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摘要 & %}/AoU Zcd7*EBdx 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 2?i\@r@E|
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 9+CFR YC YaFcz$GE_ 建模任务
AvRcS]@= sV0Z  ]H 2R 光栅特性与参数的严格分析 993d/z|DX 7#4%\f+'t 不同光栅周期下的衍射效率 R $b,h @vH2Vydu
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>7-y#SkXdo 关于光栅周期选择的考虑 lC9S\s
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 J~J@ ]5/ Z H-5 Qy_ 通过参数优化进行光栅设计 .w'vD/q; O<`R~ 固定周期的2D参数优化 g3rRhS $Xt;A&l2?
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 !OQuEJR &NP6%}bR` •构造光栅结构 @WJf)
−通过使用界面来配置光栅结构 R_9 o!s TZ
[用例] 7V/Zr
•分析光栅衍射效率 f\=6I3z
−光栅级次分析器[用例] R25-/6_V>
•使用参数运行搜索初始解决方案 l]u7.~b
−参数运行文档的使用[用例] `OLB';D
•通过参数优化找到最终设计 fr]Hc+7 `r9^:TMN VirtualLab Fusion技术 /gX%ABmS :W%4*-FP
 `=v@i9cTZ
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