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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    {"v~1W)  
    .4CCR[Het  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 :zA/~/Wo  
    L i g7Ac,  
    5r2A^<)  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 z6'Cz}%EP'  
    6DkFIkS  
    8Cx6Me>,=  
    激光雷达的基本原理如下图: @n|Mr/PAj  
    pseN!7+or  
    2.1设计要求
    I8x,8}o>V  
    T6ihEb$C  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: g49G7sk  
    MiK -W  
    '@0Z#A  
    k2 _i;v  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um }yzCq+  
    波长905+-5nm ^5'pJ/BV  
    焦距15mm !k3 eUBF  
    视场角 2w  =76 s7d4)A%  
    FN  =1.4 H^3f!\MC;o  
    后焦26mm #zf,%IYF  
    总长77mm Q6 oM$qiM  
    相对照度全视场>0.7且均匀 ohJo1}{  
    畸变<8% @> |3d  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    vZiuElxKi  
    !jQj1QZR`  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 OH >#f6`[  
    5FJ(x:k?z  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 fEo5j`}  
    c 80Ffq  
    MD):g @  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: \; voBU  
    &wa2MNCG8  
    @fQvAok  
    基本参数 MvKr~  
    /2f  
    6!Q,X Hs  
    初始结构的像质 JT p+&NS  
    g:fkM{"{  
    畸变 un F=";9H  
    |1pD n7  
    ^qY?x7mx1  
    MTF S[;d\Z]~  
    diWi0@  
    fi~jT"_CI  
    相对照度表格和图像 gy`WBg(7x  
    h-<Qj,L{W  
    ?CD[jX}!  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 ;Rf@S$  
    J#DN2y <  
    &J\<"3  
    固定光阑 4KX\'K  
    (zX75QSKV  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 6b1AIs8  
    b5S4C2Ynq  
    R=J5L36F  
    添加真实材料 ]7{ e~U  
    eakQZ-Q  
    +>ld  
    K=Z.<f  
    4;2  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: Aw]kQ\P&  
    /E-s g, k  
    K|Xr~\=  
    OWc~=Cr  
    最终结果像质 [Y4Wm?  
    ?="?)t[  
    畸变<8%,满足条件 LP'wL6#  
    {G+iobQdd  
    4-?zW  
    \<HY'[gr  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 6~-,.{Y  
    B|"-Ed  
    Qd/x{a8  
    h])oo:u'/Q  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 N/zP!%L  
    6HZVBZhM  
    DLN zH  
    总结 A">R-1R  
    L6"V=^Bq  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 '5(T0Ws/w  
    Ig<# {V  
     
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