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摘要 e=C,`&sz %|||M=akk 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ;0WlvKF J#^M
yw^,@' }?$Mh) 建模任务 |MGw$ [:Y^0[2 Yi,um-% 光栅特性与参数的严格分析 Ds$;{wl#x m{" zFD/ 不同光栅周期下的衍射效率 06r cW ` @ZWKs
Z!6G(zz:> kSrzIq<xre 关于光栅周期选择的考虑 HkCme_y" ZH*?~ #
6&cU*Io@ T!AQJ:;1 偏振相关的衍射特性 m[rJFSpef /_HL&|N_5
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p<NgT1"{ W@LR!EW) 通过参数优化进行光栅设计 (TsgVq]L #-O4x`W> 固定周期的2D参数优化 e!yt<[ph U bXz`i
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o5d)v)Rx= +Aq}BjD# •构造光栅结构 S!uyplYKF −通过使用界面来配置光栅结构 00ho*p!E' [用例] W# $rC<Jh] •分析光栅衍射效率 gw-l]@;1 −光栅级次分析器[用例] .*+&>m7 •使用参数运行搜索初始解决方案 &F)lvtt| −参数运行文档的使用[用例] wcO_;1_
H •通过参数优化找到最终设计 ;)*Drk*t, `%VrT` VirtualLab Fusion技术 MC3{LVNK :D EZ$gi
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