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摘要 |b .z*G f )NHM' 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 2QUx&u:
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Yh 建模任务 "(TkJ bwC[ s~L</X vo
 Vfs $ VY2. 光栅特性与参数的严格分析 \3zj18(@8! ,+1m`9} 不同光栅周期下的衍射效率 j8$Zv%Ca% Poy^RpnX
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 #/-_1H p3x?[ Ww VirtualLab Fusion中的工作流程 v/Pw9j!r;m
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 ZCui Fm &X>7n~@0 •构造光栅结构 qRB7Ec_
−通过使用界面来配置光栅结构 6^F '|Wh
[用例] \=2m7v#E
•分析光栅衍射效率 t;q7t!sC]
−光栅级次分析器[用例] wa09$4>_w
•使用参数运行搜索初始解决方案 iLX_T]1
−参数运行文档的使用[用例] R)8s
•通过参数优化找到最终设计 XEH}4;C'{ kI\tqNJ i VirtualLab Fusion技术 9";sMB} W* qYB~VE03
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