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摘要 }s.\B
_!%@V= 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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$I9U.~* xN6}4JB 建模任务 4Td)1~zc3 22 `e7 Zk5AZ R!| 光栅特性与参数的严格分析 fdgjTX :e\M~n+y 不同光栅周期下的衍射效率 tZ:fh p BfQ#5
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?EG+o8 关于光栅周期选择的考虑 hfs QAa wYh]3
ZpZoOdjslV iN2591S 偏振相关的衍射特性 x#t?` *]ME]2qP
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6.vwK3\>~ )b,FE}YX 通过参数优化进行光栅设计 FmQiy+.| |2I/r$Q 固定周期的2D参数优化 35YDP|XZb TIn o"tc3
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`(~oZbErM }jYVB|2 制造公差分析–设计2 \_/dfmlIZ ][>-r&V
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\Z-Fu=8J8^ 2W;2._ •构造光栅结构 "fu@2y4^ −通过使用界面来配置光栅结构 B9]bv] [用例] c+:^0&l •分析光栅衍射效率 ~zQxfl/ −光栅级次分析器[用例] ^_uCSA'X •使用参数运行搜索初始解决方案 p-,Bq!aG$ −参数运行文档的使用[用例] -K6y#O@@ •通过参数优化找到最终设计 V/yj.aA*@ MZ>Q Rf VirtualLab Fusion技术 BxB B]( rf]x5%ij
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