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摘要 iJ*%dio VLd=" ~ 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 (v|`LmV 8a!2zwUBV
%9YA^ri u p~@?t2 建模任务 MZiF];OY agTK= 7?]!Ecr" 光栅特性与参数的严格分析 0&o
WfTg q]?+By-0 不同光栅周期下的衍射效率 E$&;]a s|p(KWo2U
}amE6 dff#{ 关于光栅周期选择的考虑 'T{pdEn8u JSUzEAKe
tQCj)Ms 'X p|;o5j{ 偏振相关的衍射特性 (aBP|rxg YL!oF^XO
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3?]S,~!F t>-XT|lV 通过参数优化进行光栅设计 9cbB[c_. }K+\8em 固定周期的2D参数优化 {vCU^BN,k IBF.&[[S
rcpvH}N: 2D参数优化–设计1 7~ILRj5Nq gFgcxe6
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dVK@Fgo 2I9{+>k VirtualLab Fusion中的工作流程 &fh.w]\ +*]SP@|IYI
Q2??Kp]1 oo"JMD) •构造光栅结构 u_$6LEp- −通过使用界面来配置光栅结构 )yfOrsM [用例] `=WzG" •分析光栅衍射效率 *T1L)Cp −光栅级次分析器[用例] L+`}euu5 •使用参数运行搜索初始解决方案 Au%Wrk3j −参数运行文档的使用[用例] .f [\G*
•通过参数优化找到最终设计 #nt<j2}m \["1N-q b VirtualLab Fusion技术 B]CS2LEqh %DHP
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