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摘要 &wQ<sVQ0$ k8G4CFg}wP 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 PU% Zay
I484c R2.
 9z?c0W5 x RZEq@q 建模任务 UhR^Y{W5 ;nl J D#  e'~Qe_ 光栅特性与参数的严格分析 aP (~l_ &%v*%{|j 不同光栅周期下的衍射效率 -qpvVLR, 2V 8 "jc
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j7d^g a- ` 关于光栅周期选择的考虑 M*'8$|Z
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 ZK ?V{X{"; !C4)P3k 通过参数优化进行光栅设计 F.(W`H*1+ }2Ge??! 固定周期的2D参数优化 -7o IphJ=\ 3hkEjR
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 '[[IalQ? Us6 ~7L00 •构造光栅结构 ?t;,Nk`jx
−通过使用界面来配置光栅结构 YY>&R'3[
[用例] [ P*L`F
•分析光栅衍射效率 ?<OE|nb&
−光栅级次分析器[用例] t }K8{
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•使用参数运行搜索初始解决方案 rWL&-AZQl
−参数运行文档的使用[用例] u#ocx[
•通过参数优化找到最终设计 I_c?Ky8J_| ( )Img.TIt VirtualLab Fusion技术 .dc|?$XV SQ/}K8uZ
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