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摘要 AJ`h9 %B Id .nu/ 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 .j0$J\:i
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 V {ddr:]4 X \qNG] •构造光栅结构 K1yzD6[eW
−通过使用界面来配置光栅结构 +V OK%8,p
[用例] <R=Zs[9M1
•分析光栅衍射效率 z<XtS[ki
−光栅级次分析器[用例] LFRlzz;
•使用参数运行搜索初始解决方案 R$[vm6T?
−参数运行文档的使用[用例] $B5aje}i
•通过参数优化找到最终设计 \"OG6G_>$ cI OlhX@ VirtualLab Fusion技术 | t#)~Oo sS'm!7*(3
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