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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    9g]%}+D  
    KwU;+=_.  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR 或 Light Detection And Ranging, LIDAR)  区别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 ;GIA`=a %  
    sou~m,#  
    ERia5HnoD,  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 M.+h3<%^  
    cQ |Q-S  
    _ s*p$/V\  
    激光雷达的基本原理如下图: sNM ]bei  
    E^A S65%bL  
    2.1设计要求
    Tl2(%qB  
    e;g7Ek3n  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: LosRjvQ:  
    d0-4KN2  
    tQas_K5  
     TD%&9$F  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um HLOr Dlj7  
    波长905+-5nm hQ'W7EF  
    焦距15mm Vl;zd=  
    视场角 2w  =76 d::9,~  
    FN  =1.4 ka6E s~  
    后焦26mm sO}CXItC+j  
    总长77mm V0BT./ B\<  
    相对照度全视场>0.7且均匀 (;&}\OX6nm  
    畸变<8% Qj|rNeM_  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    v>j,8E  
    b b.UtoPz  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 4.^T~n G  
    O-[  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 qYJ<I'Ux O  
    ptrwZ8'  
    a"X h  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: *5 .wwV  
    _GFh+eS}  
    ;S \s&.u  
    基本参数 :P/VBXh  
    m#8(l{3|  
    ar#73f  
    初始结构的像质 GcDA0%i  
    (xHu@l!]  
    畸变 @&Z^WN,x  
    .{\eco  
    ZE-vroh  
    MTF qxDMDMN  
    g'b|[ q  
    #:+F  
    相对照度表格和图像 yQMwt|C4  
    `g3AM%3  
    tcT =a@  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 EQ ee5}  
    3]GMQA{L)  
    D=mmBo  
    固定光阑 3>^]r jFw  
    Ln2FG4{  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 4>i\r  
    &3Yj2 Fw  
    V:'F_/&X?  
    添加真实材料 "~0`4lo:Xo  
    ;Mo_B9  
    cM3B5Lp  
    Jw8?o/1D@  
    nj:w1E/R  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: `BKb60  
    )ds]fvMW]N  
    RrvC}9ar  
    \fUX_0k9,  
    最终结果像质 Vx2/^MiXy  
    N|$9v{ j_  
    畸变<8%,满足条件 L7;~4_M9.V  
    5{k,/Z[L  
    \ c4jGJ  
    P*BRebL:  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 a`n)aXU l  
    zmGHI! tP  
    o+&Om~W  
    ]sqLGmUL  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 w(&EZDe  
    ofV0L  
    xws{"m,NX~  
    总结 #WSqh +  
    OyVP_Yx,V  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜。 <+g77NL  
    6T'UWh0S  
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