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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 07-22
    1.概述
    (5>IF,}!L  
    \&4)['4,  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 L87=*_!B;  
    7-c3^5gn{  
    .1h1J  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 !==C@cH<N  
    5mg] su&#  
    E[tEW0ub  
    激光雷达的基本原理如下图: <v$yXA  
    -bp7X{&  
    2.1设计要求
    M (.Up  
    =EUi| T4:  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: 1VB{dgr  
    ju(QSZ|;  
    ::!{f+Up  
    Bu#\W  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um MXynv";<H  
    波长905+-5nm 89[OaT_hs  
    焦距15mm y-vQ4G5F|  
    视场角 2w  =76 ^spASG -o  
    FN  =1.4 Pql;5 ~/  
    后焦26mm Uc5BNk7<=  
    总长77mm b0[H{q-z{X  
    相对照度全视场>0.7且均匀 v:u=.by99  
    畸变<8% JV;-P=o1B  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    e*pYlm  
    pF'M  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 |oTA $bln  
    o '!WW  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 ! f*t9 I9Q  
    nHIW_+<Mf  
    k>!A~gfP~  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: P~u~`eH*  
    Hb@PQcj  
    _A=Pr _kN  
    基本参数 8% `Jf`  
    <jtu/U]78|  
    NZt 8L?  
    初始结构的像质 @1+({u#B  
    .{66q#.  
    畸变 ,B$m8wlI|  
    5hE mXZ%  
    DeGcS1_?  
    MTF  H+Se  
    9vJ'9Z2\  
    5)<}a&;{  
    相对照度表格和图像 wQ~F%rQ$  
    Oo8"s+G  
    H@BU/{  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 p^9u8T4l1  
    `Y.Q{5Y  
    "D.`:9sk0  
    固定光阑 D|X@aUp 8}  
    F;<cG `|Rx  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 }?=4pGsI  
    _.K<#S  
    nZ~J &QK-  
    添加真实材料 kY]^~|i6  
    ky |Py  
    VXIB9 /*i  
    1g bqHxWI  
    [Z{0|NR  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: 0Nq6>^ %  
    Q*l_QnfG  
    f)%8*B  
    pTIE.:g(  
    最终结果像质 %TA@-tK=  
    D+69U[P_A  
    畸变<8%,满足条件 A"R5Fd%6pc  
    9ZXEy }q57  
    A]q"+Z]  
    R,KoymXP  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 4/M~#  
    :/941?%M  
    UsBtk  
    !(-S?*64l  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 MPF;P&6  
    vILq5iR  
    ds D!)$  
    总结 pv){R;f  
    C J#1j>  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 9#ZR0t.cY  
    89X`U)Ws  
     
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