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摘要 h.\V;6 ly J%|!KQl 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 p( EV- ^
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 SKT f =rY b21c} rI3 建模任务 $JKR, Uj!3H]d  oj.f
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 5[Sa7Mk u~Zx9>f VirtualLab Fusion中的工作流程 Hk'D@(h S
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 OQt_nb#z`{ ?1\ rf$l8 •构造光栅结构 if6/ +7
−通过使用界面来配置光栅结构 m44Ab6gpsb
[用例] 29R_?HBH
•分析光栅衍射效率 QKW; r
−光栅级次分析器[用例] pW Y $aI
•使用参数运行搜索初始解决方案 0fhz7\a^_<
−参数运行文档的使用[用例] f i*@m,-
•通过参数优化找到最终设计 F91'5D,u0 8PQKB*<dB" VirtualLab Fusion技术 "8{#R*p &)4#0L4
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