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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 hz!.|U@,{<  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 tP3Upw"U  
    'a}pWkLB  
    初始宏文件可以评论区留言获取 :v#3;('7  
    5K0Isuu>>  
    $P$OWp?b  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 t5S S]  
    ~O!v?2it8q  
    2.1设计要求
    [1Rs~T"  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: tG'c79D\  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 2]|+.9B  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: &0'BCT  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    dXZV1e1b&#  
    kjH0u$n  
    C.eZcNJG  
    以上展示部分命令,这其中, +]G;_/[2  
    OBG 的物是高斯光束. c8h 9  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. V<b"jCXI  
    得到的初始结构如下:
    P6 9S[aqW  
    `3~w#?+=*  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 'j|;M  
    原因如下: mU;TB%#)  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 |,o!O39}>  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 &@y W< <  
    优化
     V}&  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 3vx?x39*Y  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 _95V"h  
    改变高阶项
    I<DS07K  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? UPH:$Fk&  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 [!"u&iu`  
    HELP USS qvCl mZ  
    然后找到类型16。 M*nfWQ a  
    o}<}zTU  
    优化结果
    VgOj#Z?K  
    2|+**BxHD  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 5E$)Ip  
    光通量
    ^$VOC>>9  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 Rh iiQ  
    z"|^Y|`m  
    C;_10Rb2ut  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? : -OHD#>%  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 |dXmg13( -  
    打开 MMA对话框。 {/N4/gu  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 bX8Bn0#a+  
    Object point (物体坐标)设定为 0, ~)ls.NXI  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, fDf:Jec`[  
    数字化输出, 0GEK xV\F  
    绘制图表。 A#*0mJ8IK  
    @wb V@  
    (h%!Kun  
    这是一个表面光栅的分布图。 sa{X.}i%E  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? t\X5B]EZ  
    L9(fa+$+#  
    KnKV+:"  
    在 PANT 文件中添加一个变量: IWX%6*Zz  
    VY 5 RAD 4Y[tx]<  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: J=ZNx;{6  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 j*xxOwf  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 vn7<>k> dx  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    S 7RB` I5  
    光通量
    光栅分布
    }sZme3*J[  
    __OD^?qa  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 7*`cWT_X  
    镜片表面高斯光强分析
    wpO-cJ!,  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. vzG(u_,9[  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE qdWsP9}q  
    /aP4'U8ov  
    v [\' M  
    YLk/16r  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) HsO4C)/  
    它有着预期的高斯分布的形状。 s0WI93+z  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 @#xh)"}  
    输入: w|7<y8#qC  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE rfku]A$  
    非常均匀水平的光强分布。 A70x+mjy^T  
    4vQ]7`I.f  
    DMASK 图像
    /z9oPIJ=*  
    T_i]y4dg  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 sE{A~{a`  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
     
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