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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 q%OcLZ<,  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 ?!bd!:(N  
    x`]Of r'  
    初始宏文件可以评论区留言获取 ^~ Ekg:`  
    Ho|o,XvLv  
    XMt u"K  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 Wc~3^ ;U  
    siZr@g!L  
    2.1设计要求
    FWuw/b$  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: M:R8<.{  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 O!:QJ ^8 d  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: 7n\ThfH{  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    ~'NX~<m  
    Yuwc$Qp)  
    O4m(Er@a  
    以上展示部分命令,这其中, @)o0GHNP  
    OBG 的物是高斯光束. 8{R&EijC  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. S4L-/<s[*  
    得到的初始结构如下:
    n4^~gT%b5]  
    ki\B!<uv  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 X.s*>'  
    原因如下: sB?2*S"X)<  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 *R5`.j =  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 "Owct(9  
    优化
    k) "ao2iXL  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 cb +l"FI7  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 RG&I\DTyt  
    改变高阶项
    T |37#*c  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? g.9L)L  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 -7k[Vg?  
    HELP USS z(+&wa  
    然后找到类型16。 gXLCRn!iR  
    v9u<F6  
    优化结果
    {1jpLdCbV^  
    %Nj #0YF]  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 doBNghS  
    光通量
    nt=x]wEC  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 ndr)3tuYu  
    `3J' :Vh  
    RL6Vkd?  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? Nu@5 kwH  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 XlVc\?  
    打开 MMA对话框。 4:D:| r  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 a.?v*U@z@#  
    Object point (物体坐标)设定为 0, (qUK7$  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, 3 -tO;GKb  
    数字化输出, %4,xx'`  
    绘制图表。 U 2bzUxK  
    sm1;MF]/u  
    6JSY56v  
    这是一个表面光栅的分布图。 fuMN"T 6%+  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? (_K_`5d;QI  
    '@bJlJB9>  
    dByjcTPA  
    在 PANT 文件中添加一个变量: :s"2Da3B  
    VY 5 RAD E tx`K5Tr]  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: z$|;-u|  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 ll%G!VR  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 Rv<L#!; t  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    m<{"}4'  
    光通量
    光栅分布
    ?W!ry7gXO  
    !4t`Hv?'  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 T6uMFD4 |  
    镜片表面高斯光强分析
    :=9<  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. (0OM "`j  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE -(9O6)Rs$  
    ePEe?o4;  
    9OyNi  
    ]v\^&7pW  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) X FQNr`  
    它有着预期的高斯分布的形状。 H -,TS^W  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 )t%h[0{{  
    输入: (~&w-w3  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE 26.)Ur<F  
    非常均匀水平的光强分布。 n(>C'<otj  
    p x#suy  
    DMASK 图像
    r+S;B[Vd  
    9 Kbw GmSU  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 w{`Acu  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
     
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