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摘要 DjI3?NN
.w> 4 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 )>b.; k4,BNJt'Z
YhbZ'SJ [~kdPk 建模任务 W ZazJ=27} on0]vEE WJNl5^ 光栅特性与参数的严格分析 +zrAG24q XQ%? 不同光栅周期下的衍射效率 n8uv#DsdK Y7#-Fra0W
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ybeKiv9 Q\GDrdA VirtualLab Fusion中的工作流程 /0W9g =/u%c!
)J_\tv 21ppSN> •构造光栅结构 t~e<z81p −通过使用界面来配置光栅结构 ,bM-I2BR [用例] *\wp?s>-t •分析光栅衍射效率 < -uc."6\ −光栅级次分析器[用例] #Hvq/7a2R •使用参数运行搜索初始解决方案 E,wVe[0)f −参数运行文档的使用[用例] l"q1?kaVg •通过参数优化找到最终设计 j,t#B"hOnp Yz4_vePh+5 VirtualLab Fusion技术 <W`#gn0b6 :LWn<,4F&
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