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摘要 b{&)6M)zo zY{A'< \O 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 CY5Z{qiX
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 K;G~V \ %J?xRv! 建模任务 PJ%C N(0 1.GQau~  aeJHMHFc 光栅特性与参数的严格分析 *L^,| Wqw1J=] 不同光栅周期下的衍射效率 BX7kO0 j zwjgE6
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6%_nZvRv 关于光栅周期选择的考虑 !*N@ZL& X
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 KkbD W3- r`d4e,( 偏振相关的衍射特性 \ Gvm9M ;*Et[}3
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,m9u $%#!bV 通过参数优化进行光栅设计 *^ZV8c} VY4yS*y 固定周期的2D参数优化 ( Erc3Ac8 p_%Rt"!
 e* NnVys 2D参数优化–设计1 ?CPahU
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 iqWQ!r^ NZ0;5xGR 2D参数优化–设计2 H*CW1([
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'h 变化光栅周期的3D参数优化 8{sGN CvU
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 4,DeHJjAlE 4 ^:=xL VirtualLab Fusion中的工作流程 C~/a-
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 vEJbA 8$}<, c( •构造光栅结构 Ysv"
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−通过使用界面来配置光栅结构 'D1xh ~
[用例] 5=ryDrx
•分析光栅衍射效率 jse&DQ
−光栅级次分析器[用例] eJ-nKkg~a
•使用参数运行搜索初始解决方案 `;egv*!P
−参数运行文档的使用[用例] Cw&KVw*
•通过参数优化找到最终设计 )Pv%#P-< 5 nx 1 i VirtualLab Fusion技术 Y.p;1" _H@DLhH|=
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