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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    ,2,5Odrz  
    URw5U1  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 J@]k%h  
    *aRX \ TnN  
    ,S!w'0k|n  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 fu]N""~  
    F8=nhn  
    _|zBUrN  
    激光雷达的基本原理如下图: .=<$S#x^Hb  
    @cv{rr  
    2.1设计要求
    h{_*oBa  
    F,T~\gO5,  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: Cq\I''~8  
    !p[`IWZ  
    >|*yh~  
    W^3;F1  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um 50n}my'2h  
    波长905+-5nm 33a uho  
    焦距15mm *e/K:k  
    视场角 2w  =76 &y\sL"YL!  
    FN  =1.4 s| -FH X  
    后焦26mm 9 wh2f7k  
    总长77mm 4c159wsnQ  
    相对照度全视场>0.7且均匀 8)wt$b  
    畸变<8% vAi$ [p*im  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    P8I*dvu _  
    >/^#Drwb!i  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 \40 YGFO  
    c/aup  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 0rE(p2  
    %*W<vu>H  
    <Q5Le dN  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: J4aB Pq`  
    ;>"nn VW  
    W?XizTW  
    基本参数 [j9E pi(  
    jH *)%n5,\  
    k6**u  
    初始结构的像质 ^b-18 ~s  
    jbmTmh1q  
    畸变 A6"Hk0Hf  
    I021p5h|  
    Q-eCHr)  
    MTF !; v~^#M]~  
    RBGX_v?  
    HY}j!X  
    相对照度表格和图像 L,]=vba'$  
    R,_d1^|*w  
    rg QEUDEQ  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 hOk00az  
    p>*i$  
    *}! MOqP  
    固定光阑 eon!CE0  
    *"{& FEV  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 KfY$ka[}"S  
    -J0WUN$2*  
    N{C;~'M2ce  
    添加真实材料 KMK`F{  
    U 4,2br>  
    A74920X`W  
    d"Q |I  
    Bl;KOR  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: g:#d l\k  
    @QEqB_W  
    W WG /k17  
    T-" I9kM  
    最终结果像质 pchBvly+0  
    1|Q vN1?  
    畸变<8%,满足条件 !|G(Yg7C  
    +cB&Mi5  
    O m'(mr  
    %y`7);.q  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 cu7(.  
    %{5n1w  
    mY&ud>,U:  
    M8;lLcgu.  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 F # YPOH  
    )Hw:E71h2  
    6[dur'x  
    总结 GG6% bF  
    yJ2B3i@T 4  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 j|(Z#3J  
    w YNloU  
     
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