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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 %VO+\L8Fs  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 d%8n   
    ynIC (t  
    初始宏文件可以评论区留言获取 ^L2d%d\5  
    72s qt5C]  
    'v]0;~\mp>  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 ~b~Tq  
    ^+P.f[  
    2.1设计要求
    '8;bc@cE  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: ;W?#l$R  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 I8gNg Z  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: vkE`T5??  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    "b hK %N;  
    Y#9W]78He  
    "'z}oS  
    以上展示部分命令,这其中, F\D iT|?}  
    OBG 的物是高斯光束. :01d9|#  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. yI: ;+K  
    得到的初始结构如下:
    w6V/Xp][U  
    A'jvm@DvQI  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 OeqKKVuQ  
    原因如下: hQ@k|3=Re  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 w.x&3aG  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 Q-oDmjU  
    优化
    %/Wk+r9uu  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 (fF8)4l  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 UOZ+ &DL,L  
    改变高阶项
    ]:gW+6w"C  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? sQ}|Lu9hZ  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 8 MO-QO  
    HELP USS KmNnW1T  
    然后找到类型16。 PB@IPnB-  
    V5K/)\#  
    优化结果
    b{<?E };%  
    w,p'$WC*  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 %nZ:)J>kz  
    光通量
    # sw4)*v  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 9 -pt}U  
    "TA0--6  
    CV @P +  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? @}4aF|  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 nFQuoU]ux  
    打开 MMA对话框。 q-`&C  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 d1cp=RbC  
    Object point (物体坐标)设定为 0, fxd+0R;f  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, 3mHzOs\jU  
    数字化输出, 9G/!18 X?f  
    绘制图表。 F}}!e.>c  
    g!XC5*}  
    \U$:/#1Oe  
    这是一个表面光栅的分布图。 XkA] 9,@  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? kO\ O$J^S  
    I0+6p8,  
    to?!qxn  
    在 PANT 文件中添加一个变量: ^VXhv9\>B  
    VY 5 RAD @-sWXz*W  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: c& ;@i$X(  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 zr|DC] 3  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 Xfk DMh  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    ;eYG\uKC{  
    光通量
    光栅分布
    ,ucRQ&P  
    (xb2H~WrN  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 "9_$7.q<y  
    镜片表面高斯光强分析
    7 FE36Ub9  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布.  i"<W6  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE ~2Wus8X-  
    IAQ<|3Q  
    n[Q(q[ULV  
    q\@Zf}  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) 3Z?ornS  
    它有着预期的高斯分布的形状。 %D4)Bqr  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 MKfK9>a  
    输入: %&6Q Uv^  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE @:?[R&`  
    非常均匀水平的光强分布。 "SMJ:g",  
    >=0]7k;  
    DMASK 图像
    !Aj}sh{  
    $E@n;0P  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 z6R|1L 1  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
     
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