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摘要 vhF9 |('G I T NFmD 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 43k'96[2d
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 eQi^d/yi [0Xuo 建模任务 ku,{NY
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 $G <r2lPy zW\a)~ E VirtualLab Fusion中的工作流程 L[44D6V g
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 .4ww5k> Mh3.GpS •构造光栅结构 l'<&H#A;'
−通过使用界面来配置光栅结构 fwUv FK1G
[用例] '9]?jkl
•分析光栅衍射效率 UQkd$w <
−光栅级次分析器[用例] )}$rgYKJ
•使用参数运行搜索初始解决方案 3VU4E|s>
−参数运行文档的使用[用例] hTO5*5]0zP
•通过参数优化找到最终设计 v 9J1Hha# d. d J^M VirtualLab Fusion技术 EyR / >lmqPu f
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