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摘要 Mm# [&j[Y 54q3R`y 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 (WE,dY+.
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 O&$0&dhc ?R6`qe_F VirtualLab Fusion中的工作流程 D1 X{:#|
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 H(qm>h$bU <qY5SV, •构造光栅结构 agsISu(
−通过使用界面来配置光栅结构 3Gd0E;3sk~
[用例] kO ![X ^V
•分析光栅衍射效率 cY{No s
−光栅级次分析器[用例] CC8k&u,
•使用参数运行搜索初始解决方案 ~_ P YNY`"
−参数运行文档的使用[用例] h%1Y6$
•通过参数优化找到最终设计 &!1}`4$[T |.w; r
VirtualLab Fusion技术 V}9;eJRvw Z?1OdoT-
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