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摘要 vfG4PJ 6 p"9a`/ 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 $ t ' .
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S^) 建模任务 !mFx= + p7 b`Z>}  K\5'pp1 光栅特性与参数的严格分析
t#s?: q'kZ3 G 不同光栅周期下的衍射效率 _= RA -qZ" x \qS|q\N
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e|:# Y^ 关于光栅周期选择的考虑 vywd&7gK
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 Z5aU7 5m,{?M` 偏振相关的衍射特性 y74Ph:^ k QG\ lXY,
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 5>.)7D% 8>.l 4:` 通过参数优化进行光栅设计 @fR^":.h ajI gL<x 固定周期的2D参数优化 9g3J{pKcZ (fON\ )l
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 55xv+|k KE\p|X i 变化光栅周期的3D参数优化 |B&KT
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制造公差分析 a~YFJAkg9
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 6|U0"C# ] *_ d+c G 走进VirtualLab Fusion /sY(/ J E
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VirtualLab Fusion中的工作流程 <,qJ% kc
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 e*_8B2da lyiBRMiP| •构造光栅结构 .J' 8d"+
−通过使用界面来配置光栅结构 @AUx%:}0Y:
[用例] !=C4=xv
•分析光栅衍射效率 87%t =X
−光栅级次分析器[用例] jR7 , b5
•使用参数运行搜索初始解决方案 Izq]n R
−参数运行文档的使用[用例] >E^?<}E~.
•通过参数优化找到最终设计 }J .f
5WaG \KfngYD]W VirtualLab Fusion技术 "pq# A* LL v~yS O
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