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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 \ 0W!4D  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 p4!:]0c  
    ^h' Sla  
    初始宏文件可以评论区留言获取 qet>1<  
    L{-LX= G^  
    saf&dd  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 KLWn?`  
    $'rG-g!f\  
    2.1设计要求
    W-Hoyn>?2  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: j=RRfFg)  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 NoE*/!Sr  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: yw-8#y  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    : rMM4  
    K<`osdp=&  
    CNZz]H  
    以上展示部分命令,这其中, i:]*P  
    OBG 的物是高斯光束. r0;:t   
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. @gC=$A#  
    得到的初始结构如下:
    !E8X~DJ  
    '7^M{y/dU  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 soA|wk\A  
    原因如下: nAIo{ F  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 b//B8^Eong  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 |1b _*G4|  
    优化
    c/N@zum,{  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 Mips.Bx  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 )L{ghy  
    改变高阶项
    q;g>t5]a  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? y;w x?1)  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 C?v[Z]t  
    HELP USS !G^L/?z3  
    然后找到类型16。 '.Ed`?<p  
    M5nWVK7c  
    优化结果
    J%09^5:-z  
    LEMfG~Czq  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 F:@70(<w%  
    光通量
    F'jWV5"*  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 "k*PA\U  
    gb ^?l~SS  
    IW 21T   
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? m(RXJORI  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 @1.QEyXG  
    打开 MMA对话框。 dm0QcW4  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 j 8*ZF  
    Object point (物体坐标)设定为 0, -p3Re9  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, _XJ2fA )  
    数字化输出, t!*+8Q !e  
    绘制图表。 qmO6,T-|  
    { eCC$&"  
    I2nF-JzD2a  
    这是一个表面光栅的分布图。 H 0+dV3  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? R\o<7g-|  
    *Qugv^-  
    ;};wq&b#  
    在 PANT 文件中添加一个变量: l @^3Exwt  
    VY 5 RAD }|PY!O  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: }*.0N;;C  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 JkW9D)6  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 :Y9NLbv  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    !vG'J\*xc  
    光通量
    光栅分布
    T,| 1g6  
    $)3%U?AP  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 *OuStr \o  
    镜片表面高斯光强分析
    7AYd!n&S  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. w"R:\@ F  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE aW>6NDq(  
    T&Lb<'f  
    EEGy!bff  
    %f($*l.  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) B}PIRk@a1  
    它有着预期的高斯分布的形状。 B6wRg8  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 w@N  
    输入: W 4F\}A  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE J,Ks0M A  
    非常均匀水平的光强分布。 . 'Y]R3\M+  
    G:zua`u[  
    DMASK 图像
    ]X I*Wsn  
    r*Yi1j/  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 ~gGZmT b  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
     
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