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摘要 B0c} 5V $XS0:C0 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 }@'xEx D#%J||
A!v-[AI[ (PYUfiOf 建模任务 S(A0), zIbl[[M& MCma3^/1 光栅特性与参数的严格分析 z(<
E % )Jx!VJ^Y 不同光栅周期下的衍射效率 x7e </y V
rL URP2~ PiB)pUYj 关于光栅周期选择的考虑 RCt)qh+ QnxkD)f*0
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.M>u:,v V2/+SvB2 制造公差分析 3UC8iq* >^J!Z~;L)
`ss]\46> ;JL@V}L, 走进VirtualLab Fusion ^DZiz[X+| \yG_wZs
=r0!-[XCa |P?8<8p VirtualLab Fusion中的工作流程 kj0A%q#'} FeV=4tsy
h]EXD Zl,K# •构造光栅结构 uaDU+ywL −通过使用界面来配置光栅结构 *)]SsM1 [用例] ^|sxbP •分析光栅衍射效率 dN*<dz+4r −光栅级次分析器[用例] q }z,C{Wq< •使用参数运行搜索初始解决方案 B8s|VI −参数运行文档的使用[用例] Fah}#, •通过参数优化找到最终设计 609=o+ D 0n2r VirtualLab Fusion技术 r kD4}jV t*}<v@,
d'3'{C|kk
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