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摘要 AaC1 ||?R B%:9 P 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 FDs^S)B
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 [P c[{( l%U_iqL& 建模任务 (My$@l973 yP9wYF^A\  S @zkoj@ 光栅特性与参数的严格分析 UQ?OD ~7 N?{1'=Om 不同光栅周期下的衍射效率 t:s q*d = *:_swd
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3 XZD4.2 关于光栅周期选择的考虑 ig _<kj;Vd
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 L Su^#B hB}h-i(u 通过参数优化进行光栅设计 ;, v L x gT~b9 固定周期的2D参数优化 27 145
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 Vp ] D ]KXMGH_ VirtualLab Fusion中的工作流程 "\/^/vn?
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 ~3bZ+*H> H\| ]!8w5Z •构造光栅结构 hH1lgc
−通过使用界面来配置光栅结构 Wyq~:vU.S
[用例] ran^te^Ks(
•分析光栅衍射效率 J}(6>iuQY?
−光栅级次分析器[用例] {+"g':><
•使用参数运行搜索初始解决方案 hr[B^?6
−参数运行文档的使用[用例] a4T~\\,dZ>
•通过参数优化找到最终设计 }{5mH: ,'C30 A*p VirtualLab Fusion技术 ss`P QN I%9bPQ
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