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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    Dzo{PstM%  
    "<qEXX  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 AU/#b(mI  
    ;{Xy`{Cg!  
    `Uv)Sf{  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 Og=[4?Kpk  
    ~xw5\Y^  
    ]\7lbLv  
    激光雷达的基本原理如下图: 'm[6v}  
    Np$z%ewK.  
    2.1设计要求
    !z?0 :Jg  
    uWh|C9Y!A  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: z9 O~W5-U  
    F,Q?s9s  
    h!v/s=8c  
    vmvFBzLR  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um 3&$Nd  
    波长905+-5nm \9'!"-i  
    焦距15mm -xz|ayn  
    视场角 2w  =76 sllzno2bU  
    FN  =1.4 h20Hg|   
    后焦26mm IJ0#iA. T  
    总长77mm wDMjk2 YN  
    相对照度全视场>0.7且均匀 A?DB#-z.r  
    畸变<8% |gW    
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    BY$[g13  
    5Q|sta!  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 p!}ZdX[u  
    G)8ChnJa!m  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 +>4^mE" \  
    R5~gH6K|  
    Z2#`}GI_m  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: ~H u"yAR  
    [A]Ca$':  
    gJh}CrU-  
    基本参数 +TF8WZZF.d  
    gM#jA8gz  
    mL$f[  
    初始结构的像质 ;gUXvx~~r  
     &+G; R  
    畸变 +bUW!$G  
    ab@=cL~^  
    mB`D}g$  
    MTF 5}XvL'  
    };r|}v !~_  
    @(>XOj?+  
    相对照度表格和图像 &wjB{%  
    E M Q4yK  
    v,jhE9_O0  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 2d8=h6  
    B)6#Lp3  
    (ND%}  
    固定光阑 yUe+":7k.  
    UOt8Q0)}  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 # $~ oe"  
    k;Hnu  
    Xpl?g=B&u  
    添加真实材料 ,Kw5Ro`I:  
    :6D0j  
    8teJ*sz  
    2m"_z  
    kiX%3(  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: +c) TDH  
    $;`I,k$0>~  
    mxp Y&Y  
    '$[Di'*;  
    最终结果像质 jct./arK  
    1 i3k  
    畸变<8%,满足条件 q@ZlJ3%l,  
    LuS+_|]x  
    oH X$k{6  
    ,E}$[mHyjz  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 ,Sg33N ?  
    6/1$< !WH  
    74f9|~%  
    ~5 >[`)  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 sS9%3i/>  
    6I>^Pf'ND  
    S4bBafj[I  
    总结 z"UPyW1?  
    B+"g2Y  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 P1V1as  
    " U8S81'  
     
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