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摘要 z`g4 < pHKcKqB*13 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 (sM$=M<$
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 efzS]1Jpz )M3} 6^ s] 建模任务 #h=p U/R ul(pp+%S  #/N;ScyUJT 光栅特性与参数的严格分析 `U4e]Qh/+ LV}Z[\? 不同光栅周期下的衍射效率 b'AA*v,b ,4W~CkLD
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lZ,w #sqbY 关于光栅周期选择的考虑 s!73To}>
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sRi wL s2=`haYu 通过参数优化进行光栅设计 2xxw8_~C +HDfEo T 固定周期的2D参数优化 t,w'w_C _a]0<Vm C0
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 Ud:;kI%V j wbQs>pc VirtualLab Fusion中的工作流程 G2
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.$ •构造光栅结构 ) :V F^"
−通过使用界面来配置光栅结构 2n3!p Z8
[用例] [R0E4A?M
•分析光栅衍射效率 Ba}<X;B }
−光栅级次分析器[用例] cGM?r}zJ
•使用参数运行搜索初始解决方案 (zml704dI)
−参数运行文档的使用[用例] nN%Zed2O@6
•通过参数优化找到最终设计 / ? %1;s:' exxH0^ VirtualLab Fusion技术 bH}?DMq]O K''2Jfm
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