摘要
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z l20q(lb 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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*qr9* a Z'p:9e 建模任务
s^U^ n // 5u&jNU5m_ 4ldN0 _ T5 仿真干涉条纹
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C 走进VirtualLab Fusion
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2|cIu ' U "[%NXan VirtualLab Fusion中的工作流程
(T ^aZuuS V;z?m)ur •设置输入场
Ze~\=X" " −基本光源
模型[教程视频]
njIvVs`q •使用导入的数据自定义表面轮廓
ugCc& ~` •定义元件的位置和方向
$&4Z w6"= − LPD II：位置和方向[教程视频]
Y,a.9AWw) •正确设置通道以进行非
序列追迹
n"pADTaB −非序列追迹的通道设置[用例]
XH . _Z •使用
参数运行检查影响/变化
+V) (,f1 −参数运行文档的使用[用例]
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YONg1.^!( DJbj@ 2W[ VirtualLab Fusion技术
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