摘要
^X<ytOd5 "C+Fl
/v 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
hPUYq7B Zr;(a;QKs
l"
H/PB<. s06R~P4
建模任务
+ L#):xr a#,lf9M 7JP.c@s 仿真干涉条纹
6r)qM)97 u8[jD^ f/=H#'+8 走进VirtualLab Fusion
DFqVZ \Eyy^pb
k12mxR/ hC2Ra "te) VirtualLab Fusion中的工作流程
B4 # gT C6,W7M[c •设置输入场
"gi 1{ −基本光源
模型[教程视频]
GSg/I.)S •使用导入的数据自定义表面轮廓
%C*h/AW)' •定义元件的位置和方向
Ea3 4x − LPD II:位置和方向[教程视频]
rjT!S1Hs •正确设置通道以进行非
序列追迹
YCB=RT]&` −非序列追迹的通道设置[用例]
SyR[G*djl •使用
参数运行检查影响/变化
)TgjaR9G −参数运行文档的使用[用例]
[Uu!:SZ 0CUUgwA/
^VB_>|UN4 gOA]..lh VirtualLab Fusion技术
jhSc9 orAEVEm