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摘要 OtY`@\hy nxY\|@ 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 V8e>l[tH sW Qfr$^A
QgrpBG T!-\@PB ! 建模任务 F;>V>" edl iMt:9|yF}8 }elc `jj 光栅特性与参数的严格分析 @v$Y7mw3D qsF<!'m7` 不同光栅周期下的衍射效率 ZWii)0'PV ~{*7"o/
+ylTGSZS -B>++r2A^ 关于光栅周期选择的考虑 Zvhsyz| pny11C
`^91%f `0rd26Qro 偏振相关的衍射特性 F@^~7ZmP` x9NEFtqjm
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9 ^o-EC!_ ImCe K 通过参数优化进行光栅设计 lNNv|YiL Dw|}9;5:A 固定周期的2D参数优化 fTzvmC:g7 "lQ*1.i
|o,YCzy|5 2D参数优化–设计1 tWo{7) Eb @)IjNplYkw
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9Kr+\F 'AzDP;6qFI •构造光栅结构 U0=] −通过使用界面来配置光栅结构
rL/H2[d [用例] r/& sub"X •分析光栅衍射效率 uC.K<jD% −光栅级次分析器[用例] AoY-\E •使用参数运行搜索初始解决方案 c?P?yIz6p −参数运行文档的使用[用例] H|,Oswk~- •通过参数优化找到最终设计 5>VY LI %R1 tJ( / VirtualLab Fusion技术 U QE qX =,%CLS,6w
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