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    [原创]SYNOPSYS 光学设计软件课程七十五:衍射透镜设计激光光束整形器 [复制链接]

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    离线小火龙果
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-17
    1.概述 (:k`wh&  
    衍射透镜也被称为光学衍射元件,或者 DOE 类似于菲涅尔透镜, 有很多的倾斜的区块, 唯一不同的是区块的高度是通过计算得到的,用来让光线的相位变化刚好是一个波长或者是相位的一个周期。 AQGE(%X  
    g[)hm`{?  
    初始宏文件可以评论区留言获取 ?^GsR[-x  
    6>7LFV1tvy  
    -mdPqVIJn:  
    所以它像一个具有不均匀间距的圆形衍射光栅.因为它以布拉格角衍射,所以它的衍射效率很高。 j-E>*N}-_  
    [<Puh  
    2.1设计要求
    bvvx(?!  
    下面是一个衍射透镜设计激光光束整形器的指标: 2_ DtzY:=  
    将最细直径为0.35 mm的氦氖激光束扩展成变动范围在10%以内的直径为 10 mm 的均匀激光束。只使用两个元件, 每个的一侧都有一个 DOE。 g+F_M  
    SYNOPSYS 初始结构搜索镜头文件和运行结果: 8j +;Xlh  
    初始宏文件可以评论区留言获取
    +/8?+1E ^  
    td$Jx}'A  
    P?ol]MwaB  
    以上展示部分命令,这其中, +@v} (  
    OBG 的物是高斯光束. ^?`,f>`M  
    DOEs 将会使用16号特殊表面形状建模,一个简单的 DOE. 'v)+S;oB  
    得到的初始结构如下:
    pDN,(Ip  
    f}d@G/L  
    这是最初的设计,效果并不是十分理想 RtEkd_2  
    原因如下: ho<#i(  
    1.光束被扩大了但是并不准直。 'm ((G4  
    2.而且强度分布仍然是输入的高斯光束的强度分布。 }Ec"&  
    优化
    Qp Vm  
    DOEs , 就如同其他的非球面形状, 也是利用 G 变量来调整。 DzOJ{dF  
    优化函数还包括绝大多数的 FLUX 像差, 控制着各个区域的衰减。 7nIMIkT:  
    改变高阶项
    q@> m~R  
    应该怎样确定改变哪个 G 变量? |,f6c Om f  
    所有的一切只需要按几下按键.  输入 >qZRIDE5$  
    HELP USS j KK48S  
    然后找到类型16。 @35]IxD  
    0nn# U  
    优化结果
    |%9~W^b  
    6?~pjMV  
    还能做得更好。接下来尝试改变高阶的系数,将变量选项添加到 G31, 即增加到12 项。 y['icGU6  
    光通量
    L1+cv;t  
    透镜看起来还是和原来一样,但是需要检查光通量的均匀性,输入 FLUX 100 P 6 $nN$"  
    ?!vW&KJZx  
    XRin~wz|S  
    得到了几乎是平直的一个漂亮的曲线,这是一个优秀的设计。但是可以加工吗? HX[#tT|m~  
    如果空间频率太高,制造技术可能会出现问题。 ?RyvM_(N6  
    打开 MMA对话框。 ymqhI\>y#  
    在 PUPIL上选择表面4的 HSFREQ分布。 CjCnh7tm  
    Object point (物体坐标)设定为 0, ]sE^=;Pv?  
    光线网络 CREC 设置为网格 7, '?4[w]0J<  
    数字化输出, o!&*4>tF  
    绘制图表。 ?whp _  
    {QJ`.6Kt  
    N9Vcp~;  
    这是一个表面光栅的分布图。 0U~JSmj:2K  
    边缘最大空间频率在在 100c/mm 左右。 这并不是很容易制造,能不能减小, 比如说到 50 c/mm? <9vkiEo  
    ,;}RIcvQV  
    -ybupUJcbv  
    在 PANT 文件中添加一个变量: %*hBrjbj  
    VY 5 RAD H2p;J#cv@  
    然后再 AANT 文件加入一个新的像差: Po[zzj>m  
    M 50 .01 A P HSFREQ 0 0 1 0 4 X*&r/=  
    优化后再次按之前的步骤查看光通量和光栅分布。 g'@+#NMw  
    最后的优化宏文件可以评论区留言获取
    XO>Y*7rO  
    光通量
    光栅分布
    %0'f`P6  
    qKXn=J/0tA  
    现在表面4上的边缘空间频率正好是 50 c/mm, 而且光通量均匀性就像原来一样的好。 >~ :]+q  
    镜片表面高斯光强分析
    uNDkK o<M  
    现在要运行衍射传播程序 DPROP , 来检查系统的强度分布. .l!Z=n|  
    DPROP P 0 0 3 SURF 3 L RESAMPLE sy?W\(x  
    VB%xV   
    yDrJn* r^  
    K(Nk|gQ  
    这个图显示了表面3上的高斯光束的强度分布, (在通过第二个DOE之前。) M~4!gKs  
    它有着预期的高斯分布的形状。 7dRU7p>  
    现在对表面 6也进行相同的操作。 X;0@41t'  
    输入: BH1To&ol  
    DPROP P 0 0 6 SURF 3 L RESAMPLE SQ[}]Tm;n  
    非常均匀水平的光强分布。 &-9D.'WzP  
    xYq8\9Qb  
    DMASK 图像
    el<nY"c  
    sQ$FtKm6  
    这个是由 DMASK 3 GREY 1000 命令生成的图像。 {z7{ta  
    如果 DOE 是通过光蚀刻制成的,这是要被成像到衬底上的底模。
     
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