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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    离线小火龙果
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 / }*}r  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 ^PUB~P/  
    BN~ndWRK  
    初始宏文件可以评论区留言获取 y+KAL{AGK  
    kK/XYC 0D  
    eD7qc1*G  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 d{"@<0i?  
    hVAatn[  
    2.1设计要求
    XlnSh<e  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: wB&5q!{!  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 i[:cG  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: }F"98s W  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    &x;n^W;#  
    F)v  
    UmY{2 nzY  
    以上展示部分命令,这其中, ;#9ioG x  
    OBG 的物是高斯光束. 1}Y3|QxF  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. p$uPj*  
    得到的初始结构如下:
    7D1$cmtH  
    SlwQ_F"4L  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 /nn~&OU  
    原因如下: \+=`o .2  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 \>G}DGz  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 "YW Z&_n**  
    优化
    \BN$WV  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 dMCoN8W  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 jw`05rw:  
    改变高阶项
    a=`] L`|N  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? w)B ?j  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 zWH)\>X59  
    HELP USS -m@PqJF^  
    然后找到类型16。 WIuYSt)h  
    PG}Roj I  
    优化结果
    43]y]/do  
    QZIzddwp  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 r)OiiD"  
    光通量
    <XQwu*_\  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 )WInPW  
    F-oe49p5e  
    j9l32<h7]  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? P+=m.  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 GdY@$&z{i  
    打开 MMA对话框。 LrT EF j  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 szb@2fK  
    Object point (物体坐标)设定为 0, >]_^iD]*t  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, L`X5\D'X  
    数字化输出, SOn)'!g  
    绘制图表。 3u&,3:  
    j/fniyJ)  
    u&^KrOM@#  
    这是一个表面光栅的分布图。 a2tEp+7?  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? ^i_+ugJX  
    N-_APWA  
    m C`*#[  
    在 PANT 文件中添加一个变量: bX,#z,  
    VY 5 RAD P/.<sr=2  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: w;j<$<4=7  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 `-OzjbM  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 1dw{:X=j  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    @!u{>!~0  
    光通量
    光栅分布
    .xWaS8f  
    sZT~ 5c8  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 @c'iT20  
    镜片表面高斯光强分析
    `:*2TLxIk  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. 2[HPU M2>  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE )G Alj;9A$  
    ;Q^>F6+_m  
    Sk/@w[  
    1[8^JVC>6  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) d}':7Np  
    它有着预期的高斯分布的形状。 W/hzo*o'g  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 u}|v;:|j  
    输入: [DH4iG5  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE ;?tH8jf>  
    非常均匀水平的光强分布。 {59 >U~  
    XsQ81j.  
    DMASK 图像
    v/9ZTd  
    4\u`M R  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 peBHZJ``RX  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
     
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