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摘要 { wA@5+[ p(f)u]1` 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 /\#qz.c2K
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 @iW I gL 0 B3*\ H}5 建模任务 eDT Ey;^o QM;L>e-ZY  3f M 光栅特性与参数的严格分析 o`G'E& 3R4-MK 不同光栅周期下的衍射效率 W P.6ea7k HESwz{eSS
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7/aJ?:gX 关于光栅周期选择的考虑 E$8GXo00v
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偏振相关的衍射特性 B.&q]CA v- ^dqyX(
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 o*r\&!NIw ]u2! )vZh' 通过参数优化进行光栅设计 R<k4LHDy $ i~DUT( 固定周期的2D参数优化 =b9?r 6ng
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变化光栅周期的3D参数优化 j.ANBE96>
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 oPre$YT}h Ep?a1&b •构造光栅结构 0~n= | 3*P
−通过使用界面来配置光栅结构 y>Nlj%XH
[用例] ;~/
•分析光栅衍射效率
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−光栅级次分析器[用例] \ m 2[
•使用参数运行搜索初始解决方案 #T
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−参数运行文档的使用[用例] )"j_ NlO
•通过参数优化找到最终设计 tTQ>pg1{qh LH<--#K VirtualLab Fusion技术 .}a@OLJd a)`h*P5@
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