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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 V(P 1{g  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 Qv;q*4_  
    tf4clzSTa  
    初始宏文件可以评论区留言获取 \ fSo9$  
    pz ~REsx  
    BNq6dz$J  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 oz&RNB.K  
    t-?#x   
    2.1设计要求
    *^i"q\n5(  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: V#TNv0&0  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 ra}t#Xt`  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: (o518fmR  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    rbc7CPq_^  
    \e' oAhM  
    d:JP935  
    以上展示部分命令,这其中, fR#W#n#m  
    OBG 的物是高斯光束. j5MUP&/g3  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. <|1Khygv  
    得到的初始结构如下:
    _|wnmeL*  
    L!0}&i;u~5  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 ("P]bU+'>  
    原因如下: 7=a=@D[  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 K:b^@>XH  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 =?[:Nj636  
    优化
    >oL| nwn  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 \:9<d@?  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 L3Ivm :  
    改变高阶项
    !dOpLUh l  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? rAh|r}R  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 =F/EzS  
    HELP USS zvR;Tl6]  
    然后找到类型16。 bwe)_<c  
    a^7QHYJ6  
    优化结果
    =+w/t9I[  
    ~WKWx.ul  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 6 jU ?~  
    光通量
    TFDzTD  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 DqA$%b yyE  
    lY[\eQ 1:  
    Wn&9R j  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? hCob^o  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 FZtT2Z4&i  
    打开 MMA对话框。 D*t[5,~j  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 iHeu<3O  
    Object point (物体坐标)设定为 0, )WsR 8tk  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, =55V<VI  
    数字化输出, @T] G5|\ok  
    绘制图表。 Oar%LSkPRz  
    4"#F =f0  
    uLr-!T  
    这是一个表面光栅的分布图。 *Rgl(Ba  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? `$XgfMBf |  
    ^+x,211f  
    XwDt8TxL  
    在 PANT 文件中添加一个变量: @?5pY^>DK  
    VY 5 RAD '#lc?Y(pJ2  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: T'a&  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 Daq lL  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 ]0=THq\H  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    \ESNfL5  
    光通量
    光栅分布
    3{M0iNc1  
    .t.4y. 97  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 uTvf[%EHW  
    镜片表面高斯光强分析
    m@"p#pt(_  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. wcW7k(+0  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE :PNhX2F  
    @ 1FWBH~  
    nPhREn!  
    Z/LYTo$Bz  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) g ,yB^^%  
    它有着预期的高斯分布的形状。 ,15$$3z/E  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 _ME?o  
    输入: 1w#vy1m J  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE et<@3wyd]  
    非常均匀水平的光强分布。 c=<^pCa9t1  
    Rm Q>.?  
    DMASK 图像
    `HILsU=|  
    {BZ0x2  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 U04)XfO;]  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
     
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