1.概述
?=b#H6vs 衍射
透镜也被称为
光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的，用来让
光线的相位变化刚好是一个
波长或者是相位的一个周期。
gps. Qjmo{' d 初始宏文件可以评论区留言获取
lXXWQ= 37 *2/N2 g|M>C :Z T 所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射，所以它的衍射效率很高。
3*-!0 =KHX_ib 2.1设计要求
#JR$RH 下面是一个衍射透镜设计
激光光束整形器的指标：
E5Lq-
将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。
60l!3o"p! SYNOPSYS 初始结构搜索
镜头文件和运行结果：
n<ecVFft 初始宏文件可以评论区留言获取
Ss:'H H4 G> s qfYkK y: k7eE" 以上展示部分命令，这其中，
NRI[| OBG 的物是高斯光束.
%!R\-Vej DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE.
lDVgW}o@ 得到的初始结构如下：
a!.Y@o5Ku %&eBk N!T 这是最初的设计，效果并不是十分理想
yO@@-)$[y 原因如下：
3dgPP@7d$ 1.光束被扩大了但是并不准直。
m?=J;r"Re 2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。
]ClqX;'weJ 优化
9{%/I
DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。
:wfN+g= 优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。
8v6AfTo% 改变高阶项
oo1h"[ 应该怎样确定改变哪个 G 变量?
D8`SI2 1P 所有的一切只需要按几下按键. 输入
4^!%>V"d/ HELP USS
%K0Wm#) 然后找到类型16。
e @PY(#ru g FXz:!A 优化结果
I0G[K~gb 4D6LP * 还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数，将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。
Yw\lNhoPS 光通量
@ ZN@EOM$+ 透镜看起来还是和原来一样，但是需要检查光通量的均匀性，输入 FLUX 100 P 6
#<es>~0! 9 $^b^It O 2/_$i[F 得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗?
~6 {U^3 如果空间频率太高，制造技术可能会出现问题。
L#fK
,r8 打开 MMA对话框。
Q1(4l?X@ 在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。
)ib$*dmUP Object point (物体坐标)设定为 0，
} 4?z<. V 光线网络 CREC 设置为网格 7，
xrkR)~ E 数字化输出，
xEufbFAN? 绘制图表。
k|$?b7)"@ | g"K7XfM4 H Ida%D 这是一个表面光栅的分布图。
<VhD>4f{] 边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造，能不能减小, 比如说到 50 c/mm?
),2|TlQ Kp19dp}'b "YVr/u 在 PANT 文件中添加一个变量:
T>, [V: VY 5 RAD
E0.o/3Gw6 然后再 AANT 文件加入一个新的像差:
BC#O.93` M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4
PoLk{{ l3 优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。
F:A Vik 最后的优化宏文件可以评论区留言获取
+]Ev 光通量
光栅分布
7@&kPh}PG UYzNaw4/x 现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。
BCX2C 镜片表面高斯光强分析
BadnL<cj] 现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布.
p[}~Z|( DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE
"d2JNFIHb 3Te&w9K 5>hXqNjP2 lBudC 这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, （在通过第二个DOE之前。）
N;4wbUPL7h 它有着预期的高斯分布的形状。
uvi&! )x 现在对表面 6也进行相同的操作。
5yjG\ ~ 输入：
D5Z)"~' DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE
%eGI]!vf 非常均匀水平的光强分布。
u1>WG?/` }|wC7*^) )"_ &CYnd gL`aLg_ 这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。
6#ktw)e 如果 DOE 是通过光蚀刻制成的，这是要被
成像到衬底上的底模。
