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摘要 kh`X92~ jReI+
pS 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 t'z] <7
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_G.C 光栅特性与参数的严格分析 \>\w-ty[( 's
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 EQ7cK63 Ef7 Kx49I VirtualLab Fusion中的工作流程 QO|ODW+D
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 W>+<r9Rt 4 w $2-t •构造光栅结构 s2v\R~T
−通过使用界面来配置光栅结构 I \4 I,ds
[用例] _&yQW&vH#
•分析光栅衍射效率 M?]ObIM:5
−光栅级次分析器[用例] `7'(U)x,F
•使用参数运行搜索初始解决方案 O 89BN6p
−参数运行文档的使用[用例] e _,_:|t
•通过参数优化找到最终设计 j^LnHVHk1 ;M}bQ88 VirtualLab Fusion技术 aHb,4 wY Ws(BouJ
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