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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 "D _r</b  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 !xfDWbvHV  
    !iKW1ks  
    初始宏文件可以评论区留言获取 .DhI3'Jrl  
    |y U!d %  
    7b[s W|{  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 {&,p<5o  
    GIM/T4!)  
    2.1设计要求
    z3uR1vF'  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: ^)~Smj^d  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 x 4+WZYv3  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: -/pz3n  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    }ouGxs+^[  
    %xlpOR4  
    j~k,d.17M  
    以上展示部分命令,这其中, *~)6 sm  
    OBG 的物是高斯光束. (Lgea  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. no3yzF3Hi  
    得到的初始结构如下:
    yMz#e0k  
    |@X^_L.!  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 (N9-YP?qm  
    原因如下: wuH*a3(  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 + +}!Gfc?s  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 R.rc h2  
    优化
    -`PziG l@<  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 ] zol?  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 ed,A'S= d  
    改变高阶项
    _u[tv,  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? =7<JD}G  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 #"N60T@  
    HELP USS LeLUt<4~  
    然后找到类型16。 .7.lr[$g  
    ,p d -hu  
    优化结果
    uCDe>Q4@/  
    ;d6Dm)/(  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 eL}w{Hlk T  
    光通量
    W~ ~'  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 t(#9.b`W)  
    .G[/4h :.  
    @ b!]Jw  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? ]@#9B>v=  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 :*}Q/]N  
    打开 MMA对话框。 ab2FK  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 GOc   
    Object point (物体坐标)设定为 0, ;;,7Jon2  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, Me .I>7c  
    数字化输出, }3{eVct#|  
    绘制图表。 {$^'oRk  
    qPQIcJ  
    VmqJMU>.  
    这是一个表面光栅的分布图。 |T|m5V'l  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? c<_%KL&R  
    [7vV#s3kJ  
    r^~+ <"  
    在 PANT 文件中添加一个变量: JY"jj}H]|  
    VY 5 RAD o]<Z3)  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: XDY]LAV  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 g$K\rA  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 KoERg&fY  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    {XOl &  
    光通量
    光栅分布
    '0HOL)cIz  
    N{v)pu.  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 !/}3/iU  
    镜片表面高斯光强分析
    I\Op/`_=E  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. j9+4},>>CU  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE ]>X_E%`G<b  
    e(t}$Q=  
    Tvx1+0Z%z  
    ?@'&<o0p#  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) tJ^p}yxO  
    它有着预期的高斯分布的形状。 QF>T)1&J[7  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 nJ;^Sz17Q  
    输入: |n 26[=\B  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE ]*=4>(F[  
    非常均匀水平的光强分布。 296}LW  
    N9w"Lb  
    DMASK 图像
    A8m06  
    fu5L)P^T  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 a:cci?cb  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
     
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