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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 fda4M  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 -BSO$'{7  
    F|cli <  
    初始宏文件可以评论区留言获取 &*bpEdkZ  
    65nK1W`i  
    -?l`LbD  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 C\Z5%2<Z  
    ej7L-~lxQ  
    2.1设计要求
    xs )jO+.  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: #3tC"2MZ  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 | #b/EA9  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: Al]*iw{  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    cltx(C>   
    ty:{e]e  
    wz{c;v\J^  
    以上展示部分命令,这其中, %%#bTyF  
    OBG 的物是高斯光束. |tU wlc>  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. _ 2)QL  
    得到的初始结构如下:
    9-vQn/O^D  
    oIQ$98M  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 Q,Y^9g"B`~  
    原因如下: %eh.@8GL`  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 q: X^V$`  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 ^go3F{; 4i  
    优化
     4CtWEq  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 |lk:(~DM  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 pe>?m^gz[  
    改变高阶项
    d(:I~m  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? gyPwNE  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 -%Ce  
    HELP USS @6%7X7m  
    然后找到类型16。 |DPq~l(d  
    aL&9.L|1 g  
    优化结果
    N7KG_o%  
    qq_ZkU@xg  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 =q|//*t2  
    光通量
    )=bW\=[8  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 OEX\]!3_Fm  
    ];5Auh 0o  
    /"8|26  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? '1fyBU  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 T\ukJ25!  
    打开 MMA对话框。 Pp_? z0M  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 .>~er?-  
    Object point (物体坐标)设定为 0, C rl:v8  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, Ct zW do.  
    数字化输出, +\u\BJ!LAJ  
    绘制图表。 FQE(qltf,  
    hs:iyr]@9  
    $ER9u2  
    这是一个表面光栅的分布图。 eAqpP>9n  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? }W(t> >  
    FFe{=H,=  
    Xy`'h5  
    在 PANT 文件中添加一个变量: Y*O Bky  
    VY 5 RAD \qlz<   
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: )O$S3ojZ  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 GXNkl?#  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 d2)]6)z6  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    U.b|3E/^  
    光通量
    光栅分布
    4Ssy (gt  
    rz2,42H]  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 9 g- 8u+&  
    镜片表面高斯光强分析
    t<$J 3h/"  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. :#{0yno)H  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE dTlEEgR  
    Kb-m  
    ^#K^WV  
    T|j=,2_  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) V$oj6i{ky  
    它有着预期的高斯分布的形状。 ~2yhZ  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 QFoCi&  
    输入: L/%{,7l<^?  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE Fg}t{e]3a  
    非常均匀水平的光强分布。 T &bB8tQk  
    tp }Bz&V  
    DMASK 图像
    2R^Eea  
    g[~J107%A  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 :f7vGO"t  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
     
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