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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 ]`%cTdpLj  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 Q/':<QY  
    >Tw|SK+3  
    初始宏文件可以评论区留言获取 Gmc0yRN  
    2!A/]:[F  
    SKGYmleR  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 8d-_'MXk3  
    ZDlMkHJ  
    2.1设计要求
    Vx'_fb?wap  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: "~tEmMz  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 /p~gm\5Z  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: 1Ypru<.)W  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    E=7~\7TE  
    F[LBQI`zq  
    pl5!Ih6  
    以上展示部分命令,这其中, >k"/:g^t  
    OBG 的物是高斯光束. Pt E>08  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. )tB mSVprl  
    得到的初始结构如下:
    OX!9T.j  
    9k1n-po  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 Lf3:' n  
    原因如下: Gt'%:9r  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 ip~PF5  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 J?HYN%  
    优化
    Eg>MG87  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 6tVB}UKs  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 m3,i{  
    改变高阶项
    -[Q%Vv!8  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? RV-7y^[]^  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 -3A#a_fu  
    HELP USS B+ +:7!  
    然后找到类型16。 Ao2t=vg  
    V#zDYrp  
    优化结果
    88G Q  F  
    T0i_X(_  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 kP3'BBd,  
    光通量
    |nIm$p'  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 s/8>(-H#  
    7Q2"]f,$CQ  
    L]cZPfI6  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? :beBiO  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 zxY  
    打开 MMA对话框。 xDm^f^}>  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 Ry8@U9B6,t  
    Object point (物体坐标)设定为 0, 6s@'z<Ct  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, 8sLp! O;f2  
    数字化输出, wjDLsf,  
    绘制图表。 t0(1qFi  
    zrri&QDF<  
    ^<Q+=\h  
    这是一个表面光栅的分布图。 v<$a .I(  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? I8rtta  
    Nw* >$v  
    zQ&`|kS  
    在 PANT 文件中添加一个变量: a~jM^b;VN  
    VY 5 RAD q,A;d^g  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: $5Jo %K%  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 X H,1\J-S  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 jNBvy1  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    Mt"j< ]EW  
    光通量
    光栅分布
    ^^1rjh1I  
    r&U5w^p  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 g4^=Q'j-  
    镜片表面高斯光强分析
    :=3Ty]e  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. gq\ulLyOeZ  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE .IXkdy  
    Lj`MFZ  
    kWZ?86!  
    $# klgiL  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) W{B)c?G]  
    它有着预期的高斯分布的形状。 &==X.2XW  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 :+: vBrJm  
    输入: d2Pqi* K  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE R9%Um6  
    非常均匀水平的光强分布。 lu2"?y[2  
    QpbyC_:;$4  
    DMASK 图像
    e:#c\Ay+  
    XpFW(v  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 lC):$W  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
     
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