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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 07-17
    1.概述 UA>~xJp=  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 "w9`UFu%^e  
    !e&ZhtTuC  
    初始宏文件可以评论区留言获取 Z*.fSmT8)  
    Hhr/o~?;}#  
    {\ P$5O{%  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 { > {|3  
    <oI{:KH  
    2.1设计要求
    *I`Sc|A  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: UAnq|NJO  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 gZ%B9i:  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: l] WV gu  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    SOE#@{IXBa  
    \2U^y4K.  
    YM 0f_G=  
    以上展示部分命令,这其中, T_\HU*\  
    OBG 的物是高斯光束. @j`_)Y\  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. |rH;}t|un  
    得到的初始结构如下:
    @L { x;  
    |]RV[S3v  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 eU1= :n&&\  
    原因如下: F}DdErd!f  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 R s_@L}U..  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 $/}*HWVZ  
    优化
    VE& ?Zd~  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 'v* =}k  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 Ra'0 ^4t  
    改变高阶项
    G`ZpFg0Y  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? A5!j rSyv  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 wA+J49  
    HELP USS k.rP}76  
    然后找到类型16。 Z=sy~6m+v  
    ;/N[tO?Q  
    优化结果
    e,={!P"f  
    4HVZ;,q  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 0AY23/  
    光通量
    xH; qJRHa  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 ME[Wg\  
    ilw<Q-o4(  
    wp-5B= #:{  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? i5?)E7-  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 X1]&j2WR  
    打开 MMA对话框。  $Tfq9  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 5z~Ji77!  
    Object point (物体坐标)设定为 0, p/:)Z_  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, S6B(g_D|  
    数字化输出, K$\az%NE  
    绘制图表。 ?cG+rC%  
    g.kpUs  
    5@tpJ8E8$  
    这是一个表面光栅的分布图。 f~jx2?W  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? ') 5W  
    p>Ju)o  
    j1N1c~2  
    在 PANT 文件中添加一个变量: Z@nM\/vLA  
    VY 5 RAD Dj;h!8t.  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: ^TyusfOz  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 DdJxb{y7  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 RV.z xPw>>  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    `4.Wdi-Si  
    光通量
    光栅分布
    *ys@ 'Ai?  
    W:aAe%S  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 VBF3N5 ;W  
    镜片表面高斯光强分析
    n]}+ :  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. b+'G^!JR  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE O4@Ki4f3A%  
    )?%FU?2jrn  
    oIt.Pc~;'#  
    q+x4Od3  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) {DI_i +2  
    它有着预期的高斯分布的形状。 y+(<Is0w  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 h.%VWsAO7  
    输入: #~Lh#@h  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE Lbq"( b  
    非常均匀水平的光强分布。 6.6~w\fR8  
    ^v}Z5,aN  
    DMASK 图像
    WnLgpt2G  
    &s"&rFFO[  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 ~4U[p  50  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
     
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