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摘要 L $v^afP? x ;BbTBc > 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 _q>SE1j+W=
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 KT*:F(4` y@ek=fT%4 建模任务 `kN #4p _.18 z+  @fn 6<3 光栅特性与参数的严格分析 U Lmg$T& \X}8 q 不同光栅周期下的衍射效率 !#D=w$@r: q(z7~:+qNr
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] Nk!4" 关于光栅周期选择的考虑 O jnJV
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 =J.EH| f'_ S1\ VirtualLab Fusion中的工作流程 8eww7k^R
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 I @PJl qc-C>Ra •构造光栅结构 C={mi#G[/
−通过使用界面来配置光栅结构 C"No5r'K3
[用例] <JH9StGGc?
•分析光栅衍射效率 `@\^m_!}
−光栅级次分析器[用例] 2?1}ZXr
•使用参数运行搜索初始解决方案 '^1o/C
−参数运行文档的使用[用例] OX)BP.h#
•通过参数优化找到最终设计 "`]'ZIx[R/ $ 'u \B VirtualLab Fusion技术 .\4l'THn,0 U$09p;~$Ww
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