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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    @%mJw u  
    Obwj=_+upd  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 ,x#5.Koz  
    _Eo$V&  
    G*.}EoA  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 kpFt  
    }: v&Nc  
    Q@zD'G >  
    激光雷达的基本原理如下图: {z:aZ]QhKc  
    Kppi N+||  
    2.1设计要求
    n@IpO i$Q  
    _)AX/%^%  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: @}sxA9 a  
    znm3b8ns  
    p2Yc:9r9+A  
    =y)e&bj  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um GcXh V  
    波长905+-5nm {uVvo=3  
    焦距15mm q^5j&jx Vl  
    视场角 2w  =76 K]5@bm  
    FN  =1.4 "SGq$3D  
    后焦26mm ! *Snx  
    总长77mm $mf Z{  
    相对照度全视场>0.7且均匀 "_!D b&AH  
    畸变<8%  {*!L[)  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    c8'a<<sj  
    :Y/>] tS4  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 T\Zf`.mt  
    =z_.RE  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 /1A3 Sw  
    F\LAw#IJ  
    3-^z<*  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: .;),e#  
    2/[J<c\G  
    ,|:TML  
    基本参数 T["(wPrt  
    `[.b>ztqgJ  
    B{x`^3q R  
    初始结构的像质 t}$WP&XRG<  
    @D$^- S6  
    畸变 ^t X}5i`P  
    hn-+]Y:  
    \OR=+\].9  
    MTF #J4{W84B  
    0^l)9zE  
    SQ$|s%)oB  
    相对照度表格和图像 Pn&!C*,  
    'MF|(`  
    F?h{IH f  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 c:[z({`  
    hrT!S  
    :9nqQJ+~  
    固定光阑 g4p-$WyT8>  
    o p{DPUO0  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 '+ %<\.$  
    'r/+z a:2  
    {DP%=4  
    添加真实材料 $C&y-Hnar  
    3c%dErch  
    )R~l@QBN  
    bQTkW<7gh  
    #Qir%\*V  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: p'@| O q&  
    Npr<{}ZE  
    4y: pj7h  
    te<lCD6  
    最终结果像质 h vC gd^M  
    >^fpQG  
    畸变<8%,满足条件 5*~]=(BE  
    VM.4w.})_E  
    f!H~BMA+a  
    goJK~d8M*  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 aAT!$0H  
    [5"F=tT7WP  
    { /u}  
    c] '-:=  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 VKZZTFmV2)  
    )qq5WShMJ  
    KscugX*x  
    总结 8.Z9 i  
    BQOit.  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 btG+Ak+K*  
    Dr_ (u<[  
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