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摘要 8WH> u32<=Q[ 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 /\9Kr;@vk
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 OLiYjYd M- -6oR7 •构造光栅结构 # ><.z Z
−通过使用界面来配置光栅结构 ~v5tx
[用例] xNx!2MrR;
•分析光栅衍射效率 Um|:AT}`^
−光栅级次分析器[用例] j\ )Qn 2r
•使用参数运行搜索初始解决方案 CfV z'
−参数运行文档的使用[用例] l[ L{m7
•通过参数优化找到最终设计 jHFdDw| N` 1mB6rp VirtualLab Fusion技术 h\yYg' CC VA]%i P,O-
 8>w/Es5
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