摘要
3!p`5hJd sr;&/l#7h 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
AA=Ob$2$ 5]dlD # c@[Trk m <h:xZtz 建模任务
o^2MfFS (o|bst][S 0V<kpC,4 仿真干涉条纹
N[W#wYbH !rRBy3& _:9}RT? 走进VirtualLab Fusion
XF(D%ygeC Vpg>K #w *MmH{!= eB#I-eD VirtualLab Fusion中的工作流程
$}su'EIo Ds(Z. •设置输入场
]\^O(BzB −基本光源
模型[教程视频]
;EJ!I+ •使用导入的数据自定义表面轮廓
>rQj1D)@ •定义元件的位置和方向
&qg6^& − LPD II:位置和方向[教程视频]
%mmV#vwp •正确设置通道以进行非
序列追迹
gV.? Myy −非序列追迹的通道设置[用例]
Kb+SssF •使用
参数运行检查影响/变化
D-{*3?x −参数运行文档的使用[用例]
I4@XOwl{P ![B|Nxq}@ ^ELZ35=qZ fr(Ja; VirtualLab Fusion技术
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