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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    .>mH]/]m  
    e2]4a3  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 PGPISrf  
    H&w:`JYDL3  
    (O)\#%,@R  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 a|DsHZ^6^  
    8 uDerJ!  
    EJf#f  
    激光雷达的基本原理如下图: eu# ,WwlG  
    di6B!YQP  
    2.1设计要求
    s<[A0=LH  
    lLb:f6N  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: ,?l~rc  
    r\$6'+Si  
    nNt*} k  
    )E'Fke  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um /y}"M  
    波长905+-5nm {>8Pl2J  
    焦距15mm S~KS9E~\  
    视场角 2w  =76 j$3rJA%rN  
    FN  =1.4 FJP< bREQ  
    后焦26mm D Irgq|8  
    总长77mm KcC!N{  
    相对照度全视场>0.7且均匀 c_ La^HS  
    畸变<8% ShQ|{P9  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    !ZFr7Xz  
    >Bc> IO  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 Og,Y)a;=  
    kOw=c Gt  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 >^a$  
    b2N6L2~V  
    rh@r\ H@j  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: # ;K,,ku x  
    $}t=RW  
    QE|`&~sme  
    基本参数 otO j^xU  
    *HR +a#o  
    l , ..5   
    初始结构的像质 QV7,G9  
    v=!YfAn  
    畸变 pet~[e%!  
    I%oRvg|q  
    S}[l*7  
    MTF xq}-m!nX  
    3UdU"d[75  
    ipobr7G.SD  
    相对照度表格和图像 [F+(^- (  
    -"=)z /S  
     EIr@g  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 Vtr3G.P^  
    1BJ<m5/1%  
    av-#)E  
    固定光阑 SxJ$b  
    Z7fg 25  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 sYJL-2JX  
    ow$q7uf  
    zJ+3g!  
    添加真实材料 gV8"V Zg2  
    CK0l9#g  
    Us,)]W.S  
    `\bT'~P  
    \q "N/$5{f  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: q*, Q5  
    %Tv^GP{}  
    re^Hc(8M  
    Q $~n/  
    最终结果像质 kbYeV_OwM  
    rEdY>\'  
    畸变<8%,满足条件 b O=yi)  
    UZGDdP  
    .6 3=(o  
    24u x  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件  |t))u`~  
    7\ypW$Ot  
    KB!5u9  
    YuQ~AE'i  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 6.5wZN9<|  
    %T!J$a)qf  
    (&[[46  
    总结 _OMpIdY,R*  
    .$&Q[r3Lu  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 `pL^}_>|GM  
    >xqM5#m`E$  
     
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