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摘要 eHyuO)(xH1 it|:P 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 1YD.jU^;HD 9X&qdA/q
wQuaB6E #_L& 建模任务 pC.4AkEO w[vIPlSdS *>*/| 光栅特性与参数的严格分析 Y'%Iat(z !J(,M)p! 不同光栅周期下的衍射效率 Y'H/
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5@rqU(]< v%~ViOgL\ 关于光栅周期选择的考虑 RIqxM %=O!K>^vt<
J0mCWtx& UT7lj wT 偏振相关的衍射特性 c Yn}we}7 @z JZoJL]J
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'wq:F?viF 959jp85 通过参数优化进行光栅设计 rL/7wa l hp:. 固定周期的2D参数优化 R:m=HS_ \iSBLU
:>ST)Y@]w 2D参数优化–设计1 #@"rp]1xv %D0Ws9:|
/[dAgxL Z'm%3 2D参数优化–设计2 0nnq/u^ U.h PC3
D5vtZu!" ~'\u:Imuo 制造公差分析–设计2 boB{Y 7gO4 G"sc;nT
]J]p:Y>NL LB+=?Mz V 变化光栅周期的3D参数优化 1/J*ki+? 6x8|v7cMH
t^;Fq{> v!C+W$,T 制造公差分析 l Nt o9 T5+b{qA
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SVz.d/3Y @eU/g![u •构造光栅结构 pz =Wq4l −通过使用界面来配置光栅结构 \
.s".aA [用例] K6hNN$F! •分析光栅衍射效率 B6&Mtm1 −光栅级次分析器[用例] XL9lB#v^ •使用参数运行搜索初始解决方案 `d#_66TLr −参数运行文档的使用[用例] 1D]wW%us •通过参数优化找到最终设计 e|y~q0Q$ xc3Q7u!| VirtualLab Fusion技术 1Xc%%j j
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