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摘要 D!7`CH+ mI 74x3 [ 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 I? ,>DHUX Lemui) M4as w@,zFV 建模任务 E>l~-PaZY .W js~0c 13taFVdU 光栅特性与参数的严格分析 9a8cRt6knO #%DE; 不同光栅周期下的衍射效率 6Ybg^0m (o`{uj{! g +z1 AK@9?_D 关于光栅周期选择的考虑 SL5Ai/X0N | Bi! S]+:{9d ti
\wg 偏振相关的衍射特性 ob8qe,_' 0Vx.nUQ F w?[lS e%b6(% @;"|@!l| Yw-G' -fDnA4; q.;u?,|E/ 通过参数优化进行光栅设计 GWfL v/ _ 固定周期的2D参数优化 JD|=>) 'dn]rV0(C nR*ryv 2D参数优化–设计1 W)bLSL]`E gw!vlwC&T 7<*yS310 qi^7 2D参数优化–设计2 j:v@pzTD ?{[
v+t# |!4K!_y YuO.yh_ 制造公差分析–设计2 z:wutqru wfH^<jY)E a^I\ /&aw' XuFYYx~ ^3 变化光栅周期的3D参数优化 BI%$c~wS {N+$Q' JJN.ugT}1 /V'A%2Cl=T 制造公差分析 [MUpxOAsd cPlZXf 'DCTc&J[' 3ca (i/c 走进VirtualLab Fusion 5j?3a1l0 \XZ/v*d0
<<][hQs 9dx/hFA VirtualLab Fusion中的工作流程 RMdk:YvBg &OH={Au vbZ}Z3f_ X aMJDa|M •构造光栅结构 s{*[]! −通过使用界面来配置光栅结构 ]>5/PD,wWy [用例] \"P%`C •分析光栅衍射效率
f*?]+rz −光栅级次分析器[用例] u 7>],< •使用参数运行搜索初始解决方案 r7%I n^k −参数运行文档的使用[用例] m;GCc8 •通过参数优化找到最终设计 zHM(!\8K #Lh;CSS VirtualLab Fusion技术 !Dn,^ +nFu|qM} |v3T!
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