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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    ~A>-tn}O  
    mgBxcmv  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 3,@|kN<  
    DJH,#re>  
     p;vrPS  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 .wuRT>4G)G  
    71HrpTl1fw  
    fR lJ`\ t  
    激光雷达的基本原理如下图: p,2H8I){  
    %U&ztvR0C  
    2.1设计要求
    JjQTD-^  
    ]8XIw`:f  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: Q".p5(<  
    ^}hSsE  
    Eqt>_n8  
    Ns[.guWu-  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um d%ncI0f`  
    波长905+-5nm O}[){*GG=  
    焦距15mm bg,VK1  
    视场角 2w  =76 yc@ :*Z  
    FN  =1.4 tqOx8%  
    后焦26mm g_MxG!+(V  
    总长77mm "I45=nf  
    相对照度全视场>0.7且均匀 6E:5w9_=c  
    畸变<8% :J6FI6  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    <D(|}5qR  
    2H`;?#Uq:  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 fH;lh-   
    ]+AgXUrbOD  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 KU;m.{  
    8BM[c;-{g`  
    6Nz S<  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: &d[%  
    -<q@0IYyi  
    @-}!o&G0  
    基本参数 HlX2:\\  
    _K|?;j#x0k  
    coc :$Sr%  
    初始结构的像质 &ETPYf%#  
    F#\+.inO  
    畸变 Bd*\|M  
    5?gZw;yiv%  
    +P"u1q*+p  
    MTF DBzF\-  
    'lR f  
    w'!J   
    相对照度表格和图像 |#(g 8ua7  
    %Wb$qpa  
    fuA 8jx  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 t)*A#  
    #.~lt8F  
    O6r.q&U  
    固定光阑 J~rjI24  
    4 {3< `  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 |:d:uj/  
    5%(xZ  6  
    dZjh@yGP.  
    添加真实材料 sh8(+hg  
    u&ozc  
    jT q@@y  
    e!*%U= [Q  
    }WG -R  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: ffE>%M*  
    s2\6\8Ipn  
    +\`t@Ht#  
    ,V:RE y  
    最终结果像质 "]{"4qV1=  
    o[CjRQY]P  
    畸变<8%,满足条件 'QEQyJ0EB  
    vE+OL8V  
    vH9Gf  
    q5(Z   
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 f@= lK?Pfh  
    wPU<jAQyp  
    I`}<1~ue  
    /2PsC*y  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 SB`"%6  
    s_N]$3'[E  
    s|=.L&"   
    总结 auT$-Ki8  
    Dhe ]f#d  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 az ?2  
    iVGc\6+'  
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