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摘要 SuMK=^>% _S7GkpoK 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 nsqc^
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QHUoAa`6v \h~;n)FI 建模任务 Vf`n> -5l74f!i ?_3K]i1IS 光栅特性与参数的严格分析 X<9jBj/t {a- p/\U 不同光栅周期下的衍射效率 RAxAy{ n{J<7I e"*
r5xu#%hgp; #G:~6^A 关于光栅周期选择的考虑 4nzUDeI3MG U{gJn#e/.
oIdMDp^$ R;,+0r^i 偏振相关的衍射特性 &Y;z[+(P ;]3Tuq
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通过参数优化进行光栅设计 d\WnuQR[ P^#<h"Ht 固定周期的2D参数优化 a*o#,T5A `{s:lf
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nm2bBX,fh 9#L0Q%,* •构造光栅结构 7KXc9:p+ −通过使用界面来配置光栅结构 a[bu{Z]% [用例] *U|K~dl]K •分析光栅衍射效率 ^cB83%<Z −光栅级次分析器[用例] GZ(
W64 •使用参数运行搜索初始解决方案 |{]W (/ −参数运行文档的使用[用例] A
J<Sa= •通过参数优化找到最终设计 B%QvFxZz E-\Wo3 VirtualLab Fusion技术 D&KRJQ/ {Hg.ctam
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