3)WBv8  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um _9t1 aP5  
    波长905+-5nm Cc*R3vHM6  
    焦距15mm 3^nH>f-Y  
    视场角 2w  =76 dCS f$5  
    FN  =1.4 rjiHP;-t1  
    后焦26mm gC7Po  
    总长77mm P$0c{B4I  
    相对照度全视场>0.7且均匀 ;x 2o|#`b  
    畸变<8% YvcV801Go  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    $i6z)]rjg  
    A6 .wXv,  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 z6l'v~\  
    +-(,'slov  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 b=1E87i@W  
    zRD-[Z/-  
    p/RT*?<   
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: ZZZ9C#hK^9  
    Q!qD3<?5  
    !`RMXUV  
    基本参数 @!'}=?`  
    %7}j|eS)G  
    PZJ9f8 V  
    初始结构的像质 '7PaJj=Nx  
    PU,$YPrZ  
    畸变 _K!.TM+9  
    T}=^D=  
    <$zhNu~  
    MTF !OY}`a(z  
    W[*xr{0V  
    Y1I)w^}:  
    相对照度表格和图像 <=&$+3r  
    =#[oi3k  
    hL6;n*S=  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 Y 0Fq -H  
    Vc;[0iB  
    :o{,F7(P  
    固定光阑 isd-b]@:Lc  
    abT,"a\h  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 [SC6{ |  
    wB[f%mHs  
    -qDqJ62mC  
    添加真实材料 OVDuF&0  
    irD5;xk([  
    ]q{_i   
    1J/'R37lP  
    e }?.3,?  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: I2}eFz&FE  
    ;z.niX.fx  
     *0^~@U  
    'WE"$1  
    最终结果像质 :R=6Ku>  
    0jlM~H  
    畸变<8%,满足条件 X1`3KqK<9  
    4k@n5JNa  
    \8QOZjy  
    k%cE8c}R;A  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 dGBjV #bNT  
    ,7Hyrx`  
    mLZ1u\ 7W  
    h Fv{?v  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 }rfikm  
    b|Emu!9U  
    Uc {m##!  
    总结 Vn sV&cx  
    Fb]+h)on  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 rN} 8~j  
    d7vPZ_j^z  
     
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