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摘要 E$p+}sP (C XU(eEnmo m 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 A^<jy=F&
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 ]~3V}z,T* aAUvlb 建模任务 DEZve Qr= QhJiB%M  >pe.oxY 光栅特性与参数的严格分析 tK\~A,= ;u)I\3`* ! 不同光栅周期下的衍射效率 DN:EB @ [ Z $[rOF
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^k9I(f^c-_ 关于光栅周期选择的考虑 @E|}Y
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 fI|Nc <wD-qT W 通过参数优化进行光栅设计 }0 Ed ] f4|rVP|x 固定周期的2D参数优化 IjnU?Bf 7- fb.V9
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 &s>Jb?_5Mx M x" \5i •构造光栅结构 1<aP92 /N&
−通过使用界面来配置光栅结构 k)TpnH! "
[用例] Q\sK"~@3
•分析光栅衍射效率 cQ}{[YO
−光栅级次分析器[用例] deh*Ib :(S
•使用参数运行搜索初始解决方案 !&@615Vtw
−参数运行文档的使用[用例] qwAT> 4
•通过参数优化找到最终设计 Bd py:'fJn QIFgQ0{ VirtualLab Fusion技术 rEz^ k$:|- _(w
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