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摘要 'ySWf,Q^ +VJl#sc/; 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 #f[yp=uI: y ^YrGz.
Z?~7#F~Z` g+f{I'j 建模任务 jE{z4en A;kB"Tx :%Bo)0a9 光栅特性与参数的严格分析 OIN]u{S #2}S83
k 不同光栅周期下的衍射效率 Qr/?tMALc +}^
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F_E I EV9m\'=j 关于光栅周期选择的考虑 1{A4_/R te1lUQ
pDu~84!]) ' _N > 偏振相关的衍射特性 .EI/0"^ zdY`c
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U_w)*)F 1@/+ c 通过参数优化进行光栅设计 >
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Rq;R{a 2D参数优化–设计1 r!(~Y
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#ujcT%1G \A':}<Rj 2D参数优化–设计2 nwz}&nR xe
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m0 `wmM ,]o32@ 制造公差分析–设计2 0evG @#sQ7eMoy
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R\6#J0&Y- 9erTb?@S VirtualLab Fusion中的工作流程 #t9&X8:U +>{{91mN
{R&F_51)V 0^zu T •构造光栅结构 F)!B%4 −通过使用界面来配置光栅结构 k4eV*e8 [用例] h}.0Ne •分析光栅衍射效率 b5KX` r −光栅级次分析器[用例] J1g
`0XH •使用参数运行搜索初始解决方案 i |cSO2O+ −参数运行文档的使用[用例] *|MPYxJ< •通过参数优化找到最终设计 ]l`?"X|^ 3xbA]u;gp VirtualLab Fusion技术 vcqL PJO +@+"{@
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