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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 }o^A^  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 qP"JNswI_  
    eh(Q^E;*  
    初始宏文件可以评论区留言获取 Z) Xs;7  
    -WUYE  
    B/=q_.1F>  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 16QbB;  
    Q==v!"Gi|  
    2.1设计要求
    !/}FPM_  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: %?f:"  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 u 7"VeTz  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: + |qfgi  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    >J}n@MZ  
    S7kT3zB  
    EB>B,#  
    以上展示部分命令,这其中, sdf%  
    OBG 的物是高斯光束. hRr1#'&  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. V->%)d3i  
    得到的初始结构如下:
    ~u0xXfv#  
    fT3*>^Uv  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 fcICFReyV  
    原因如下: D4q >R;  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 ^ L ^F=qx  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 ch>Vv"G>  
    优化
    6B''9V:s  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 _~[?> cF%  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 |:9Ir^  
    改变高阶项
    14D 7U/zer  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? V-_/(xt*  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 "]m*816'  
    HELP USS lKEX"KQ!  
    然后找到类型16。 kwHqvO!G  
    _Dj<Eu_  
    优化结果
    Mi}I0yhVm  
    ole|J  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 <'[Ku;m  
    光通量
    NLQE"\#a  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 vWl[l -E  
    9&%#nN4`8  
    _(6`{PWY  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? 6z3T?`}Y  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 iS1Gb$?  
    打开 MMA对话框。 #+" 4&:my  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 @8nLQh^  
    Object point (物体坐标)设定为 0, HK0::6n{  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, \&iil =H8!  
    数字化输出, =3|pHc hJ4  
    绘制图表。 @H\pipT_b  
    !7*(!as  
    #, Q}NO#vT  
    这是一个表面光栅的分布图。 K 3Yw8t2J  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? )'5<6Q.]  
    pp~3@_)b  
    7]|zkjgI  
    在 PANT 文件中添加一个变量: i3Hz"Qs;  
    VY 5 RAD 94|yvh.B  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: ]U,CKJF%/  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 9 g Bjxqm  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 S Pn8\2Cj  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    B6bOEPQ  
    光通量
    光栅分布
    /vjGjb=3U  
    TZ_rsj/t  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 YwL`>?  
    镜片表面高斯光强分析
    (=1q!c`  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. c>ad0xce6  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE )O3jQ_q=  
    $PSY:Zz  
    G#H9g PY  
    z)lM2x>|*  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) ImIqD&a-h  
    它有着预期的高斯分布的形状。 vv+D*e&<  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 o+<29o  
    输入: Ly9Q}dL  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE <EMkD1e  
    非常均匀水平的光强分布。 akT|Y4KxD  
    k(P3LJcYQ  
    DMASK 图像
    #{!O,`qD  
    eZg$AOpU  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 .H8mRvd?  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
     
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