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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 X%IqZ{ {  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 iiIns.V  
     c2M  
    初始宏文件可以评论区留言获取 EXr2d"  
    a- rR`  
    TsK!36cg  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 ',0:/jSz  
    <Q9l'u]3$c  
    2.1设计要求
    rtJER?A  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: dnoF)(d&Cm  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 ?I[8rzBWU  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: WT<}3(S'?  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    BKg8p]`+  
    :&vX0 Ce:  
    VRQ`-#  
    以上展示部分命令,这其中, /x ?@M n>  
    OBG 的物是高斯光束. [8sYEh  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. rAu% bF  
    得到的初始结构如下:
    h{^v756L  
    y%i9 b&gDd  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 EyA ny\"  
    原因如下: H@ 1'El\9  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 3&^hf^yg  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 8Re[]bE  
    优化
    \+R%KA/F  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 Q /4-7  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 Gg'!(]v  
    改变高阶项
    h8`On/Ur_8  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? rwLKY .J]  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 {wz)^A sy  
    HELP USS );d07\V  
    然后找到类型16。 agx8 *x  
    ;^xM" {G8  
    优化结果
    Ur xiaE  
    Pl:4`oY3  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 qhGz2<}_j  
    光通量
    w<`0D)mQ  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 =SLG N`m3  
    metn&  
    W:RjWn@<  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? B<SE|~\2  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 b_~XTWP$l  
    打开 MMA对话框。 LRu,_2"  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 > k\pSV[  
    Object point (物体坐标)设定为 0, q!:dZES  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, DH?n~qKpC  
    数字化输出, %Z_O\zRqy)  
    绘制图表。 [WR"#y  
    a*5KUj6/TL  
    )&1v[]%S  
    这是一个表面光栅的分布图。 e' l9  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? $VHIU1JjZ  
    u4~+Bc_GL  
    )\Q(=:  
    在 PANT 文件中添加一个变量: tC'E#2  
    VY 5 RAD S<i1t[E @W  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: 6AJk6 W^Z  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 Q^f{H.  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 dzOco)y  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    l'(FM^8jv  
    光通量
    光栅分布
    _s5^\~ao  
    |iH MAo  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 Xb%Q%"?~  
    镜片表面高斯光强分析
    @bA5uY!  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. k4V3.i!E  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE N4ZV+ |  
    !{^kH;*u  
    l9f_NJHo  
    H\Qk U`b  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) 3Qe|'E,U  
    它有着预期的高斯分布的形状。 hEB5=~A_  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 ;-VZVp}Y  
    输入: `Qo37B2  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE #Q!Xz2z2  
    非常均匀水平的光强分布。 _ARG "  
    BEaF-*?A  
    DMASK 图像
    g:fvg!_v  
    $!*>5".A  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 !Sn|!:N4  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
     
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