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摘要 ;?K>dWf3f @7j$$ 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Q`{2yU:r %c"t`
P1>?crw o NqIrYH' 建模任务 dPmtU{E<M 2C59fXfd lc8zF5 光栅特性与参数的严格分析 /nas~{B 4/J"}S 不同光栅周期下的衍射效率 pX LXkF? 6Ex16
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T^d 关于光栅周期选择的考虑 5%K(tRc| (S)jV0
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4 偏振相关的衍射特性 !0DOj[" }xG~a=,
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UF~G[ 通过参数优化进行光栅设计 H2oD0f| .;,` bH0 固定周期的2D参数优化 :|TQi9L$rj %SKJ#b
1h,m 2D参数优化–设计1 iQ#dWxw4 55K(]%t
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r 变化光栅周期的3D参数优化 3`U^sr:[% Zv^n
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Ir|r7 8Luw<Q 制造公差分析 sRaTRL2 [\,Jy8t)\
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]vc_N SsfHp VirtualLab Fusion中的工作流程 LnlDCbF;! eccJt
&)Z]nNVb "*JyNwf •构造光栅结构 'd |*n#Dqc −通过使用界面来配置光栅结构 [iGL~RiXtn [用例] -W'T3_ •分析光栅衍射效率 kS1?%E,)q −光栅级次分析器[用例] U])$#/ v
•使用参数运行搜索初始解决方案 s~n@|m9k −参数运行文档的使用[用例] kH" >(f •通过参数优化找到最终设计 {2=f,,|+f =niT]xf VirtualLab Fusion技术 $c1xh. @;`d\lQ
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