[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 D?_#6i;DJ  
 ]=g|e  
扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 Cz_chK4  
6\9 9WQ  
lYu1m  
hrRX=  
建模任务 ~f2zMTI|  
8}W06k>)%  
t9()?6H\  
仿真干涉条纹 :22IY>p  
;pNHT*>u,  
U{>eE8l  
走进VirtualLab Fusion (&$|R\W.  
ft[g1  
hexq]'R  
|8"~ou:.  
VirtualLab Fusion中的工作流程 G K @]61b  
>cD+&h34  
•设置输入场 <z|?C  
−基本光源模型[教程视频] ^q,KRut  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 Ga%]$4u  
•定义元件的位置和方向 hqY9\,.C  
− LPD II：位置和方向[教程视频] z~xN]=  
•正确设置通道以进行非序列追迹 v;;X2 a1k  
−非序列追迹的通道设置[用例] \6Ze H  
•使用参数运行检查影响/变化 E `)p,{T  
−参数运行文档的使用[用例] wDZFOx0#8  
6mBX{-Z[  
BifA&o%  
?Y'S /  
VirtualLab Fusion技术 z[S,hD\w  
.>?["e#,