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摘要 VA`VDUG, EztuVe 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 VCT1GsnE e.Jaq^Gw|
.yHK 7\ X_%SM % 建模任务 Ft}nG&D ?X\uzu ?m9=Me 光栅特性与参数的严格分析 -=n!k^?lK A'"J'q*t 不同光栅周期下的衍射效率 9!0-~,o Xc&J.Tw#4*
IsVR4t] i[wnG ) 关于光栅周期选择的考虑 -FrK'!\ of >
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A;e"_$yt8 b(adM3MP 通过参数优化进行光栅设计 F>?~4y,b7 xa967Ki9" 固定周期的2D参数优化 vg1E@rH|} &'/bnN +R
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f%P#. [vnxp/v/< VirtualLab Fusion中的工作流程 r
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s-F3(mc( B9`_~~^U5 •构造光栅结构 +JB*1dz>8 −通过使用界面来配置光栅结构 I]Z"?T [用例] oJc7az •分析光栅衍射效率 aCyn9Y$= −光栅级次分析器[用例] dd@
D
s •使用参数运行搜索初始解决方案 KPZqPtb; −参数运行文档的使用[用例] LRdV_O1e6M •通过参数优化找到最终设计 Ng*O/g`%L cA{,2CYc VirtualLab Fusion技术 =7S\-{ yoTx3U@
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