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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 _+{s^n=  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 ~$@I <=L  
    RsbrD8*AD  
    初始宏文件可以评论区留言获取 2vwT8/  
    B<)(7GTv7"  
    #8`G&S*  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 acH.L _B:  
    [7B&<zY/?  
    2.1设计要求
     A=,m  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: ^O ?$} sr  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 V6!oe^a7'  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: !xlVyt5e  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    j04Q3d \f  
    UeRenp  
    /i]Gg \)  
    以上展示部分命令,这其中, D Lu]d$G  
    OBG 的物是高斯光束. y0Tb/&xN  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. *f[`Yv  
    得到的初始结构如下:
    { sZrI5   
    hOq1 "kL  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 2|T@  
    原因如下: ]*@7o^4i  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 * T-XslI  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 |XsW)/  
    优化
    )y K!EK\  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 #*~ (  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 0+L5k!1D  
    改变高阶项
    HiWZ?G  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? QCjmg5bf'7  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 J@$>d  
    HELP USS Ywni2-)<  
    然后找到类型16。 FPqgncBHK  
    =gj]R  
    优化结果
    WcdU fv(>  
    rF5<x3  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 )&w\9}B:  
    光通量
    9KP+  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 O`2%@%?I  
    zR/ATm]9  
    L4dbrPE*0  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? (cMrEuv  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 d BJM?/  
    打开 MMA对话框。 "XH]B  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 ?{FxbDp>  
    Object point (物体坐标)设定为 0, :O{:;X)  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, E{FNsa  
    数字化输出, Ao,lEjNI  
    绘制图表。 6L4B$'&KQZ  
    H<qR^a  
    h.c)+wz/%C  
    这是一个表面光栅的分布图。 -?GYW81Q  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? {d3r>Ub)7d  
    Ar\`OhR  
    l@^RbF['  
    在 PANT 文件中添加一个变量: UgUW4x'+  
    VY 5 RAD ^EB}e15"  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: is6JS^Q  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 .Wr7?'D1M  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 ;mMn-+3<  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    *z(.D\{%  
    光通量
    光栅分布
    =7jkW (Q  
     :&Ul  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 5Po.&eS  
    镜片表面高斯光强分析
    f[X>?{q  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布.  u2DsjaL  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE ?1[go+56X  
    L 5>>gG ,  
    Z{e5 OJ  
    pE=wP/#  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) o`& idn|,  
    它有着预期的高斯分布的形状。 C[[z3tn  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 y(q1~73s  
    输入: #$A6s~`B  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE 7%o\O{,U  
    非常均匀水平的光强分布。 pa.W-qyu  
    jdhhvoQ  
    DMASK 图像
    (g   
    DB?[h<^m  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 x*_c'\F|  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
     
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