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摘要 !rs }83w! Hs$HeAp; 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 dDSb1TM Yecdw'BW? ]#[4eaCg Pl!E$
建模任务 <& 3[|Ca ,cxe"U \[qxOZ{ 光栅特性与参数的严格分析 ~+d{:WY #eN2{G=4+ 不同光栅周期下的衍射效率 "uP*pR^ ]8R@2L3s tAo$;| 1ni72iz\ 关于光栅周期选择的考虑 :Jf</uP_ *- ~GVe am!ssF5s s?s,wdp 偏振相关的衍射特性 ,;hpqu| FaWDAL=Vhk ,}khu Pwj|]0Y@
* ] 3M(*q4A$" .#Nf0 e`U
6JzC 通过参数优化进行光栅设计 "+4Jmf9 WO{7/h</ 固定周期的2D参数优化 :/%Y"0 Kxa1F,dZ l.]wBH#RS 2D参数优化–设计1 3UmkFK< "g)bNgGV} &SPY'GQ! glc<(V 2D参数优化–设计2 PNd'21N Ywv\9KL [3qH?2& h_ccE6]t 制造公差分析–设计2 v&(=^A\eN wsQ],ZE 5M~+F"Hl 4X*U~} 变化光栅周期的3D参数优化 d(XOZF l`l6Y>c*] ?%su?L 7sQHz.4 制造公差分析 !;mn]wR>a N$#~& t2vm&jk 2}XRqa.| 走进VirtualLab Fusion 3uxf n=E oJ*,a lwgwdB $Zo|ta^ VirtualLab Fusion中的工作流程 $M4Z_zle) P_0[spmFU )eT>[['fm t_xK?`` •构造光栅结构 P
qC#[0Qy −通过使用界面来配置光栅结构 ||*F.p [用例] R4VX*qkB •分析光栅衍射效率 m,t{D,
2 −光栅级次分析器[用例] IDJ2epW*; •使用参数运行搜索初始解决方案 +ctU7
rVy −参数运行文档的使用[用例] fCN+9!ljG` •通过参数优化找到最终设计 ,wM}h <uS/8MP{ VirtualLab Fusion技术 OI6Mx$ *xpn-hCp< 2Sa{=x
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