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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
     xU)~)eK  
    wjpkh~ qo  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 H.'_NCF&;L  
    Rb#?c+&#  
    NmK%k jCx  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 RL($h4d9  
    T Li0*)}  
    F*} b),  
    激光雷达的基本原理如下图: -^C;WFh8)  
    6? 2/b`k  
    2.1设计要求
    |IZG `3  
    ;0 @"1`  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: \}Hk`n)Aq  
    2_UH,n  
    !SVW}Q=5#  
    ZN^9w"A  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um 'v4AM@%u  
    波长905+-5nm P%.9g  
    焦距15mm AlGD .K  
    视场角 2w  =76 )07M8o !^l  
    FN  =1.4 df}B:?Ew.  
    后焦26mm -0lpsF  
    总长77mm M1VRc[ RRo  
    相对照度全视场>0.7且均匀 ^k~{6S,  
    畸变<8% T7&itgEYG/  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    {_PV~8u  
    :Ruj;j  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 iQ~cG[6  
    G| ^tqI  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 ,1QU  
    LTG/gif[u  
    RDk{;VED{  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: 3)I v8mA  
    4{*K%pv\  
    6$2)m;| XY  
    基本参数 ykM(` 1` m  
    ai#0ZgO  
    .GLotc  
    初始结构的像质 t4 h5R  
    %5jxq9:K  
    畸变 [K%J t  
    aZ#c_Q#gZ  
    e$ E=n  
    MTF [R6du*P  
    j =[Td   
    'N0d==aI  
    相对照度表格和图像 7teg*M{  
    wIL5-k,  
    cD]{ Nn  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 n+j'FfSz  
    #W'jNX,h  
    5H`k$[3V  
    固定光阑 (N0G[(>  
    `QAotSO+  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 "P'W@  
    .u)Po;e`  
    .Mdxbs6.C  
    添加真实材料 :8jHN_u  
    o1-Zh!*a*  
    \<a(@#E*~  
    / IAK'/  
    eB^:+h#A_  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: "~N#Jqzr:  
    Z#nj[r!l}  
    )# M*@e$k  
    0 B>{31)  
    最终结果像质 jo0p/5;  
    'l!tQD!  
    畸变<8%,满足条件 R/A40i  
    >Ix)jSNLgo  
    x^;nQas;  
    d*7 Tjs{\  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 N:Q}Lil  
    O83vPK 3  
    V<?t( _Y  
    cdf8YN0!  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 0ppZ~}&  
    O.  V!L  
    aB#qzrr['8  
    总结 CXb)k.L   
    7P.C~,+D%P  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 f'TdYG  
    xW#r)aN]p  
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