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摘要 te3}d'9&| hp#W9@NR 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 BQ=PW|[ E^vJ@O
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P* lQRA 建模任务 !a7[8& U*22h` S N+Y]st+ 光栅特性与参数的严格分析 P(+&OoY2 2w["aVr
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Q- 关于光栅周期选择的考虑 H."EUcE{ -Z 4e.ay5
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Kx;eaz:gx 05b_)&4R 制造公差分析 ,
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mOy^vMa wr$M$i: •构造光栅结构 ST:A<Da" −通过使用界面来配置光栅结构 [lWQ'DZ [用例] /aZ+T5O •分析光栅衍射效率 5=v}W:^v. −光栅级次分析器[用例] ow_W%I=6 •使用参数运行搜索初始解决方案 {^CY..3
A −参数运行文档的使用[用例] lij.N)E •通过参数优化找到最终设计 -likj#Z YQHw1 VirtualLab Fusion技术 [d(U38BI 5-aj2>=7
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