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摘要 G9Kck|50 l"+8>Mm 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Ye$j43b
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 >W >Ei(f 'Nt)7U>oC9 建模任务 @.i#uMWF` }
)L z%Z  Wq+GlB* 光栅特性与参数的严格分析 `) cH(Rj Nc4;2~XwRp 不同光栅周期下的衍射效率 _A!Fp0}` Z|x|8 !D
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 ,n8\ y9{G X@DW1<wEt 走进VirtualLab Fusion (XVBH 1p"
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 vsj4? 0 = f2;.He VirtualLab Fusion中的工作流程 Wvr{l
X^ Is-[OvE
 %?PFe} &R%'s1]o •构造光栅结构 I!S Eb
−通过使用界面来配置光栅结构 P$z_A8}
[用例] g5@g_~ g
•分析光栅衍射效率 R03 Te gwA
−光栅级次分析器[用例] Y!CUUWM
•使用参数运行搜索初始解决方案 &2`p #riAS
−参数运行文档的使用[用例] LjBIRV7
•通过参数优化找到最终设计 [^5;XD:%&l O[C4x q VirtualLab Fusion技术 U;MXiE3D O9sEaVX
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