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摘要 h9CTcWGt !|i #g$ 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 dt,Z^z+" E
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~ 建模任务 Iia.`"S FE&: ?  9J?s :"j 光栅特性与参数的严格分析 0.0-rd> >h#w~@e:: 不同光栅周期下的衍射效率 5TB6QLPEwY p^ k0Rad
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y32$b,%Xi, 关于光栅周期选择的考虑 0]iaNR
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 CssE8p >"F *|dK1'Xr 通过参数优化进行光栅设计 =(D"(OsQ/ XDPgl =~ 固定周期的2D参数优化 Z 9 +f TT A8*zB=C
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 ~E7IU<B nJ2x;';lA •构造光栅结构 zR^ Gy "
−通过使用界面来配置光栅结构 Tz,9>uN
[用例] L!If~6oD(
•分析光栅衍射效率 sE6>JaH
−光栅级次分析器[用例] F^NK"<tW
•使用参数运行搜索初始解决方案 SscB&{f
−参数运行文档的使用[用例] c
Rq2 re
•通过参数优化找到最终设计 D! [v{0 er W-n4w Ij" VirtualLab Fusion技术 ^ U*y*l$
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