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摘要 n.'Ps+G( W$,/hB& z 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 =8`KGeP$
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 Fz<1xyc( wxJ"{(; •构造光栅结构 $>_`.*I/
−通过使用界面来配置光栅结构 Y?K?*`Pkc1
[用例] 8tjWVo
•分析光栅衍射效率 _D{FQRU<YD
−光栅级次分析器[用例] H l(W'>*oL
•使用参数运行搜索初始解决方案 0<4'pO.6Hq
−参数运行文档的使用[用例] 0(u}z
•通过参数优化找到最终设计 !U P B4I k^; /@: VirtualLab Fusion技术 :?z @T[- vNdX
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