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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    A`7(i'i5]  
    ^r~[ 3NT  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR 或 Light Detection And Ranging, LIDAR)  区别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 OZ&/&?!XE  
    J(]|)?x2  
    Sn nfU  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 L}h_\1  
    ~?\U];l  
    f,G*e367:  
    激光雷达的基本原理如下图: ?fxM 1<8  
    o/Ismg-p  
    2.1设计要求
    Xg dBLb  
    ?+zFa2J  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: C19N0=  
    En\@d@j<u  
    Wga2).j6  
    DNGyEC  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um #b^6>  
    波长905+-5nm &%2^B[{  
    焦距15mm ~/rD _K  
    视场角 2w  =76 Fb{N>*l.  
    FN  =1.4 (L(7)WbH  
    后焦26mm $hm[x$$  
    总长77mm 7_\G|Zd  
    相对照度全视场>0.7且均匀 NBk0P*SI  
    畸变<8% 5*44QV  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    tVG;A&\,6  
    5} %R  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 x?L0R{?WW  
    VeQGdyhY  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 OBWb0t5H?  
    {o~TbnC  
    gX" -3w  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: )+N{D=YM  
    3Q,&D'];[  
    '8 .JnCg  
    基本参数 CnZ!b_J  
    wO]e%BTO  
    R+HX'W  
    初始结构的像质 4X^$"lM  
    8H7#[?F  
    畸变  \ ca<L  
    ny KfM5s_  
    vn}m-U XA*  
    MTF NtM>`5{?  
    h *R@ d  
    SJ]6_4=y*  
    相对照度表格和图像 &g;!n&d zP  
    qur2t8gnxq  
    [q|W*[B:@  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 v~ SM"ky#  
    +zh\W9  
    )Fx]LeI;  
    固定光阑 @k i|# ro  
    35l%iaj]G5  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 kWW2N0~$  
    3CD#OCz7&  
    e|oMbTZ5m  
    添加真实材料 k9%o{Uzy  
    ^]sb=Amw  
    o8X_uKEI  
    '> ib K|  
    vv.E6D^x(  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: ]In7%Qb  
    KO "/  
    fG1iq<~  
    x*H#?.E  
    最终结果像质 m[eqTh4*  
    9s<4`oa  
    畸变<8%,满足条件 ~vz%I^xW  
    Z3JUYEAS  
    P!]uJ8bi  
    Po58@g  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件  %W~w\mT  
    0 h A:=r  
    Oa/zE H  
    1(@$bsgu2  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 bkd`7(r  
    :^ywc O   
    HF0G=U}i  
    总结 # ][i!9$  
    X7!q/1$J  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜。 `,6|6.8#  
    di/Q Jrw  
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