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摘要 WwWOic2 n r&| 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 9S A % '
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 |unvDXx - qHyOaK Md 建模任务 ]:2Ro:4Yv ba Td;`Pn  "x;FE<I 光栅特性与参数的严格分析 bk=;=K SQU@JKi; g 不同光栅周期下的衍射效率 1uKIO{d @ $39TP@?:Z)
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p-(V2SP/)t 关于光栅周期选择的考虑 %q;y74
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i 5}`\ B+R|fQ 偏振相关的衍射特性 RZq_}-P,.c Oi~Dio_?
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 1\/vS$bi( `\ IaeMvo 通过参数优化进行光栅设计 7 tJ#0to =I&BO[d 固定周期的2D参数优化 %$)Sz[= +G!#
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 /a-s9< <5FGL 96 •构造光栅结构 &!'R'{/?X
−通过使用界面来配置光栅结构 @l_rB~
[用例] mL;oR 4{
•分析光栅衍射效率 `tKs|GQf
−光栅级次分析器[用例] ]D2 d=\
•使用参数运行搜索初始解决方案 pA@R,O>zr
−参数运行文档的使用[用例] . ubZ
•通过参数优化找到最终设计 Y~#.otBL& awQB0ow'$P VirtualLab Fusion技术 *'{9(Oj l[WX77bp=
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