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摘要 b]Z>P{ j U$^ $7g 3 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 lbiMB~rwI qfsu# R
w}r~Wk^dLI S F&EVRv 建模任务 -VkPy<) B dKD%CJ[ m!_*Q 光栅特性与参数的严格分析 vDcYz, Jj,fdP#\ 不同光栅周期下的衍射效率 a F%V <-F[q'!C1
NAh^2X X^9eCj;c 关于光栅周期选择的考虑 )jHH-=JM WC`x^HI
\cW9"e' qotWWe# 偏振相关的衍射特性 ayh=@7* l&oc/$&|[
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BSHtoD@e7 )k6kK} 通过参数优化进行光栅设计 Q+a"Z^Z| se&Q\!&M 固定周期的2D参数优化 C5x*t Q| ;T*o
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k`h#.B J 2D参数优化–设计1 C9L_`[9DO "ot#g"
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制造公差分析 J+r:7NvZ (0u(<qA\
M3Oqto<8" lGpci 走进VirtualLab Fusion Cxra(!& |(3"_
uS7kkzt-x yoG*c%3V? VirtualLab Fusion中的工作流程 BV=~!tsl 'b:e8m
]Gf`nJDV cUC!'+L •构造光栅结构 .X34[AXd −通过使用界面来配置光栅结构 2B"&WKk [用例] P(cy@P,D •分析光栅衍射效率 #eIFRNRb) −光栅级次分析器[用例] ZY=a[K •使用参数运行搜索初始解决方案 Cf>(,rt}; −参数运行文档的使用[用例] -; *lcY* •通过参数优化找到最终设计 Mh~E]8b 7>
8L%(7 VirtualLab Fusion技术 y_r(06"z1 \IZY\WU}2
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