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摘要 }<H0CcG U~<~>^[ 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 \Jr7Hy1; Ng\]
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MS JE[J}-2 建模任务 r} a, 3}i(i0+ fZ pUnc 光栅特性与参数的严格分析 ??g
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`yH l gTw>r 不同光栅周期下的衍射效率 uSNlI78D DbH'Qs?z
S| l%JM^ -KiI&Q 关于光栅周期选择的考虑 kC0^2./p ^xF-IA#ZeB
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_K S 偏振相关的衍射特性 v cb}Gk jGOE
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ag"Nf-o/Y sm;\;MP*yH 通过参数优化进行光栅设计 -|/*S]6kK 604^~6 固定周期的2D参数优化 4d
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9lSs;zm{Q 2D参数优化–设计1 _t\)W(E& 5@{~830
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^TCfj^FP MHAWnH8 变化光栅周期的3D参数优化 >D*%1LH~V Ox"SQ`nSj'
&%` 0&y !i?aRI/6 制造公差分析 S *K0OUq aUEnQ%YU"
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2>F •构造光栅结构 k= oCpXq^ −通过使用界面来配置光栅结构 t{Gc,S!]5 [用例] td\'BV •分析光栅衍射效率 &cB+la\_ −光栅级次分析器[用例]
:A]CD( •使用参数运行搜索初始解决方案 4W36VtQ@E −参数运行文档的使用[用例] .Sjg •通过参数优化找到最终设计 %pr}Xs(-f CGJ>j}C VirtualLab Fusion技术 L$
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