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摘要 Qb` C)Nh: >5Lexj 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Vk7=7%xW
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A1 建模任务 O3%[dR daX*}Ix  - DL"-%X. 光栅特性与参数的严格分析 np6HUH k^%_V|&W/( 不同光栅周期下的衍射效率 G;]:$J Y\? j0X;
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 ( cs~@ <lo`q<q •构造光栅结构 }gCHQ;U7`
−通过使用界面来配置光栅结构 u~'OcO
[用例] %#k,6 ; m
•分析光栅衍射效率 zM59UQU;
−光栅级次分析器[用例] )N)ljA3]
•使用参数运行搜索初始解决方案 +X^4;
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−参数运行文档的使用[用例] ;[Tyt[
•通过参数优化找到最终设计 ?,% TU&Yn 9}
*$n&B VirtualLab Fusion技术 Kbas-</Si j=j+Nf$
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