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摘要 l;8t%JV5 u@a){A(P 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 bG;fwgAr ,EqQU| VQ= 5Cf!NNV 建模任务 5epI'D mh+T!v$[n) aq,1'~8XR 光栅特性与参数的严格分析 @N'n>8Wn _[:6.oNjIe 不同光栅周期下的衍射效率 *,u3Wm|7 $QbJT`,mr 5"%.8P LKN7Lkl 关于光栅周期选择的考虑 `Fqth^RK?p 5(;Y&?k D?Oe";"/ .:_'l)- 偏振相关的衍射特性 pyEQb# EEe$A?a; zCs34=3D[ )@]%:m!ER iSfRJ:_&6 >`QBN1 Y HG"ZN)~ .G/Rh92 通过参数优化进行光栅设计 zDFNx:h .jRI
$vm 固定周期的2D参数优化 }n)0}U5;0 74e=zW? XQ1]F{?/H 2D参数优化–设计1 C T~6T&' lKbWQ> jN6V`Wh_ O:BdZ5
b 2D参数优化–设计2 74^v('-2 hs6pp/h> |# 0'_ U~
X 制造公差分析–设计2 Y e0,0Fpw PRfq_:xy #H$lBCWI kBP?_ O 变化光栅周期的3D参数优化 lpT&v;$` MqJTRBs% ]9!y3"..W{ AKk=XAG W 制造公差分析 @Y0ZW't Q#MB=:0{ qrMED_(D @9^OHRZX 走进VirtualLab Fusion ~[=<Os f
)Lcs bQD8#Ml1 .!q_jl%U VirtualLab Fusion中的工作流程 hp f0fU >H+tZV QN*|_H@h cvcZ\y •构造光栅结构 y\v#qFVOZ −通过使用界面来配置光栅结构 R*GBxJaw [用例] &JX<)JEB=< •分析光栅衍射效率 cGm3LS6]* −光栅级次分析器[用例] l/k-`LeW •使用参数运行搜索初始解决方案 Cm;cmPPl −参数运行文档的使用[用例] %OoH<\w
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•通过参数优化找到最终设计 ;*?>w|t}w ##mZ97>$ VirtualLab Fusion技术 *iB&tWv ,^bgk
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