摘要
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=r <0lXJqd 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
j("$qpv :5)Dn87 k=;>*:D% _Z~cJIEU 建模任务
dRwOt fM,!9}< =&+]>g{T 仿真干涉条纹
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~u9"SR. 走进VirtualLab Fusion
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R"6 W|@7I@@$" h>Z NPP8N zED#+-7 VirtualLab Fusion中的工作流程
V11(EZJ/j vW6
a=j8 •设置输入场
]U[y3 −基本光源
模型[教程视频]
Xjb 4dip •使用导入的数据自定义表面轮廓
Xae0xs •定义元件的位置和方向
b"D? @dGB, − LPD II:位置和方向[教程视频]
&6]+a4 •正确设置通道以进行非
序列追迹
8:#\g −非序列追迹的通道设置[用例]
~ZrSoVP= •使用
参数运行检查影响/变化
0e./yPTT −参数运行文档的使用[用例]
i4<&zj}) fZQL!j4 t<~WDI|AN /zt9;^e VirtualLab Fusion技术
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