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摘要 %,XI]+d 7$K}qsr< 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 >cTjA): YjX*)Q_sl?
!f@XDW&R Rw/Ciw2@? 建模任务 nYhp`!W4; R<>tDwsZGa D]jkR} t 光栅特性与参数的严格分析 R#D#{cC( YKNb59k 不同光栅周期下的衍射效率 lz-
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\PzN XQ$ W5|j1He& 关于光栅周期选择的考虑 (N7O+3+G 5 1"8Py
zqY)dk Q]^Yi1PbS 偏振相关的衍射特性 PF m\[2 Xty#vI
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1b8c67j[ ,b4g.CV 通过参数优化进行光栅设计 ;KL9oV!<f ;sCU[4 固定周期的2D参数优化 xvdY
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G8noQ_- 2D参数优化–设计1 dok)Je 86y%=! bS
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R2CQXhiJ <&6u]uKrW 制造公差分析–设计2 _Ds@lVY 1TIlINlJ
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@+:4J_N 7=vYO|a/4 VirtualLab Fusion中的工作流程 hF.6}28U1 WcU@~05b
$o"g73`3 JtFiFaCxY •构造光栅结构 ~$Y|ca −通过使用界面来配置光栅结构 .yX>.>"T| [用例] 26 ?23J
; •分析光栅衍射效率 nEyIt&>9 −光栅级次分析器[用例] &wb9_?ir- •使用参数运行搜索初始解决方案 vtZ?X';wh −参数运行文档的使用[用例] Y1WHy*s? •通过参数优化找到最终设计 aHC%19UN "$DldHC VirtualLab Fusion技术 gB >pd?d V_f`0\[x
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