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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 JCQ:+eqt  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 V_;9TC  
    Q#WE|,a  
    初始宏文件可以评论区留言获取 _=6OP8  
    /84bv=  
    Bp0bY9xLg_  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 +p?hGoF=  
    S!7g)  
    2.1设计要求
    9bn2UiJ k  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: 55hyV{L%  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 Lh 9S8EU  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: /S/aUvN  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    ZPF7m{S  
    b%nkIPA  
    S+FQa7k  
    以上展示部分命令,这其中, )C}KR`"  
    OBG 的物是高斯光束. T _~KxQ  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. Dq`~XS*  
    得到的初始结构如下:
    j@ C0af  
    u)7 ]1e{  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 SOH%Q_  
    原因如下: l.7d$8'\  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 sA\L7`2H  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 ] SK[C" S  
    优化
    .&chdVcxyS  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 4p x_ZD#J  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 E0`[G]*G  
    改变高阶项
    k6J\Kkk(  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? y#bK,}  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 {{E jMBg{  
    HELP USS ( 2zeG`  
    然后找到类型16。 `Z8^+AMc  
    tE:X,Lt[  
    优化结果
    tzNaw %\  
    lzoeST  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。  ,F}r@  
    光通量
    4OEKx|:5n  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 SKJW%(|3  
    > i`8R  
    E&9!1!B  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? fkBLrw  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 SW;HjQ>V  
    打开 MMA对话框。 \kk!Dz*H  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 *]'qLL7d  
    Object point (物体坐标)设定为 0, n7+aM@G  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, `x4E;Wjv  
    数字化输出, g9|qbKQ:[  
    绘制图表。 -? Tz.y&  
    C1D ! V:  
    Ivjw<XP6K  
    这是一个表面光栅的分布图。 _iq2([BpL  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? hU)'OKe  
    Nor`c+,4  
    H1C%o0CPY  
    在 PANT 文件中添加一个变量: Pn J*Zea  
    VY 5 RAD 55,=[  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: X [!X>w&z|  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 jjX%$Hr  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 pEkOSG  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    a! ?.F_T9A  
    光通量
    光栅分布
    WT?b Bf  
    + lP5XY{  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 EFwL.'Fh  
    镜片表面高斯光强分析
    bk0Y  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. fZ{&dslg  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE ^ePsIl1E  
    M`bL5J;  
    LjC6?a_?l  
    .P8-~?&M  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) =tNzGaWJ  
    它有着预期的高斯分布的形状。 ?-d Ain1w  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 K Ka c6Zj  
    输入: |&Au6 3  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE u2\+?`Ox  
    非常均匀水平的光强分布。 2J)74SeH  
    PK_Fx';ke^  
    DMASK 图像
    Ogd8!'\  
    [pr 9 $Jr  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 9E^~#j@Zr  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
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