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摘要 nqnVFkGd9 Vdpvo;4uy 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 _s( izc
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 wO>P< KBU e<.O'!=7Y 建模任务 e#R'_}\yj 5:" zs  -~PiPYX 光栅特性与参数的严格分析 "q<}#] u J.t tJOP 不同光栅周期下的衍射效率 ggQB Q/ L E:!qnc L:
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 6Z,j^: B G QR|t?:t •构造光栅结构 EAE \'9T&g
−通过使用界面来配置光栅结构 * fIb|r
[用例] BB)( #yoi
•分析光栅衍射效率 >b o_
−光栅级次分析器[用例] XXe?@w2{
•使用参数运行搜索初始解决方案 $Qc`4x;N
−参数运行文档的使用[用例] Vw P+tM
•通过参数优化找到最终设计 0~;Owu W :qQ VirtualLab Fusion技术 ?[`*z?} gTby%6- \|
 )j^~=Sio.
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