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摘要 r;(^]Soz w"kBAi& 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 .j)DE}[q>
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 s 64@<oU<" @QpL*F 建模任务 FS)C<T]t C.u) 2[(  Ug#B( }/ 光栅特性与参数的严格分析 ,{ 0&NX R-iWbLD 不同光栅周期下的衍射效率 4%y eEc ;z { O=_c|u{N
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_Nz?fJ:$@ 关于光栅周期选择的考虑 ]~3a ~
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 6~!7?FK R4[|f0l}s 偏振相关的衍射特性 9QF,ynE W^,p2
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 (A_H[xP XGnC8Be{4 通过参数优化进行光栅设计 p)Ht =~ F CfU=4O 固定周期的2D参数优化 L?(1
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 =:^f6"p&Z n]_<6{: U •构造光栅结构 +oa>k
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−通过使用界面来配置光栅结构 6~8X/
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[用例] B}h8c
•分析光栅衍射效率 S\11 8TpD
−光栅级次分析器[用例] lz0'E'%{P
•使用参数运行搜索初始解决方案 u6p
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−参数运行文档的使用[用例] p~t 5PU*(
•通过参数优化找到最终设计 9Or nc>Ae`"( VirtualLab Fusion技术 ]0@
J)Z09 X$$b :q
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