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摘要 5yo%$i8I gzT*- 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 yYYSeH
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 E_wCN&`[ xml7Uarc 建模任务 %E>Aw>] v ]^7@}Ce_  9>/4W. 光栅特性与参数的严格分析 `25yE/ q!7ANib6O 不同光栅周期下的衍射效率 Y =I' czg OLGE !&!>
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Uz8ff 关于光栅周期选择的考虑 783,s_
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 5L n,{vsv ,R\ \ % 通过参数优化进行光栅设计 |aS.a&vwR 9;u@q%;!k 固定周期的2D参数优化 xm~ `7~nFR 3jU&zw9
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 q<|AZ2Ai /,yd+wcW# •构造光栅结构 S%>]q
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−通过使用界面来配置光栅结构 7n<{tM
[用例] p]TAELy
•分析光栅衍射效率 7JH6A'&
−光栅级次分析器[用例] q]-r @yF
•使用参数运行搜索初始解决方案 Yj49t_$b
−参数运行文档的使用[用例] U8?mc
•通过参数优化找到最终设计 g3y ~bf TD0
B% VirtualLab Fusion技术 =dKtV .L C1)!f j=
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