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摘要 @i;L Za Gl=@>Dc% 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 5QNBB|X@ j^:b-:F
zC[i <'h!T >Y44{D\` 建模任务 x[zKtX CdE2w?1 [sjrb?Xd 光栅特性与参数的严格分析 ;9 lqSv/6 l@(t^68OD 不同光栅周期下的衍射效率 4c~*hMry [<,0A]m
<1v{[F_ 5B_-nYJDt 关于光栅周期选择的考虑 !x+MVJ] +
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7m vSo350 mOABZ#+Fk 偏振相关的衍射特性 % jYQ N. ItyV
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ot&j HS' R;5QD` 通过参数优化进行光栅设计 mg/C Ux ^d5gz0d 固定周期的2D参数优化 $sB48LJuU' Te{aB"B
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m,kvEQ3 8H$@Xts VirtualLab Fusion中的工作流程 pU'`9fLi_ N'Z_6A*-
*;ZW=%M j|VlHDqR •构造光栅结构 l72ie −通过使用界面来配置光栅结构 qx#ghcU [用例] pX h^M{. •分析光栅衍射效率 KY(l<pm −光栅级次分析器[用例] f(9$"Vi •使用参数运行搜索初始解决方案 i &SBW0) −参数运行文档的使用[用例] 8gu7f;H/k •通过参数优化找到最终设计 }y-AoG cE_Xo.:Y, VirtualLab Fusion技术 !@]h@MC$7 t0AqGrn
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