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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 >7Sl( UY-  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 cPBy(5^  
    7[.Q.3FL  
    初始宏文件可以评论区留言获取 f/WM}Hpj  
    xS\QKnG.  
    dK(%u9v  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 +(P 43XO08  
    D>#v 6XI  
    2.1设计要求
    2WECQl=r  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: 1*, ~1!>  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 .yh2ttf<gB  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: ht)*Ync  
    初始宏文件可以评论区留言获取
     Dmv  
    h/bYtE  
    f(MHU   
    以上展示部分命令,这其中, ]4Yb$e`  
    OBG 的物是高斯光束. e%0#"6}  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. nu%Nt"~[%  
    得到的初始结构如下:
    xr3PO?:  
    N4(VRA  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 jG ;(89QR/  
    原因如下: O|TwG:!  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 [)6E) E`_e  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 eKti+n.  
    优化
    HPCA$LD  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 MC)W?  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 [gr[0aGBc  
    改变高阶项
     k*6eZ7  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? &r%^wfp  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 92_H!m/  
    HELP USS nln[V$   
    然后找到类型16。 =0fx6V  
    /Z_ [)PTH  
    优化结果
    $ rnr;V  
    D)cwttH  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 v86`\K*0Y  
    光通量
    !)3Su=*R  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 TmAb! Y|F  
    -7VV5W  
    Q</HFpE  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? .JKaC>oX  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 1/J*ki+?  
    打开 MMA对话框。 b#j5fEY  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 j" .6  
    Object point (物体坐标)设定为 0, )`7h,w J[1  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, u#|Jl|aT  
    数字化输出, !qve1H4d2  
    绘制图表。 YWF<2l.  
    - & r{%7  
    # TF  
    这是一个表面光栅的分布图。 8}@a?QS(&  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? Sd11ZC6  
    XL9lB#v^  
    DL{a8t1L  
    在 PANT 文件中添加一个变量: IDZn ,^  
    VY 5 RAD Us.jyg7_c  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: .p_$]  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 I ]1fH  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 \ziF(xTvqG  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    F4Z0g*^x  
    光通量
    光栅分布
    x|5/#H  
    H;E{Fnarv  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 ;oE4,  
    镜片表面高斯光强分析
    <'33!8 G  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. N%y FL  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE )G&OX  
    _Qas+8NW  
    ^bGi_YC  
    qZG >FC37  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) ]=Q'1%  
    它有着预期的高斯分布的形状。 ~Ji A  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 eF@E|kK  
    输入: huIr*)r&p  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE {ar }.U  
    非常均匀水平的光强分布。 DS fKUx&  
    H Vy^^$  
    DMASK 图像
    D~}4N1  
    >KJ]\`2>)c  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 y:L|]p}huE  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
     
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