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摘要 [|3
%~s|Sv g7F>o76M 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ~ rRIWfhb 3,GSBiK3}
6Z3v]X +VJl#sc/; 建模任务 =3@^TW(j
QS!b]a3 4):\,>%pK 光栅特性与参数的严格分析 C][`Dk\D{ wL*z+>5 不同光栅周期下的衍射效率 jN[Z mJz' umi#Se3&
5<u+2x8| a*=e 3nS 关于光栅周期选择的考虑 9i"3R0HN tW,<Pe
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F_E I d{0>R{uac 偏振相关的衍射特性 X:DHz0S A2B&X}K|U
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Jg7IGU(dct ?9AByg 制造公差分析–设计2 'Y[\[]3[8 eM8u
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+-5CM0*& @UD6qA •构造光栅结构 yBeSvsm −通过使用界面来配置光栅结构 TMGZHOAt [用例] &7}-Xvc •分析光栅衍射效率 lxV>
rmD −光栅级次分析器[用例] +>{{91mN •使用参数运行搜索初始解决方案 {R&F_51)V −参数运行文档的使用[用例] 0^zu T •通过参数优化找到最终设计 \\BblzGMR {DAwkJvb] VirtualLab Fusion技术 h}.0Ne cLX~NPD/
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