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摘要 %jj\w> 0`"DYJ}d 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 7B#HF?,? c:_dW;MJ0
z#{%[X2 1_G5uHO 建模任务 XQ$9E?|= >Ms_bfSK A>QAR)YP 光栅特性与参数的严格分析 ny[\yj4F wlfq$h p 不同光栅周期下的衍射效率 A=pyaU`aE y'U-y"7y
BYWs\6vK bDM;7fFp$ 关于光栅周期选择的考虑 #=aT Sw X P(Q}r7F~(
=fy'w3m mA0|W#NB 偏振相关的衍射特性 K8|>" c~ PW GNUNc
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2, r{zJ8 2D参数优化–设计1 QVPJ$~x fIm=^}?fwK
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G=qT{c8Q $>!tpJw •构造光栅结构 <CY<-H −通过使用界面来配置光栅结构 1n|K [用例] ^9A,j}>o- •分析光栅衍射效率 mM)d`br −光栅级次分析器[用例] co [ •使用参数运行搜索初始解决方案 40R7@Vaf −参数运行文档的使用[用例] %6HJM| {H •通过参数优化找到最终设计 =Z}=n S?4 |;MW98 A VirtualLab Fusion技术 f4r)g2Zb[ {BS`v5*
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