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摘要 Bl9jkq
] SuZ&vqS 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 :V2bS Ro2d,'
O]f/r,4@ D>Gt]s 建模任务 0
ugT2% #,{+3Y&5-+ A:<;M@q! 光栅特性与参数的严格分析 +UJuB fYE(n8W3 不同光栅周期下的衍射效率 y~IuP c g%u&Zkevx
RzhWD^b B w&4~Q4 关于光栅周期选择的考虑 ^-FRTC aA-
Tz2-Bp]h ~[k%oA%W 偏振相关的衍射特性 gX{loG 9dMrgz&'
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[sW.CK=3 &[2U$ `P`V 通过参数优化进行光栅设计 uP\lCqK, 50dGBF 固定周期的2D参数优化 "U.^lkN &D%(~|'
7u\*_mrv 2D参数优化–设计1 ~)? LJX-AO.4
~.%K/=wK @ =66Nw(E. 2D参数优化–设计2 Vtppuu$ $3D'4\X~?
bslrqUk_`= jkiTj~WE- 制造公差分析–设计2 PX|=(:(k +!f=jg06
6 \B0^ J/7R\;q`~o 变化光栅周期的3D参数优化
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E&yD8=vw >pkT1Z&' 制造公差分析 BQ^H? jo Khh0*S8.K
|%~+2m EL3|u64GO 走进VirtualLab Fusion &;LqF#ZL `P Xz
4[ryKPa, PiFD^w VirtualLab Fusion中的工作流程 E^w:KC2@ y80ykGPT\&
dk8wIa"K` s=?aox7 •构造光栅结构 iAY!oZR(WT −通过使用界面来配置光栅结构 {;2i.m1 [用例] %iJ%{{f` •分析光栅衍射效率 @{h?+
d −光栅级次分析器[用例] d@mo!zu •使用参数运行搜索初始解决方案 ,_!6U −参数运行文档的使用[用例] +Taa!hfys •通过参数优化找到最终设计 wix5B@ i`
A VirtualLab Fusion技术 # N~,F@t eUS
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