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摘要 $RKd@5XP ix]3 t^ 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Qkk~{OuC
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 )u ]<8 \J-O b 建模任务 ^C):yxN P $K ,rVTU  ygUvO3Z 光栅特性与参数的严格分析 4^alAq^ 4\2p8__ 不同光栅周期下的衍射效率 f8N Cz?N[dh h
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C3bZ3vcW$ 关于光栅周期选择的考虑 yi# Nrc5B
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 ERGDo=j =t&B8+6 偏振相关的衍射特性 $|6Le;
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 7x-k-F3 lEZ[0oa 通过参数优化进行光栅设计 Tr/wG ^lRXc .c z 固定周期的2D参数优化 2;[75(l6|} $NG}YOP)@
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 B`RbXk68q \+Qx}bS{ VirtualLab Fusion中的工作流程 aKH\8O4L5
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 oc\rQ? /kx:BoV •构造光栅结构 I7B fA,mZ7
−通过使用界面来配置光栅结构 4d0PW#97.
[用例] G:u[Lk#6K
•分析光栅衍射效率 A8c'CMEm
−光栅级次分析器[用例] QE< 63|
•使用参数运行搜索初始解决方案 V%e'H>EC
−参数运行文档的使用[用例] H -.3r
•通过参数优化找到最终设计 lP9a * >=a 1K ^/@^ VirtualLab Fusion技术 N ?V5gi j]Rl1~+M
 I +`~6
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