[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要  3*Q=)}  
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 :^W}$7$T  
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建模任务 <',k%:t  
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仿真干涉条纹 G(?1 Urxi  
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走进VirtualLab Fusion #9s)fR  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 t{B@k[|  
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•设置输入场 j=U"t\{  
−基本光源模型[教程视频] Vo^J2[U  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 '4d4i  
•定义元件的位置和方向 s]e`q4ip  
− LPD II：位置和方向[教程视频] #/Ob_~-?j  
•正确设置通道以进行非序列追迹 $Tv~ *|a  
−非序列追迹的通道设置[用例] F#yn'j8  
•使用参数运行检查影响/变化 ewT K2  
−参数运行文档的使用[用例] Ohj^Z&j  
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VirtualLab Fusion技术 WJ-.?   
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