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摘要 s'Op|`&X mxxuD"5 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 T+9#& .&Rj2d
'i5V6yB H7=[sL^ 建模任务 qwz_.=5E6 vI)-Zz[3 O5;$cP: 光栅特性与参数的严格分析 =5PNH 2 IW1+^F9NEw 不同光栅周期下的衍射效率 M:* ^k 7G^`'oZ
_#2AdhCu OB&lq.r 关于光栅周期选择的考虑 ED>T2.:{ l'#P:eW
fQtV-\Bc FN)vFQ#J 偏振相关的衍射特性 <+%#xi/_ $2?10}mrx
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`QIYnokL G{8> 通过参数优化进行光栅设计 %I&[: VXpbmg!{S 固定周期的2D参数优化 R>05MhA+ [nBdq"K
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7H1 ii |+ ^-b}0 •构造光栅结构 |Bv?!
sjf −通过使用界面来配置光栅结构 RawK9K_1 [用例] E>BP b •分析光栅衍射效率 ~BNLzt3%O −光栅级次分析器[用例] ; U)a)l'y •使用参数运行搜索初始解决方案 q 16jL,i −参数运行文档的使用[用例] I1H} 5bf3 •通过参数优化找到最终设计 (ei;Y~i 2^Tj@P7 VirtualLab Fusion技术 2 us-s W.xlS
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