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摘要 Z Tx~+'( !m#cn eV 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 MKdBqnM(F
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? OT9\K_  ^ #R-_I 光栅特性与参数的严格分析 =Po!\[SBU [Pdm1]":( 不同光栅周期下的衍射效率 cf |<~7 kQ$Q}3f
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~7!J /LHg 关于光栅周期选择的考虑 Mc9P(5Bf
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 HB$*xS1 2oAPJUPOJ 偏振相关的衍射特性 ;C%D+"l1g Lrr^obc
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 6{}]QvR ;04doub •构造光栅结构 >t?;*K\x"
−通过使用界面来配置光栅结构 Revc
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[用例] %`HAg MgP
•分析光栅衍射效率 O} QTg
−光栅级次分析器[用例] ,/|"0$p2x
•使用参数运行搜索初始解决方案 8@Xq ,J
−参数运行文档的使用[用例] &iL"= \#
•通过参数优化找到最终设计 qJVW :$1q +D`IcR-x VirtualLab Fusion技术 <;+&` R 0NZg[ >H
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