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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 :x[()J~N  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 L[9Kh&c  
    hx;kNcPbI  
    初始宏文件可以评论区留言获取 aACPyfGQ  
    bri8o"  
    3{~(_  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 <EgJm`V  
    #yR&|*@  
    2.1设计要求
    sT!?nn3O`  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: |;~2y>E  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 ]o"E 4Vht  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: BQ u8$W  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    HH7WMYoKY  
    SE'|||B  
    Q <D_QJ  
    以上展示部分命令,这其中, +FadOx7X$  
    OBG 的物是高斯光束. -(WRhBpw  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. w.J$(o(/  
    得到的初始结构如下:
    tF-l=ph}`  
    ;a@riPqx!  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 j0~c2  
    原因如下: 9#hp]0S6  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 H<fi,"X^  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 Yl'8" \HF  
    优化
    O%>*=h`P  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 @|t]9  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 8N"WKBj|_d  
    改变高阶项
    =8tK]lb  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? 1,OkuyXy!>  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 NrXIaN  
    HELP USS \ILNx^$EL  
    然后找到类型16。 '&,p>aM  
    Da8gOZ  
    优化结果
    .xT{Rz  
    6la'\l#  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 yFmy  
    光通量
    J %A=  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 )7+z/y+[n  
    eXnSH$uI  
    5RWqHPw+  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? iZ}c[hC'3`  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 H?Sv6W.~  
    打开 MMA对话框。 nu1XT 1q1  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 aj1,h)P  
    Object point (物体坐标)设定为 0, GJQ>VI2cY  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, P`Now7! GW  
    数字化输出, \*{MgwF  
    绘制图表。 Bnk<e  
    *JFkqbf  
    Dbi ^%  
    这是一个表面光栅的分布图。 v,QvCozOz  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? "HqmS  
    Q=DMfJ"  
    RR+kjK?  
    在 PANT 文件中添加一个变量: =Gzs+6A8  
    VY 5 RAD t&w.Wc X)  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: D~i5E9s5  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 H$WD7/?j  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 2-Q5l*  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    FF^h(Ea  
    光通量
    光栅分布
    ',]Aj!q  
    ey9hrRMR  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 b|Ge#o  
    镜片表面高斯光强分析
    zx]r.V  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. {t! &x:  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE ge?0>UU;~  
    [$d]U.  
    k}nGgd6XD  
    >m!Z$m([J  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) n=~!x  
    它有着预期的高斯分布的形状。 .L%pWRxA[  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 VrfEa d  
    输入: &3"ODAp'  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE "m6G;cv  
    非常均匀水平的光强分布。 wVI_SQ<8V  
    t$VRNZ`dy  
    DMASK 图像
    n<FUaR>q}  
    AsuugcN*  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 tg 'gR  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
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