摘要
)[h QK_e] 4ky@rcD 1 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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[8Zvs=1 n~NOqvT < 建模任务
]p2M!N,? GE[J` ?E] |cE 69UFB 仿真干涉条纹
CwVORf,uA ^.@BD4/RPt WwM/M!98J 走进VirtualLab Fusion
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Q7$K,7flf; 9n${M:F VirtualLab Fusion中的工作流程
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nZ 0rxx[V? •设置输入场
)N4_SA −基本光源
模型[教程视频]
>1Y',0 v •使用导入的数据自定义表面轮廓
;:l\_b'Z} •定义元件的位置和方向
n^ AQ !wC − LPD II：位置和方向[教程视频]
^l4=/=RR •正确设置通道以进行非
序列追迹
6 U`y f&D −非序列追迹的通道设置[用例]
hkq[xgX •使用
参数运行检查影响/变化
y J&`@gB −参数运行文档的使用[用例]
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_ cY!\' #X(KW&;m VirtualLab Fusion技术
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