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摘要 3C_g)5
_: EF"ar 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ry~3YYEMI0 P2`ks[u+i
~{^AP >x2T' 建模任务 s3J T1TX 2i,Jnv=sR aj(M{gFq~ 光栅特性与参数的严格分析 WCR+ZXI?1 *k+QX 不同光栅周期下的衍射效率 X@~sIUXx9 ni~45WX3
JiI(?I `Z%XA> 关于光栅周期选择的考虑 X\1D[n: Z#V[N9L
6bHj<6>MX Rx`0VQ 偏振相关的衍射特性 F6%rH$aS 'O{hr0q}
&v 5yo}s }}_WZ},h
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5~rs55W f_Wn[I{ 通过参数优化进行光栅设计 nF=Ig-NX^ /f# rN_4 固定周期的2D参数优化 H.>KYiv+ S?Eg
:-6_X< 2D参数优化–设计1 ^xqh! :"QRB#EC%
BwEL\*$g &Q&$J )0 2D参数优化–设计2 !. 0W?6yo \[>Rt
A@DIq/^xM q5HHMHB 制造公差分析–设计2 *-P@|eg niA{L:4
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g \{UiGCK 变化光栅周期的3D参数优化 `q
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P AKh v.7 =%]dk=n?TN 制造公差分析 }'@*Ol j SnXYq7`t
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5k\61(*s Ql\GL" •构造光栅结构 nKHyq\ −通过使用界面来配置光栅结构 54'z"S:W [用例] W5yqnjK
$4 •分析光栅衍射效率 `[:f;2(@ −光栅级次分析器[用例] sxuYwQ •使用参数运行搜索初始解决方案 6~2!ZU −参数运行文档的使用[用例] G4=v2_] •通过参数优化找到最终设计 UnO -? RWoa'lnu
VirtualLab Fusion技术 +Uk/Zg
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