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摘要 M-{b L[`R8n1C 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 .`:oP&9r Z|V"8jE
4x=V|" VaOpO8y` 建模任务 d/"gq}NT Ry3+/] r)) $XM 光栅特性与参数的严格分析 A@9U;8k |Ba4 G` 不同光栅周期下的衍射效率 Fr1;)WV lCM6T;2ID
|!?2OTY tI/mE[W 关于光栅周期选择的考虑 2U-#0,ll] 6n2Vx1b
GN"M:L^k` )^*9oqQ 偏振相关的衍射特性 .6lY*LI L,s|gtv
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;oN{I@}k ~9`^72 通过参数优化进行光栅设计 |G`4"``]k 9,Crmbw8 固定周期的2D参数优化 u|_ITwk $@+p~ )r(l
M"$jpBN* 2D参数优化–设计1 7Va#{Y;Zy N"q+UCRC
J4Q)`Y\~ *IMF4x5M 2D参数优化–设计2 Zi[{\7a mh!N^[=n
G#9o? N\CEocU 制造公差分析–设计2 nzQYn r{Qs9
=F^->e0N ~PU1vbv9T 变化光栅周期的3D参数优化 $ ufSNx(F jm#F*F vL
d[P>jl%7 IGF37';; 制造公差分析 b]tA2~e q N[\J7Pz9
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#(26t _a )\I? EU8 •构造光栅结构 !S >|Qh −通过使用界面来配置光栅结构 :#Ex3H7 [用例] dc\u$'F@S •分析光栅衍射效率 =Nv=Q mO −光栅级次分析器[用例] ga2Q3mV •使用参数运行搜索初始解决方案 pdcwq~4~% −参数运行文档的使用[用例] 5b{yA~ty •通过参数优化找到最终设计 =?`y(k4a I 1VEm?CQ VirtualLab Fusion技术 5u
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