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摘要 \XwXs5"G 2&fIF}vk>m 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Er}
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Ty\&ARjb 8 *EOIgQp 建模任务 %tM]|!yw }_}C ^ 1vQf=t%lw 光栅特性与参数的严格分析 Z[KXDQn8 `9b/Q 不同光栅周期下的衍射效率 SiHZco
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S:{hgi,T* dix\hqZ 关于光栅周期选择的考虑 c:"*MM RC @u3K.}i:g
7)G- EAF ?m#X";^V 偏振相关的衍射特性 n5"rSgUtE 4\<[y]pv
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4%2QF F@ qJB9z0a<Ov 通过参数优化进行光栅设计 h";G vjy a?E]-Zf 固定周期的2D参数优化 Lhu2;F\/ ZN5\lon|Y
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;b6Y$ VirtualLab Fusion中的工作流程 Y}'C'PR Tz+2g&+
\bqNjlu |M`B •构造光栅结构 $1.iMHb
−通过使用界面来配置光栅结构 TbU\qcm]] [用例] REB8_ H" •分析光栅衍射效率 j[m\;3Sp −光栅级次分析器[用例] lZV]Z3=p'0 •使用参数运行搜索初始解决方案 6Z
~>d;&9 −参数运行文档的使用[用例] !V$nU8p| •通过参数优化找到最终设计 a-x8LfcbF gWqmK/.U.0 VirtualLab Fusion技术 26>e0hBh& `r'q(M
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