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摘要 _JA.~edqM pJx88LfR
当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 g6$X { Xd>4n7nb$`
p%CAicn N\Byg jw| 建模任务 ZGa>^k[: b7{)B?n
GWgjbp 光栅特性与参数的严格分析 b&A+`d AZxx%6 不同光栅周期下的衍射效率 PIn' tV `~[zIq:}7
VcT(n7 H1f){L97wR 关于光栅周期选择的考虑 u#?K/sU ;g: TsYwM
Z$Ynar Y:]~~-f\~ 偏振相关的衍射特性 Eu\&}n`i ;Yyg(Ex
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m,$oV?y>j FZz\zp 通过参数优化进行光栅设计 BD[XP`[{ RyC]4QyC 固定周期的2D参数优化 |&3m '"( 5[esW
<P ~+H>; 2D参数优化–设计1 oDTt+b 07Yh
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||cG/I&, ~!&WK,k6 制造公差分析–设计2 Z,qo
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$:s1x\ol %F9%t 变化光栅周期的3D参数优化 V"*|`z) Z_D8}$!
(EIdw\ c~b[_J) 制造公差分析 ~d^+yR- WZ'8{XY8
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C;}~C:aJ .6+j&{WNo! VirtualLab Fusion中的工作流程 bdk"7N 9kuL1tcY
U")~bU 7gfNe kr~W •构造光栅结构 cBBc^SR −通过使用界面来配置光栅结构 PQ<""_S|| [用例] X{P_HCd •分析光栅衍射效率 FF6[qSV −光栅级次分析器[用例] rXuhd [!(P •使用参数运行搜索初始解决方案 DGj:qd( −参数运行文档的使用[用例] m:d
P, •通过参数优化找到最终设计 ]
NL-)8u Y[i> VirtualLab Fusion技术 O9oYuC :q v#@"Evh7
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