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摘要 X?RnP3t~ Y<A593 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 5)}3C_pmW CB76
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%u$-} 光栅特性与参数的严格分析 ;OE= ;\ ,$lOQ7R1( 不同光栅周期下的衍射效率 xj1FCT2 EQ;,b4k?&g
im}= AbWnDqv 关于光栅周期选择的考虑 (|(#W+l~
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rt\i@} -y8?"WB(b VirtualLab Fusion中的工作流程 =:T pH>f* sqAZjfy@
YTiXUOj H_RVGAbU •构造光栅结构 V!eq)L −通过使用界面来配置光栅结构 ,S|v>i,@ [用例] >x(3p@6p •分析光栅衍射效率 w7.I0)MH −光栅级次分析器[用例] e 1W9Z $m •使用参数运行搜索初始解决方案 v&[Ff|> −参数运行文档的使用[用例] +?xW%omy •通过参数优化找到最终设计 & |