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摘要 :zQNnq:| b#W(&b^q 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 oR~s
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rAZ~R PrW PB;j4 建模任务 'Gqo{wl 4O7
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光栅特性与参数的严格分析 i}/Het+( eL1)_M;{ 不同光栅周期下的衍射效率 5"&=BD~D |e91KmiqJ
]VoJ7LoCZ' cuh Z_l 关于光栅周期选择的考虑 l9naqb:iP zsr; 37
4"s/T0C Huc|HL#C 偏振相关的衍射特性 jJV1 /]TJ iZE7
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lL*"N|Y xzBUm •构造光栅结构 Hd{@e6S −通过使用界面来配置光栅结构 @DK`#, [用例] }^azj>p5 •分析光栅衍射效率 ddEV@2F −光栅级次分析器[用例] }Io5&ww:U •使用参数运行搜索初始解决方案 [E0.4FLT! −参数运行文档的使用[用例] i'z(`" •通过参数优化找到最终设计 S'=}eeG tHFBLM VirtualLab Fusion技术 R/kF,}^F LUEZqIf
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