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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    -cL wjI  
    zIy&gOX  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 53O}`xX!6  
    "d c- !  
    ve@E.`  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 <-O^ol,fX  
    .BrYz:#A  
    35Cm>X  
    激光雷达的基本原理如下图:  #[yZP9  
    FN"Ye*d  
    2.1设计要求
    ^Q5advxuq  
    $ nHf0.V1  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: WI\jm&H r  
    z\+Ug9Of  
    7O\Qxc\  
    ~U<=SyZYo  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um W:V.\  
    波长905+-5nm Bf8[(oc~  
    焦距15mm #?klVK&e/  
    视场角 2w  =76 l }WvO]  
    FN  =1.4 O 2W2&vY  
    后焦26mm <(W:Q3?s  
    总长77mm GyLp&aa  
    相对照度全视场>0.7且均匀 Wz)@k2  
    畸变<8% \<Di |X1  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    !(#d 7R  
    _<6B.{$\7m  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 a&%v^r[  
    OXD*ZKi8  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 Bz4;R9_%I  
    gaU1A"S}  
    cNiNLwc  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: "`Y.5.  
    %eW2w@8]  
    M{Hy=:K+  
    基本参数 NQIbav^5  
    3B?7h/f  
    (Ky$(Ubb#6  
    初始结构的像质 U)] }EgpF  
    ,| ~Pa  
    畸变 L-VisZ-FK  
    rHJtNN8$k  
    [BuAJ930#5  
    MTF LZ z]4Mf  
     [1g   
    uL |O<  
    相对照度表格和图像 ASUL g{  
    37 d-!  
    )}i|)^J  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 2aJ_[3p/h]  
    i9v|*ZM"  
    _NN5e|t  
    固定光阑 Tno 0Q +  
    Aga{EKd  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 sDP8!  
    j6#Vwcr  
    1R"Z+tNB  
    添加真实材料 I\P w`  
    9@wmngvM*Y  
    vBYk"a6SD  
    `@^s}rt+  
    H&uh$y@  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: [ ]42$5eof  
    Y3bZ&G)  
    gp NAM"  
    :&BE-f  
    最终结果像质 DsH#?h<-o  
    dyVfDF  
    畸变<8%,满足条件 HleMzykF  
    }TRVCF1  
    ?6//'bO:%  
    z9JZV`dNgz  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 /-&2>4I  
    1ZO/R%[  
    2 >/}-a  
    `gz/?q  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 V=)' CCi{  
    f[-$##S.~  
    Ue(\-b\)  
    总结 \CrWKBL  
    :I8HRkp  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 c|Fu6LF a  
    M`H@ % M  
     
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