1.概述
P=j br"5Q: 衍射
透镜也被称为
光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的，用来让
光线的相位变化刚好是一个
波长或者是相位的一个周期。
j t/
| u= }ST0?_0F* 初始宏文件可以评论区留言获取
4 3?J~}<Vs t t7l%olw aF'9&A;q 所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射，所以它的衍射效率很高。
N>A*N,+ qt#a_F*rV 2.1设计要求
B?xu!B, 下面是一个衍射透镜设计
激光光束整形器的指标：
t/baze;V 将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。
%Jr6pmc SYNOPSYS 初始结构搜索
镜头文件和运行结果：
W]v[Xm$q 初始宏文件可以评论区留言获取
X[cSmkp7 vKX
$Nf GAl AFsB 以上展示部分命令，这其中，
5 ^\f[} OBG 的物是高斯光束.
rl,6r u DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE.
')ErXLP_ 得到的初始结构如下：
M zLx2? t*? CD.S 这是最初的设计，效果并不是十分理想
h4GR :` 原因如下：
s)e ;
c<(/ 1.光束被扩大了但是并不准直。
wghz[qe 2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。
Ass8 c]H@ 优化
'CH|w ~E DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。
\sIRV}Tk}N 优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。
!0g+} 改变高阶项
s1!_zf_ 应该怎样确定改变哪个 G 变量?
gJVakR& 所有的一切只需要按几下按键. 输入
!@ _( W HELP USS
]x hmM1$ 然后找到类型16。
%KeQp W t:X[Blw3$ 优化结果
$FgpFxz;
U=C8gVb{Hq 还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数，将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。
V;Zp3Qo! 光通量
@5%c P 透镜看起来还是和原来一样，但是需要检查光通量的均匀性，输入 FLUX 100 P 6
j${:Y$VmE 6t5)rlT >a]4} 得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗?
{Y9m;b,X 如果空间频率太高，制造技术可能会出现问题。
gev7eGH< 打开 MMA对话框。
b &g9A{t 在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。
N
b(f Object point (物体坐标)设定为 0，
bp6 La`+ 光线网络 CREC 设置为网格 7，
%<e\s6|P: 数字化输出，
p;VqkSQ76 绘制图表。
C.{*|#&GAt Y.?|[x0Wh yKO84cSl 这是一个表面光栅的分布图。
,>%AEN6 N2 边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造，能不能减小, 比如说到 50 c/mm?
] t|KFk!) aW3yl}`{ xXK7i\ny 在 PANT 文件中添加一个变量:
kRgyvA,*; VY 5 RAD
`5`Pv'` 然后再 AANT 文件加入一个新的像差:
/|y3M/;F M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4
$7aR f' 优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。
AQ-P3`bCb 最后的优化宏文件可以评论区留言获取
V|{ )P@Q 光通量
光栅分布
(J):
>\a] Zg7~&vs$ 现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。
q<}5KY 镜片表面高斯光强分析
F'Fc)9qFa< 现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布.
{"e/3 DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE
_ c%]RE ?|+bM` =L<OTfVE {R[lsdH(X 这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, （在通过第二个DOE之前。）
pi5Al)0 它有着预期的高斯分布的形状。
L.15EXAB 现在对表面 6也进行相同的操作。
4aAr|!8|h! 输入：
T}P| uP DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE
SV]M]CAe 非常均匀水平的光强分布。
x#| P-^ @l&5 |Cia 2?ZH WS>U Tp<=dH%$%" 这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。
~sAINV>A 如果 DOE 是通过光蚀刻制成的，这是要被
成像到衬底上的底模。
