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摘要 oGRk/@ O|V0WiY< 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 l cie6'< ]*#i_dho7
8i154#l+\ :Ln)j%& 建模任务 393c |8M 3)y1q>CQf b3^:Bh9 光栅特性与参数的严格分析 z_!IA
] v v-tI`Qpb 不同光栅周期下的衍射效率 68XJ`/d :$$~$P
PjeI&@ `Pvi+:6\Y 关于光栅周期选择的考虑 &KjMw:l -K 'UXoU1
%dzt'uz AH#mL 偏振相关的衍射特性 { c#US
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1'qXT{f/~ :)~l3:O 通过参数优化进行光栅设计 1.du#w /_0B5,6R 固定周期的2D参数优化 -qc'J<*^4 t`Kpbfk
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LO_Xrj PEI$1,z VirtualLab Fusion中的工作流程 PaaMh[OmG D`p2a eI
ww{k_'RRJ LA6XTgcu •构造光栅结构 N/o?\q8 −通过使用界面来配置光栅结构 CH4Nz'X2 [用例] -dM~3' •分析光栅衍射效率 (2;Aqx5i −光栅级次分析器[用例] :zU4K=kR •使用参数运行搜索初始解决方案 E!Q@AZ −参数运行文档的使用[用例] z\|<h=EU •通过参数优化找到最终设计 I0F[Z\U MGF!ZZ\ VirtualLab Fusion技术 Z?eTjkNS# 4BMu0["6|s
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