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摘要 ~E*`+kD !/wR[`s9w 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 &0*IN
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}RN&w]< u!D AeE 建模任务 tC4 7P[b 2}8xY:|@(U Z0Df~ @ 光栅特性与参数的严格分析
I'>r \SQ wIM 不同光栅周期下的衍射效率 b@m\ca t-3y`31i.
\'.#of _5JwJcQ 关于光栅周期选择的考虑 &(t/4)IZox 3gNVnmZG
`D9AtN] R RT$.r5l_@ 偏振相关的衍射特性 'v:%} qMv Fg<rz&MR
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]<pl 通过参数优化进行光栅设计 Qkq9oZ mH\eJ 固定周期的2D参数优化 5^7q
2". sm>5n_Vw
E0-<-w3' 2D参数优化–设计1 i |IG sfwlv^
I|oS`iLl$ ^;=L|{Xl 2D参数优化–设计2 NsY D~n 6x 8P}?
1@L|EFa !=yNj6_f 制造公差分析–设计2 mpysnKH TqN4OkCm/
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32KL~32Y |NoTw K 制造公差分析 l6O8:XI Y&JK*d
do>,ELS+m oR_qAb 走进VirtualLab Fusion YN >k5\M_v 4UV<Q*B\F
- IF3'VG s%c>Ge VirtualLab Fusion中的工作流程 Sh+$w=vC isiehKkD
3j2#'Jf|: U'K{>"~1a •构造光栅结构 quGvq"Y> −通过使用界面来配置光栅结构 GL<u#[ [用例] /-v6jiM •分析光栅衍射效率 UBZ37P −光栅级次分析器[用例] q*E<~!jL •使用参数运行搜索初始解决方案 #lld*I"d −参数运行文档的使用[用例] <*'%Xgm •通过参数优化找到最终设计 t6JM% ].e4a;pt VirtualLab Fusion技术 A)j',jE&1 2/ES.>K!.
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