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摘要 SSH ))zJ 3e &H ) 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ,e\' Y!'
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I6 建模任务 )EQWc0iKG akg$vHhK4  =.19 7)e 光栅特性与参数的严格分析 nn'a` N NN(ZH73 不同光栅周期下的衍射效率 dO/iL 7K& ^Pqj*k+F
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N]gJ ( g 关于光栅周期选择的考虑 MDkcG"O
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−通过使用界面来配置光栅结构 }dv$^4
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[用例] +aY]?]
•分析光栅衍射效率 d76nyQKK
−光栅级次分析器[用例] RIm8PV;N
•使用参数运行搜索初始解决方案 -eE r|Gs)
−参数运行文档的使用[用例] zf4\V F
•通过参数优化找到最终设计 1]&FB{l a,f f8Qm VirtualLab Fusion技术 o;[?b'\[d $@Bd} 35 J
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