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摘要 h.\V;6ly J%|!KQl 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 p( EV-^
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SKT f=rY b21c} rI3 建模任务 $JKR, Uj!3H]d oj.f
uJD 光栅特性与参数的严格分析
VgfA&?4[ F :"CaDk 不同光栅周期下的衍射效率 r^3QDoy Jb'l.xN
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ZJC6(@ .h)o\6Wq 关于光栅周期选择的考虑 fbF *C V <uGc=Du
X"V,3gDG 0!v+ + 偏振相关的衍射特性 J!?hajw7N 9IFK4>&O6
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$~M#msK9 _yje" 通过参数优化进行光栅设计 Ktrqrl^IJ u<`CkYT 固定周期的2D参数优化 IY$H M3t7 '~?\NeO=
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Hm=!;xAFX 0pP;[7k\ 2D参数优化–设计2 BElVkb #DMt<1#:
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'F[m,[T%x 0)/L+P5 变化光栅周期的3D参数优化 (8C
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5[Sa7Mk u~Zx9>f VirtualLab Fusion中的工作流程 Hk'D@(hS 4(5NHsvp
OQt_nb#z`{ ?1\rf$l8 •构造光栅结构 if6/ +7 −通过使用界面来配置光栅结构 m44Ab6gpsb [用例] 29R_?HBH •分析光栅衍射效率 QKW;r −光栅级次分析器[用例] pWY $aI •使用参数运行搜索初始解决方案 0fhz7\a^_< −参数运行文档的使用[用例] fi*@m,- •通过参数优化找到最终设计 F91'5D,u0 8PQKB*<dB" VirtualLab Fusion技术 "8{#R*p &)4#0L4
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