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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 >TE&myZ?*  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 LRs{nN.N  
    OygYP  
    初始宏文件可以评论区留言获取 ecb[m2z  
    lIf Our  
    1 >Op)T>{c  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 a8N!jQc_m  
    3|A"CU/z@  
    2.1设计要求
    ?;$g,2n  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: b`2~  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 .sLx6J%  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: dO=<3W  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    2XE4w# [j  
    BH}u\K  
    ev; &$Hc  
    以上展示部分命令,这其中, BKIt,7j  
    OBG 的物是高斯光束. UkdQ#b1  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. R_^:<F0  
    得到的初始结构如下:
    .{Xi&[jw  
    Z/0M9 Q%  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 Un<~P@T%  
    原因如下: -Ju!2by  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 `a J[ !O  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 m^ILcp!  
    优化
    0]Li "Wb  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 F8pLA@7[  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 V'9 k;SF  
    改变高阶项
    GUK/Xiu  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? @M(vaJB8u  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 Z6Mh`:7  
    HELP USS ]@'YlPU  
    然后找到类型16。 }NUP[%  
    X<1# )xC  
    优化结果
    <mpkkCl,  
    D3_,2  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 s^ 6S{XJ  
    光通量
    ON$u581 y  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 rod{77  
    y :457R2F  
    [1E u6X6  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? <$UY{"?  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 'a0$74fz  
    打开 MMA对话框。 Q4UaqiL  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 X&K1>dgWP  
    Object point (物体坐标)设定为 0, HK}C<gg  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, |=SaI%%Be  
    数字化输出, J3K!@m_\  
    绘制图表。 wc ^z9y  
     _G`kj{J  
    ATwPfo8jx@  
    这是一个表面光栅的分布图。 RhYf+?2  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? 0"ZRJl<)[I  
    -{ZRk[>Z  
    0{ \AP<  
    在 PANT 文件中添加一个变量: %POoyH@D}  
    VY 5 RAD Peb;XI  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: pwm ]2}+  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 /Wt<[g#  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 mio\}S A  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    C EAwQH  
    光通量
    光栅分布
    @c5TSHSL.  
    `|I h"EZ  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 hMDy;oQ  
    镜片表面高斯光强分析
    j134iVF%  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. |E|d"_Ma  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE b]@^SN9  
    58WL8xu  
    *;Sj&O  
    ^xFZ;Yf  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) @*!8  
    它有着预期的高斯分布的形状。 {8'I+-  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 FL- sXg  
    输入: U#-89.x  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE >=$( ,8"  
    非常均匀水平的光强分布。 U }xRvNz  
    LLCMp3qBz  
    DMASK 图像
    iku) otUc  
    {4\(HrGNk  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 <$/'iRtRzW  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
     
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