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摘要 b"<liGh"n- T8?Ghbn 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 6fE7W>la e-})6)XgA
!,_u)4 KC*e/J 建模任务 PV.Xz0@R '|6]_ >mbHy<< 光栅特性与参数的严格分析 XAD- 'i 9R!atPz9 不同光栅周期下的衍射效率 gMi0FO' nI?[rCM
F>SRs =_ { T/[cu< 关于光栅周期选择的考虑 OR P\b 9!ngy*\x
|"q5sym8Y_ /*(Kr'c 偏振相关的衍射特性 j7Yu>cr f=+mIZ
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BQHVQs •构造光栅结构 m,_Z6=I: −通过使用界面来配置光栅结构 \[i1JG [用例] =+-UJo5 •分析光栅衍射效率 F@jZ ho −光栅级次分析器[用例] PcMD])Z{G •使用参数运行搜索初始解决方案 r| wS<cA2 −参数运行文档的使用[用例] ;6
D@A •通过参数优化找到最终设计 QD&`^(X1p J7$5s VirtualLab Fusion技术 =!A_^;NQf :A_@,Q
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