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摘要 4sVr]p` d^&F%)AT 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 aWLeyXsAu f>u{e~Q,
Tz=YSQy$9 /R_*u4}iD 建模任务 $rZ:$d.C `f@VX
:aL} )A`Zgg'L7D 光栅特性与参数的严格分析 :\0q\2e[< CKAs3", 不同光栅周期下的衍射效率 -*?Y4}mK %Jrdr`<
yrDWIU(8;6 4LCgQS6 关于光栅周期选择的考虑 ]g>@r.Nc [N|/d#
KAR XC,z doCWJ 偏振相关的衍射特性 LNp%]*h ,tEvz
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_{EO9s2FG &h7q=-XU 通过参数优化进行光栅设计 ~urV`J + *YGsM`E9 固定周期的2D参数优化 @G
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728}K^7: 2D参数优化–设计1 u}QB-oU WC!b B
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wHW";3w2~ GHHErXT\a 变化光栅周期的3D参数优化 e75k- U!F~><
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pti`q) }DTpl?l •构造光栅结构 9&A-o −通过使用界面来配置光栅结构 M/5e4b [用例] &nk6_{6
c •分析光栅衍射效率 40pGu −光栅级次分析器[用例] M}4%LjD •使用参数运行搜索初始解决方案 j380=?7 −参数运行文档的使用[用例] >n@?F[ Y •通过参数优化找到最终设计 ~UjFL~K} /"?y @;Y~ VirtualLab Fusion技术 lgZ3=h sk~rjH]-g$
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