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摘要 #2l6'gWE0 7ADh 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ,S[,F0"%
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 9ZFvN*Zf' tVVnQX 建模任务 hd{Vz{;W ' NCxVbyYD  q ,6 y{RyS 光栅特性与参数的严格分析 W _j`'WN/ C/V{&/5w 不同光栅周期下的衍射效率 ? g9 mDe;k uis ; S)+
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 @(.?e< =!NYvwg6;o •构造光栅结构 Z5~dU{XsT
−通过使用界面来配置光栅结构 <x@\3{{U
[用例] 'N,3]Soi
•分析光栅衍射效率 j9C=m"O
−光栅级次分析器[用例] K8*QS_*
•使用参数运行搜索初始解决方案 6 .DJR Y
−参数运行文档的使用[用例] .FK'T G
•通过参数优化找到最终设计 }]sI?&xB z.23i^Q VirtualLab Fusion技术 GV)#>PL QQ@, v @j5
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