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摘要 \x8'K qyY/:&E, Z 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 uCWBM kp)1s>c
H$zD k h}oV)z6 建模任务 ZNDjk 3JF" O+@ g- INhzMu 光栅特性与参数的严格分析 9m%+ 6#| 6\QsK96_ 不同光栅周期下的衍射效率 +' .o .SWn/Kk
,LU|WXRB 6D*x5L-1o 关于光栅周期选择的考虑 Fj&8wZ)v) h{ EnS5~
+xYg<AFS `cRRdD:dA 偏振相关的衍射特性 ZYTBc#f Ui"3'OU'
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a{kLAx[> r!p:73L8 通过参数优化进行光栅设计 d}^hZ8k| ofCN[u 固定周期的2D参数优化 XpT~]q} Yjx4H
[O3)s] | 2D参数优化–设计1 ^8g<>,$ *!}bU`
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42PA?^xPw }I~)o!N%7 制造公差分析 >\s+A2P *HQ>tvUh
D+4$l+\u 3?wL)6Uj8J 走进VirtualLab Fusion lnrs4s Km Y\9zjewc
f"G-',O< *7yrm&@nG VirtualLab Fusion中的工作流程 p3cb_ poS=8mN8;
O|&SL03Z8 VVi3g •构造光栅结构 jG/@kh*m −通过使用界面来配置光栅结构 ua%j}%G( [用例] r]bG,?| •分析光栅衍射效率 rCdTn+O2 −光栅级次分析器[用例] ?#/~BZR! •使用参数运行搜索初始解决方案 f2i9UZ$=e! −参数运行文档的使用[用例] _qSVYVJ u •通过参数优化找到最终设计 6oq/\D$6~ ##yH*{/& VirtualLab Fusion技术 8 v<*xy -b'/}zz
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