切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 120阅读
    • 0回复

    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线小火龙果
     
    发帖
    908
    光币
    2077
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 07-22
    1.概述
    M>xK+q?O  
    TTX5EDCrC  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 YNyk1cE  
    Uou1mZz/  
    WtsFz*`)y  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 6EoMt@7g  
    T9E+\D  
    (&Kk7<#`  
    激光雷达的基本原理如下图: T?CdZc.  
    4<w.8rR:A  
    2.1设计要求
    Af~$TyX  
    av8B-GQI*#  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: )5Q~I,dP  
    9IdA%RM~mH  
    CAig ]=2'  
    Fc)@,/R"v  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um T@H ^BGs  
    波长905+-5nm '5#^i:  
    焦距15mm `!3SF|x&  
    视场角 2w  =76 aB2F C$z  
    FN  =1.4 jE.N ev/  
    后焦26mm ;LKkbT 5  
    总长77mm V# }!-Xj  
    相对照度全视场>0.7且均匀 u OmtyX  
    畸变<8% [: n'k  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    t9GR69v:?  
    xA2YG|RU=b  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 K-^\" W8  
    htO +z7  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 r..iko]T  
    ;IvY^(YS@;  
    Y #ap*  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: 3V+] 9;  
    P[G)sA_"  
    r Xt}6[S  
    基本参数 ^  glri$m  
    6fE7W>la  
    e-})6)XgA  
    初始结构的像质 R"/GQ`^AqA  
    K C*e/J  
    畸变 x xHY+(m  
    nK1Slg#U  
    D=A&+6B@-  
    MTF F/,NDZN  
    ;Zcswt8]u  
    H `XUJh  
    相对照度表格和图像 kYE9M8s;  
    Co9^OF-k  
    P1. [  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 h"B+hu  
    ol\Utq,  
    "@^k)d$  
    固定光阑 `z}?"BW|  
    Q^P}\wb>  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 g.k"]lP  
    ^ox=HNV  
    /cUO$m o  
    添加真实材料 6$hQ35  
    F>Ah0U0  
    lf`{zc r:  
    MVpGWTH@F  
    w0 M>[ 4  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: xJpA0_xfG  
    (' (K9@}  
    RT4x\&q  
    A;q9rD,_  
    最终结果像质 1 &jc/*Z"  
    +uF>2b6'  
    畸变<8%,满足条件 ,C\i^>=  
    df8k7D;~e  
    .fqN|[>  
    93>jr<A  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 {f_={k  
    kM l+yli3c  
    %@J.{@>  
    6D;Sgc5"  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 vQG5*pR*w  
    n t;m+by  
    Rxt^v+ ,$  
    总结 3Y4?CM&0v  
    PA{PD.4Du  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 [-1^-bb  
    l+K'beP  
     
    分享到