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摘要 rL\}>VC) Mo@{ 1K/9 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 T%.Y so{
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 _v#pu Fy 346 z`5 建模任务 1$Dc E> {$EX :ID  g<;pyvq|: 光栅特性与参数的严格分析 *JImP9SE 3]1 ! g6 不同光栅周期下的衍射效率 F~= kMQO W'9{2h6u(
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 QgH{J8 0 )6"p@1\u •构造光栅结构 |j/Y#.k;{0
−通过使用界面来配置光栅结构 %q r,Ssa/
[用例] 73 1RqUR
•分析光栅衍射效率 i .K!;E>
−光栅级次分析器[用例] [+5g 9tBJ
•使用参数运行搜索初始解决方案 O|Vc
−参数运行文档的使用[用例] NG\'Ii:-J
•通过参数优化找到最终设计 |61ns6i! t ?^!OJ:L VirtualLab Fusion技术 ~U7B o(EJp AD!w:jT9
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