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摘要 vj344B KQvSeH>r 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 u1Slu%^e C\aHr!
l GBg8/[ E4>}O;m0 建模任务 ~;a\S3 ,i??}Wm5G RGs7Hc 光栅特性与参数的严格分析 f$6N cJv/)hRaz 不同光栅周期下的衍射效率 P tLWFO fISK3t/=C
G}^=(,jl <nN.$4~X 关于光栅周期选择的考虑 ""XAUxo gBi3^GxjM?
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]O y(MB_B7j 偏振相关的衍射特性 xOAq!,|V zSQy
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IQ~qiFCf Ul9^"o 通过参数优化进行光栅设计 RJzIzv99m R:YVmqd 固定周期的2D参数优化 >e
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r^}0qO,XM %p )"_q!ge •构造光栅结构 H
Eq{TUTr −通过使用界面来配置光栅结构 pXO09L/nv [用例] h`\$8oV •分析光栅衍射效率 vw;aL#PP −光栅级次分析器[用例] PHqg~q;* •使用参数运行搜索初始解决方案 qS@3:R −参数运行文档的使用[用例] heou\;GI" •通过参数优化找到最终设计 .ZF%$H k+-?b(z)$ VirtualLab Fusion技术 RVttk )Ny (KyOo,a
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