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摘要 Y nTx)uW xjxX4_ 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 6 PWw^ Cd
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VyIJ)F.c 建模任务 ]5j>O^c< E 6Uj8]P`  ]w -W 光栅特性与参数的严格分析 wB[
JFy"E 1v|0 &{lB 不同光栅周期下的衍射效率 R5},E K`|V1L.m
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7oL :C 关于光栅周期选择的考虑 (Y PG4:[
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 0!axAvBV op&j4R 通过参数优化进行光栅设计 I.2>d _^< \D%n8O 固定周期的2D参数优化 >k}Kf1I ^d9 o \
 5! 6iAS+I 2D参数优化–设计1 dleLX%P
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 dr"@ 2=Z m&_!*3BAG 变化光栅周期的3D参数优化 aMgg[g9>t
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 DCCij N Tf Nm0=| VirtualLab Fusion中的工作流程 d\ Xi j y
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 vrsOA@ee3H lYr W"(2 •构造光栅结构 yMb.~A^$J
−通过使用界面来配置光栅结构 ,fs>+ ]UY3
[用例] Hg[AulNna
•分析光栅衍射效率 `9G1Bd8k
−光栅级次分析器[用例] fd1z
XK#Z2
•使用参数运行搜索初始解决方案 w 1 O)
−参数运行文档的使用[用例] SYv5{bff =
•通过参数优化找到最终设计 !R$ t>X :\#/T,K" VirtualLab Fusion技术 +]# p m9 cvnRd.&
 RLF]Wa,
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