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摘要 6}FP >7QvK3S4% 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ,Pdf,2 yjF1}SQ
!]=d-RGNe uc){+'[ 建模任务
@fl-3q G6$kv2(k`@ 9[.8cg* 光栅特性与参数的严格分析 q!|*oUW zdYy^8V|z 不同光栅周期下的衍射效率 @}}$zv6l, E2Q[ZoVS
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关于光栅周期选择的考虑 J4fi' tp6 3@L|Q
ur:3W6ZKl |#]@Z)xa 偏振相关的衍射特性 x-^`~p JvVWG'Z"
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RBs-_o+ % Nn!+,;ut 通过参数优化进行光栅设计 W\d{a(* "@iK'
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wn/_}]T 2D参数优化–设计1 #49kjv@ Egg=yF>T
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PQ5QA61 J&W)(Cf 制造公差分析–设计2 aX)I3^ar `6~Aoe
^c- =;Rtdy/Yn% 变化光栅周期的3D参数优化 {.C!i{| %5M/s'O?i
J:CXW%\ <q ,(qRc(Ho 制造公差分析 }wr{W:j k/#&qC>]
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Mo?~_|} TC!Yb_H}gN VirtualLab Fusion中的工作流程 [^Os kJ4 nAW:utTB
?Y-%'J( EMwS1~3dD •构造光栅结构 x$5) ^ud? −通过使用界面来配置光栅结构 l=S 35og [用例] =RA / •分析光栅衍射效率 LClNxm2X −光栅级次分析器[用例] \F1_lq;K •使用参数运行搜索初始解决方案 dP#|$1 −参数运行文档的使用[用例] 5D\f8L •通过参数优化找到最终设计 i2E)P x !=;+%C&8y VirtualLab Fusion技术 *"?l ]d |=Eo?Q_
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