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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-22
    1.概述
    p6NPWaBR  
    [<5/s$,i  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 FAL#p$y}  
    .rG~\Ws  
     [Rub  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 ~"0{<mMcX  
    45n.%*,  
     Uj\t04  
    激光雷达的基本原理如下图: 8G3 Z,8P4(  
    -<k)|]8  
    2.1设计要求
    xI<B)6D;f  
    4CchE15  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: ;~DrsQb  
    "=n%L +6%  
    5Pq6X  
    n-SO201[*  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um \BH?GMoP  
    波长905+-5nm x1Y/^ks@2  
    焦距15mm @GD $KR9  
    视场角 2w  =76 BJ]L@L%  
    FN  =1.4 Y'jgp Vt  
    后焦26mm zRmVV}b  
    总长77mm AA)pV-  
    相对照度全视场>0.7且均匀 -fV\JJ  
    畸变<8% % >a /m.$  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    5FuV=Yuc  
    w)* H&8h@  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 Du +_dr^4  
    Xs|d#WbX  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 :R +BC2x  
    Dq%} ({+  
    N%'(8%;  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: Tc!n@!RA|  
    _.R]K$U  
    so1  
    基本参数 \1&4wzT  
    5 (!FQ  
    cAGM|%  
    初始结构的像质 S&-F(#CF^  
    #g@4c3um|  
    畸变 o3\^9-jmp  
    nu:l;+,VY  
    3N!v"2!#  
    MTF y${`W94  
    7p\&D?  
    ^tSwAanP\  
    相对照度表格和图像 -dF (_ %C  
    `Ix`/k}  
    rQNm2h  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 & ^1 b]f  
    ~|, "w90  
    -IVWkA)7  
    固定光阑 @:B}QxC  
    pYm#iz  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 ReD]M@;  
    ^fsC]9NS  
    9@lG{9id?  
    添加真实材料 3!cenyE  
    /&G|.Cx  
    LttA8hf5q?  
    6C<GYzzo  
    w;(=w N\  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: c;]^aaQ+>  
    !mWm@ }Ujg  
    9bRUN<  
    v5e*R8/  
    最终结果像质 -R1;(n)  
    vg3iT }  
    畸变<8%,满足条件 ? p[Rv  
    uit.r^8l  
    q9VBK(,X  
    G#f3 WpD  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 G(shZ=fq  
    |{-?OOKj  
    9 `bLQd  
    ?IS[2 v$   
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 _-#o[>2[  
    Eb6cL`#N  
    ek/zQM@%  
    总结 ]oz>/\!  
    @].!}tz  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 90Sras>F  
    9An \uH)mL  
     
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