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摘要 4A@HR L;opQ~g 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 B0b|+5WhR
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 :;Z/$M16B esTL3 l{[ 建模任务 Q.$8>) L-E &m* %  8i]
S[$Fc 光栅特性与参数的严格分析 y/S 3ZJY 'Grej8 不同光栅周期下的衍射效率 zqj|$YNC P
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poafGoH-Y 关于光栅周期选择的考虑 ,Dv*<La`\
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 9<rs3 84 u|wl;+. 偏振相关的衍射特性 T^^7@\vDI Rp2h[_>
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 tF,`v{-up *^@b0f~vj 通过参数优化进行光栅设计 OH>G c-V ;V~x[J|x 固定周期的2D参数优化 UBW,Q+Q ^/?7hbr
 S m {Sq 2D参数优化–设计1 DC).p'0VL
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 'S}3 lsIE vt"bB VirtualLab Fusion中的工作流程 ~b *|V
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4 3, L}Sb0 o. •构造光栅结构 LsG O~EiJ
−通过使用界面来配置光栅结构 t^B s3;E^
[用例] A] QGaWK
•分析光栅衍射效率 21<Sfs c$
−光栅级次分析器[用例] SefF Ci%4
•使用参数运行搜索初始解决方案 -h|[8UG^b
−参数运行文档的使用[用例] P;XA|`&
•通过参数优化找到最终设计 rvhMu}. GZ5 DI+3 VirtualLab Fusion技术 ) X *_oH= (oCpQDab@
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