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摘要 S+ x [1#r ON^u|*kO 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 #`EMK
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 ^ `9OA`2 hTq JDP"&F 建模任务 HKf 3eC aUQq<H 'R  } \*|b@)] 光栅特性与参数的严格分析 *9 xD]ZZF @bE?WXY 不同光栅周期下的衍射效率 IrK )N /$Jh5Bv
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@:8|tJu8b 关于光栅周期选择的考虑 e&kg[jU
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 (n G \wP$"Z}j 通过参数优化进行光栅设计 MiI7s ; jLU)S) 固定周期的2D参数优化 3Hr %G4 t `oP;
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 6/ ) A6Tt * ^]ba> 走进VirtualLab Fusion P^z)]K#sw
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 C. |MA(7 bk 2vce& VirtualLab Fusion中的工作流程 Zv_<*uzKZ
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 tBt\&{=|D wS*UXF&f •构造光栅结构 S!uyplYKF
−通过使用界面来配置光栅结构 00ho*p!E'
[用例] W# $rC<Jh]
•分析光栅衍射效率 ;C3](
−光栅级次分析器[用例] QCMF_;aNI
•使用参数运行搜索初始解决方案 W NCd k$
−参数运行文档的使用[用例] GauIe 0qV
•通过参数优化找到最终设计 6K6ihR!d b^1!_1c VirtualLab Fusion技术 #F
kdcY K(hf)1q
 l)zS}"F,
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