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摘要 -& I)3 w[~O@:`]<o 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 v_3r 8My-
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 n d gG1v% :8cp]v dW 建模任务 x9)^0Hbo Tp2 `eY5  ' te4mY} 光栅特性与参数的严格分析 ~:~-AXaMT b x` s;r= 不同光栅周期下的衍射效率 J8>y2rAi Pzb LbH8A
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H3"90^|, @ 关于光栅周期选择的考虑 |dcRDOTe
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 qO AK`{b 5]D"y Ay81 通过参数优化进行光栅设计 ^t,sehpR:l ?.Z4GWyXa 固定周期的2D参数优化 N=R|s$,Oy9 ,$ BbJQ5
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 rm}OVL 8JYF0r7 •构造光栅结构 cbsU!8
−通过使用界面来配置光栅结构 CF"u8yE
[用例] N0`v;4gF$]
•分析光栅衍射效率 Tp7*T8
−光栅级次分析器[用例] 9& (d2
•使用参数运行搜索初始解决方案 Y [8~M8QX
−参数运行文档的使用[用例] Ej |rf Y
•通过参数优化找到最终设计 )q#1C]7m* 7ip$#pzo VirtualLab Fusion技术 u17e :v-&}?
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