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摘要 =Y/}b\9`T =[ s 8q2V 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 K4_~ruhr
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 U[IQ1AEr Ih(:HFRMq6 建模任务 : 2 _ 0L Ob7zu"zr  C?8PT/ 光栅特性与参数的严格分析 UVz=QEuYb zMbfV%b 不同光栅周期下的衍射效率 I+*osk n'q
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&Q2N U$ 关于光栅周期选择的考虑 rFf :A-#l
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 65'`uuPx =s`XZkh 通过参数优化进行光栅设计 AqKHjCI NKR aQ r 固定周期的2D参数优化 SL6mNn9c k}- "0>
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 &p/S>qKu# 3 r,1 ^h •构造光栅结构 aK8bKlZe
−通过使用界面来配置光栅结构 j lYD~)
[用例] * ge].E
•分析光栅衍射效率 UN
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−光栅级次分析器[用例] \[Sm2/9v
•使用参数运行搜索初始解决方案 FQ ;4'B^k]
−参数运行文档的使用[用例] P5'iYahCq_
•通过参数优化找到最终设计 #G'S
ve? 7P3 <o!YA VirtualLab Fusion技术 sN} s61 tQNk=}VR7r
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