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摘要 o cR dbmS kBWrqZ6 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 W<b-r^9?s
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 D{7w!z ^rAa"p 9 建模任务 X ]j)+DX> \_]En43mg  Xq#Y*lKVD 光栅特性与参数的严格分析 9(_{`2R8 p3951-D 不同光栅周期下的衍射效率 eny/
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Qy eet Q}] •构造光栅结构 w(d>HH g
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[用例] ,FzeOSy'p
•分析光栅衍射效率 `YBkF
−光栅级次分析器[用例] 7 Cqcb>\X
•使用参数运行搜索初始解决方案 vV?rpe|%
−参数运行文档的使用[用例] H].y w9
•通过参数优化找到最终设计 uGU; Y'W) d@C&+#QDF VirtualLab Fusion技术 :aLT0q!K ;lX(}2tXW
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