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摘要 ?2"g*Bak Iy_5k8 ] 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Y!M0JSaM
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 F${sEtH Osqk#Oh 建模任务 "bej#'M# 4XAB_Q  v\w*VCjoV 光栅特性与参数的严格分析 11l=zv ]|3hK/ 不同光栅周期下的衍射效率 *<^C0:i( X4o# kW
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 F$>#P7ph\a !=30 s;- VirtualLab Fusion中的工作流程 H.?`90IQ
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 ~7aD#`amU CXn?~m&K •构造光栅结构 ;n h_L(
−通过使用界面来配置光栅结构 yVzV] &k
[用例] 3^Is4H_8
•分析光栅衍射效率 G l/3*J
−光栅级次分析器[用例] s]yZ<uA
•使用参数运行搜索初始解决方案 \> su97
−参数运行文档的使用[用例] !rgXB(
•通过参数优化找到最终设计 v$` 3}<3- "LYhYkI VirtualLab Fusion技术 s
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