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摘要 elpTak@ X6qgApyE 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Q|S>C%4? =20
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@j ue'dI 光栅特性与参数的严格分析 :$PrlE Q1|zX@, 不同光栅周期下的衍射效率
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zn_#}}e;G p0]\QM l1 关于光栅周期选择的考虑 }:;UnE} bw7g L\*
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VirtualLab Fusion中的工作流程 '-[hy>t \)wch P_0
j u"?b2f oSkQ/5hg. •构造光栅结构 &ni#( −通过使用界面来配置光栅结构 g}gGm[1SUo [用例] 7Hgn/b[?b •分析光栅衍射效率 C<I?4WM −光栅级次分析器[用例] :9%e:- •使用参数运行搜索初始解决方案 ?b{y#du2a −参数运行文档的使用[用例] ?E|=eO"I1 •通过参数优化找到最终设计 U1E@pDH F --b,, VirtualLab Fusion技术 \/;c^!(< vc p{Gf|^
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