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摘要 O_ r-(wE4 =e Y 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 o Tvg%bX
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 IgJG,!>h \GHj_r 建模任务 n=b!c@f4 Pj q9BK9p  B[mZQ&Gz`a 光栅特性与参数的严格分析 5q4wREh .Od@i$E>& 不同光栅周期下的衍射效率 L ntRLB' Ox
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\,m*CYs` •构造光栅结构 O#!|2qN
−通过使用界面来配置光栅结构 71IM`eL=ED
[用例] >,Z n~8&Z
•分析光栅衍射效率 c<Ud[x.
−光栅级次分析器[用例] _9=cxw i<w
•使用参数运行搜索初始解决方案 D#,A_GA{A
−参数运行文档的使用[用例] k8+U0J_ {'
•通过参数优化找到最终设计 vwAhNw2- U.Z5;E0: VirtualLab Fusion技术 tr A ^JY oFzmH!&ED
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