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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    -y) ,Y |  
    Q+|{Bs)6i1  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 dtM[E`PL  
    ^jdL@#k00  
    q)u2Y]  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 [c K^+s)N  
    i;\s.wrzH  
    v|Jlf$>  
    激光雷达的基本原理如下图: $X`y%*<<v  
    A)n W  
    2.1设计要求
    Z{-Lc68  
    P=AS>N^yaL  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: hPm>tV2X  
    z,;;=V6j  
    /%x7+Rl\-^  
    T*2C_oW  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um KV!<Oq  
    波长905+-5nm YZ#V#[j'^  
    焦距15mm "vF MSY  
    视场角 2w  =76 A Ayv  
    FN  =1.4 n/e BE q  
    后焦26mm !jX4`/n2  
    总长77mm _fTwmnA  
    相对照度全视场>0.7且均匀 PY\PUMF>  
    畸变<8% Q}%tt=KD  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    2F_ R/{D  
    uPyVF-i  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 ~9pM%N V  
    ;#?M)o:q  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 f*((;*n ;  
    \9c$`nn  
    g1m-+a  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: Bl.u=I:Y4  
    dT@UK^\  
    vL_zvX A  
    基本参数 ^%bBW6eZ  
    85U.wpG  
    |g)FA_#|<  
    初始结构的像质 sLh0&R7   
    =iz,S:[  
    畸变 B:oF;~d/,  
    `_AM` >_  
    vS; '}N  
    MTF c,5n, i  
    i S p  
    \^532FIw6  
    相对照度表格和图像 i s"vekC  
    e$l 6gY  
    W^g'}}]T  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 IhonnLLW  
    hq_~^/v\  
    /lD?VE  
    固定光阑 )*1.eObhL  
    =G>(~+EA  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 Q |hm1q  
    ;b~~s.+  
    <! x+e E`  
    添加真实材料 L@)&vn]  
    0Qd%iP)6  
    8[5|_Eh+  
    O]=C#E{  
    Ek .3  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: hw,^G5m  
    n.$(}A  
    6 DP[g8  
    E&2tBrAq  
    最终结果像质 vZjZb(jlN  
    A3UQJ  
    畸变<8%,满足条件 _vrWj<wyf  
    womq^h6  
    YdOUv|tZC  
    W"sr$K2m|  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 jXIEp01  
    vA?_-.J  
    9N Le&o  
    qi=3L  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 'h *Zc}Q:  
    b7$}JCn  
     (K #A  
    总结 ~mH+DV3  
    J+2R&3;_O  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 Pz473d  
    -<oZ)OfU  
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