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摘要 g8kw|BgnL t u!u9jVv 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 <2cq 0*$
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 UjKHGsDi4 3C,e>zE} 建模任务 N_0&3PUSM #gN{8Yk>  BC$In! 光栅特性与参数的严格分析 q=nMZVVlF( +}+hTY$a 不同光栅周期下的衍射效率 zx'`'t 4~ Olxb`x
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c7rYG] 关于光栅周期选择的考虑 n@mUQ6
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 ujh4cp ~zX5}U< R •构造光栅结构 %jf gncW
−通过使用界面来配置光栅结构
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[用例] od fu7P_
•分析光栅衍射效率 _L72 Ae(_
−光栅级次分析器[用例] igL^k`&5^"
•使用参数运行搜索初始解决方案 CUG<v3\
−参数运行文档的使用[用例] {ULnQ 6@
•通过参数优化找到最终设计 7(;VUR%%. <>oW f VirtualLab Fusion技术 }>:X|4] D-!%L<<
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