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摘要 `7?EE1o
?V(+Cc 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 tDMNpl lg{/5gQG
zH#urF6< 3BF3$_u)o 建模任务 L!`PM.:9 UgZL<} U8,pe;/ln` 光栅特性与参数的严格分析 (rq(y$N mHH>qW{` 不同光栅周期下的衍射效率 'tjqfR 1?Tj
`lt[Q>Z T`]P5Bk8r 关于光栅周期选择的考虑 CT'#~~QB $H&:R&Us
/bo`@ !-# gg Nvm 偏振相关的衍射特性 "g!ek3w( Az:A,;~+,!
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ySF^^X$J \BO6.;jA 通过参数优化进行光栅设计 nUisC5HW |.-Muv 固定周期的2D参数优化 2zuQeFsK VSh&Y_%
<|w(Sn 2D参数优化–设计1 rFp>A`TJ QUh`kt(E
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gP |>gy#e i)$<j!L 制造公差分析–设计2 ?I\,RiZkz^ n9R0f9:*
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Fh|{ib usC$NVdm •构造光栅结构 z%\&n0 −通过使用界面来配置光栅结构 $dA]GWW5A [用例] *kEzGgTzoS •分析光栅衍射效率 *%E\mu,,c −光栅级次分析器[用例] \NKQ:F1 •使用参数运行搜索初始解决方案 f[ia0w5 m −参数运行文档的使用[用例] syI|gANT/r •通过参数优化找到最终设计 2u+!7D!w$ mkl^2V13~ VirtualLab Fusion技术 %Y>E 8 )n g> l
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