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摘要 d g8\(G X^^ D[U 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 r:Cid*~m
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 640V&<+v [kkcV5I- 建模任务 Ap9w H[H =B %e0M  '2{o_<m 光栅特性与参数的严格分析 ~,7R*71 r26Wys i~% 不同光栅周期下的衍射效率 ~Nh7C b _ YL0RQ a
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@6 `@.iZ 关于光栅周期选择的考虑 z KT<QM!`
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 ptcU_*Gd 3-D!Z S& •构造光栅结构 ^y,ip=<5\3
−通过使用界面来配置光栅结构 8:bNFgJD
[用例] &V
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•分析光栅衍射效率 hV)I
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−光栅级次分析器[用例] ';%g^!lM
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•使用参数运行搜索初始解决方案 TXM.,5Dx\
−参数运行文档的使用[用例] sh 1fz 6g
•通过参数优化找到最终设计 $n W>]S\| 4=Z lsp VirtualLab Fusion技术 E7D
DMU !p$V7pFu6
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