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摘要 b"<liGh"n- T8?Ghbn 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 6fE7W>la
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 !,_u)4 K C*e/J 建模任务 PV.X z0@R '| 6]_  >mbHy<< 光栅特性与参数的严格分析 XAD- 'i 9 R!atPz9 不同光栅周期下的衍射效率 gMi0FO ' nI?[rCM
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T. 变化光栅周期的3D参数优化 d UE,U=
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 ;3coP{ ah$b [\#C VirtualLab Fusion中的工作流程 .&iawz
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BQHVQs •构造光栅结构 m,_ Z6=I:
−通过使用界面来配置光栅结构 \[i1JG
[用例] =+-UJo5
•分析光栅衍射效率 F@jZ ho
−光栅级次分析器[用例] PcMD])Z{G
•使用参数运行搜索初始解决方案 r| wS<cA2
−参数运行文档的使用[用例] ;6
D@ A
•通过参数优化找到最终设计 QD&`^(X1p J7 $5s VirtualLab Fusion技术 =!A_^;NQf :A_@,Q
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