切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 1350阅读
    • 0回复

    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线小火龙果
     
    发帖
    943
    光币
    2176
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    &#^^UT(nj  
    }lt5!u~}  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 jT>G8}h  
    d(9ZopJrQ  
    ,$s NfW  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 e` 9d&"  
    ]-h;gN  
    #m=TK7*v  
    激光雷达的基本原理如下图: {Z0(V"Q  
    \9j +ejGf  
    2.1设计要求
    q#B=PZ'NA  
    viB'ul7o  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: =jXBF.  
    4zyN>f|  
    $p:RnH\H1  
    BdBwfH%:  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um wV8_O)[  
    波长905+-5nm C{( &Yy"  
    焦距15mm *?bOH5$@Nw  
    视场角 2w  =76 T%74JRQ  
    FN  =1.4 ""$vaqt  
    后焦26mm }z%fQbw  
    总长77mm 3-x ;_  
    相对照度全视场>0.7且均匀 Y;2WY 0eq  
    畸变<8% \#Md3!MG  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    >T84NFdz+  
    4Z8FLA+T,  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 b9nTg  
    J5dwd,FQ  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 (D2G.R\pr  
    h</,p49gM  
    S 7pf QF  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: ) uM*`%  
    ^m0nInH  
    3.?G,%S5.$  
    基本参数 bu0i #  
    K0;caqE^  
    7v'aw"~  
    初始结构的像质 0?V{u`*  
    m\zCHX#n  
    畸变 co^bS;r  
    ^IQtXae6M  
    9w3KAca  
    MTF HSwC4y}  
    aSse' C<a  
    3Z0ez?p+5  
    相对照度表格和图像 v 9k\[E?  
    S\76`Ot  
    t@X{qm:%Z  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 d1jg3{pwA  
    {L'uuG\9U  
    Ml,~@} p  
    固定光阑 zv .#9^/y  
    &=f] a  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 n4XEyCrD  
    Vh?5  
    ZR]p7{8B  
    添加真实材料 ,#Pp_f<  
    /,d]`N!  
    pk8`suZ  
    (usFT_  
    g3|k-  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: J,G/L!Bp  
    t $m:  
    sA~Ijg"6  
    _xsHU`(J#  
    最终结果像质 &?@gCVNO,  
    /+wCx#!  
    畸变<8%,满足条件 3>>Ca;>$  
    C>A} e6o  
    *j~ObE_y  
    DX0#q #  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 5Vc~yMz  
    ke<l@w O  
    GX+Gqj.  
    xLdkeuL[%  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 $~e55X'!+  
    h[bC#(  
    g-pEt#  
    总结 }wB!Bx2  
    {3T&6LA  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 }0[<xo>K  
    vs^)=  
    本主题包含附件,请 登录 后查看, 或者 注册 成为会员
     
    分享到