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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 07-22
    1.概述
    $PI9vyS  
    q3#+G:nh  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 r/HCWs|  
    h5pfmN\-5  
    @g4o8nH}  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 hF$qH^-c*A  
    R&BWCC{  
    pkae91  
    激光雷达的基本原理如下图: Lr 5{c5M  
    qv}ECQ  
    2.1设计要求
    :enR8MS  
    tXH;4K@  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: wwywiFj  
    zA8@'`Id  
    -B9e&J {K  
    Kvo&_:  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um fU?#^Lg  
    波长905+-5nm Je6wio- 4  
    焦距15mm  oC*a;o  
    视场角 2w  =76 |Tc4a4jS  
    FN  =1.4 Q$:Q6 /5.  
    后焦26mm aK95&Jyw&  
    总长77mm w$AR  
    相对照度全视场>0.7且均匀 xVbRCu#Z  
    畸变<8% 'vZIAnB8  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    z<mN-1PM7&  
    ~59lkr8  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 Um 6}h@>  
    y.J>}[\&x  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 GCq4{_B\Q  
    VOZxLyj^9  
    Mmu#hb|W  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: /\b* oPWJ  
    Zfcf?&><  
    A8{ xZsH  
    基本参数 ;Tp9)UP)  
    V){Io_"  
    )J> dGIb  
    初始结构的像质 pR93T+X  
    p\&/m  
    畸变 h !K" ;qw  
    G^#>HE|  
    HXSryjF?  
    MTF hN6wp_  
    3CjixXaA$  
    RuIBOo\XL7  
    相对照度表格和图像 ~M-L+XZl(  
    xh$yXP0/  
    2=n`z) R  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 xxvt<J  
    < $e#o H  
    | U"fhG=g  
    固定光阑 ufIvvZ*  
    &BrFcXF  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 [)s4:V  
    #f24a?n|  
    k}H7bZug  
    添加真实材料 Cm)TFh6  
    4Ii5V c  
     P>iZ gv  
    hE5?G;  
    ]zaTX?F:  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: Ovk=s,a)K  
    r^}0 qO,XM  
    }bca-|N  
    # euG$(  
    最终结果像质 >_ZEQC  
    SA}Dkt&,  
    畸变<8%,满足条件 [;Lgbgt3f  
    vLHn4>J,R  
    j;@a~bks6z  
    ygIn6.p  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 mu{C>w_Rz  
    L<@*6QH  
    #J&3Zds  
    @ewaj!  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 NL$z4m0  
    BYEZ[cM  
    -o%? ]S  
    总结 /Tm+&Jd  
    c86KDEF  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 [(x*!,=  
    UzaAL9k  
     
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