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摘要 I,DS@SK bWS&Yk( 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 O\tb R= ~P
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M0"_^? zI uJ-8T" 建模任务 ttQGoUkj RBd7YWo\|j n&/
` 光栅特性与参数的严格分析 ^
+\dz hfB%`x#akQ 不同光栅周期下的衍射效率 ty!`T+3 (,2SXV
LOYk9m BOX2O.Pm 关于光栅周期选择的考虑 2pCaX\t e%M;?0j
2tO,dx R29~~IOqO 偏振相关的衍射特性 {YC@T(
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/nsX]V6i h#*dI`>l- 通过参数优化进行光栅设计 .{^5X)
T::85 固定周期的2D参数优化 WU`
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~?}Emn;t 2D参数优化–设计1 %1L,Y @mBQ?;qlK
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"S]TP$O D Llo"MO*sr 制造公差分析 xC TML!H R n[cW5Y<
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<l7ZS: [用例] eauF~md, •分析光栅衍射效率 4[eXe$ −光栅级次分析器[用例] +<C!U' •使用参数运行搜索初始解决方案 =H8;iS2R −参数运行文档的使用[用例] L4HI0Mx •通过参数优化找到最终设计 bn5 Su=] p5iuYHKk? VirtualLab Fusion技术 :F?C)F Lf&kv7Wj
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