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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    ]7rj/l$ u  
    +/ &_v^sC;  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 "hy.GWF|*  
    qBT.x,$  
    %.z,+Zz?  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。  fu9Cx  
    np4+"  
    # (- Qx  
    激光雷达的基本原理如下图: =Z+nX0qF  
    RAp=s  
    2.1设计要求
    EFc-foN  
    ;q1A*f\:#  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: ":nQgV\ 9  
    "{D|@Bc  
    NVl [kw  
    0Ld@H)  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um !L95^g   
    波长905+-5nm W.w)H@]7m  
    焦距15mm W'on$mB5<  
    视场角 2w  =76 ,p9i%i  
    FN  =1.4 ZKdeB3D  
    后焦26mm 2>l,no39t+  
    总长77mm 0n/gd"M  
    相对照度全视场>0.7且均匀 9Mgq1Z  
    畸变<8% g(| 6~}|o+  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    .uEPnzi  
    aBzszp]l+  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 P(a.iu5   
    aIXdV2QS  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 y8\S}E 0  
    leCVK.  
    ^Eo=W/   
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: $ F S_E  
    W@2vjz  
    W#Qmv^StZ  
    基本参数 \-*eL;qP  
    1>Q'R  
    p)~lL  
    初始结构的像质 "p3_y`h6+  
    p\ Lq}tk<  
    畸变 q-Qxbg[>e  
    >\!4Mk8  
    _pH{yhA  
    MTF m5D"A D  
    Pe2wsR"_U  
    'r\ V. 4  
    相对照度表格和图像 178Mb\8  
    zT ZVehEe  
    >5 b/or  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 k'X;ruQ:tF  
    "3F;cCDv]  
    }Up.){.%  
    固定光阑 g`>og^7g  
    NS C/@._  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 dC1V-x10ju  
    HWm#t./  
    {5|("0[F  
    添加真实材料 |*mL1#bB  
    Y $-3v.  
    %5\3Aw  
    Yif*"oO  
    \VSATL:]  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: ` rm?a0  
    :|1.seLQ  
    0W^dhYO  
    O3o: qly!  
    最终结果像质 8I,QD` xu  
    3CE[(   
    畸变<8%,满足条件 #;# 3%?  
    +([!A6:  
    (.3'=n|kE  
    .C]cK%OO N  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 !Ss HAE|  
    8p1ziz`4>$  
    rbqo"g`  
    4l8BQz}sb  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 Vc3mp;6"  
    kVS?RHR  
    (5$ZvXx?}  
    总结 5f:DN\ ]  
    Tx%VU8\?n  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 rgcWRt  
    M*pRv  
     
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