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摘要 -Zfq:Kr /:+MUw7~ 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 0 fAo&B
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 LLU]KZhtY| Nc\jA= 建模任务 5{\ ;7( 7$A=|/'nSA  9ohO-t$XkY 光栅特性与参数的严格分析 V1
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 7U`8W\- _0!<iN L •构造光栅结构 lCK|PY*
−通过使用界面来配置光栅结构 HVaKy+RU
[用例] ? v$1 Fc55
•分析光栅衍射效率 YA*E93 J0
−光栅级次分析器[用例] U?(+ {4l
•使用参数运行搜索初始解决方案 :AM_C^j~
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−参数运行文档的使用[用例] EV|L~^Q
•通过参数优化找到最终设计 .MI
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m"t ke'a VirtualLab Fusion技术 :B1a2Y^" q a}=p
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