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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 OlGR<X  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 xs1bxJ_R  
    n2'|.y}Um:  
    初始宏文件可以评论区留言获取 h6QWH  
    ^KH%mSX>  
    2%YXc|gGT  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 [x_s/"Md;  
    *zQOJsg"e  
    2.1设计要求
    oyvtZ/@  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: jT^!J+?6K+  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 ua#K>su r.  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: ] 09yy  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    9ECS,r*B  
    VkXn8J  
    q$>_WF#||  
    以上展示部分命令,这其中, cjT[P"5$  
    OBG 的物是高斯光束. /djACA  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. ,"H?hFQ  
    得到的初始结构如下:
    2oB?Dn  
    ;1E_o  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 iS05YW  
    原因如下: ZNy9_a:dX  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 ITvHD-,\  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 fI}c 71b`  
    优化
    %EIUAG  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 `.8-cz  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 ..$>7y}  
    改变高阶项
    LUul7y'"  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? !E0fGh  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 +$ ~8)95<B  
    HELP USS %8<2>  
    然后找到类型16。 *1,=qRjL  
    Rp eBm#E2  
    优化结果
    .EzSSU7n)  
    S w "|iBZ@  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 ybYXD?  
    光通量
    %*p^$5L<  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 i-"<[*ePd  
    Zh? V,39  
    ">,K1:(D  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? Xj;2h{#s  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 `skH-lk,  
    打开 MMA对话框。 `axQd%:AC  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 3Tw%W0q  
    Object point (物体坐标)设定为 0, s kY0\V  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, 4w9F+*-  
    数字化输出, E6Q91Wz9f  
    绘制图表。 ' tSnH&c  
    v?{vg?vI  
    4K'|DO|dH  
    这是一个表面光栅的分布图。 C=s((q*  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? 2D_6  
    :SdIU36  
    oE5;|x3  
    在 PANT 文件中添加一个变量: PbQE{&D#  
    VY 5 RAD 'Ye]eL,I\  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: 1sMV`qv>  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 Sy:K:Z|[U  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 'N|2vbi<  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    (E IRz>  
    光通量
    光栅分布
    Uv'uqt  
    wvX"D0eVn  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 ec#_olG%  
    镜片表面高斯光强分析
    63SVIc~wT  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. epYj+T  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE qb9}&'@:  
    4t*<+H%  
    g\qX7nIH?  
    XWc|[>iO  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) z(jU|va{_1  
    它有着预期的高斯分布的形状。 }il%AAI9}r  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 /LSq%~UF  
    输入: Zr5'TZ`$  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE C\J@fpH(t`  
    非常均匀水平的光强分布。 Od*v5qT;$  
    Y0rf9  
    DMASK 图像
    v  F]  
    5#P: "U  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 ZIDFF  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
     
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