[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 W$Yc'E ;  
rJInj>
|{=  
扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 'vaLUy9]  
"AhTH.ZP  
V)i5=bHC  
T!}[yW  
建模任务 @hImk`&[N  
R?EASc!b  
EmT`YNuc  
仿真干涉条纹 y{a$y}7#X  
*cg( ?yg  
xN@Pz)yo  
走进VirtualLab Fusion k%op> &  
;eZ#bjw-d  
08m;{+|vY  
`K >?j
u"  
VirtualLab Fusion中的工作流程 \rV B5|D?  
6Ik,zQL  
•设置输入场 mG1IQ!  
−基本光源模型[教程视频] a3>zoN  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 5]1h8PW!Y  
•定义元件的位置和方向 9lo[&^<  
− LPD II：位置和方向[教程视频]
WWZ9._  
•正确设置通道以进行非序列追迹 cubk]~VD  
−非序列追迹的通道设置[用例] nB ".'=  
•使用参数运行检查影响/变化 *AIEl"29  
−参数运行文档的使用[用例] =)OC|?9C\  
Fequm+  
;*[9Q'lI*  
TjBY 4  
VirtualLab Fusion技术 ~/tKMS6T  
Y3ZK%OyPR