摘要
og4mLoLA n HLMF7\ 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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>` ` d^5x@E_Td 建模任务
m,rkKh XP <Iil*\SC d-H03F@N 仿真干涉条纹
>YcaFnY m:9|5W Y7')~C`up^ 走进VirtualLab Fusion
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G%R'/* VirtualLab Fusion中的工作流程
kJCeQK:W wxF \enDY •设置输入场
T#& X7!4 −基本光源
模型[教程视频]
g6OPYUPg •使用导入的数据自定义表面轮廓
=9:gW5F69 •定义元件的位置和方向
7T(&DOGZ − LPD II：位置和方向[教程视频]
S>s+ nqcP •正确设置通道以进行非
序列追迹
zu,Yuq −非序列追迹的通道设置[用例]
e?KzT5j: •使用
参数运行检查影响/变化
]i>,oxBWe −参数运行文档的使用[用例]
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`r %lB zNg[%{mz VirtualLab Fusion技术
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