1.概述
(z 9 M 衍射
透镜也被称为
光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的，用来让
光线的相位变化刚好是一个
波长或者是相位的一个周期。
3@42u G> / }Pj^^6A< 初始宏文件可以评论区留言获取
.,F`*JVFq DIw9ov>k (\UpJlW 所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射，所以它的衍射效率很高。
-car>hQq ?azcWf z0 2.1设计要求
qP BOt;N 下面是一个衍射透镜设计
激光光束整形器的指标：
i2+_~$f 将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。
>Og| *g SYNOPSYS 初始结构搜索
镜头文件和运行结果：
,ygUy] 初始宏文件可以评论区留言获取
x;{Hd;<YF mgMa)yc!dp A DVUx} 以上展示部分命令，这其中，
h43py8v OBG 的物是高斯光束.
\,ne7G21j DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE.
h"7~`!"~ 得到的初始结构如下：
8]D0) 83J6 3Xa 这是最初的设计，效果并不是十分理想
1m y 1m 原因如下：
$,zW0</P*l 1.光束被扩大了但是并不准直。
6aLRnH"Ud 2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。
^.9D f A0 优化
r
@}N6U~* DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。
8([ MR 优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。
}N&? 8s= 改变高阶项
Z/czAr@ 4 应该怎样确定改变哪个 G 变量?
G=]ox*BY 所有的一切只需要按几下按键. 输入
f,x;t-o+R HELP USS
Y#QXvo% 然后找到类型16。
YSrjg|k* @C%6Wo4l3 优化结果
%JgdLn QE (&Rql7](8 还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数，将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。
(D:-p:q. 光通量
`hdN 6PgK 透镜看起来还是和原来一样，但是需要检查光通量的均匀性，输入 FLUX 100 P 6
JIIc4fyy8s rp+]f\] h nxB[T o*P 得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗?
D|*yeS4> 如果空间频率太高，制造技术可能会出现问题。
HX) ]@qL 打开 MMA对话框。
1nw\?r2 在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。
NeJ->x, Object point (物体坐标)设定为 0，
--EDr>'D5P 光线网络 CREC 设置为网格 7，
$ 6(a6! 数字化输出，
N<ux4t z 绘制图表。
?GlXxx=eV 9c%CCZ A{e>7Z72 这是一个表面光栅的分布图。
XhA tf @n 边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造，能不能减小, 比如说到 50 c/mm?
r@/@b{= o".,JnbX l KaX*) P 在 PANT 文件中添加一个变量:
SU1N*k#-o VY 5 RAD
!FD d5 CS 然后再 AANT 文件加入一个新的像差:
P*H0Hwn; M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4
TyjZ 优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。
k>\v]&|T` 最后的优化宏文件可以评论区留言获取
:t < S 光通量
光栅分布
[ :(/cKo y$9! rbL 现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。
>c Lh $;l 镜片表面高斯光强分析
#4JLWg 现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布.
@%G?Nht]o DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE
`a!9_%|8 {
0-on "o DVVyWn[ U1 HG{u,"y 这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, （在通过第二个DOE之前。）
M >[
A 它有着预期的高斯分布的形状。
8\^A;5 现在对表面 6也进行相同的操作。
!/!ga)Y 输入：
-7]j[{?w DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE
jCXBp>9$M 非常均匀水平的光强分布。
N #ZWW6 gb|;]mk*" %B( rW?p& ,wM4X'] HR 这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。
E3l* _b0 如果 DOE 是通过光蚀刻制成的，这是要被
成像到衬底上的底模。
