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摘要 X:lPWz!7{ [+g@@\X4 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 N-`;\ Eap/7U1Q
.KucjRI L\NZDkd 建模任务 gvNZrp>e! u!o]Co> 5lnSa+_/f 光栅特性与参数的严格分析 | ",[C3Jg S2E HmE& 不同光栅周期下的衍射效率 xn@0pL3B~ E[.tQ|C
8e!DDh KC:4 关于光栅周期选择的考虑 *Ca)RgM ttaQlEa=Z
3]<re{)J9O bz0P49% 偏振相关的衍射特性 -I-Uh{)j _1<'"u#6w
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fu<2t$Cn> ?[VpN2* 通过参数优化进行光栅设计 V.ji
_vX W Gw!Y1wq 固定周期的2D参数优化 kt{C7qpD _/}Hqh
1@^Ek8C 2D参数优化–设计1 c5E#QV0&v~ $i:||L^8p
+Y)#yGUn /J.\p/%\ 2D参数优化–设计2 :e]9T3Q `{U%[$<[W
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I\P6R` 制造公差分析–设计2 Ah>gC!F^ t{SMSp
6f?BltFaN QW~5+c9JJ 变化光栅周期的3D参数优化 $iqi:vY pAil]f6
*SkiFEoD 3`k[!! 制造公差分析 (+UmUx= +K;Y+
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[Iw>|q<e |,;twj[?4 •构造光栅结构 O:;OR'N9 −通过使用界面来配置光栅结构 [O7w = [用例] >X[|c"l. •分析光栅衍射效率 *O+R|Cdp/ −光栅级次分析器[用例] sK@Y!oF}\ •使用参数运行搜索初始解决方案 r+{d!CHq} −参数运行文档的使用[用例] .QXG"R •通过参数优化找到最终设计 /WgPXE B hIVI\U, VirtualLab Fusion技术 7-".!M 5[,+\
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