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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十三:反射式光刻物镜设计| [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 07-22
    1.概述
    -bdWG]w"  
    %O#zE-H"  
    激光雷达  (Laser Detection And Ranging, LADAR Light Detection And Ranging, LIDAR)  别于传统的以微波和毫米波作为载波的雷达,是指以激光作为载波、以光电探测器作为接收器件、以光学镜头作为天线的光雷达。 Nl,iz_2]  
    +e*C`uP!  
    <& +jl($"  
    其工作原理是向被测目标发射激光束,然后测量反射或散射信号的到达时间、强弱程度等参数,以确定目标的距离、方位、运动状态及表面光学特性,从而建立测量目标的三维成像信息。由于探测精度高、功耗低、体积小、易于装备等特点,目前激光雷达在地形测绘、城市建模、工业制造、自动驾驶,以及预警探测、制导、引信等技术中等领域已得到广泛的应用,具有良好的应用前景。 4|5;nxkGm8  
     q"T?  
    m{Uh{G$  
    激光雷达的基本原理如下图: 0m.`$nlV-  
    3WwCo.q;m  
    2.1设计要求
    h@1/  
    Wtk|}>Pf  
    为了提高激光雷达的探测范围、分辨率和精度,激光雷达接收镜头也在往大视场、大孔径方向发展。下面是一个大视场大孔径的激光雷达接收物镜的指标: YryMB,\  
    {: _*P TVk  
    I8T*_u^_  
    q&&"8.w-  
    固态激光雷达探测器:像面尺寸19.5×11.5mm,像元面积35×45um !ii( 2U  
    波长905+-5nm ujBm"p_|  
    焦距15mm >FHx],  
    视场角 2w  =76 NX(+%EBcA  
    FN  =1.4 \nuz l   
    后焦26mm G,P k3>I'  
    总长77mm Ei+lVLoC  
    相对照度全视场>0.7且均匀 Lk$Mfm5"M  
    畸变<8% mC\<fo-u  
    MTF  >0.5 全视场 20 lp/mm
    gp 11/ .  
    ;@gI*i N"  
    搜索宏和运行结果请评论区留言获取 EXH,+3fQp  
    |E$q S)y  
    运行搜索宏可以得到10个初始结构 Xg1TX_3Ml  
    ;g+fY 6  
    tBZ?UAe;  
    从中找出一个最佳结构,接下来进行下一步分析: =HIKn6C<  
    ,\3Cq2h  
    |9$C%@8  
    基本参数 cw)J+Lyh  
    5?Q5cD2]\6  
    x30|0EHYl[  
    初始结构的像质 jgXr2JQ<  
    ,-k?"|tQ  
    畸变 . 8ikcs  
    +Lc+"0*gV*  
    fy$CtQM  
    MTF vlDA/( &  
    [J eq ?X9  
    jw\4`NZ]  
    相对照度表格和图像 Rc D5X{qS#  
    /4+zT?f  
    /FW$)w2{j  
    中间优化步骤,优化宏请评论区留言获取 \}=W*xxB  
    ^e =xEZD  
    iGj,B =35  
    固定光阑 -H[@]Q4w  
    S ;8=+I,  
    在合适的位置插入光阑,使用指令固定光阑位置并模拟退火优化 +gBD E :  
    KMfRMc&  
    l6xqc,h!K  
    添加真实材料 'zMmJl}\vd  
    ~=HPqe8  
    _Fv6S}~Q  
    .ty2! .  
    O)&ME  
    优化后查看 pad 发现边缘厚度不好,太薄了加工困难,重新优化宏设置 AEC  2 1 1 ,得到结果: J?Q@f  
    QL2 LIs  
    +@8, uL  
    (o{x*';i4  
    最终结果像质 K~^o06 Y  
    <bhJ>  
    畸变<8%,满足条件 7hMh%d0d(_  
    ~WV1t][  
    Y}yh6r;i  
    [-e$4^+9  
    MTF >0.5 全视场 20 lp/mm,满足条件 :c )R6=v  
    tN.BI1nB  
    f1o^:}5x  
    r,vSDHb`j  
    相对照度全视场>0.7且均匀,满足条件 h.- o$+Sa  
    #Ak9f-pf  
    -(%Xq{  
    总结 c1*^ \   
    hA&m G33  
    该镜头所有指标已经基本满足要求,使用了7片透镜 YCzH@94QeV  
    ~\u>jel  
     
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