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摘要 ?vWF[ DRd' D5Rp<PBq, 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 -0`n(`2 \goiW;b
]!"7k_ 4!ZT_q 建模任务 PS!or!m #$U/*~m $ WyB^b-QmDh 光栅特性与参数的严格分析 @v&P;=lU 5sEk rT ' 不同光栅周期下的衍射效率 Jc]k\U Uv<nJM
{QdoIPr3 dqBN_P% 关于光栅周期选择的考虑 _I,GH{lh I 7N OF^/nU
o+k*ia~Fa M;AvOk|& 偏振相关的衍射特性 9RSviIi$ >ZgV8X:
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SuI^8^f= }{PG^ Fc<P 通过参数优化进行光栅设计 >^,?0HP %<O~eXY 固定周期的2D参数优化 ]M "U 'Z 5mL4Zq"
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Xyz/CZPi LV$Ko_9eA 2D参数优化–设计2 HHgv,bC! 5L7nEia'
I;?PDhDb g&.OJ 制造公差分析–设计2 TZg1,Z (6}7z+
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JXt_ ^e\$g2). 制造公差分析 Ne3YhCC> )@tHS-Jf
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u2fp~.'P ]|K6Z>V •构造光栅结构 {z;K0 −通过使用界面来配置光栅结构 "HH<5M [用例] t-}IKrbv •分析光栅衍射效率 ?Ycl!0m −光栅级次分析器[用例] S
{+Z.P •使用参数运行搜索初始解决方案 &U([Wd?E2 −参数运行文档的使用[用例] +T,A^(&t •通过参数优化找到最终设计 ])?h~
3U!=R- VirtualLab Fusion技术 _sL;E<)y( 7j#Ix$Ur
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