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摘要 @>2i+)=E5 Vd+T$uC 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Pw`8Wj w;:*P
/dI&o,sA X[BIA+6 建模任务 TpwkD_fg +.b,AqJ/ 9`X\6s 光栅特性与参数的严格分析 #rQ2gx4 Ad9}9!< 不同光栅周期下的衍射效率 6Vnsi%{ M; tqp8
&d?CCb$|0Y `MN4uC 关于光栅周期选择的考虑 V1`o%;j u?<%q!
'"/=f\)u [
=9T*Sp 偏振相关的衍射特性 sW'AjI Y0dEH^I
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+RM SA^ SaAFz&WRl 通过参数优化进行光栅设计 .*S#aq4S ub#a` 固定周期的2D参数优化 Ru!iR#s)! G+"t/?/
N&+x+;Kx 2D参数优化–设计1 ?*1uN=oI{* ;oKZ!ND
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y@: h4u"3 ^?7-r6 制造公差分析–设计2 p6]1w]*R ):6 8%,
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+_?hK{Ib" R'bTN|Cq 走进VirtualLab Fusion FxtQXu-g r6MMCJ|G
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y-D16V VirtualLab Fusion中的工作流程 :uq\+(9 Jr
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n.`($yR_ 6ryak!|[ •构造光栅结构 qo90t{|c −通过使用界面来配置光栅结构 :0j?oY~e [用例] z0p*Z& •分析光栅衍射效率 8 S:w7Hr −光栅级次分析器[用例] +,TRfP
Fb •使用参数运行搜索初始解决方案 pMx*F@&nU −参数运行文档的使用[用例] uGf@ •通过参数优化找到最终设计 ~q@|l3?$ G_3O]BMKd) VirtualLab Fusion技术 L%*!`TN W#4 7h7M
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