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摘要 N)|mA)S) X-&t!0O4}` 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 r Z5vey o5?f]Uq5 ,
g]?&qF} k?ubr)[) 建模任务 UUi@
U }z:g}".4 7 wS)'zR; 光栅特性与参数的严格分析 ][3H6T!ckL -3`S;Dmn 不同光栅周期下的衍射效率 K0$8t%Z. Q`k=VSUk
ov&4&v |6/k2d{,( 关于光栅周期选择的考虑 _1jd{?kt B@g 0QgA
6Yhd [I3 6U[`CGL66 偏振相关的衍射特性 ;BzbWvBo ?,~B@Kx
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DZo7T! G?D7R/0) 通过参数优化进行光栅设计 [r,a0s 8OE=7PK 固定周期的2D参数优化 J60XUxf 70bI}/u
~ED8]*H|` 2D参数优化–设计1 .%) FK#s- 3db ,6R
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tPu0r],`o :pj00 制造公差分析 lbM)U x\taG.'zX
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2d:<P!B %:i; eUKR VirtualLab Fusion中的工作流程 k#mQLv )I7~<$w
I(LBc kA3nhBH •构造光栅结构 =`RogjbP −通过使用界面来配置光栅结构 _}MO.&Y [用例] k?r-%oJ7 •分析光栅衍射效率 Uedzt −光栅级次分析器[用例] c@H_f •使用参数运行搜索初始解决方案 pxm{?eBz −参数运行文档的使用[用例] R@*mMWW, •通过参数优化找到最终设计 0($@9k4!/ lmmB =F VirtualLab Fusion技术 Gk~QgD/Pix q\+khy,k
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