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摘要 `zt_7MD a di [-L# 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 1YJ C{bO
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 @%lBrM |7pR)KH3 建模任务 (N=5 .7"T XNb ZNaAd  4bJZmUb 光栅特性与参数的严格分析 /?1nHBYPM Gkxj?) ` 不同光栅周期下的衍射效率 m7GR[MR
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!(>7/Gi V=:_ d, •构造光栅结构 NS,5/t
−通过使用界面来配置光栅结构 oz r9>b>M
[用例] M'1!< a-Mp
•分析光栅衍射效率 4E:bp
−光栅级次分析器[用例] b( ^^m:(w
•使用参数运行搜索初始解决方案 jA sO8
−参数运行文档的使用[用例] r
CRgzC
•通过参数优化找到最终设计 B )JM%r ~H }en6Rc VirtualLab Fusion技术 d= ]U_ + ]> Y/r-!
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