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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    [4J6 iF  
    B%\gkl  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR 或 Light Detection And Ranging, LIDAR)  区别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 l?*r5[O>n  
    _KD5T4FZR  
    :!zC"d9@  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 Ejq#~Zhr!  
    z{]?h cY  
    $ex!!rqN|  
    激光雷达的基本原理如下图: /( 6|{B  
    i.1U|Pi  
    2.1设计要求
    EN !?:RV  
    =22ALlxk  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: kJ)gP2E  
    }vt%R.u  
    TQ9D68 ,  
    'YSuQP>  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um qO`qJ/  
    波长905+-5nm RD<75]**{  
    焦距15mm i z]rFNR  
    视场角 2w  =76 MQcr^Y_  
    FN  =1.4 l+y-Fo@  
    后焦26mm R,@g7p  
    总长77mm 1QJBb \  
    相对照度全视场>0.7且均匀 Ps R>V)L  
    畸变<8% J0220 _  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    gd6Dm4q(  
    gd^Js 1Z  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 XT@Mzo49z\  
    w>~M}Ahj  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 uL?vG6% ^1  
    sY;lt.b  
    'qv;sB.  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: ^~ L}<]  
    $;D* n'8Fx  
    Bo\D.a(T  
    基本参数 $R^lo $(  
    S-Ai3)t6  
    Lu>H`B7Q"  
    初始结构的像质 %(LvE}[RJ  
    M1u{A^d.Z  
    畸变 @%W]".*'}  
    .`C V^\  
    ;rBp1[qVe  
    MTF H}b\`N[nr  
    ]HvZ$  
    >xd<YwXZ  
    相对照度表格和图像 w+f=RHX"{  
    RazBc.o<  
    KAb(NZK  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 C}CKnkMMD  
    y @apJ;_R-  
    :):zNn_>`  
    固定光阑 d# T?Q_3b  
    q a!RH]B3  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 5()Fvae{k  
    Jgi Iq  
    g"y?nF.&F  
    添加真实材料 |Cf mcz(56  
    C{Blqf3V0  
    ~b8a^6:R"  
    A8dI:E+$  
    ]*ov&{'  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: cgyo_ k  
    c#\-%h  
    .s};F/(diD  
    fI11dE9&?[  
    最终结果像质 JE)J<9gf  
    g@E&uyM  
    畸变<8%,满足条件 oBw}hH,hp  
    ]P*!'iYN(  
    $^Ca: duk  
    sx-F8:Qa  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 %N{sD[^  
    u33zceE8  
    K^ 6+Ily  
    fq Y1ggL  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 *g$agyOfh  
    jYdV?B  
    S OI)/u  
    总结 :r39wFi  
    #{w5)|S#JD  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜。 <bX 1,}?  
    E$T(Qu<-  
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