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摘要 mNzZ/*n: bjZ?WZr 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 G"(!5+DLy ?6gI8K6X
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CY= 建模任务 h&P[9:LH `3Y+:!q scmbDaOn 光栅特性与参数的严格分析 j
jQ= -b<+Ra 不同光栅周期下的衍射效率 \ U_DTI ~drNlt9jf
"=)`*"rr qIl@,8T 关于光栅周期选择的考虑 m"5gzH g|Cnj
&+p07 b?l\QMvi 偏振相关的衍射特性 =6hf'lP Yi3DoaS;"
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f#?R!pR tBt\&{=|D 通过参数优化进行光栅设计 wS*UXF&f \4DH&gZ[ 固定周期的2D参数优化 00ho*p!E' W# $rC<Jh]
gw-l]@;1 2D参数优化–设计1 .*+&>m7 &F)lvtt|
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H ;)*Drk*t, 2D参数优化–设计2 W/+0gh7`,( _F$?Z
_nF_RpS tO# y4< 制造公差分析–设计2 MZ.Jkf( N6eY-`4y
Ngr7E z\a#"2(G. 变化光栅周期的3D参数优化 5,A/6b :?zOL w?(
KpWQ;3D2 ><Z2uJZ4x 制造公差分析 I2b[ -7u4f y{T
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Y|Z*|c.4OK ,JR7N_"I •构造光栅结构 v6FYlKU@8 −通过使用界面来配置光栅结构 J::dY~@ [用例] NVQIRQ. •分析光栅衍射效率 D(y=0), −光栅级次分析器[用例] nlKWZYv •使用参数运行搜索初始解决方案 &N,c:dNe −参数运行文档的使用[用例] 6g)21Mh# •通过参数优化找到最终设计 =6ojkTk y5>H>NS VirtualLab Fusion技术 i=Y#kL~f Y?Xs
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