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摘要 kRgyvA,*; ??rx\*,C</ 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 4];Qpln Y9m'RFZr
E~zLhJTUL' '?Q [.{< 建模任务 y^zVb\"4 {"e/3 cW),Y|8 光栅特性与参数的严格分析 |rf\]3 F =L<OTfVE 不同光栅周期下的衍射效率 +I2P{7 B[-%A!3
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B| %=<1? r3w. $ 关于光栅周期选择的考虑 "8Pxf= G#Z%jO-XN
1z~;c| 6(oGU4 偏振相关的衍射特性 f9D7T|J?10 mCtuyGY
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!cnH|ePbI ~SZ0Yu:X 通过参数优化进行光栅设计 /k1&?e [_qBp:_j?s 固定周期的2D参数优化 _Ux>BJmP 2=!/)hw}
R]/F{Xs 2D参数优化–设计1 8pDJz_F!{ 8dUwJ"<5
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Q6%m}R Ylt[Ks<2 VirtualLab Fusion中的工作流程 3u{[(W}08 O:lD>A4{
LUo3y' hUA3(!0) •构造光栅结构 *i%!j/QDAP −通过使用界面来配置光栅结构 z0g]nYN% [用例] 1oX"}YY1 •分析光栅衍射效率 s o~p+] −光栅级次分析器[用例] "-<u.$fE •使用参数运行搜索初始解决方案 s977k2pp- −参数运行文档的使用[用例] fhfdNmtR)I •通过参数优化找到最终设计 tMyD^jVC Ju+@ROZ VirtualLab Fusion技术 [.<vISRir s|,gn 5
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