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摘要 #A63?kDE&& _ \!]MV 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 dj gk7
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 r924!zdbR =C\Tl-$\f 建模任务 $ {yc t fHt \KP  PK\Z Rl 光栅特性与参数的严格分析 }$6L]
}\4yU=JP K 不同光栅周期下的衍射效率 mvn- QP~" XqH@3Ehk
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X cR=4q|7 关于光栅周期选择的考虑 6Yai?*.Q
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 'u,|*o D:P(; 偏振相关的衍射特性 hCxg6e<[ ]HKt7 %,
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 +{UY9_~\3 r" H::A 通过参数优化进行光栅设计 xd Z$|{, /$^Tou/v 固定周期的2D参数优化 I{Du/"r# F)3+IuY
 '/ Aq2 2D参数优化–设计1 emSq{A
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 *85N_+Wv! fA=Z):w 制造公差分析 IDct!53~
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 =\Q< TY /x3*oO1 •构造光栅结构 B{Q}^Mcxy
−通过使用界面来配置光栅结构 j6%W+;{/pj
[用例] #GM^ :rF
•分析光栅衍射效率 5|*{~O|
−光栅级次分析器[用例] "GMU~594
•使用参数运行搜索初始解决方案 U]hqRL
−参数运行文档的使用[用例] I Q &PPC
•通过参数优化找到最终设计 'Lg RdtO6 ^h?fr` VirtualLab Fusion技术
: (UK'i p)biOG
 ZRMim6a4X
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