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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 , %mTKOs  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 6G7B&"&  
    qfvd( w  
    初始宏文件可以评论区留言获取 %m!o#y(hD`  
    *aS|4M-  
    xeo;4c#S5  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 9c8zH{T_{  
    |uV1S^ !A  
    2.1设计要求
    uNl<= 1  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: PHi'&)|  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 f!e8xDfA  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: &1893#V  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    &D[dDUdHs  
    n99:2r_  
    lYv :  
    以上展示部分命令,这其中, ^i&/k  
    OBG 的物是高斯光束. _A kc7"  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. zA9N<0[]o  
    得到的初始结构如下:
    9fMg?  
    KMhoG.$Ra  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 2V/ A%  
    原因如下: ^v*ajy.>  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 rI o`n2  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 a+)Yk8%KY  
    优化
    %>Z=#1h/a  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 mLPQ5`_  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 wd~e3%JM  
    改变高阶项
    2W|4  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? ii2X7Q  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 1sYwFr5  
    HELP USS =r3Yt9  
    然后找到类型16。 Thn-8DT  
    %Ub"V\1  
    优化结果
    *'`ByS  
    z 4Qz9#*"^  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 c~ l$_A  
    光通量
    m@.4Wrv  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 8<0H(lj7_  
    %Gl,V5z&  
    4?><x[l2{  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? Hlp!6\gukp  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 eT[ ,k[#q  
    打开 MMA对话框。 s!nFc{  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 :m_0WT  
    Object point (物体坐标)设定为 0, ,[,+ _A  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, J*U,kyYF  
    数字化输出, 3%{XJV   
    绘制图表。 }h5pM`|1  
    k`Ab*M$@Xs  
    8xDS eXh;  
    这是一个表面光栅的分布图。 ^USj9HTK  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? !-2nIY!  
    8II-'%S6q  
    DG O_fR5L  
    在 PANT 文件中添加一个变量: g}{Rk>k  
    VY 5 RAD 8?W\kf$  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: '1~mnmiP  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 8UwL%"?YB  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 :(} {uG  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    ]d_Id]Qa+  
    光通量
    光栅分布
    u Y V=  
    q-/A_5>!;f  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 !\JG]2 \  
    镜片表面高斯光强分析
    S-gL]r3G8  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. l@q.4hT  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE ~PHAC@pU  
    @za?<G>!'e  
    @bmu4!"d  
    9x?" %b  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) $ n`<,;^l  
    它有着预期的高斯分布的形状。 \|@]XNSN  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 %&c[g O!Za  
    输入: szF[LRb  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE 1N x%uz  
    非常均匀水平的光强分布。 ~/! Zh  
    k <A>J-|  
    DMASK 图像
    ORs<<H.d  
    [ k^6#TQcn  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。  &e7yX  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
     
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