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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 dZ|x `bIgs  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 Oh5aJ)"D  
    ;5tQV%V^Q  
    初始宏文件可以评论区留言获取 +'9E4Lpx  
    .~,=?aq^  
    q$'D}OHT  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 F$@(0c  
    ;T :]?5W!  
    2.1设计要求
    M \UB r4  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: 0y`r.)G  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 R1~wzy  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: qF Xx/FZ  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    o[%\W  
    ]([^(&2  
    7;9 Jn  
    以上展示部分命令,这其中, p&2oe\j$,  
    OBG 的物是高斯光束. 6h7TM?lt  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. W>(w&k]%B  
    得到的初始结构如下:
    :6J&%n  
    8'M:uI  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 R$bDj >8  
    原因如下: Xi0fX$-,  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 sAS[wcOQ  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 l4ru0V8s7  
    优化
    -8yN6 0|  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 )]C(NTfxg  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 5c$\DZ(  
    改变高阶项
    JPM~tp?;<  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? 8cGoo u6  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 G7%f| Y  
    HELP USS 1 %8JMq\  
    然后找到类型16。 JHa\"h  
    ?\$6"c<G  
    优化结果
    EMzJyGt7  
    nP_)PDTFp  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 $f=6>Kn|^]  
    光通量
    zEt!Pug  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 6+4SMf3  
    3)y=}jw  
    N@X(YlO  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? ]CDUHz  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 c7D{^$L9 v  
    打开 MMA对话框。 h@dy}Id  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 JCci*F#r  
    Object point (物体坐标)设定为 0, G5ShheZd  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, Z1_F)5pn  
    数字化输出, fr`Q 5!0  
    绘制图表。 Q CO,f  
    $'<FPbUtD}  
    ]QGo(+  
    这是一个表面光栅的分布图。 VaA.J  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? @VQ<X4 Za  
    f)mOeD*u|  
    =1y~Qlu  
    在 PANT 文件中添加一个变量: qWJHb Dd  
    VY 5 RAD MT6"b  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: nl~ Z,Y$  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 R_b4S%jhx  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 <[K3Prf C  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    wVs"+4l<  
    光通量
    光栅分布
    A4(k<<xjE  
    b,X+*hRt  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 N`~f77G  
    镜片表面高斯光强分析
    [^D>xD3B2  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. Bg}l$?S  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE 33&l.[A"!}  
    +X`&VO6~  
    Ze <)B *  
    >!Xj%RW  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) tu(^D23  
    它有着预期的高斯分布的形状。 q]Kv.x]$R  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 C DoD9Hq,  
    输入: 'Va<GHr>+  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE 5~ZzQG  
    非常均匀水平的光强分布。 o2cc3`*8d  
    ,U)&ny  
    DMASK 图像
     3Yo)K  
    ;G[0%z+*  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 *Ms&WYN-  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
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