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摘要 bL&]3n9Rwu CMg83 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 $>h#|?*?
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 iP!Y4 F gP`!Ml Y@ 建模任务 bNaUzM!,H Hwc{%.% ae  ,m"ztu- 光栅特性与参数的严格分析 f C^l9CRY FSQ&J|O 不同光栅周期下的衍射效率 v|/3Mi9mz GV fu _z?
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 V./w06;0 #eC;3Kq#- •构造光栅结构 -L9R&r#_e
−通过使用界面来配置光栅结构 v1C.\fL
[用例] ^Q=y^fx1
•分析光栅衍射效率 z`/.v&<>V
−光栅级次分析器[用例] jAK{<7v4U
•使用参数运行搜索初始解决方案 `XxG"k\/S
−参数运行文档的使用[用例] $a^ isd4
•通过参数优化找到最终设计 .gN$N =7< EyPJvs VirtualLab Fusion技术 c,q"} nE8w %%~}Lw
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