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摘要 ^/r7@: NUp<e%zB 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 gM
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YxP&7oq Rb.SY{}C 建模任务 _ ]Z s,Hy [Nk3|u`h  ~m$Y$,uH 光栅特性与参数的严格分析 m&?#;J|B$ ( vca&wI! 不同光栅周期下的衍射效率 - :na: Vsi t]YC"% [S
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1~PV[2a 关于光栅周期选择的考虑 THS.GvT9[
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&2{ tF s=0BMPDgm •构造光栅结构 z}*9uZ
−通过使用界面来配置光栅结构 *q-['"f
[用例] HBu[gh;b
•分析光栅衍射效率 : {q < {^c
−光栅级次分析器[用例] $3s@}vLd
•使用参数运行搜索初始解决方案 d'G0m9u2
−参数运行文档的使用[用例] \uaJ @{Vug
•通过参数优化找到最终设计 CnG+Mc^ Y07ZB'K VirtualLab Fusion技术 G JoS #s ! q M=a3
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