切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 470阅读
    • 0回复

    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线小火龙果
     
    发帖
    925
    光币
    2136
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    {ng  
    {_ #   
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 )ow3Bl8w  
    wHAh6lm  
    >V]> h&`  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 P017y&X  
    rz3&khi  
    F`-? 3]\3  
    激光雷达的基本原理如下图: o]]Q7S=  
    #0mn_#-P)  
    2.1设计要求
    ~[[a7$_4  
    K,So#Ui  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: eo@:@O+bm  
    M5<5 (l  
    X=DJOepH'  
    \O^= Z{3y  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um ~zuMX ;[  
    波长905+-5nm J +9D/VT  
    焦距15mm I&^?,Fyy<  
    视场角 2w  =76 }#Vo XilX  
    FN  =1.4 %~6+=*(\  
    后焦26mm p>MX}^6  
    总长77mm N%^mR>.`  
    相对照度全视场>0.7且均匀 wo?C 7,-x  
    畸变<8% 1XSqgr"3  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    x[)S3U J  
    BkIvoW_  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 -5E<BmM  
    K[ylyQ1  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 '2%hc\P6P  
    \f+R!  
    mhcJ0\@_  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: +8~S28"Wg3  
    #M_QSD}&  
    oiklRf  
    基本参数 UH[ YH;3O  
    bi,%QZZ  
    & ??)gMM[  
    初始结构的像质 I{M2nQi  
    F9d][ P@@  
    畸变 ~)()PO  
    9%)'QDVGLf  
    M>0~Ek%3  
    MTF +|o -lb  
    ,PY<AI^59  
    {a>)VZw_#  
    相对照度表格和图像 A]R"C:o  
    S_\RQB\l  
    E6n;_{Se/S  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 RI%* 5lM8;  
    oE5+   
    d *H-l3N  
    固定光阑 qT}&XK`Q^  
    8_KXli}7=  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 b#$:XS  
    S:DB%V3  
    Wqy8ZgSC  
    添加真实材料 N["(ZSS   
    !N!M NsyDz  
    >.B+xn =  
    z.{y VQE  
    r"rEVx#1=  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: SLBKXj|  
    J\2F%kBej?  
    uV;Z  
    !rrjA$P<v  
    最终结果像质 |QHWX^pO  
    +LrW#K;  
    畸变<8%,满足条件 R4{}ZT  
    O1/!)E!  
    %zY3,4~  
    &M<431y  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 ^B5Hjf9  
    9#_49euy|P  
    G|H\(3hHLZ  
    m.lNKIknQ  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 K)^.96{/@  
    3fBq~Q  
    7O"T `>  
    总结 _Hkc<j/e~  
    KX*e2 /0  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 :@Q_oyWE8  
    .]8 Jeb  
     
    分享到