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摘要 ,g.*Mx`- DqfWu* 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 !e8OC9 _x
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 4pvT?s>68 y9K U& L2 建模任务 PQl^j S 9O8na
'w  f<1 4-R= 光栅特性与参数的严格分析 uPVM>xf>w skd3E4 不同光栅周期下的衍射效率 e\0vp hS6 Mnu8d:$
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 ( GW"iL#. 33=lR-N# VirtualLab Fusion中的工作流程 gTS} 'w{
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 f7SMO-3a "5!T-Z+F •构造光栅结构 8.!+Hm4
−通过使用界面来配置光栅结构 \ xJ_ )r
[用例] YMU2^ ,3
•分析光栅衍射效率 B? aMX,1
−光栅级次分析器[用例] &RHZ7T
•使用参数运行搜索初始解决方案 Yyr
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−参数运行文档的使用[用例] \8Hs[H!
•通过参数优化找到最终设计 |iA8aHF U UhKd o VirtualLab Fusion技术 kaT
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