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摘要 ,b:~Vpb1I r[wjE`Z/T 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 lh6N3d [c
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7LJm<g 建模任务 8T[<&<^- ^9><qKbO s~ou$!| 光栅特性与参数的严格分析 M@Ti$= F3tIJz>3 不同光栅周期下的衍射效率 /(?s\}O *U$%mZS]1
DS_0p|2 zFQm3 !. 关于光栅周期选择的考虑 TM|PwY q,> C^p|2b
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u^#e7u q~Al[`K •构造光栅结构 M*C1QQf\N −通过使用界面来配置光栅结构 p L^3*B.Nr [用例] N2Ysi$ •分析光栅衍射效率 g#Ta03\ −光栅级次分析器[用例] FjLMN{eH/ •使用参数运行搜索初始解决方案 l N0u1)'2 −参数运行文档的使用[用例] p )]x,F •通过参数优化找到最终设计 VE1j2=3+o x9S9%JG : VirtualLab Fusion技术 #!%zf{(C+ _OS,zZ0
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