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摘要 5%#V>|@e# v\}s(X(J 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 X?gH(mn
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 pcC/$5FQ +!JTEKHKH 建模任务 _+*+,Vx "+sl(A3`U  6Qw5_V^0o 光栅特性与参数的严格分析 NQu .%= t M DJ,rT 不同光栅周期下的衍射效率 wOLA 8UYW l6 ~wm1vO
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Po*G/RKu4W 关于光栅周期选择的考虑 =6Q\78b
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 K*sav?c c_ Dg0 通过参数优化进行光栅设计 '?O_(%3F0 Y=$PsDh! 固定周期的2D参数优化 W20 H4!G CY</v,\:#
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 rr^?9M*{V b<27XZ@ •构造光栅结构 "L&84^lmf
−通过使用界面来配置光栅结构 MRN=-|fV^
[用例] 6m mc{kw'
•分析光栅衍射效率 K};~A?ET,h
−光栅级次分析器[用例] r) g:-[Ox9
•使用参数运行搜索初始解决方案 -LU%z'
−参数运行文档的使用[用例] ' '<3;
•通过参数优化找到最终设计 =: *2t PrhGp
_5 VirtualLab Fusion技术 0q o]nw :k Kdda<g#
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