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摘要 L$v^afP? x;BbTBc> 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 _q>SE1j+W= cX2^wu
KT*:F(4` y@ek=fT%4 建模任务 `kN#4p _.18z+ @fn6<3 光栅特性与参数的严格分析 U Lmg$T& \X}8q 不同光栅周期下的衍射效率 !#D=w$@r: q(z7~:+qNr
&bC}3D ]Nk!4" 关于光栅周期选择的考虑 OjnJV (hZ:X)E>
hY\{| yDd[e]zS` 偏振相关的衍射特性 Db03Nk># l`n5~Fs
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,FqN} 通过参数优化进行光栅设计 \gKdDS X}JWf<=q 固定周期的2D参数优化 KjR4=9MD hFb
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6&!l'[hU ,w\ wQn>]K 制造公差分析–设计2 1i?=JAFfM ~w.2-D
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I@PJl qc-C>Ra •构造光栅结构 C={mi#G[/ −通过使用界面来配置光栅结构 C"No5r'K3 [用例] <JH9StGGc? •分析光栅衍射效率 `@\^m_!} −光栅级次分析器[用例] 2?1}ZXr •使用参数运行搜索初始解决方案 '^1o/C −参数运行文档的使用[用例] OX)BP.h# •通过参数优化找到最终设计 "`]'ZIx[R/ $'u\B VirtualLab Fusion技术 .\4l'THn,0 U$09p;~$Ww
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