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摘要 SZ )AO8& W2 p&LP 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 fAHf}j
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 co-dq\P KM o]J1o 建模任务 H1^m>4ll9 m.0: R  WD${f#]N 光栅特性与参数的严格分析 y)%CNH)*x hJsYKd8 g 不同光栅周期下的衍射效率 ;kv/(veQ1< 5q Y+^jO]o
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[8OQ5}do/ 关于光栅周期选择的考虑 /rQ[Ik$|
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 Z#nPn>,q Rz\:)<G 偏振相关的衍射特性 |2'u@<(Z/ G+dQ" cI9
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 yR|Beno T|fmO<e*n 通过参数优化进行光栅设计 Rx\.x? & BZr$x8%ki
固定周期的2D参数优化 d=J$H < g.9:R=JPT
 N u ]& ? 2D参数优化–设计1 BXx0Z
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g|sn VirtualLab Fusion中的工作流程 ?~g X7{>
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 H7= [sL^ `tZ-8f •构造光栅结构 vI)-Zz[3
−通过使用界面来配置光栅结构 O5;$cP:
[用例] =5PN H 2
•分析光栅衍射效率 D. _* p
−光栅级次分析器[用例] R,'`
A.Kk
•使用参数运行搜索初始解决方案 a*fUMhIi
−参数运行文档的使用[用例] E @%X
•通过参数优化找到最终设计 9N ?BWv } JC[G5$E VirtualLab Fusion技术 y66V&#`,e0 <l,Kg
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