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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 'Jl3%axR  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 F{FSmUxzK  
    eNFZD1mS  
    初始宏文件可以评论区留言获取 7WEoyd  
    ~  ve  
    *KDwl<^A  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 R6qC0@*  
    9DaoM OPEI  
    2.1设计要求
    -ei+r#  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: ANXN.V  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 okLhe F  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: uAv'%/  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    !sav~dB)  
    RbJbVFz8C  
    Zie t-@}  
    以上展示部分命令,这其中, MFs W  
    OBG 的物是高斯光束. a\Dw*h?b~  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. {#H'K*j{  
    得到的初始结构如下:
    tnFhL&  
    !E9A=u{  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 I8LoXY  
    原因如下: f}{Oj-:"CC  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 -ZBSkyMGy  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 ?CZ*MMV  
    优化
    Pc=:j(  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 l#;o^H i  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 A?Gk8  
    改变高阶项
     @po|07  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? &1ss @-  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 }7Y @u@R  
    HELP USS cT3s{k  
    然后找到类型16。 9H,Ec,.  
    Wj\< )cH]  
    优化结果
    e(Ub7L#  
    bb"x^DtT  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 Fn*)!,)  
    光通量
    7A4 6?kfu  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 `zMR?F`  
    7G9o%!D5  
    T.iVY5^<  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? I)}T4OOc/  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 E/uKzzD9  
    打开 MMA对话框。 8ubb~B;  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 }ygxmb^@Z  
    Object point (物体坐标)设定为 0, H&=3rkX  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, ?\Lf=[  
    数字化输出, 'EsdYx5C  
    绘制图表。 hwdZP=X  
    !-Md+I_  
    >d#Ks0\&  
    这是一个表面光栅的分布图。 ,P$Crs[  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? $_b^p=  
    G~`nLC^Y  
    * 2s(TW  
    在 PANT 文件中添加一个变量: ^%2S,3*0  
    VY 5 RAD _,5)  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: iV8O<en&i  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 Pqb])-M9p  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 GXx/pBdy[4  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    YlEV@  
    光通量
    光栅分布
    3M<T}>  
    rdQ'#}I x  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 Vh;P,no#  
    镜片表面高斯光强分析
    O7GJg;>?  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. Nlfz'_0M  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE oEnCe  
     *"K7<S[  
    ^ G@o} Z  
    |4A938'4j  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) T1c.ER}17  
    它有着预期的高斯分布的形状。 zoI0oA  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 x\2N @*I:  
    输入: aO>Nev  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE osW"b"_f  
    非常均匀水平的光强分布。 xyc`p[n &  
    S#l6=zI7^R  
    DMASK 图像
    H`X>  
    u &s>UkR  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 `#w`-  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
     
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