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摘要 Q=PaTh
:jp?FF^j; 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 f!LZT! y Fa+PN9M`?.
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_ j{U-=[$' 建模任务 @/$mZ]|T _"0n.JQg xo@N~ 光栅特性与参数的严格分析 <*(~x esPS /mD KQ< 不同光栅周期下的衍射效率 -'}iK6 &g& &-=7)
4`8.\ wkJB5i^<w 关于光栅周期选择的考虑 3lL:vD5( ]LSa(7>EU
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2#* 偏振相关的衍射特性 Uw&+zJ }7.q[ ^oF
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:IX 通过参数优化进行光栅设计 wj'iU&aca e0$mu?wd- 固定周期的2D参数优化 <M&]*|q>g% (QRl
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X@G`AD'.M jFc{$#g- •构造光栅结构 s-ou ;S3s −通过使用界面来配置光栅结构 i:$g1 [用例] zc{C+:3$^ •分析光栅衍射效率 Wm,,OioK −光栅级次分析器[用例] Cn<kl^!Q- •使用参数运行搜索初始解决方案 k^]~NP −参数运行文档的使用[用例] d{m0 uX56 •通过参数优化找到最终设计 z? aDOh }* t~&l0 VirtualLab Fusion技术 lm\u(3_$ ,]Ma, 2
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