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摘要 m(}}%VeR"z mw}Bl;
- O 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 7S&$M-k 3-, W?
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;,e16^\' & gzqp=I[% 建模任务 Q;!rN) x#N_h0[i y1T(R# 光栅特性与参数的严格分析 CaO-aL q<!-Anc 不同光栅周期下的衍射效率 tq3Rc}
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M?L$xE_& _MLf58 关于光栅周期选择的考虑 vJ=Q{_D=\ t89Tt @cf
\!BVf@>p% 7gZ}Qy 偏振相关的衍射特性 YURMXbj Z
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g#^MO]pY .(.< 通过参数优化进行光栅设计 S\<i`q dt,Z^z+"E 固定周期的2D参数优化 ^]D1': |\?u-O3
"t(_r@qU/ 2D参数优化–设计1 geqP. MR '&B4Ccn<V
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t(-,mw nH k^trGm 制造公差分析–设计2 $P?^GB>u _`&l46
$Oy&POe 16~E 变化光栅周期的3D参数优化 D_0Vu/v C-;w}
kDWEgnXK,v S#y[_C?H 制造公差分析 OM&GypP6& vQK/xg
!e~[U- 3u$1W@T( 走进VirtualLab Fusion 6`@J=Q? PBCGC^0{
6{HCF-cQd _3yG<'f[Y VirtualLab Fusion中的工作流程 /G'3!S w,FPL&{
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c •构造光栅结构 /}m*|cG/ −通过使用界面来配置光栅结构 vBl:&99[/ [用例] 60u_,@rV •分析光栅衍射效率 7\,9Gcv1 −光栅级次分析器[用例] [%N?D#; •使用参数运行搜索初始解决方案 iP"sw0V8 −参数运行文档的使用[用例] ~<n.5q%Z •通过参数优化找到最终设计 3}8o 9 DI{*E VirtualLab Fusion技术 mA+:)?e5~ ud$-A
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