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摘要 @:B}QxC 'Lu xF1> 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ~`Vo0Z*S
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 YahW%mv`d h+!R)q8M 建模任务 G9xO>Xp^Al Het>G{  6Y6t.j0vN. 光栅特性与参数的严格分析 gBWr)R a%a0/!U[ 不同光栅周期下的衍射效率 Z8/.I R>~I8k9mM
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6vTnm4 关于光栅周期选择的考虑 8[t*VIXI
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#cW : 0 4 VirtualLab Fusion中的工作流程 YSfJUB!I
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−通过使用界面来配置光栅结构 aMkuyqPf{
[用例] xI#rnx*
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−光栅级次分析器[用例] &%)F5PT
•使用参数运行搜索初始解决方案 #D?w,<_8,
−参数运行文档的使用[用例] QuI!`/ N)z
•通过参数优化找到最终设计 rFm ?Bu ^' Rs`e VirtualLab Fusion技术 >\J<`  $nIE;id k
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