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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    离线小火龙果
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 07-17
    1.概述 (,D:6(R7t  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 r3 dGXiu  
    jI%glO'2  
    初始宏文件可以评论区留言获取 rE%H NPO  
    Y+{jG(rg.F  
    "R]wPF5u  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 6&o?#l;|  
    uM,R+)3  
    2.1设计要求
    $"ACg!=M  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: Id=V\'$o  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 .'b| pd  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: F *1w8+  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    + />f?+  
    7Q9| P?&:z  
    A<+1:@0  
    以上展示部分命令,这其中, .Nk5W%7]=  
    OBG 的物是高斯光束. |nBs(>b  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. o,RiAtdk  
    得到的初始结构如下:
    hdwF;  
    uH)?`I\zrd  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 z9E*1B+  
    原因如下: tLcw?aB  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 MzH'<`;BP  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 iN_P25Z<r  
    优化
    0i>p1/kv  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 9"zp>VR  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 [eFJ+|U9  
    改变高阶项
    VfwH:  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? D!z'Y,.  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 0 \V)DV.i  
    HELP USS =1y~Qlu  
    然后找到类型16。 t N4-<6  
    >[;L.  
    优化结果
    qkqtPbQ 7  
    2R W~jn"  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 ]Y@_2`  
    光通量
    v3{%U1>}v  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 N`~f77G  
    p`EgMzVO,  
    rBOH9L  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? - ,?LS w  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 }rUAYr~VZ  
    打开 MMA对话框。 11c\C Iu  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 zB/VS_^^W:  
    Object point (物体坐标)设定为 0, sOb]o[=  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, ]E)\>Jb  
    数字化输出, w[$oH^7  
    绘制图表。  O*.n;_&  
    UyFC\vQ  
    _Tm]tlV  
    这是一个表面光栅的分布图。 7!wc'~;  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? 8nWPt!U:  
    p{:y?0pGN  
    T8&eaAoo  
    在 PANT 文件中添加一个变量: Q @[gj:w  
    VY 5 RAD zszmG^W{  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: /;{L~f=et)  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 u-tD_UIck  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 5=I"bnIU  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    y0-UO+ ;  
    光通量
    光栅分布
    \hn$-'=4  
    1;'-$K`}  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 XE&h&v=>  
    镜片表面高斯光强分析
    1z0|uc  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. ><S(n#EB  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE g*`xEb= '  
    5W$Jxuyqj  
    W;l0GxOxQ  
    .;qh>Gt  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) }"SqB{5e(  
    它有着预期的高斯分布的形状。  D[}^G5  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 TD%L`Gk  
    输入: GgnR*DVP$  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE ALcPbr  
    非常均匀水平的光强分布。 0S9~db  
    ^b}Wl0Fn  
    DMASK 图像
    3o0ZS^#eB  
    Fn iht<  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 p&5>j\uJ1&  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
     
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