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摘要 =Y/}b\9`T =[ s8q2V 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 K4_~ruhr XMomFW_@
U[IQ1AEr Ih(:HFRMq6 建模任务 :2 _0L Ob7zu"zr C?8PT/ 光栅特性与参数的严格分析 UVz=QEuYb zMbfV%b 不同光栅周期下的衍射效率 I+*osk n'q
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K#A &Q2NU$ 关于光栅周期选择的考虑 rFf:A-#l u.$Ym
+8]W\<Kp )t*S'R 偏振相关的衍射特性 G}182"#4 n; Lo
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65'`uuPx =s`XZkh 通过参数优化进行光栅设计 AqKHjCI NKRaQr 固定周期的2D参数优化 SL6mNn9c k}- "0>
W/b"a? wE{ 2D参数优化–设计1 eLCdAr mk#>Dpy?
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RpBiE8F4 $KoPGgC[ 走进VirtualLab Fusion |^YzFrc qzuQq94k
^</65+OT+ Fg_?!zR>6 VirtualLab Fusion中的工作流程 _<u8%\ aR`_h=a
&p/S>qKu# 3r,1^h •构造光栅结构 aK8bKlZe −通过使用界面来配置光栅结构 jlYD~) [用例] *ge].E •分析光栅衍射效率 UN
cYu9[ −光栅级次分析器[用例] \[Sm2/9v •使用参数运行搜索初始解决方案 FQ;4'B^k] −参数运行文档的使用[用例] P5'iYahCq_ •通过参数优化找到最终设计 #G'S
ve? 7P3<o!YA VirtualLab Fusion技术 sN}s61 tQNk=}VR7r
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