摘要
3HDnOl8t OGD8QD 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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#$ 建模任务
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>wmg*J 5;i!PuL 仿真干涉条纹
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走进VirtualLab Fusion
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{"@b` 7! A%6 VirtualLab Fusion中的工作流程
(fI&("; t BD-c 0-+m •设置输入场
Ubos#hP −基本光源
模型[教程视频]
?H86Wbz •使用导入的数据自定义表面轮廓
?}lp o; $ •定义元件的位置和方向
{dr&46$p − LPD II:位置和方向[教程视频]
<:yq~? •正确设置通道以进行非
序列追迹
1p"EE~v −非序列追迹的通道设置[用例]
2ZzD^:V[} •使用
参数运行检查影响/变化
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\c −参数运行文档的使用[用例]
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qzbkxQu]g VirtualLab Fusion技术
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