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摘要 /+.Bc(` 9TBkVbqV 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 c^><^LGb
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 ^]( sCE7 [U]U *x 建模任务 _(5SiK R qxf!]jm  b4Z Zy w 光栅特性与参数的严格分析 A&jkc ' Ij` %'/J 不同光栅周期下的衍射效率 S3EY9:^ C __teh>MC
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−通过使用界面来配置光栅结构 6&| hpp#[
[用例] XSk*w' xO
•分析光栅衍射效率 z^lcc7
−光栅级次分析器[用例] (xpt_]Q!H
•使用参数运行搜索初始解决方案 5~D(jHY;
−参数运行文档的使用[用例] G0#<SJ,)
•通过参数优化找到最终设计 ~ ,ZU + <*JFY%y " VirtualLab Fusion技术 fg$#ZCi /tm2b<G
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