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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 Z$INmo6  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 va_u4  
    J:"@S%gy%  
    初始宏文件可以评论区留言获取 S`YT"|~  
    r+m.! +  
    C-S>'\ |8  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。  &lU\9  
    aV7VbC  
    2.1设计要求
    }F0<8L6%  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: ;o'r@4^&$R  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 ]VQd *~ -  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: =PY{Elf  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    E9mu:T  
    ROn@tW  
    p?#T^{Quz~  
    以上展示部分命令,这其中, C_>XtcU  
    OBG 的物是高斯光束. ;^bfLSWm{  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. ;v\s7y  
    得到的初始结构如下:
    xDU \mfeGj  
    uWKmINjv'  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 l!XCYg@67  
    原因如下: c*7|>7C$i  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 vu@.;-2E%  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 f6K.F  
    优化
    /0qbRk i  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 FS=yc.Q_  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 T5|kO:CbHq  
    改变高阶项
    /d}"s.3p  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? RHBQgD$  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 5PZ!ZO&  
    HELP USS (_4DZMf  
    然后找到类型16。 _p4]\LA  
    x5MS#c!7  
    优化结果
    UL}wGWaoG  
    q\?p' i  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 J;Z2<x/H  
    光通量
    ?ckV 2  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 OFtf)cGE  
    5b/ ~]v  
    =K0%bI  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? :0B 7lDw  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 3s?u05_  
    打开 MMA对话框。 I ?Dp *u*  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 yIn$ApSGY  
    Object point (物体坐标)设定为 0, Le?g ,c  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, #0T/^ #  
    数字化输出, @ :Zk,   
    绘制图表。 P #! N  
    ";=!PL  
    WN=0s  
    这是一个表面光栅的分布图。 XEA5A.uc  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? :p}8#rb  
    h-1?c\Qq:  
    T4wk$R L  
    在 PANT 文件中添加一个变量: f%.Ngf9  
    VY 5 RAD xrvM}Il  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: g|]HS4y  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 f0SrPc v  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 3E*m.jX  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    gep#o$P  
    光通量
    光栅分布
    ]Ac}+?  
    ~x8nC%qPvq  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 AcuF0KWw/  
    镜片表面高斯光强分析
    f/O6~I&g  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. :6lvX$  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE k2v:F  
    ?v M9 !  
    =w+8q1!o  
    z5$Q"Y.D  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) 9r]|P}yuS  
    它有着预期的高斯分布的形状。 8-x-?7  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 \wA:58 -j  
    输入: ErNYiYLi]  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE _|GbU1Hz  
    非常均匀水平的光强分布。 Oh$:qu7o0&  
    ?'P}ZC8P  
    DMASK 图像
    PX|@D_%Y=  
    ?yS1|CF%&y  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 GA gTy  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
     
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