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摘要 CmZ?uo+Y ^-_!:7TH] 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Q~kwUZ
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 ($TxVFNT :xV&%Qa1 建模任务 4$"Lf'sH6 eC-TZ H@  "e"`Or 光栅特性与参数的严格分析 2h!3[ {M\ ES> 3Cf 不同光栅周期下的衍射效率 j;
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^9nM)[/C? 关于光栅周期选择的考虑 o%.cQo=v*
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 ?`r/_EKNv |'.SOm9)* VirtualLab Fusion中的工作流程 s)V^_@Z 9
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 v=4TU \b% "FU|I1Xz •构造光栅结构 * <@
−通过使用界面来配置光栅结构 J 4gIkZD
[用例] * +IUGR
•分析光栅衍射效率 ]?r8^L yZ4
−光栅级次分析器[用例] ^Z!W 3q Q
•使用参数运行搜索初始解决方案 B}(YD;7vJ
−参数运行文档的使用[用例] ^uj+d"a)
•通过参数优化找到最终设计 ?`vb\K<5H; Xy{b(b;9 VirtualLab Fusion技术 1.!(#I3 C@[:}ZGMV
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