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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 n)uvN  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 Z]DO  
    pA%XqG*=Y  
    初始宏文件可以评论区留言获取 jLX{$,  
    @GqPU,RO  
    ?#!Hm`\.  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 CZRrb84  
    lA {  
    2.1设计要求
    C=(-oI n  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: \bYuAE1q  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 DrLNY"Zq  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: ((^jyQ  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    vzJ69%E_  
    e`k6YO  
    tt%Zwf  
    以上展示部分命令,这其中, # eqt{  
    OBG 的物是高斯光束. Ou</{l/  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. '$pT:4EuGq  
    得到的初始结构如下:
    UMwB.*  
    7)$U>|=  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 0cZyO$.  
    原因如下: ;l> xXSB7$  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 }uo5rB5D  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 D5fJuT-bp  
    优化
    *@o@>  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 26JP<&%L  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 R~8gw^w![  
    改变高阶项
    B!GpD@U  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? z_R^n#A~r  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 <HM\ZDo@P  
    HELP USS Af1izS3  
    然后找到类型16。 Pc >$[kT0  
    (A O]f fBU  
    优化结果
    %])-+T  
    BM=`zGh"  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 ,\!4 A  
    光通量
    DLcfOOn1I  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 'c5#M,G~  
    Ze ~$by|9f  
    L,!?'.*/]  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? & i"33.#]  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 (1H_V(  
    打开 MMA对话框。 6g4CUP'Y  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 6la# 0U23  
    Object point (物体坐标)设定为 0, 5MV4N[;  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, J XKps#,(#  
    数字化输出, B%gk[!d}8  
    绘制图表。 $l-|abLELz  
    )bRe"jxn7  
    u{0+w\xH\  
    这是一个表面光栅的分布图。 9XWF&6w6yf  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? xb\(>7M6Y  
    A Ntp7ad  
    uW%7X2K  
    在 PANT 文件中添加一个变量: ^4(CO[|c~  
    VY 5 RAD pcXY6[#N  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: nN>D=a"&F  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 q88p~Ccoa  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 HRIf)n&~f  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    zMs]9o  
    光通量
    光栅分布
    Gir_.yc/  
    g0I<Fan  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 ;OQ-T+(T  
    镜片表面高斯光强分析
    SF+ ^dPwj  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. X5 lB],t"=  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE 'KpCPOhfR  
    mXlXB#N  
    I=D{(%+^d  
    ?15k~1nA  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) RK(uC-l  
    它有着预期的高斯分布的形状。 ,]Yjo>`tW  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 Noz+\O\  
    输入: %_u*5,w  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE Cvm ZW$5Yo  
    非常均匀水平的光强分布。  ;Fcdjy  
    LW_ Y  
    DMASK 图像
    $>'}6?C.  
    Z]$yuM  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 N;A1e@bP  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
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