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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 .JNcY]V#  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 ]AFj&CteZ/  
    ';_1rh  
    初始宏文件可以评论区留言获取 +:}kZDl@ X  
     NI^{$QMj  
    Z#CxQ D%\  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 w"q-#,37j  
    S<V-ZV&_:U  
    2.1设计要求
    uH $oGY  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: y*w"J3|29  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 (viWY  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: eUYZxe :6  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    J(4g4?  
    7@JjjV  
    >Q&CgGpW$  
    以上展示部分命令,这其中, `a-Bji?  
    OBG 的物是高斯光束. wc"9A~  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. ?vvG)nW  
    得到的初始结构如下:
    (m6EQoW^s+  
    8IeI0f"l)  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 aUA cR W  
    原因如下: </,.K`''W  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 CdZnD#F2  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 ?fB5t;~E  
    优化
    *E.LP1xP  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 en%J!<&W{K  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 l/[pEUYU  
    改变高阶项
    -=5EbNPwG  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? 2H6:np |O  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 C(}^fJ6r  
    HELP USS UnP|]]o:I  
    然后找到类型16。 2.ew^D#  
    V- /YNRV  
    优化结果
    XJc ,uj7  
    ,}KwP*:Z  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 5lGQ#r  
    光通量
    ,'u*ZB;  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 (nq^\ZdF  
    V n^)  
    w\Iqzpikr  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? as(;]  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 6s5yyy=L%~  
    打开 MMA对话框。 wE?CvL  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。  >9{zQf!  
    Object point (物体坐标)设定为 0, vmLpm xS  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, a#$N%=j  
    数字化输出, Yc|uD-y  
    绘制图表。 &f"T,4Oh  
    CG.,/]_  
    pcnl0o~  
    这是一个表面光栅的分布图。 [z2eCH  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? |U EC  
    Yh$fQ:yi\&  
    V3Yd&HVWNQ  
    在 PANT 文件中添加一个变量: Od-Ax+Hp  
    VY 5 RAD TU%bOAKF\  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: Ch t%uzb,  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 @7%.7LK  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 68p R:  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    Y[@0qc3UO  
    光通量
    光栅分布
    @y5=J`@=  
    _$5@uL{n"^  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 eVx~n(m!}  
    镜片表面高斯光强分析
    e8-ehs>  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. p31oL{D  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE 'BhwNuW\"  
    AuXs B  
    j;+["mi  
    o,*=$/or  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) *{|$FQnR>(  
    它有着预期的高斯分布的形状。 :v)6gz(p  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 v%nP*i9  
    输入: X$^JAZ09  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE ^BiP LQ  
    非常均匀水平的光强分布。 G,|KL" H6  
    -?z\5 z  
    DMASK 图像
    7]Rk+q2:  
    N 2Ssf$  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 'fn$'CeM(  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
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