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摘要 o5Rz%k#h }ublR&zlp 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 @=]8^?$t
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\ SCy$,m ~bA,GfSn0 建模任务 \Mx
JH[ zxZtz w3*-^: ?j 光栅特性与参数的严格分析 `kBnSi o~ iT)WR90 不同光栅周期下的衍射效率 _EYB
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V`a+Hi<P\ KAA3iA@>+ 关于光栅周期选择的考虑 ;\)=f6N uf) Oy7FQ
Nofu7xiDw[ &y_? rH 偏振相关的衍射特性 _ptP[SV^j /nB'kg[h\
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6!7Pm>ml .{rbw9 通过参数优化进行光栅设计 }#N]0I)JI s^|\9%WD 固定周期的2D参数优化 MR9/Y:Nm KXBL
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L=1~ f- 2D参数优化–设计1 )@PnTpL* mA{#]Yvf1
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DzDj)7 X=_Z(;<& 变化光栅周期的3D参数优化 :0Te4UE;P7 O3_B<Em
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&:8T$UV m3?e]nL4W •构造光栅结构 XtW_ −通过使用界面来配置光栅结构 wznn #j [用例] FE6C6dW{ •分析光栅衍射效率 R~c1)[[E −光栅级次分析器[用例] TzY!D*%z •使用参数运行搜索初始解决方案 Y\8+}g;KR −参数运行文档的使用[用例]
^@q#$/z •通过参数优化找到最终设计 QN #)F cdp{W VirtualLab Fusion技术 MgnE-6_c M71R -B`-
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