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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    离线小火龙果
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 07-17
    1.概述 i,E{f  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 ;I 9&]   
    EZy)A$|  
    初始宏文件可以评论区留言获取 ]J}  
    nE&@Q  
    otl0J Ht*+  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 6?mibvK  
    B^Nf #XN(  
    2.1设计要求
    N^ds RYC  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: W*4-.*U8a  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 V2?=4mb  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: YEs&  
    初始宏文件可以评论区留言获取
     Ins`l  
    KL:j?.0  
    C'+YQ]u  
    以上展示部分命令,这其中, gsv uE  
    OBG 的物是高斯光束. `H_3Uc  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. /-ch`u md  
    得到的初始结构如下:
    |`Ntv }  
    c74.< @w  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 =J]]EoX/  
    原因如下: z8~NZ;A  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 +EAsW(F1  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 FLCexlv^  
    优化
    `PdQX.wN  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 wd^':  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 MS>Ge0P("~  
    改变高阶项
     u\x}8pn  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? KB,j7 ~V  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 Ic:(Gi- %  
    HELP USS 2c,9e`  
    然后找到类型16。 /y#f3r+*2  
    ygS;$2m%2  
    优化结果
    nFg~< $d  
    dA`IEQJL  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 Co_A/  
    光通量
    BB$>h}  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 i2A81>68<  
    kr5">"7  
    v ~?qz5:K~  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? B6nX$T4zP  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 vq0Tk bzs  
    打开 MMA对话框。 z'U1bMg  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 `$<.pOm  
    Object point (物体坐标)设定为 0, [M}{G5U.  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, S6M}WR^,  
    数字化输出, mPK:R^RjG&  
    绘制图表。 4 Y9`IgQ  
    :&rt)/I  
    qI9z;_,gNz  
    这是一个表面光栅的分布图。 IH&|Tcf\  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? >`mVY=H i  
    _LUhZlw  
    @R"JW\bd  
    在 PANT 文件中添加一个变量: sPQQ"|wU  
    VY 5 RAD I-)+bV G  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: f#"J]p  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 sA/D]W.P  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 x8\?}UnB  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    DE8n+Rm  
    光通量
    光栅分布
    c(m<h+ 2VL  
    !bx;Ta.  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 kGS;s B  
    镜片表面高斯光强分析
    =tn)}Y.<e  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. rgv?gaQ>  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE J26 VnK  
    I)6+6pm  
    7\[@ m3s  
    ;_I8^?d  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) 2'\H\|  
    它有着预期的高斯分布的形状。 <CiSK!  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 beGa#JH,  
    输入: NiK4d{E&  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE 9(7-{,c  
    非常均匀水平的光强分布。 v`x.)S1  
    _pG-qK  
    DMASK 图像
    ({)+3]x  
    fk>aqm7D!  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 .},'~NM]  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
     
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