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摘要 -cL{9r&X h .%)RW? 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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−通过使用界面来配置光栅结构 /pYp, ak
[用例] ipH'}~=ID
•分析光栅衍射效率 ;t G@ 6
−光栅级次分析器[用例] S<Od`I
•使用参数运行搜索初始解决方案 1 Q6~O2a
−参数运行文档的使用[用例] ("txj[v-/
•通过参数优化找到最终设计 G/y;o3/[Z Qf .]Mw?Bm VirtualLab Fusion技术 +V;@)-
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