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摘要 *ta
``q cA1" Nek 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 E)m{m$Hb
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 7_taqcj h8oG5 |Y 建模任务 <Brq7:n| 3hr& p{/  -:`$8/A| 光栅特性与参数的严格分析 ywpk\ KFdTw{GlJ7 不同光栅周期下的衍射效率 C)`k{(-{ c4oQ4
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u~ \u8X3 关于光栅周期选择的考虑 s<[%7 6Y!
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 <QFT>#@T ^WQ.' G5Q VirtualLab Fusion中的工作流程 3maiBAOKz
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 @ofivCc<% OAO|HH •构造光栅结构 os0fwv
−通过使用界面来配置光栅结构 kx0(v1y3gT
[用例] U8 qb2'a8
•分析光栅衍射效率 8)HUo?/3
−光栅级次分析器[用例] P*Va<'{:{
•使用参数运行搜索初始解决方案 ;+]
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−参数运行文档的使用[用例] G(W/.*
•通过参数优化找到最终设计 >J!4x(;Yh "/[xak!g VirtualLab Fusion技术 tIfA]pE N,fEta6
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