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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 OQ&l/|{O0?  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 @cukoLAn  
    wt]onve}%  
    初始宏文件可以评论区留言获取 ;X, A|m$(  
    3s;^p,9 Y  
    x.8fxogz  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 )\Am:?RH;  
    g=n{G@*N  
    2.1设计要求
    FN\*x:g  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: H}?"2jF  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 .~u[rc|<  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: 9(6f:D  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    F$M^}vsjGx  
    !Ah v07SI  
    gamE^Ee  
    以上展示部分命令,这其中, ?fW['%  
    OBG 的物是高斯光束. iSbPOC7  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. 8 kvF~d ;  
    得到的初始结构如下:
    $+w:W85B  
    4( $p8J  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 $O3.ex V  
    原因如下: Np7+g`nG  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 `3g5n:"g\  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 z;DNl#|!L  
    优化
    Wz%H?m:g#  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 ZmI0|r}QbY  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 b+1!qNuCW#  
    改变高阶项
    9A~w2z\G  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? ijP `fM8  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 !#d5hjoX  
    HELP USS ;6:9EEd  
    然后找到类型16。 >v2/0>U  
    {8>g?4Q#  
    优化结果
    pu~b\&^G  
    (\ge7sE-oo  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 1*" 7q9x  
    光通量
    e>6|# d  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 x ]">  
    ]"}BqS0  
    C#-HWoSi  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? Dj>eAO>  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 )xq=V  
    打开 MMA对话框。 tk]D)+{u&c  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 E;}&2 a  
    Object point (物体坐标)设定为 0, T*:w1*:  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, 9 ,:#Q<UM  
    数字化输出, `JO>g=,4  
    绘制图表。 ? X6M8`  
    UB/"&I uo  
    "iTjiH)Q(  
    这是一个表面光栅的分布图。 KLvAe>#,  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? A 0v=7 ]  
    a*-9n-U@[k  
    .W^B(y(tA  
    在 PANT 文件中添加一个变量: f"RC(("6W  
    VY 5 RAD /jNvHo^B  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: T%% 0W J  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 ~Oa$rqu%m  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 3_<l`6^Ns/  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    8t Q;N'  
    光通量
    光栅分布
    WG A1XQ{  
    rRg,{:;A  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 %cLS*=MO  
    镜片表面高斯光强分析
    [0EWIdT*b  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. [I=|"Ic~  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE G<M0KU (  
    .<zKBv  
    gUNhN1=  
    :h5G|^  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) N"}>);r  
    它有着预期的高斯分布的形状。 "]#Ij6ml  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 23P&n(.  
    输入: g'KxjjYT,  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE 9j|v D  
    非常均匀水平的光强分布。 a M9v  
    %ggf|\ -e  
    DMASK 图像
    Ly&+m+Gwu  
    /i3 JP}  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 lhHH|~t0  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
     
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