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摘要 - (_e=3$ +1Rrkok 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 MJKl]& RC{Z)M{~
aZjef k5t^s 建模任务 %7>AcTN~ kq%gY 20l_ay 光栅特性与参数的严格分析 Y3$PQwn
.P A!W"*WT 不同光栅周期下的衍射效率 Cld<D5\|f+ sh(kRrdY3
}u-S j/K MkW1FjdP 关于光栅周期选择的考虑 c@9Z&2) ]\RSHz
Km9}^*Mo% kV\-%:- 偏振相关的衍射特性 G?-`>N-u K 5qLBz@U
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Vo9>o@FlLM R] Disljq 通过参数优化进行光栅设计 w.D4dv_H 0ck&kpL:9 固定周期的2D参数优化 ]CIQq1iY OgKWgvy
=s0g2Zv"\ 2D参数优化–设计1 Q)G!Y
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K=tx5{V 3V/_I<y 2D参数优化–设计2 U+.PuC[3 W1?!iE~tO
,TF<y#wed abICoP1zQ 制造公差分析–设计2 "J P{Q 9V=<| 2
L2CW'Hd nY{i>Y 变化光栅周期的3D参数优化 Lf^5Eo/
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il{FcHY +P[88! •构造光栅结构 ]`zjRRd −通过使用界面来配置光栅结构 N@cMM1 [用例] .-.q3ib •分析光栅衍射效率 $zC6(C(l −光栅级次分析器[用例] x*unye7 •使用参数运行搜索初始解决方案 CV!;oB&
−参数运行文档的使用[用例] x1Nme%%& •通过参数优化找到最终设计 >vQ6V'F ra]!4Kd' VirtualLab Fusion技术 5U0ytDZ2/( E x_L!9>!
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