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摘要
B )r-,M V0\[|E;F 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 &N|$G8\CY f&^(f1WO
5yy:JTAH5 i<m(neX[H 建模任务 k&]nF,f qos7u91z !Lf<hS^ 光栅特性与参数的严格分析 9Eyx Ob k"(]V 不同光栅周期下的衍射效率 N4!`iS Y 0mY Y:?v
.V?:&_}_I6 %z><)7 关于光栅周期选择的考虑 =Ph8&l7~sp Sjpx G@k
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−通过使用界面来配置光栅结构 97}]@xN= [用例] bdUPo+ •分析光栅衍射效率 TQ
Vk;&A −光栅级次分析器[用例] 85{m+1O~ •使用参数运行搜索初始解决方案 dn6B43w −参数运行文档的使用[用例] cpY{o^ •通过参数优化找到最终设计 W+nu=iQ! l{3B}_, VirtualLab Fusion技术 A5?" 7*'/E#M
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