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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 3Cd<p[%3#,  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 qz87iJp&  
    unJ iE!  
    初始宏文件可以评论区留言获取 j7,13,t1-  
    >^ ;(c4C  
    r:.6"VQu}  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 "B~WcC  
    yW{mK  
    2.1设计要求
    NQg'|Pt(%  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: &b!vWX1N  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 U-1VnX9m  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: f@h2;An$w  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    QYH."7X >  
    $\0TD7p  
    K_Z+]]$#  
    以上展示部分命令,这其中, '1Y<RD>x  
    OBG 的物是高斯光束. k+f1sV[4}  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. R !Fx)xj  
    得到的初始结构如下:
    [#7D~Lx/  
    87+.pM|t%  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 {uEu >D$8  
    原因如下: 8NxUx+]  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 (I>HWRH  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 $1b]xQ  
    优化
    FoQ?U=er  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 )CFk`57U  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 3Hy%SN(  
    改变高阶项
    vwm|I7/w  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? K?$ 9N}+  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 fYb KmB  
    HELP USS )\RzE[Cb  
    然后找到类型16。 Av@& hD\  
    D7EXqo  
    优化结果
    0&.LBv8  
    !p-'t]  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 rf)PAdj|~  
    光通量
    hcd!A 5  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 CM`x>J  
    mgk64}K[n  
    r(PJ~8)(=  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? 9cl{hdP{  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 7qW.h>%WE  
    打开 MMA对话框。 jM6uT'Io  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 !&'# a  
    Object point (物体坐标)设定为 0, FrgW7`s[A  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, }~myf\$  
    数字化输出, q2[+-B)m  
    绘制图表。 un.G6|S  
    5wT' ,U"+  
    ;Gjv9:hUn  
    这是一个表面光栅的分布图。 s'R~ r  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? qJ#L)  
    Tbe_x s^  
    ac2}3 $u  
    在 PANT 文件中添加一个变量: C}x4#bNK  
    VY 5 RAD ^nG1/}  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: QWU5-p9e8  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 (3)C_Z  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 THrc H  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    xmCm3ekmpC  
    光通量
    光栅分布
    9m<wcZ  
    Z)C:]}Ex  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 e}{8a9J<%_  
    镜片表面高斯光强分析
    V`WI"HO+  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. \DG( 8l  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE 4U}.Skzq  
    n,C D4Nv  
    Y9z:xE  
    dM);LT8@  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) wxdh?sQ  
    它有着预期的高斯分布的形状。 :6\-9m8JM  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 [V!^\g\6  
    输入: 3MS3O.0]/  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE k+W  
    非常均匀水平的光强分布。 T=hm#]   
    -~QlHp&SY  
    DMASK 图像
    ucIVVT(u  
    <) >gg!   
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 jldcvW  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
     
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