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摘要 F8J\#PW 8CUl |I ~ 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ,Vy_%f n){u!z)Al
7yal T. ~X-v@a 建模任务 %~\I*v04 6RfS_ CN6b982& 光栅特性与参数的严格分析 &r!jjT ?s]?2>p 不同光栅周期下的衍射效率 nFjaV`6`@ q4niA
R=C+] 2E.D0E Cu 关于光栅周期选择的考虑 +;a\
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(r-PkfXvIf |~+bbN|b 偏振相关的衍射特性 gb26Y!7% _o-01gu.
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,[u.5vC }O:l]O` 通过参数优化进行光栅设计 FXbalQ?^ : n\D 固定周期的2D参数优化 Sj;:*jk!h 9-.`~v
oYX#VX 2D参数优化–设计1 H,)2Ou-Wn N#^o,/
Lmc"qFzK =BBqK=W.d 2D参数优化–设计2 m$bNQ7 ?e hUGvV2
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$6pL 变化光栅周期的3D参数优化 gal.<SVW $B@K
*%QTv3{ bAL!l\&2 制造公差分析 !qJ|`o Y _UUp+Hz
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#}zL?s^G "3VMjF\ VirtualLab Fusion中的工作流程 !Baq4V?KN ?)XPY<
#VM-\02o !S[7IBk% •构造光栅结构 z*&r@P
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−通过使用界面来配置光栅结构 G 8F43!< [用例] )-d&XN7 •分析光栅衍射效率 N2`u
]*"0 −光栅级次分析器[用例] !e:HE/&>i •使用参数运行搜索初始解决方案 }P"JP[#E\ −参数运行文档的使用[用例] -W XZOdUjs •通过参数优化找到最终设计 VTxLBFK; 30$Q5]T VirtualLab Fusion技术 JS! x2H?B`5
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