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摘要 O,
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xk 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 M .6BFC
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 ?QF xds Zl9 建模任务 j<!dpt qm/>\4eLt  e}{#VB< 光栅特性与参数的严格分析 AEj%8jh :+\sKEzL 不同光栅周期下的衍射效率 Bt")RG
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<L8FI78[* 关于光栅周期选择的考虑 ` "ks0@^U
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 b/oNQQM#Dk NL|c5y<r 偏振相关的衍射特性 Pw]+6 -J 6`
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 \jZmu sT iFh"8d> •构造光栅结构 V1nqEdhk
−通过使用界面来配置光栅结构 h0 %M+g
[用例] Oi C|~8
•分析光栅衍射效率 V$$9Rh
−光栅级次分析器[用例] Xe`$SN M
•使用参数运行搜索初始解决方案 _a$5 "
−参数运行文档的使用[用例] iV @\v0k
•通过参数优化找到最终设计 75P!`9b E uJ1oo| sn VirtualLab Fusion技术 LoJEchRK {<Y!'WL{
 6 AY~ >p
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