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摘要 L{cK^ , !T<z'zZU 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 M3DxapG g,00'z_D @/CRIei Rf)'HT 建模任务 ML=hKwCA #g@ &eThH,w$2 光栅特性与参数的严格分析 DCEvr" ( T)b3N|ONB 不同光栅周期下的衍射效率 "2)+)Db JK@izI /W"Bf hg[l{)Q 关于光栅周期选择的考虑 tU+@1~
~ D}zOuB,S 9F2P(aS 4q\.I+r^ 偏振相关的衍射特性 LVPt*S= / ,H.(\p_N Ybs=W<- vDu0 5en
[)3E Y0/jH2 n ](B&l{V m&Y;/kr 通过参数优化进行光栅设计 ?RgU6/2 +zFV~]b 固定周期的2D参数优化 /E`l:&89) O ,Pl7x%tK "|.+L 2D参数优化–设计1 AJ;u&&c4C\ 7&;[an^w
At`1) TEaD-mY3 2D参数优化–设计2 HI"!n$p "TBQNWZ l}2%?d Ft%TnEp 制造公差分析–设计2 }S~ysQwT 3bg4# c 'k-u9 GL;x:2XA 变化光栅周期的3D参数优化 ;
McIxvj <?q&PCAn^ nZ`2Z7! L}e"nzTE6I 制造公差分析 2fj0 I #a7Amh\nT j=xtnIq lRF_ k 走进VirtualLab Fusion 'f=) pc#&g w-0O j 5UrXVdP H0D>A<Ue VirtualLab Fusion中的工作流程 W%cj39$ 5C Y@R X%4uShM c:?#zX •构造光栅结构 IS0HV$OI −通过使用界面来配置光栅结构 @n~>j&Kp [用例] eB<V%,%N# •分析光栅衍射效率 SCfkv|hO −光栅级次分析器[用例] F9u:8;\@` •使用参数运行搜索初始解决方案 eZR8<Z% −参数运行文档的使用[用例] 7U{b+=,wK •通过参数优化找到最终设计 we:5gK& #czyr@ VirtualLab Fusion技术 pU:C=hq4 fncwe ';? d}wa[WRv
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