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摘要 =2x^nW RD&PDXT4 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 m#p'iU*va, u]@['7
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$ kG*~|ma 建模任务 A+{VGP^ 2J;g{95z v &+R^iLE 光栅特性与参数的严格分析 bZV/l4TU !|>"o7 不同光栅周期下的衍射效率 #_ lDss zx7{U8*`<
T6k0>[3xf ?bu>r=oIO] 关于光栅周期选择的考虑 LOJAWR9$^U rVsJ`+L
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GuL<Z1<c #3d(M 通过参数优化进行光栅设计 6LZ;T.0o `@s^(hc7i 固定周期的2D参数优化 f y8Uk; VLN_w$iEq
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G9@0@2aY8 vSLtFMq^( VirtualLab Fusion中的工作流程 pcI uN j$5LN.8J
RY*U"G0#w 7})[lL`\s •构造光栅结构 y L~W.H −通过使用界面来配置光栅结构 B48={ [用例] dcWD(- •分析光栅衍射效率 -C&P%tt Y −光栅级次分析器[用例] HiJE}V;Vq •使用参数运行搜索初始解决方案 )sQ*Rd@t[8 −参数运行文档的使用[用例] *G9V'9 •通过参数优化找到最终设计 8kDp_si BJo*'US-Q VirtualLab Fusion技术 n@[O|?S ]:/Q]n^
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