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摘要 #M kXio; h zOJ4I ^^ 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 d-/{@
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 D2N| A u^.7zL+ 建模任务 | 4/'~cYV ~q]@Jp  @@~ OA>^ 光栅特性与参数的严格分析 q"){P RTm/ >g7}JI& 不同光栅周期下的衍射效率 r }351S5( /+^7lQo\]
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BG ,ln(Vz 关于光栅周期选择的考虑 kaM=Fk=t
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 4<%(Y-_sF }AfX0[!O 偏振相关的衍射特性 4 mj\wBp Bgb~ Tz'
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 AQ}(v,DOb XFj\H(D VirtualLab Fusion中的工作流程 p~v
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 .>X 0 $# 4c })LAwd& •构造光栅结构 #:q$sKQ_$
−通过使用界面来配置光栅结构 u/s,#
[用例] `5SLo=~
•分析光栅衍射效率 ,=Q;@Z4 vJ
−光栅级次分析器[用例] Kp]\r-5UD>
•使用参数运行搜索初始解决方案 f{i~hVF
−参数运行文档的使用[用例] &- 5`Oln
•通过参数优化找到最终设计 ^4G%*- 8%+F .r VirtualLab Fusion技术 Ca2He}r` OEZ`5 "j
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