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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    u!F3Rh8D  
    =]D##R  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 Fa;CWyt  
    ;DRJL   
    ^x4gUT-Wy  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 M+ H$Jjcs  
    h[ t OY  
    kQj8;LU  
    激光雷达的基本原理如下图:  Im#3sn  
    f+)F-3  
    2.1设计要求
    4u /?..L.  
    =7$YBCuF  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: jx-W$@  
    _)p%  
    {Xl 5F.q  
    OnD+/I  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um Kyv$yf 9  
    波长905+-5nm x*_c'\F|  
    焦距15mm zJ#q*2A(Z  
    视场角 2w  =76 j| 257D  
    FN  =1.4 ] qrO"X=  
    后焦26mm =LuA [g  
    总长77mm ;Yi ;2ttW  
    相对照度全视场>0.7且均匀 xOS4J+'s@  
    畸变<8% Ex~OT  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    "F0,S~tZZ  
    YH E7`\l  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 ql],Wplg  
    ~DCw [y  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 [t0gXdU 6  
    %]NbTTL  
    O-G4^V8  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: ]0\8g=KK  
    R|Ykez!D  
    '!Q[+@$  
    基本参数 ==c\* o  
    Rh: \/31~  
    c1Dhx,]ad  
    初始结构的像质 Z>o20uA  
    UP#]n 69y  
    畸变 n|{x\@VeF  
    g{dyDN$5|w  
    In]h+tG?rN  
    MTF uI+h9j$vS  
    B<+}_3.  
    {GZHD^Ce  
    相对照度表格和图像 J#bEAK^L,l  
    HSyohP87  
    Y]ZOvA5W  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 '|Cs!Zl  
    %1xo|6hm-  
    F!N;4J5u  
    固定光阑 MB:E/  
    , Lhgv1  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 N!$y`nwiw'  
    6 70g|&v.  
    YW}1Mf=_  
    添加真实材料 %  &{>oEQ  
    WCU[]A  
    C S+6!F]  
    ,HR~oT^  
    Gv3a<Knn4  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: .}2^YOmd  
    ~M+|g4W%  
    =|=9\3po  
    ?GX 5Pvg  
    最终结果像质 6?z&G6  
    i3N _wv{  
    畸变<8%,满足条件 .#Z}}W#  
    F5:4 B]ZF  
    ZA+$ZU^  
    %0. o(U  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 IZniRd;  
    _q M'm^z5  
    eRv3qK{`  
    $0NWX  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 ]MRE^Je\h  
    >\[sNCkf  
    w=y!|F  
    总结 5c`DkWne%  
    ,NPU0IDG>  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 1KAA(W;nq  
    T&6{|IfM_  
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