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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 X&C&DTB  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 .OhpItn  
    _Z~cJIEU  
    初始宏文件可以评论区留言获取 S&/</%  
    O-m=<Fk> D  
    y8} fj=  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 eC%uu  
    @ig'CF%(  
    2.1设计要求
    [5[}2 B_t  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: xPBSJhla  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 L8OW@)|  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: (Hk4~v6pqC  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    bVfFhfh*  
    $cl[Qcw  
    5cc;8i  
    以上展示部分命令,这其中, hxG=g6:G  
    OBG 的物是高斯光束. /|7@rH([{  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. BR&T,x/d  
    得到的初始结构如下:
    0|6]ps4Z7  
    E :gS*tsY  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 RF3?q6j ,  
    原因如下: 7D'-^#S5  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 'XW[uK]w)  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 -,xCUG<g  
    优化
    H~Z$pk%  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 y{ & k`H  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 \9;SOAv  
    改变高阶项
    :r4]8X-  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? %>,B1nt  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 )1CYs4lp  
    HELP USS W&M=%  
    然后找到类型16。 XKp$v']u  
    $'Pn(eZHGv  
    优化结果
    )-qWcf?   
    }iGpuoXT`  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 N5W;Zx]  
    光通量
    _(J;!,  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 IE;Fu67wi  
    ]JGh[B1gh  
    3C:!\R  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? Th!.=S{Y5  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 M't~/&D#  
    打开 MMA对话框。 rbC4/9G\  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 3k%fY  
    Object point (物体坐标)设定为 0, ^pI&f{q  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, F4P=Wz]  
    数字化输出, 0^%\! Xxq  
    绘制图表。 8(AI|"A"-  
    \o|5 /N  
    bIvF5d>9#K  
    这是一个表面光栅的分布图。 VV_Zrje  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? T/[8w  
    OO7sj@  
    8 `\^wG$W  
    在 PANT 文件中添加一个变量: 25bbuhss  
    VY 5 RAD "o| f  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: "hE/f~\  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 @k< e]@r  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 =O~ J  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    t=-t xnlr<  
    光通量
    光栅分布
    KOQiX?'  
    jCJbmEfo9@  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 d]3c44kkK{  
    镜片表面高斯光强分析
    "7w~0?}  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. [ H~Yg2O  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE tYe+7s  
    $q"/q*ys  
    6[b?ckvi  
    SH oov  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) N}$$<i2o  
    它有着预期的高斯分布的形状。 P4\{be>e  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 8LI aN}  
    输入: 7g* "AEk  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE EnM }H9A  
    非常均匀水平的光强分布。 @Feusprs  
    8vk*",  
    DMASK 图像
    -dj9(~?^  
    v?BVUH>#9  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 Fi7G S;  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
     
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