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摘要 1`ayc|9BR 1-lu\"H` 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 cufH?Xg<
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−通过使用界面来配置光栅结构 n<z [J=I
[用例] 3
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•分析光栅衍射效率 ',JinE95
−光栅级次分析器[用例] r rik,qyv6
•使用参数运行搜索初始解决方案 f Sa"% 8%
−参数运行文档的使用[用例] i#v YyVr[
•通过参数优化找到最终设计 >I-RGW'A w"Gm; B4 VirtualLab Fusion技术 VJ] JjB
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