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摘要 Y@ 'ahxF FSyeDC^@ 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 E>N L/[1d
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 l1D"*J 2` cQ`+ A|q 建模任务 ^Z G 3{> !K/zFYl  fXB64MNo 光栅特性与参数的严格分析 @EGUQ|WL^ k4BiH5\hA 不同光栅周期下的衍射效率 )Ga 3Ji}' ul ag$ ge
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}v?_.MtS VirtualLab Fusion中的工作流程 Sx%vJYH0
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 G>fJ)A t/9,JG •构造光栅结构 #`9D,+2iB%
−通过使用界面来配置光栅结构 #aV2+ `d
[用例] a;$'A[hq
•分析光栅衍射效率 MGzuQrl{H
−光栅级次分析器[用例] y $K#M
•使用参数运行搜索初始解决方案 b#<@&0KE
−参数运行文档的使用[用例] < BNCo5*
•通过参数优化找到最终设计 | p1 pa4%} /K./k!'z VirtualLab Fusion技术 G~\ SI. )FfJ%oT}
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