[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 |%XcI3@*  
vY.VFEP/  
扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 WB'1
_a  
qo\9,<  
\@h$|nb  
:F[s  
建模任务 kQ&Q_FSO  
pd,d"+  
K9}Brhe  
仿真干涉条纹 c]U+6JH  
"B+F6  
o>+mw|{  
走进VirtualLab Fusion ct,;V/Dx  
?9eiT:2  
Br<lP#u=G  
T)q Uf H  
VirtualLab Fusion中的工作流程 Qof%j@  
* Z)j"i  
•设置输入场 &F7_0iAP(  
−基本光源模型[教程视频] 4=y&}3om(0  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 W79.Nj2`  
•定义元件的位置和方向 @U?&1.\  
− LPD II：位置和方向[教程视频] 2Rwd\e.z  
•正确设置通道以进行非序列追迹 UYy #DA  
−非序列追迹的通道设置[用例] ra^%__N}  
•使用参数运行检查影响/变化 Fx1FxwIJ  
−参数运行文档的使用[用例] ;{R;lF,  
GZx*A S]+  
f9y+-GhaD  
qvWi;  
VirtualLab Fusion技术 G[u6X_Q  
I!kR:Z