摘要
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w SI0N 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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{REGoe=W% _|{Z850AS 建模任务
[fY7| )~`UDaj_ 3GrIHiCr 仿真干涉条纹
At!@Rc w|NI d,#f (M{>9rk8 走进VirtualLab Fusion
I9xkqj L uW""P/
_C19eW' !pHI`FeAV VirtualLab Fusion中的工作流程
,W;|K 5 Fl*<N •设置输入场
OLV3.~T −基本光源
模型[教程视频]
K[x=knFO
•使用导入的数据自定义表面轮廓
2B5Ez,'#x •定义元件的位置和方向
}}bMq.Q' − LPD II:位置和方向[教程视频]
u|k_OUTq •正确设置通道以进行非
序列追迹
B
]sVlbt −非序列追迹的通道设置[用例]
\GKR(~f •使用
参数运行检查影响/变化
e
[6F }."c −参数运行文档的使用[用例]
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VirtualLab Fusion技术
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