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摘要 4) 9X) Qx ZH:#~Zyj 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Q+ G =f
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 Q*$x!q !l6B_[!@ 建模任务 O0b8wpF f K r]!BI?z  jopC\Z 光栅特性与参数的严格分析 Ta M,9MAu \"Sqr(~_ 不同光栅周期下的衍射效率 vR1%&(f{ RWTv,p LK
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`-EN Kr] 关于光栅周期选择的考虑 R52q6y:<x
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 89 (k<m ]U xx_1$, •构造光栅结构 $k!@e M/R
−通过使用界面来配置光栅结构 S%%>&^5
[用例] ;UP w;'
•分析光栅衍射效率 $~ItT1k_
−光栅级次分析器[用例] _r,# l5~U
•使用参数运行搜索初始解决方案 'Z&A5\~
−参数运行文档的使用[用例] )0d3sJ8
•通过参数优化找到最终设计 Uw)K [T n!tC z<v VirtualLab Fusion技术 lXz<jt@5 R`$Odplh>
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