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摘要 &02I-lD4+ fw3P?_4;* 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ud
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\8<ZPqt9 b2r]>*Vc 建模任务 UKpc3Jo:~ VFI\2n` eHl)/=' 光栅特性与参数的严格分析 /?Y]wY $a#-d; 不同光栅周期下的衍射效率 2L(\-]%f t9eEcqMg
/$'|`jKsB mMOjV_ 关于光栅周期选择的考虑 DD fw&
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偏振相关的衍射特性 G%F}H/|R %M5{-pJ|C
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DW 制造公差分析 (B0QBDj! Wud-(19
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|_s6] QlMv_|`9 VirtualLab Fusion中的工作流程 YSbeCyv _<%YLv
>rXD Lj-e YYhN>d$ •构造光栅结构 = N^Ec[u(l −通过使用界面来配置光栅结构 l5nm.i<M [用例] JAX`iQd •分析光栅衍射效率 Dkg^B@5Xr −光栅级次分析器[用例] lhX4MB" •使用参数运行搜索初始解决方案 Van=dzG −参数运行文档的使用[用例] []G@l. ]W •通过参数优化找到最终设计 O7oq1JI]Y M5:j)oW VirtualLab Fusion技术 .I0M'L~!/L A,EuUp
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