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摘要 Jn
<^Q7N ~=AKX(Q 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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w#G=Z_Tt J PzQBc5e 建模任务 f;tyoN0wHx ~q_+;W. D`~{[cv)\ 光栅特性与参数的严格分析 >&TnTv?I moJT8tb 不同光栅周期下的衍射效率 }MavI' ^tKOxW#
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/4B4IT MkNURy>n& 关于光栅周期选择的考虑 ?"8A^
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0G\myv hCvLwZ?LF 变化光栅周期的3D参数优化 aLk2#1$g (DMnwqr
$0S" Lh{ >fj$wOq 制造公差分析 p,u<gJUL IZv, Wo
S@G{|. )2 a={qA4N 走进VirtualLab Fusion ^}7t: U4L=3T+:[
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VirtualLab Fusion中的工作流程 XhD fI
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^@p Ru')X{]25 •构造光栅结构 +M]8_kE=+l −通过使用界面来配置光栅结构 v_h*:c [用例] 9w<Bm"G •分析光栅衍射效率 h5JwB<8 −光栅级次分析器[用例] EM
w(%}8w •使用参数运行搜索初始解决方案 A^@ <+? −参数运行文档的使用[用例] jL%}y1m? •通过参数优化找到最终设计 yj+b/9My
w:zC/5x` VirtualLab Fusion技术 /P"\+Qp to|9)\
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