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摘要 - (_e=3$ +1Rr kok 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 M JKl]&
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 aZjef k5t^s 建模任务 %7>AcTN~ kq% gY  20 l_a y 光栅特性与参数的严格分析 Y3$PQwn
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il{FcHY +P [88! •构造光栅结构 ]`zjRRd
−通过使用界面来配置光栅结构 N@cMM1
[用例] .-. q3ib
•分析光栅衍射效率 $zC6(C(l
−光栅级次分析器[用例] x*unye7
•使用参数运行搜索初始解决方案 CV!;oB&
−参数运行文档的使用[用例] x1N me%%&
•通过参数优化找到最终设计 >vQ6V'F ra]!4Kd' VirtualLab Fusion技术 5U0ytDZ2/( E x_L!9>!
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