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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    离线小火龙果
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    4>t'4p6{  
    *r90IS}A$2  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 w! kWG,{C  
    mxPzB#t4  
    fFe{oR   
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 )hy(0 D  
    _GbwyfA n#  
    d YliC  
    激光雷达的基本原理如下图: 1-=ZIHW  
    zBjtPtiiI8  
    2.1设计要求
    iVSN>APe  
    ~[@gu,Wb  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: o'?[6B>oj  
    uB@~xQ_V  
    , RKl  
    +x(~!33[G  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um `k;MGs)&  
    波长905+-5nm Kj{(jT  
    焦距15mm AY x*Ngn  
    视场角 2w  =76 *}h#'+  
    FN  =1.4 V1-URC24vd  
    后焦26mm 7cQFH@SC  
    总长77mm ?se\?q  
    相对照度全视场>0.7且均匀 UTS.o#d  
    畸变<8% wl.a|~-  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    h1 npaD!  
    4 \Ig<C9  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 t6C2DHh7$  
    uvMc B9  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 kMx^L;:n  
    H.)Y*zK0.  
    5Y4#aq  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: F%ffnEJg  
    =n ff;Xu  
    Dbg,|UH  
    基本参数 dMw}4c3E  
    |>zYUT[V  
    +l27y0>t  
    初始结构的像质 : *8t,f~s^  
    <ebC]2j8cK  
    畸变 ,CxIA^  
    f`K[oCfu  
    {oftZ Xwf  
    MTF PJF1+I.%c#  
    K41Gn  
    8G )O,F7z  
    相对照度表格和图像 {2.zzev'  
    SpC6dkxD\  
     7CwQmVe+  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 mJ>msI @  
    JUCp#[q  
    ],-(YPiAD  
    固定光阑 Am@:<J  
    )]tf|Mbu  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 XGb*LY+Db6  
    - !QVM\t  
    `$t|O&z  
    添加真实材料 z'01V8e  
    E_ D0Nm%n  
    -q30tO.  
    Q2Dh(  
    %Y-5L;MI  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: eb>jT:  
    d6e$'w@(\T  
    $1y8X K7r  
    -&EU#Wqh  
    最终结果像质 3gv@JGt7`  
    q.kDx_  
    畸变<8%,满足条件 WX* uhR  
    *. 1S  
    {X10,  
    1hY%Zsj C  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 a0&L,7mu<'  
    &LYH >  
    s`en8%  
    qVssw* GDB  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 cD t|v~  
    N u3B02D*  
    b!<)x}-t>  
    总结 M#k$[w}=  
    '#a;n  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 [jR >.H'  
    8ZCR9%  
     
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