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摘要 tptN6Isuh ^Yj xeNY 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 JM- t<. sarq`%zrk
^vilgg~ :GpDg 建模任务 d5 7i)= A][fLlpr a^d8I 光栅特性与参数的严格分析 Y5ZZ3Ati <Z}SKR"U% 不同光栅周期下的衍射效率 4k-+?L!/G qt%D'
>9e(.6&2XZ _WX tB# 关于光栅周期选择的考虑 ,JU@|` w }^ I
Ig]iT ,<BbpIQ2o 偏振相关的衍射特性 xj5;: g#! ?;/^Ya1;Z
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!$N<ds. Um#Wu]i 通过参数优化进行光栅设计 ^uv<6 _=CZR7:O 固定周期的2D参数优化 B#/Q'V nWQ;9_qBB
5p.rwNE 2D参数优化–设计1 {pM?5"MMJ ?T+q/lt4
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W`c'=c 制造公差分析 /0Ax*919j tHzZ@72B7
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8<Hf"M hP15qKy •构造光栅结构 812$`5l −通过使用界面来配置光栅结构 /~3r;M [用例] eH{[C* •分析光栅衍射效率 7Hs%Cc" −光栅级次分析器[用例] Hw4%uS==V •使用参数运行搜索初始解决方案 Qjb:WC7he −参数运行文档的使用[用例] uCcYPvm •通过参数优化找到最终设计 Dd\jHF>u )rC6*eR VirtualLab Fusion技术 '*3h!lW1. H-
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