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摘要 G<f@#[$' ]<pjXVRt" 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 &<J[Q%2 m{uxIza
Hp|_6hO 2 i9A+gtd 建模任务 MLWM&cFG #=f?0UTA 5sJJGv#6 光栅特性与参数的严格分析 &twf,8 xp72>*_9& 不同光栅周期下的衍射效率 `gb5"`EZ H77"
yo)%J ;@Z#b8aM} 关于光栅周期选择的考虑 Boz@bl mCB <U >>ZSi
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BC;: z)=+ F] •构造光栅结构 @L:>!< −通过使用界面来配置光栅结构 -cm$[,b6 [用例] u% n*gcY •分析光栅衍射效率 /?1nHBYPM −光栅级次分析器[用例] qTo-pAG` •使用参数运行搜索初始解决方案 N**g]T
0` −参数运行文档的使用[用例] $gM8{.! •通过参数优化找到最终设计 J@ktyd(P IMl!,(6; VirtualLab Fusion技术 Iu*^xn MqA`yvQm
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