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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    :}w^-I"  
    TH}+'m  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 obIYC  
    {7q +3f <  
    w~9=6|_  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 &4l >_  
    .mS'c#~5Y  
    gI~jf- w  
    激光雷达的基本原理如下图: Rh#TR"  
    8[z& g%u  
    2.1设计要求
    .hXdXY  
    Y{#m=-h  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: F_Mi/pB^`9  
    ]O;Rzq{D(  
    xSHeP`P^X  
    M}6? |ir  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um YVLaO*( f  
    波长905+-5nm 'roZ:NE  
    焦距15mm |2~fOyA+  
    视场角 2w  =76 Ijj]_V{,  
    FN  =1.4 u kKp,1xz  
    后焦26mm Me*]Bh  
    总长77mm  ,  
    相对照度全视场>0.7且均匀 68LB745  
    畸变<8% ^E8eW  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    A,qWg0A]nt  
    a<X<hxW:  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 @v,qfT*k7  
    U8KEg)Msk  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 *m sW4|=^2  
    /\9X0a2h|E  
    9WuKW***  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: U= PG0  
    IZ6[|Ach6  
    =2eG j'}  
    基本参数 B/CP/Pfb  
    ^dR5fAS  
    o5FBqt  
    初始结构的像质 WV"{oED  
    x+9aTsZ  
    畸变 7Jm9,4]  
    Mc6?]wDB]  
    c.PPVqx  
    MTF b&Sk./ J6  
    ^8nK x<&5  
    r=+r5k"`  
    相对照度表格和图像 1qb 3.  
    $CVbc%  
    {=> <@]N  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 9)QvJ87e@7  
    Ee##:I[z  
    |T9p#) ec2  
    固定光阑 08S|$_  
    S0~F$mP'  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 dOe|uQXyD  
    #IP<4"Hf  
    '+ |{4-V  
    添加真实材料 Cj}1 )qWq  
    , c/\'k\K)  
    g!O(@Sqp1  
    ,bCPO` 45  
    M>~jLu0@  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: (+9_nAgZ,  
    SD6xi\8  
    J+LFzl07q  
    @M"h_Z1#  
    最终结果像质 928szUo:  
    @`?"#^jT  
    畸变<8%,满足条件 x 1$tS#lS  
    +aV>$Y  
    M*E4:A9_M  
    #oi4!%*M  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 M,PZ|=V6a  
    G;MgrA#\  
    _'dsEF  
    fdzD6K ZI  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 h8O[xca/~  
    ?PSm) ~ Oa  
    'UT 4x9&z  
    总结 Vrf` :%  
    q'M-a tE.  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 /z,sM"d  
    j+J)S1  
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