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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    ZQ|5W6c  
    ]de\i=?|  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 +|6`E3j%  
    &9RH}zv6  
    >wA+[81[  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 ^Sw2xT$p{j  
    8`}l\ Y  
    R6 ;jY/*#  
    激光雷达的基本原理如下图: =tq1ogE  
    hje! w`  
    2.1设计要求
    z^'n* h  
    iecWa:('  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: Wu,S\!  
    Q |%-9^  
    :i.t)ES  
    Hj2<ZL  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um Y,'%7u  
    波长905+-5nm l_6eI  
    焦距15mm -OWZ6#v(  
    视场角 2w  =76 =LOk13l\"  
    FN  =1.4 }B`Ku5 M  
    后焦26mm !:3^ hb  
    总长77mm #G[t X6gU  
    相对照度全视场>0.7且均匀 e^zHw^js  
    畸变<8% 7#ofNH J  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    \0nlPXk?G  
    %yfE7UPS]  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 J smB^  
    T<P0T<  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 k=`$6(>Fz  
    q(gjT^aN  
    z|I0-1tAK  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: Fwb5u!_,  
    :> SLQ[1  
    `^x9(i/NE  
    基本参数 K3L"^a  
    t{zBC?c R  
    ->h5T%sn  
    初始结构的像质 \%TyrY+`K  
    ywO mQcZ  
    畸变 B)M& \: _  
    w.z<60%},0  
    TdFT];:  
    MTF P 6.!3%y  
    2e59Ez%k6  
    vQgq]mA?  
    相对照度表格和图像 B$?^wo  
    5]d{6Nc3P  
    -9d%+O~v6~  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 a.q;_5\5`  
    >?I/;R.-  
    Wo!;K|~P  
    固定光阑 M?$ZJ-  
    O%&cE*eX  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 H O*YBL  
    o/^1Wm=  
    h&`y$Jj  
    添加真实材料 |@wyC0k!  
    aCl A{  
    2"X~ju  
    ~8{sA5y  
    o_$&XNC_  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: 8{ gXToK  
    T<yb#ak  
    Q|c|2byb  
     to>  
    最终结果像质 4-^[%&>}  
    v+6e;xl8  
    畸变<8%,满足条件 ,[l`zp  
    Oaa"T8t  
    Z9[+'ZWt  
    .3X Y&6  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 ^2C>L}  
    S-c ^eLzQ  
    ` >U?v  
    RB$ z]/=  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 IZrk1fh  
    ?lKhzH.T  
    ? JXa~.dA  
    总结 :FHA]oec1  
    :kG)sw7  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 1m)M;^_  
    |`0n"x7  
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