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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 #.@-ng6C  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 @k-iy-|3 )  
    1}3tpO;  
    初始宏文件可以评论区留言获取 KLgg([  
    YZ^mH <  
    _[$,WuG1  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 c[a^fu!  
    Yp EH(tq  
    2.1设计要求
    ~ ;ObT=  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: Ar'k6NX  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 :r9<wbr)k0  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: *g[MGyF "  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    zQaD&2 q  
    I*H($ a  
    MM(\>J[Uq  
    以上展示部分命令,这其中, ~9n30j%]s  
    OBG 的物是高斯光束. #M@~8dAH}M  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. ;Pe=cc"@  
    得到的初始结构如下:
    [I`:%y  
    x.Tulo0/  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 }mpFo 2  
    原因如下: I %|;M%B  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 (h'Bz6K  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 pKaU [1x?%  
    优化
    oqbhb1D1<  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 S ^$!n,  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 0G`@^`  
    改变高阶项
    H h35cj  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? 8 &3KVd`  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 afE)yu`  
    HELP USS Sm;@MI<@/  
    然后找到类型16。 U'@ ![Fp  
    1@n'6!]6O  
    优化结果
    Ako]34Rl,  
    ic}mru  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 Q hdG(`PY~  
    光通量
    z `jLKPP!=  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 h 27f0x9  
    c2-oFLNP=  
    R]3j6\  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? hR~&}sxN  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 l2ie\4dK@  
    打开 MMA对话框。 '3?-o|v@D  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 )YW"Zo8~!1  
    Object point (物体坐标)设定为 0, a[p$e?gka  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, #n]K$k>  
    数字化输出, %<fs \J^k  
    绘制图表。 -F_c Bu81V  
    }{)Rnb@ >  
    xxA^A  
    这是一个表面光栅的分布图。 \>x1#Vr>#V  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? o2[$X ONTl  
    )!~,xl^j{}  
    #x`K4f)  
    在 PANT 文件中添加一个变量: ~F%sO'4!  
    VY 5 RAD mZO-^ct4  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: "z*.Bk  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 gegM&Xo  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 >Y(JC#M;  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    bo1J'pU  
    光通量
    光栅分布
    -[}Aka,f!  
    q3C  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 "Mz#1Laby`  
    镜片表面高斯光强分析
    oW^>J-  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. W]XM<# ^^  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE g#`}HuPoE  
    AN3oh1xe:  
    ;A4j_ 8\[  
    X&IT  s  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) ;M~9Yr=1  
    它有着预期的高斯分布的形状。 Y`d@4*FN$  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 B):ZX#  
    输入: maeQ'Sv_&  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE $@O?  
    非常均匀水平的光强分布。 3iUJ!gK  
    %|D) U>o{  
    DMASK 图像
    hQ(^;QcSu  
    mG$N%`aG  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 .)=*Yr M  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
     
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