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摘要 #pW!(tfN^a |=VWE>g 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Z vC?F=tH
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 ~Hg*vCd ? D8E^[w! 建模任务 & Y9%Y/ Y #fx"tx6  T\4>4eX- 光栅特性与参数的严格分析 ?kV_!2U)'K ,+v(? 5[6 不同光栅周期下的衍射效率 8
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−光栅级次分析器[用例] SU~lj AF4
•使用参数运行搜索初始解决方案 k$7Kz"
−参数运行文档的使用[用例] \y7\RV>>3b
•通过参数优化找到最终设计 >4=7t&h W E
/1h VirtualLab Fusion技术 qyY/:&E, Z IFF1wfC
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