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摘要 glU9A39qx? &g23tT#P? 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 (GL'm[V KGo^>us
y }R2ZO wXqwb|2 建模任务 Vjt7X"_/ xZ`vcS( ip}%Y6Wj 光栅特性与参数的严格分析 ILH[q> 3gVU#T[[ 不同光栅周期下的衍射效率 j?]+~ 0n`Temb/
_xi&%F/ uuF~+=.| 关于光栅周期选择的考虑 .|07IH/Di{ +4T.3Njjn
@}!?}QU : fYfXm 偏振相关的衍射特性 ,P`G IGvkA 4xal m
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f-[.^/ Ti0kfjhX7 通过参数优化进行光栅设计 Op~:z<z N2[j By8M 固定周期的2D参数优化 y&8`NS#_p? V/"RCqY4
eX"Ecl{ 2D参数优化–设计1 V?x&\<;, C\BKdx5;
4h--x~ @ md18q:AG) 2D参数优化–设计2 F^!O\8PFd AT3HHQD
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RN@)nc_ Xg_l4!T_l 制造公差分析 IV':sNV &{a#8sbf#c
G@jx&#v 06.8m;{N 走进VirtualLab Fusion OT|0_d?bD )*uo tV
[U^Cz{G MzKl=G VirtualLab Fusion中的工作流程 4o@:+T:1 i-4L{T\K
a+k3wzJ Y|hd!C-x •构造光栅结构 T7/DH −通过使用界面来配置光栅结构 B|9XqQ EI [用例] Da6l=M •分析光栅衍射效率 ~/aCzx~ −光栅级次分析器[用例] KY%qzq,n •使用参数运行搜索初始解决方案 #{?RE?nD −参数运行文档的使用[用例] v6uRzFw
•通过参数优化找到最终设计 =<aFkBX- if\`M'3Xx VirtualLab Fusion技术 Em{;l:;(W x.|sCqx
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