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摘要 s_S[iW`l= f Q33J> 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 7TD%vhbiwi
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 {Z%4P g %MG bIMpY 建模任务 L lOUK 2tZ P>n}\"z4  {_T?0L 光栅特性与参数的严格分析 j ;}!Yn 0aj4.H*% 不同光栅周期下的衍射效率 *;@V5[^3I? ;} "!|
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3}*)EC 关于光栅周期选择的考虑 8 -]\C
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 #21t8 #0*O kZMt VirtualLab Fusion中的工作流程 (>.+tq}
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 *.g@6IkAQ P`ZYm •构造光栅结构 #}y(D{z c
−通过使用界面来配置光栅结构 8y$c\Eu(mF
[用例] <OR f{
•分析光栅衍射效率 6xfG`7Az
−光栅级次分析器[用例] .LQvjK[N
•使用参数运行搜索初始解决方案 ? ?MF8 uv
−参数运行文档的使用[用例] U`25bb1W j
•通过参数优化找到最终设计 `y%1K|Y= @20~R/vh VirtualLab Fusion技术 3d_PY,=1 =A yDVWpE
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