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摘要 c(U xr qv@/kJ 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 FVB;\'/
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 Uz608u zf.- I 建模任务 x$wd
O O1D6^3w  xq % {} 光栅特性与参数的严格分析 )i>[M"7 `e]6#iJ ^ 不同光栅周期下的衍射效率 \dl ph .c^
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1`LXz3uBe 关于光栅周期选择的考虑 oyk>vIZ
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 )9B:wc " #5&jt@NS 偏振相关的衍射特性 /ahNnCtu?1 1|ZhPsD.}g
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z,t'if 固定周期的2D参数优化 6 P`)%zj VW@ x=m
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Ulqh@ CE) VirtualLab Fusion中的工作流程 (A/0@ f1#
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 9 1P4:6 GlR~%q-jiQ •构造光栅结构 UP2.]B!d
−通过使用界面来配置光栅结构 VY'Q|[
[用例] W"hcaa,&
•分析光栅衍射效率 L>Jd7; =
−光栅级次分析器[用例] =qoRS0Qa
•使用参数运行搜索初始解决方案 (U87}}/l
−参数运行文档的使用[用例] SFjU0*B$
•通过参数优化找到最终设计 Ie'P#e' FUeq
\Wuo VirtualLab Fusion技术 (TSqc5^H ilEi")b =
 Ff"gadRXd
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