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摘要 =3|O%\ E8>Rui@9 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 .9R
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ta`N8vnf T.Ryy"%F •构造光栅结构 IX*idcxR −通过使用界面来配置光栅结构 X>NhZ5\ [用例] _^el\ •分析光栅衍射效率
emK$`9 −光栅级次分析器[用例] mjWU0Gh%* •使用参数运行搜索初始解决方案 PZ{Dv'C −参数运行文档的使用[用例] OH5>vV'i •通过参数优化找到最终设计 h3*Zfl<] UNPezHaz VirtualLab Fusion技术 3l3+A+n Z9575CI<
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