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摘要 X?kPi&ru !?n 50 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 h=Oh9zsz8
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j(K 建模任务 #Wq#beBb -7,vtd[h  !`Xt8q\r 光栅特性与参数的严格分析 N[]U%9[=2F Yd.02 7 不同光栅周期下的衍射效率 F\Y,JUn[G # a.\P.{L
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9 g4Q Vo| 关于光栅周期选择的考虑 UMv "7~
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 Io09 W ^ F1E . \l 通过参数优化进行光栅设计 U~Xf= f_Q$ X+d&OcO=q 固定周期的2D参数优化 BjwMb&a; DqRLx 85d1
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 |*Of^IkG0 a$~IQ2$|6 VirtualLab Fusion中的工作流程 Fecx';_1`
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 R|nEd/' < E"G: K`Q •构造光栅结构 @X3 gBGY)
−通过使用界面来配置光栅结构 bE LIRM9
[用例] '.=Wk^,Ua
•分析光栅衍射效率 aytq4Ts
−光栅级次分析器[用例] v<{wA`'R+
•使用参数运行搜索初始解决方案 @^'G&%j
−参数运行文档的使用[用例] hN Z4v/
•通过参数优化找到最终设计 aJEbAs} _)OA$ VirtualLab Fusion技术 ){+.8KI R)sp
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