摘要
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c; 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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|AD"}8 <K6gzi0fl 建模任务
(.r9bl w4I&SLm-b \_GG6 仿真干涉条纹
EL/~c*a/ ?xkw~3Yfi 5pC+*n. 走进VirtualLab Fusion
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8| $r3kAM;V: VirtualLab Fusion中的工作流程
Ddu1>"p-x S=f:-?N| •设置输入场
r>o#h+'AV −基本光源
模型[教程视频]
TPE1}8p17 •使用导入的数据自定义表面轮廓
z?Hi
u6c- •定义元件的位置和方向
N+0[p@0 − LPD II:位置和方向[教程视频]
<vb%i0+b.^ •正确设置通道以进行非
序列追迹
.{\lbI −非序列追迹的通道设置[用例]
dUvgFOy|P •使用
参数运行检查影响/变化
&|]GTN`E −参数运行文档的使用[用例]
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FqWW[Bgd g]$e-X@k VirtualLab Fusion技术
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