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摘要 CZI6 6pDy {|:;]T"y 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 QKN+>X
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iiW p!mX 5ZK@`jkE 建模任务 AKyUfAj3 (H E9V]  c> RFdc:U 光栅特性与参数的严格分析 ZR?yDgL Ww%=1M]e- 不同光栅周期下的衍射效率 ?ztkE6 2t $m1z-i;/
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6ne7]R Y 关于光栅周期选择的考虑 9:1Q1,-i!-
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 Z1Z1@2 T @8^[!F •构造光栅结构 8C~ ]yd
−通过使用界面来配置光栅结构 kO{s^_qR^c
[用例] [E
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•分析光栅衍射效率 I _rO !
−光栅级次分析器[用例] yi%-7[*]=
•使用参数运行搜索初始解决方案 >ByXB!Wi+
−参数运行文档的使用[用例] uVDa^+=
•通过参数优化找到最终设计 @ u%_1 <5jzl VirtualLab Fusion技术 OYmR<x5y/ WjwLM2<nK7
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