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摘要 >uEzw4w P?P#RhvA1 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ;L ^o*` R2vlFx/ 5L}/&^E#p ]\HvK CN} 建模任务 dft!lBN %JTpI` [AJJSd/: 光栅特性与参数的严格分析 >9Vn.S lNO;O}8 不同光栅周期下的衍射效率 V0 a3<6@4 -jmY)(\ `N8O"UcoBo )NT*bLRPQ 关于光栅周期选择的考虑 sU^1wB
Rj a(ZcmYzXU j3ls3H& @_{=V0 偏振相关的衍射特性 :7;@ZEe HTTCTR gI|~|-' w_V P
J Qn2&nD%zi &mM0AA'\?H vW@=<aS Z <9b&<K: 通过参数优化进行光栅设计 ;}p [{/jI\?v 固定周期的2D参数优化 )0k53-h& )D%~`,#pQ |u p 2D参数优化–设计1 I)HPO,7 %A0/1{( ;-Aa|aT! e]$s
t? 2D参数优化–设计2 >=w)x,0yX i,VMd /G`]=@~ Y}KNKO; 制造公差分析–设计2 &uVnZ@o42 l;E(I_
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变化光栅周期的3D参数优化 An0GPhC /dIzY0<aO ]eV8b*d6 'Z]w^< 制造公差分析 ]/{)bpu \GU<43J2uo y>ktcuML IAyp 2 走进VirtualLab Fusion 0tJZ4(0 Ew$C
;&9 {2gwk8 #p{4^ VirtualLab Fusion中的工作流程 u]G\H!WkQ DW3G 2+WaA, Kf-JcBsrT •构造光栅结构 o;RI*I −通过使用界面来配置光栅结构 fd9k?,zM [用例] 7mfS*aCb •分析光栅衍射效率 $`'/+x"% −光栅级次分析器[用例] nT)vNWT= •使用参数运行搜索初始解决方案 4`=mu}Y2 −参数运行文档的使用[用例] H%lVl8oQ •通过参数优化找到最终设计 ]]Ufas9 (uidNq VirtualLab Fusion技术 e8b:)"R Q=dy<kg'] d<x7{?~.DK
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