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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 D4vmBVT  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 _F*w ,b$8  
    eHJ7L8#  
    初始宏文件可以评论区留言获取 S]o  
    .J@[v  
    4l1=l#\S  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 $oQsh|sTI  
    <F3sQAe  
    2.1设计要求
    %<"11;0tp  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: 'H'+6   
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 {x4[Bx1  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: Q)@1:(V/  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    B5cyX*!?  
    c6uKK h>  
    4GfLS.Ip  
    以上展示部分命令,这其中, =5/;h+bk+3  
    OBG 的物是高斯光束. rO`g~>-  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. vedMzef[@>  
    得到的初始结构如下:
    oe*&w9Y}&  
    Z+dR(9otH3  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 tZYI{ m{  
    原因如下: `p{ !5  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 OT& E)eR  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 G}-.xj]  
    优化
    }>w  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 '*XNgvX  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 )c'>E4>  
    改变高阶项
    0;h1LI)  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? tN{t-xUgk  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 ^0|NmMJ]  
    HELP USS f0`' i[  
    然后找到类型16。 B R:  
    N39nJqo>"  
    优化结果
    7L+X\oaB  
    M96( Rg  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 $048y X 7M  
    光通量
    B#?2,  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 a-E-hX2  
    "k<:a2R  
    |3,V%>z  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? W #L"5pRg  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 U+"=  
    打开 MMA对话框。 4LEE /  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 ?66(t  
    Object point (物体坐标)设定为 0, YU=ZZEVi  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, `,Nn4  
    数字化输出, M#cr*%  
    绘制图表。 6lWFxbh  
    0c61q Q6  
    o$ce1LO?|N  
    这是一个表面光栅的分布图。 uvDoo6'  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? gc@#O#K~h^  
    ~{vdP=/WP  
    -?nT mzRc  
    在 PANT 文件中添加一个变量: +q j*P9  
    VY 5 RAD H~|%vjH  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: eqZ+no  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 nbASpa(  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 -t 6R!ZI  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    !e'0jf-~  
    光通量
    光栅分布
    3rdfg  
    p$nK@t}  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 2-V)>98  
    镜片表面高斯光强分析
    ~y2)&x  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. !049K!rP{  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE eq~c  
    )6>|bmpU  
    9J7J/]7f  
    NVJ&C]H6  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) %Lp7@  
    它有着预期的高斯分布的形状。 !p,hy `  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 AM[jL'r|  
    输入: %i&/$0.8  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE i.t9jN  
    非常均匀水平的光强分布。 6%kJDY.  
    '^U tbp2<  
    DMASK 图像
    Dk`4bYK  
    !(*a+ur&i  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 +lW}ixt  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
     
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