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摘要 =m5SK5vLKT 765p/** 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 q$aaA`E%
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{h+ tU_y 6 建模任务 M`i p~7" ?JL:CBvCp  ,\qs4& 光栅特性与参数的严格分析 _x!7}O#k jg?x&' u\) 不同光栅周期下的衍射效率 2 !'A:; wC5ee:u C%
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 5:kH;/U ndeebXw* VirtualLab Fusion中的工作流程 4 M( -xl?
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 gmm|A9+tv Kh MSL •构造光栅结构 3}/&w\$
−通过使用界面来配置光栅结构 tQylT0'[+o
[用例] 0D&t!$Ibf
•分析光栅衍射效率 ~}+Hgi
−光栅级次分析器[用例] lhkwWbB
•使用参数运行搜索初始解决方案 Iy yh !MVF
−参数运行文档的使用[用例] 3 :C oZ
•通过参数优化找到最终设计 p1|f<SF') (x3.poSt VirtualLab Fusion技术 3#TV5+x*"` AU$Uxwz4
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