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摘要 B= =a WW [`E 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 w{e3U7;
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 ()nKug`.@ VU`z|nBW@ 建模任务 4)odFq: FJd8s*  V3 _b! 光栅特性与参数的严格分析 A
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 \yih 1Om>~ 2UU 2Vm_6 •构造光栅结构 /{fZH,!L
−通过使用界面来配置光栅结构 tv 4s12&
[用例] 8`:M\*
•分析光栅衍射效率 YH ETI~'j.
−光栅级次分析器[用例] lp:_H-sG
•使用参数运行搜索初始解决方案 ((-aC`
−参数运行文档的使用[用例] sT d}cP
•通过参数优化找到最终设计 x9xzm5 $!3gN% VirtualLab Fusion技术 8_"3Yb`f hf_R\C(c
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