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摘要 ( 30{:o&^ TL ;2,@H` 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 N|EH`eu^i
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 I83ZN] E)DdiB'Rh 建模任务 T^x7w+ O4ciD 1  b*LEoQSl0V 光栅特性与参数的严格分析 @%q0fj8b ja3wXz$2 不同光栅周期下的衍射效率 R?a)2jl JEL =,0J
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 )X2=x^u*U + U_> Bo •构造光栅结构 5m{!Rrb
−通过使用界面来配置光栅结构 fr
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[用例] LDqq'}qK6
•分析光栅衍射效率 CKwrE ]h
−光栅级次分析器[用例] L1ZhH3}X
•使用参数运行搜索初始解决方案 ovJ#2_
−参数运行文档的使用[用例] |:Gz9u +
•通过参数优化找到最终设计 (]7&][ M&o@~z0 VirtualLab Fusion技术 qD Z?iTHQq ?n<b:oO
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