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摘要 %,XI]+d 7$K}qsr< 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 >cTjA):
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 !f@XDW&R Rw/Ciw2@? 建模任务 nYhp`!W4; R<>tDwsZGa  D]jkR} t 光栅特性与参数的严格分析 R#D#{ cC( YKNb59k 不同光栅周期下的衍射效率 lz-
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W5 |j 1He& 关于光栅周期选择的考虑 (N7O+3+G
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 zqY)dk Q]^Yi1P bS 偏振相关的衍射特性 PF m \[2 Xty# vI
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 1b8c67j[ ,b4g.CV 通过参数优化进行光栅设计 ;KL9oV!<f ;sCU [4 固定周期的2D参数优化 x vdY
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 @+:4J_ N 7=vYO|a/4 VirtualLab Fusion中的工作流程 hF.6}28U1
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 $o"g73`3 JtFiFa CxY •构造光栅结构 ~$Y|ca
−通过使用界面来配置光栅结构 .yX>.>"T|
[用例] 26 ?23J
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•分析光栅衍射效率 nEyI t&> 9
−光栅级次分析器[用例] &wb9_? ir-
•使用参数运行搜索初始解决方案 vtZ?X';wh
−参数运行文档的使用[用例] Y1WHy *s?
•通过参数优化找到最终设计 aHC%19UN "$ DldHC VirtualLab Fusion技术 gB >pd?d V_f` 0\[x
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