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摘要 5fx,rtY2sQ 6[h$r/GXh" 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Y\z\{JW
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 `i)ePiE wh m tEY 建模任务 ,S0~:c:) h. (;GJO  'iISbOM 光栅特性与参数的严格分析 CygV _q -J7 , Nw 不同光栅周期下的衍射效率 .SV3<) H Fx"fT
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PLD'Q,R 关于光栅周期选择的考虑 ]vkHU6d
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hS- 偏振相关的衍射特性 2au(8IWu cYwC,\ uF
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 .%Q Ea_\ %ys}Q!gR •构造光栅结构 ",V5*1w
−通过使用界面来配置光栅结构 y+af UJT
[用例] } z-
•分析光栅衍射效率 K.1yncS^
−光栅级次分析器[用例] c !^}!32j)
•使用参数运行搜索初始解决方案 =T4 w:
−参数运行文档的使用[用例] NB +O;
•通过参数优化找到最终设计 ;O|63 ,6Q-k4 _ VirtualLab Fusion技术 yP4.Z9 Z?' |9FM
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