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摘要 @Rm/g#!h" ,e2va7}3 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 'S" F=)*-
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 BsJClKp/ j'Fni4; •构造光栅结构 ,-):&V:jF
−通过使用界面来配置光栅结构 aePk^?KbB
[用例] =#W6+=YN8
•分析光栅衍射效率 &:rf80`z.
−光栅级次分析器[用例] NunT1v ed
•使用参数运行搜索初始解决方案 s S._N@f
−参数运行文档的使用[用例] $3So`8Bm[$
•通过参数优化找到最终设计 [8ih-k >1YJETysO VirtualLab Fusion技术 r_QWt1K c 5JxK U_
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