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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    a,B2;4"  
    V !Cu%4  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 D/T& 0  
    X)-9u8  
    ~j1.;WId[  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 \t'v-x>2y5  
    41pk )8~pt  
    6CKWKc  
    激光雷达的基本原理如下图: (WW*yv.J  
    D)yCuw{M:  
    2.1设计要求
    {i:5XL   
    tb%u<jY  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: uVO*@Kj+  
    me-:A:si  
    .d\<}\zZ7J  
    .GJl@==~1  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um r*-e~  
    波长905+-5nm r6B\yH2  
    焦距15mm `5y+3v~"  
    视场角 2w  =76 Lk%u(duU^  
    FN  =1.4 MhE'_sq  
    后焦26mm ^ X&`:f  
    总长77mm 5if4eitS  
    相对照度全视场>0.7且均匀 ^8_`IT  
    畸变<8% KNR_upO8  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    Fv[. %tW  
    @<GVY))R8  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 >e]46 K  
    'rT@r:6fn  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 2TR l @  
    ZBDEE+8e  
    b!>w4MPe  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: |!0R"lv'u  
    gk%8iT  
    ?*I _'2  
    基本参数 ;$ot,mH?T  
    9.bMA<X  
    }]-SAM  
    初始结构的像质 =r<0l=  
    z0@)@4z!  
    畸变 fO!S^<9,-  
    @$5!  
    aLwd#/!  
    MTF Q77iMb]  
    ?V6+o`bm  
    myp}DI(  
    相对照度表格和图像 !P Cw-&  
    4o:  
    N XAP=y3  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 @ 2mJh^cj  
    /o<tmK_m  
    :U5>. ):  
    固定光阑 "}uPz4  
    9]Q\Pr\Ub$  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 UX-l`ygl  
    F8q&v"  
     /MS*_  
    添加真实材料 Sb&sW?M  
    S9sFC!s1g  
    cZ(7/Pl  
    O/gBBTB  
    gnS0$kCJ:  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: Dh*>361y-  
    d2w;d&2S  
    :K!@zT=o  
    TQx''$j\  
    最终结果像质 W\{gBjfE  
    =rj5 q  
    畸变<8%,满足条件 Ga\E`J$c  
    DzLm~ aF  
    &A=q_  
    Jo1=C.V`Y  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 `pp"htm   
    =,D3e+P'  
    UQl3Tq4QM  
    s[:e '#^  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 Y(WX`\M97  
    dQ*3s>B[  
    Ez^U1KKOE7  
    总结 [YT"UVI  
    F+vgkqs@9  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 DUg  
    u</21fz'  
     
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