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摘要 D u) B9s M,b<B_$ 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 v;)BVv
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 4ggVj*{v ^z[_U}N\} 建模任务 7,pje j H/cs_i  ^K7q<X , 光栅特性与参数的严格分析 Nhjle@J< y,'FTP9? 不同光栅周期下的衍射效率 ) v${& H 2B6^ ]pSk
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Eem 2qKj 关于光栅周期选择的考虑 1k!D0f3qb
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 [qSQ#Qzi2i ,bxz]S1W VirtualLab Fusion中的工作流程 R j-jAH
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 xOhRTx ic 0"hiCGm' •构造光栅结构 ;.\g-`jb
−通过使用界面来配置光栅结构 ACgt"
M.3F
[用例] r| M'TA~:
•分析光栅衍射效率 9-B@GFB;8
−光栅级次分析器[用例] k@7kN Ml
•使用参数运行搜索初始解决方案 ehU"*9
−参数运行文档的使用[用例] g /x_m.
•通过参数优化找到最终设计 YRXK@'[= *}7U`Aa VirtualLab Fusion技术 %z=`JhE"Q %t q&
 @?m+Z"o|z
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