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摘要 ~01Fp;L/ IL<@UWs6 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Q E*`#r#e
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oF(|NS^ 建模任务 (/Dr=D{ ` R"[U<^  -<aN$O 光栅特性与参数的严格分析 $U}GX'1LZ T3^(I~03 不同光栅周期下的衍射效率 3[iHe+U( Z=>#|pW,)
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关于光栅周期选择的考虑 dL>8|
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 R#UcwX}o 0755;26Bx •构造光栅结构 *Af:^>mh
−通过使用界面来配置光栅结构 1JXa/f+
[用例] *iVC HQ~
•分析光栅衍射效率 &E&e5(&$
−光栅级次分析器[用例] cy-Bhk0H
•使用参数运行搜索初始解决方案 o:ir wfArv
−参数运行文档的使用[用例] DHlCus= ic
•通过参数优化找到最终设计 9 dFSppM qFD#D_O 6 VirtualLab Fusion技术 <Fa]k'<^) 2p o>%Cp
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