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摘要 K`4rUEf}V" &OMlW_FHR 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 jh5QIZf= j#NyNv(jE1
]%\,.&=hT ,UNb#=it 建模任务 !NXjax\r -9Q(3$} X8Z?G,[H 光栅特性与参数的严格分析 MqyjTY::Xg SeX ]|?D 不同光栅周期下的衍射效率 _:x]'w%
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L4By5) '\:4Ijp<" 关于光栅周期选择的考虑 iHa?b2=) xQoZ[
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Dri6\/0 :;$MUOps •构造光栅结构 U[]yN.J −通过使用界面来配置光栅结构 UZdnsG7 [用例] wL;OQhI •分析光栅衍射效率 @iz Onc: −光栅级次分析器[用例] Agcss20. •使用参数运行搜索初始解决方案 }7PJr/IuF −参数运行文档的使用[用例] mnt&!X4< •通过参数优化找到最终设计 K,4Ig! 0'sZ7f<e7 VirtualLab Fusion技术 &4Z8df! CD1Ma8I8
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