摘要
B-zt(HG $nN$" 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
8b
$7# ?os0JQVB
5Ep !%=k/|# 建模任务
8ttw!x69)_ ~=Sr0+vV / nRaxzf' 仿真干涉条纹
W`kgYGnFG N/p_6GYMa o!d0 走进VirtualLab Fusion
ea/6$f9^ 0eIR)#j*
%vzpp\t D':A-E VirtualLab Fusion中的工作流程
U[u6UG !Zx>)V6. •设置输入场
)/w2]d/9 −基本光源
模型[教程视频]
MDt4KD+bZ •使用导入的数据自定义表面轮廓
Kxn=iv^Ir •定义元件的位置和方向
\zU R9h − LPD II:位置和方向[教程视频]
cQ%HwYn •正确设置通道以进行非
序列追迹
uR[i9%=8L( −非序列追迹的通道设置[用例]
_\zfXHp •使用
参数运行检查影响/变化
!LA#c' −参数运行文档的使用[用例]
hCrgN?Mz mbK$Wp#
LgYzGlJp Ig2VJ s; VirtualLab Fusion技术
EWi@1PAZK ah.Kb(d: