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摘要 43/!pW ZWy,NN1 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Rqun}v} B0ZLGB
;f~z_3g zF_aJ+i:~ 建模任务 Q_FL8w9D~8 (lLCAmK5? 4/QQX;w 光栅特性与参数的严格分析 y9-}LET3j
~.<}/GP] _ 不同光栅周期下的衍射效率 --g?`4 Ov|Uux
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Q ~.TKzh'eB 关于光栅周期选择的考虑 z1~FE IK|W^hH\8
d<>jhp5el ul ag$ge 偏振相关的衍射特性 AGgL`sP .6y(ox|LL
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mc}r15:< UZ3oc[#D=] 通过参数优化进行光栅设计 w@ \quy: x\!Uk!fM 固定周期的2D参数优化 2:D1<z6RQ {-kV~p
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.ko}m{ 6su^yt VirtualLab Fusion中的工作流程 60u}iiC@ ;wkoQ8FD9
fooQqWC) zIjUfgO/M •构造光栅结构 _N-JRM m< −通过使用界面来配置光栅结构 ]jL`*tI\S [用例] I%<,JRAV •分析光栅衍射效率 q[w.[] −光栅级次分析器[用例] Q~p[jQ,4wZ •使用参数运行搜索初始解决方案 M&5;Qeoiv −参数运行文档的使用[用例] 7JI&tlR4\c •通过参数优化找到最终设计 8=h$6=1S 7f9i5E1 VirtualLab Fusion技术 `]xot8 8+7=yN(
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