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摘要 {yBs7[Wn a Fl;BhM 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 C0sX gM
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 oro$wFxJO ISzqEi 建模任务 ^NLmgw Q ;/bewivNJ  \J4L:.`qS 光栅特性与参数的严格分析 hE &xE; Ve8=b0&Y#j 不同光栅周期下的衍射效率 O24m;oHM bpOYHc6,*`
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KsddA 关于光栅周期选择的考虑 l .(v^3:X
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 .nO\kg oK biL s+\C 偏振相关的衍射特性 R$ EW4]j /~DI 6g
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 }pDqe;a{ oL-]3TY~ VirtualLab Fusion中的工作流程 vx\r!]
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 ysJQb~2q y>:N{| •构造光栅结构 RPwbTAl}
−通过使用界面来配置光栅结构 IO wj>t
[用例] 'QJ:` )z
•分析光栅衍射效率 UMv.{iEj
−光栅级次分析器[用例] 16w|O |^<
•使用参数运行搜索初始解决方案 9 *xR6
−参数运行文档的使用[用例] 'SO %)B
•通过参数优化找到最终设计 Y5f1l UT B`Y Tl~4 VirtualLab Fusion技术 ^/)^7\@ ~Io7]
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