摘要
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干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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A1#%`^W9 $!(pF 建模任务
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%M3PTY\ 仿真干涉条纹
Nkl_Ho, ;YX4:OBqr U,q\em R 走进VirtualLab Fusion
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&8_gRP J<maQ6p VirtualLab Fusion中的工作流程
0[*qY@ m:Z U1RpLkibQ •设置输入场
!@'6)/ −基本光源
模型[教程视频]
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;vAf •使用导入的数据自定义表面轮廓
g(J&m< I •定义元件的位置和方向
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JQ>?D − LPD II：位置和方向[教程视频]
I _rO ! •正确设置通道以进行非
序列追迹
;R?I4}O#R8 −非序列追迹的通道设置[用例]
0B@Jity#! •使用
参数运行检查影响/变化
4^Q : −参数运行文档的使用[用例]
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QC;^xG+W j;3[KLmuK% VirtualLab Fusion技术
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