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摘要 ssfr}fzH J')o|5S1N 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 m*&]!mM"0G >mwlsL~X
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pA em%4Ap slCx w$ 光栅特性与参数的严格分析 rBQ _iB_ 3c-GY:VkLM 不同光栅周期下的衍射效率 P)Jgs (S>C#A=E\
6AAz Ri<u/ ]oR" 关于光栅周期选择的考虑 &GpRI(OB/+ (nQ^
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#F •构造光栅结构 =IZT(8 −通过使用界面来配置光栅结构 sI=xl [用例] }rUN_.n4z •分析光栅衍射效率 zpn9,,~u −光栅级次分析器[用例] [(i •使用参数运行搜索初始解决方案 LENq_@$ −参数运行文档的使用[用例] j^sg6.Z* •通过参数优化找到最终设计
>Er|Jxy LVM%"sd? VirtualLab Fusion技术 3DX*gsx( C^Yb\N}S
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