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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 07-22
    1.概述
    pg<m0g@W*;  
    uX/K/4  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 _\"2Mdk`]  
    ~,Y xUn8@  
    h@kq>no  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 jpwR\"UJ  
    PI G3kJ  
    ,5*Z<[*  
    激光雷达的基本原理如下图: ]u5B]ZQnA  
    Ga<Uvr%+  
    2.1设计要求
    0Y>5&  
    4*0C_F@RX  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: r~[Bzw"c  
    7];AB;0"  
    yN@3uYBF  
    CJa`[;i0y  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um $Wy(Wtrx|  
    波长905+-5nm lwSZ pS  
    焦距15mm rtSG- _[i  
    视场角 2w  =76 ;OMR5KAz  
    FN  =1.4 )tvP|  
    后焦26mm ZA1:Y{ V  
    总长77mm :QoW*Gs1  
    相对照度全视场>0.7且均匀 omP\qOc  
    畸变<8% :  I q  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    /nq\*)S#&  
    Vb @lK~  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 J#'8]p3E  
    @k-C>h()C  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 +,Ud 3iS  
    *SK`&V  
    "M;aNi^B  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: P.y06^ X}A  
    H*H~~yQ  
    BQ:hUF3  
    基本参数 p3,m),  
    .vnQZ*6  
    \<aR^Sj.  
    初始结构的像质 XN^l*Q?3n  
    ^? V9  
    畸变 ;x|7"lE  
    3<x1s2U  
    ;7>k[?'e  
    MTF x%'5 rnm|  
    y3 "+4e  
    pi|=3W  
    相对照度表格和图像 rRvZG&k  
    :Ahw{z`H#  
    F~$ay@g  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 ( 5 BZZ  
    3iIURSG@  
    Kh8  
    固定光阑 /jl/SV+  
    cC*H.N  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 HfPu~P  
    .3'U(U  
    i+Lqj  
    添加真实材料 Xqy9D ZIn  
    gX|We}H  
    Y 8n*o3jM  
    $(]E$ek  
    5{xK&[wR*  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: ~f:"Q(f+  
    /,,IM/(6^  
    BR-4L2[  
    vD^Uod1  
    最终结果像质 6)veuA3]  
    FL {$9o\@  
    畸变<8%,满足条件 mb>8=hMg  
    "s.hO0Z  
    +O)Y7k{?C5  
    (DkfLadB  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 Mi} .  
    9S|a!9J  
    ^kK% 8 u  
    ||))gI`3a  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 sDB,+1"Y$  
    K: |-s4=  
    Gl%N}8Cim  
    总结 d2?#&d'aq  
    bao"iv~z  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 6Nws>(Ij  
    F_Gc_eT  
     
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