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摘要 z{q`G wW in L(X;@yo 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 WJi]t9 3
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 :FF=a3/"6 u8^lB7! e/ 建模任务 6]N.%Y[( i b m4fa  hH.G#-JO 光栅特性与参数的严格分析 7<4qQ.deE / Oono6j 不同光栅周期下的衍射效率 +ZYn? #IQ DG/Pb)%Y
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% O<BfIZ 关于光栅周期选择的考虑 :Ud F
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 PzGWff!*n +*^H#|! •构造光栅结构 80;(Gt@<"
−通过使用界面来配置光栅结构 Jo}eeJ;k
[用例] KYP!Rs/j.
•分析光栅衍射效率 >3_Gw4S*H
−光栅级次分析器[用例] :L;a:xSpn=
•使用参数运行搜索初始解决方案 y? :.;%!E
−参数运行文档的使用[用例] W%)Y#C
•通过参数优化找到最终设计 ;$tSb ~K+ ]:f%l
mEy VirtualLab Fusion技术 Lp7SLkwh3M j5ve2LiFV%
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