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摘要 y~ JCSzpU \k{UqU+s 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 pr2b<(Pm 5y. n
I$o^F/RH L,&R0gxi 建模任务 Mb6#97 D2`tWRm0 X`d d"8% 光栅特性与参数的严格分析 \(PC#H% 8#gS{ 不同光栅周期下的衍射效率 0ivlKe% GUJaeFe
[/}y!;3iXM FF"6~ 关于光栅周期选择的考虑 smpz/1U nwk66o:|
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(~~*PT- =_%i5]89P 通过参数优化进行光栅设计 "p43# K|-?1)Um 固定周期的2D参数优化 9]AiaV9 a1;P2ikuK
PQ`p:=~>:i 2D参数优化–设计1 qRg^Bp'VD# @(Mg>.P
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V[<]BOM\v &Q>)3] |p 制造公差分析 X<\y%2B|l C9-IJj
E5d?toZ,8" S^,1N4 走进VirtualLab Fusion 9$&+0 ?@U7tNI
yoKl.U"& Byf5~OC VirtualLab Fusion中的工作流程 u<x2"0f oVPtA@
d'~sy> 3V]B|^S •构造光栅结构 49%qBO$R −通过使用界面来配置光栅结构 Nf0'>`/ [用例] ~]HeoQK •分析光栅衍射效率 ?Z-(SC −光栅级次分析器[用例] $dAQ'\f7 •使用参数运行搜索初始解决方案 C:qb-10|A −参数运行文档的使用[用例] dmHpF\P5f •通过参数优化找到最终设计 s;'XX}Y #%CbZw@hJ9 VirtualLab Fusion技术 ^dB~#A1 I^iJ^Z]vx
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