摘要
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干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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~x:DXEV, Orn0Zpp<z 建模任务
]0V}D,V($ Qdk6Qubi! `#P$ ]: 仿真干涉条纹
i[jJafAcN g"VMeW^ R`8@@} 走进VirtualLab Fusion
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VirtualLab Fusion中的工作流程
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$u •设置输入场
&[vw 0N- −基本光源
模型[教程视频]
Uz7oL8 •使用导入的数据自定义表面轮廓
hZXXBp •定义元件的位置和方向
=T?}Nt − LPD II:位置和方向[教程视频]
YY((#"o;l •正确设置通道以进行非
序列追迹
\Q?ip&R −非序列追迹的通道设置[用例]
{7hLsK[]) •使用
参数运行检查影响/变化
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Xl −参数运行文档的使用[用例]
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{$D,?V@%_ /*FH:T<V VirtualLab Fusion技术
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