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摘要 xAn|OSe 6is+\ 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 F*:H&, X0$?$ta
<`A!9+ H3JDA^5 建模任务 LzB*d dW^#}kN7V eo"XHP7ja 光栅特性与参数的严格分析 r"5\\ qf5* ]<fZW"W<q 不同光栅周期下的衍射效率
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*nd!y' 关于光栅周期选择的考虑 ydzvjp= fjQIuM
L#_QrR6Sny VOmS>'$ 偏振相关的衍射特性 KZ [:o,jp> H[r6 4~Sth
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6SSrkj }U t 9.iWIr 通过参数优化进行光栅设计 @oMl^UYM= (L<G=XC 固定周期的2D参数优化 J \I`# wmX * n'l
JCITIjD7= 2D参数优化–设计1 k0DX|O8mXV ".fnx8v,
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072`i46 mw=keY9] 制造公差分析–设计2 jATN):8W sJLJVSv8c
[#2z=Xg z#olKBs 变化光栅周期的3D参数优化 3],[6%w lN::veD
SjU0Xb)[ of.=n 制造公差分析 <$'FTv d[KG0E5`
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@1 )][r-7 G]fx3= •构造光栅结构 EXbhyg −通过使用界面来配置光栅结构
0GiL(e| [用例] @X0$X+]E*8 •分析光栅衍射效率 l,M? −光栅级次分析器[用例] ob>2SU[Y •使用参数运行搜索初始解决方案 W6uz
G −参数运行文档的使用[用例] cH\.-5NQ •通过参数优化找到最终设计 e?!A]2 FDO$(& VirtualLab Fusion技术 /=ro$@ VSa#X |z
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