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摘要 sW`iXsbWM> $k=rd#3 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 udr'~,R w5R9\<3L
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> _) a7% 建模任务 wC@U/? Gwk@X/q V:np cKpu 光栅特性与参数的严格分析 }z@hx@N/ Qd=/e pkm 不同光栅周期下的衍射效率 :9>nY
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E_*T0&P.P 1O{67Pf 关于光栅周期选择的考虑 nI` 1@vB& sbb{VV`I
3c"{Wu-} v2SsfhT 偏振相关的衍射特性 n6dg
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WV5R$IqY c73ZEd+j 通过参数优化进行光栅设计 Xp@OIn #]a0 51Y 固定周期的2D参数优化 Ds$;{wl#x m{" zFD/
06r cW ` 2D参数优化–设计1 w}0PtzOe 0_)\ e
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[VHt#JuN, 6{ Eh={:b VirtualLab Fusion中的工作流程 ?xega-l a'r\e2/e?H
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D7P1 •构造光栅结构 tVwN92*J −通过使用界面来配置光栅结构 c_i;' [用例] G5Nub9_*X •分析光栅衍射效率 Y2fs$emv −光栅级次分析器[用例] H3b`)k
sFr •使用参数运行搜索初始解决方案 ~V5jjx* −参数运行文档的使用[用例] j
yE+?4w; •通过参数优化找到最终设计 v2^CBKZ+ }0o0 "J-$ VirtualLab Fusion技术 [?A0{#5)8x j&r5oD;
/$KW$NH4z
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