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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 ?45kN=%*s  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 bWv4'Y!p  
    V\zf yH\~  
    初始宏文件可以评论区留言获取 ag^L' h$  
    8tWOVLquJ  
    eqcV70E8cK  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 QRnkj]b  
    >_QC_UX>4i  
    2.1设计要求
    qr%9S dvx  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: dzZ74FE!t  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 D'aq^T'  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: ]=p@1  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    }7CMXw [  
    <8 MKjf  
    ko2Kz k  
    以上展示部分命令,这其中, *>!O2c  
    OBG 的物是高斯光束. <@FOqi{o{  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. V,bfD3S3  
    得到的初始结构如下:
    O"4Q=~Y  
    ;crQ7}k  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 HlqvXt\  
    原因如下: 'v^CA}  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 ]]{$X_0n  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 8YC\Bw  
    优化
    v_f8zk  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 FL!W oTB  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 X l#P@60  
    改变高阶项
    JqTkNKi/s  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? D<$~bUkxR  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 t>|Y-i3cb  
    HELP USS I_@\O!<y}  
    然后找到类型16。 8DbXv~3@  
    !%x8!;za  
    优化结果
    *,hS-  
    Ed9ynJ~)X  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 b:/;  
    光通量
    0 Vv 6B2<  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 J& }/Xw)  
    U'zW; Lt  
    D/jB .  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? yiGq?WA7  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 v5l)T}Nb  
    打开 MMA对话框。 i rMZLc6  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 tLe!_p)  
    Object point (物体坐标)设定为 0, B" TZ8(<  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, 5Z}]d@  
    数字化输出, uZ( I|N$  
    绘制图表。 ~\`lbGJ7?  
    -frmvNJ F  
    mdvooJ  
    这是一个表面光栅的分布图。 6lO]V=+  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? V0 x[sEW  
    $.kP7!`:,  
    q}e"E cr  
    在 PANT 文件中添加一个变量: aO('X3?  
    VY 5 RAD BL<.u  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: fv_}7t7  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 pkpD1c^  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 V %'`nJ!  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    Qk<W(  
    光通量
    光栅分布
    B PTQm4TN  
    C%d\DuJ5'~  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 [hA%VF.9  
    镜片表面高斯光强分析
    s42M[BW]  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. duB{ 1  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE ^]w!ow41  
    J]/TxUE  
    84^ '^nd  
    k@U8K(:x  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) K[0.4+  
    它有着预期的高斯分布的形状。 ;LE4U OK  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 T:q_1W?h]  
    输入: N&7= hni  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE K,e"@G  
    非常均匀水平的光强分布。 }# 'wy  
    )orVI5ti  
    DMASK 图像
    XL@i/5C[  
    Vy0s%k  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 SLp &_S@4  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
     
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