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摘要 qn}w]yGW )F;`07 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 <^+~?KDZM 0?525^
Y9fktg. ]c,ttS_ 建模任务 .]`L R@qf C*kGB(H7 uNe5Mv|} 光栅特性与参数的严格分析 3# G;uWN- ML?%s` 不同光栅周期下的衍射效率 VH1PC w=>~pYASH
/Y("Q#Ueq HIP6L,$ 关于光栅周期选择的考虑 -MZLkS U 24Lo.
%(h-cuhq i_?";5B" 偏振相关的衍射特性 7(B|NYq YnC7e2
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w7NJ~iy ~`M>&E@Y_/ 通过参数优化进行光栅设计 U^<\'` )3g7dtq} 固定周期的2D参数优化 N8.K[ m txM R[o_
`pS<v.L3 2D参数优化–设计1 -:IG{3fnu dj,7lJy
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ncS.~F tX)l$oRPr 制造公差分析–设计2 ^znj J\ = Ly7H7Q2
/MHqt=jP6 UO(B>Abp 变化光栅周期的3D参数优化 5qo^SiB. 5m2(7FC%su
xo#&&/6 1{\{'EP{ 制造公差分析 \q#s/&b WS6pm6@A*!
qGG *xB9~: 走进VirtualLab Fusion g`~c|bx |eT?XT<=o
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">7 VirtualLab Fusion中的工作流程 8`E9a c`~aiC`l
o"D`_ER [oN}zZP] •构造光栅结构 IE*GF27n −通过使用界面来配置光栅结构 AnVj
'3 [用例] Qo+_:N •分析光栅衍射效率 s6<`#KFAg −光栅级次分析器[用例] Gs$<r~Tg •使用参数运行搜索初始解决方案 \zA$|)
x −参数运行文档的使用[用例] k]FP1\Y •通过参数优化找到最终设计 #iD5&
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