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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 :Nry |  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 nSMw5  
    %(f&).W  
    初始宏文件可以评论区留言获取 <xb=.xe  
    O,$ ?Pj6  
    uT")j,tz  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 75>)1H)Xm  
    -0pAj}_2}  
    2.1设计要求
    UEm~5,>$0  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: #*J+4a w3  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 `5J`<BPs  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: M/!5r  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    Xs,[Z2_iq  
    gb_r <j:w  
    J5i$D0K[  
    以上展示部分命令,这其中, #YABb wH  
    OBG 的物是高斯光束. wD*z >v$  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. z}772hMB  
    得到的初始结构如下:
    WTlR>|Zdn  
    Mg7nv\6  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 u]<7}R@s  
    原因如下: -#TF&-  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 Cob<N'.  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 g8+Ke'=_  
    优化
    s":\ >  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 N:4oVi@Je  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 be@\5  
    改变高阶项
    VG)Y$S8.>  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? ( E8(np  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 cx+li4v  
    HELP USS 4u!<3-3Zy  
    然后找到类型16。 F9N/_H*+  
    @bkZ< Gq  
    优化结果
    ?3=D-Xrb  
    :J 7p=sX  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 f:w#r.]  
    光通量
    ,JL Y oE+  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 =|Q7k+b  
    t;>"V.F<1  
    K3CTxU(  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? $y2"Q,n+  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 Nt>wzPd)  
    打开 MMA对话框。 JA")L0a_  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 YtQsSU  
    Object point (物体坐标)设定为 0, rM{3]v{~  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, z?b[ 6DLV;  
    数字化输出, PkqOBU*|=  
    绘制图表。 {}Q A#:V  
    4ONou&T  
    Vm3e6Y,K  
    这是一个表面光栅的分布图。 ``Yw-|&:Ae  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? Q5!"tF p  
    @P$_2IU"  
    w^rINPAS  
    在 PANT 文件中添加一个变量: \W;+@w|c  
    VY 5 RAD MO1t 0Myc  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: 7aV(tMzd  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 BLno/JK0}  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 .b3c n  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    e>GX]tK  
    光通量
    光栅分布
    *irYSTA$  
    N~Kl{" >`  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 t9Sog~:'  
    镜片表面高斯光强分析
    z }t{bm  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. fw[Z7`\Q5  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE 2X= pu. ;F  
    Zn-F!Lsv  
    0-N"_1k|?  
    C}7 c:4c  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) $@wTc  
    它有着预期的高斯分布的形状。 +OM9v3qJ  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 e2P ds`  
    输入: @$e!|.{1q  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE u>YC4&  
    非常均匀水平的光强分布。 +H'{!:e5  
    O6P{+xj$  
    DMASK 图像
    9"#,X36  
    Kgb 3>r  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 ,rC$~ &  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
     
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