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摘要 =!G3YZ u7e g:0Y 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ? Q`Sx
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 @]Ye36v0#L }%E Q •构造光栅结构 N}wi<P:*)
−通过使用界面来配置光栅结构 J<:qzwh
[用例] m,3?*0BMp=
•分析光栅衍射效率 yzhr"5_
−光栅级次分析器[用例] :N#gNtC)b
•使用参数运行搜索初始解决方案 `LL #Ai a
−参数运行文档的使用[用例] GEq?^z~i
•通过参数优化找到最终设计 z3b8 2. Ym VirtualLab Fusion技术 lhAwTOn`Q 3ug{1 M3
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