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摘要 uzjP!qO V*HkFT 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 i|A0G%m] $ t_cNH@^3<3
AdV&w: ^yf Fy_D[g 建模任务 uh#"4-v H]2cw{2 5{?J5 光栅特性与参数的严格分析 ;G !JKg QEo
i9@3 不同光栅周期下的衍射效率 U'8+YAgc 3gN#[P
NVqJN$z CsfGjqpf 关于光栅周期选择的考虑 [k qx%4q) fHK`u'
q5<'pi iupuhq$] 偏振相关的衍射特性 A"Q6GM2;Io q^5j&jx Vl
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S+aXlb 1yHlBeEC 通过参数优化进行光栅设计 )nncCUW BC|=-^( 固定周期的2D参数优化 $J]VY;C! |T!ivd1G
dV_ClH &) 2D参数优化–设计1 [N]5)n iKs @oHW
NrQGoAOw Ll4/P[7:? 2D参数优化–设计2 (t$jb|Oa Pv@P(y?\
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ollJ#i9 Tvdg:[V< 制造公差分析 `XT8}9z! V 5ve
_[J @w .l( q6R`` 走进VirtualLab Fusion ,0j7qn@tm [WZGu6$SU
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ip #Tm^$\*h\] VirtualLab Fusion中的工作流程 ,gag_o{*a a| w.G "W
TU-aL Q}/2\Q=)j •构造光栅结构 F6g)2&e{/ −通过使用界面来配置光栅结构 ..Q$q2. [用例] Ii*tux!S •分析光栅衍射效率 QkY]z~P4 −光栅级次分析器[用例] ,q[aV 6kO •使用参数运行搜索初始解决方案 0j@nOj(3 −参数运行文档的使用[用例] _f^JXd,7v •通过参数优化找到最终设计 |DB7o+4 c%?31t VirtualLab Fusion技术 E[IjeJB5 WR5@S&fU`
/RWQ+Zf-Y]
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