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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 =usx' #rb  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 T+m`a #  
    Tz1St{s\  
    初始宏文件可以评论区留言获取 69 R8#M  
    ;GO>#yg4Eh  
    -82Rz   
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 e;R5A6|  
    yw2^kk93|  
    2.1设计要求
    ._"U{ f2V  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: 'Uew(o  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 [J0L7p*6  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: Funep[rA  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    1"009/|   
    k`6T% [D]  
    R}a,.C  
    以上展示部分命令,这其中, <*~vZT i(  
    OBG 的物是高斯光束. Z +@"  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. xXM`f0s@+]  
    得到的初始结构如下:
    s!``OyI/Z  
    {n=)<w  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 .0S.7w3dZo  
    原因如下: gd-4hR  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 a1B_w#?8  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 B5aFt ;Vj  
    优化
    #Na3eHT  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 |f&)@fUI  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 1g5%Gr/0$5  
    改变高阶项
    F_U3+J>  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? f@+[-yF  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 P*XLm  
    HELP USS a;D{P`%n  
    然后找到类型16。 z@^[.  
    IL?3>$,  
    优化结果
    |S|0'C*  
    y.26:c(  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 u[dR*o0'  
    光通量
    1+v&SU  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 e'mm42  
    P Ig)h-w?  
    Pfu2=2Ra  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? ;(fDR8  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 pHEhB9_A!  
    打开 MMA对话框。 ',?v7&  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 mK5<;$  
    Object point (物体坐标)设定为 0, 3'8B rK  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, /<vbv  
    数字化输出,  pI|Lt  
    绘制图表。 -bu.Ar-#;h  
    nellN}jYsM  
    o {Sc  
    这是一个表面光栅的分布图。 1w/1k6`0  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? /Y:&307q  
    ?Ko)AP  
    rlmzbIu I9  
    在 PANT 文件中添加一个变量: ;BUJ5  
    VY 5 RAD xGCW-YR9  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: os|8/[gT  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 YwyP+S r\  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 $As;Tvw.  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    mk8xNpk B  
    光通量
    光栅分布
    xV[X#.3  
    P?  VGY  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 #\[h.4i  
    镜片表面高斯光强分析
    T_|%n F-+  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. wv>*g:El'  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE [ X]yj  
    t=o0 #jo  
    Mh"DPt9@J  
    A94ZG:   
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) b}< T<  
    它有着预期的高斯分布的形状。 [Hw  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 1Y4=D  
    输入: F]DRT6)  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE ggtGecKm  
    非常均匀水平的光强分布。 v=e`e68U~  
    M3ihtY  
    DMASK 图像
    e\%+~GUTC=  
    8+K=3=05#U  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 a~E@scD  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
     
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