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摘要 B
(1,Rq[ 3] qlz?5 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 >$mSF Jz5S
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 ~}5Ml_J$,l Y(y 9l{' 建模任务 A(n=kx {}pqxouE  cY2-T#rL 光栅特性与参数的严格分析 O^}v/ }d ?*'$(}r3 不同光栅周期下的衍射效率 z9ShP&^4[ |)q K
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5(|M["KK~ 关于光栅周期选择的考虑 ^V}R(gDu}s
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 T'M6 6kg DnHAm q] 偏振相关的衍射特性 F d[h9 G AD@PNM
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6.lb\ 通过参数优化进行光栅设计 >C3NtG vy V->%)d3i 固定周期的2D参数优化 Iv(Qa6( $W$# C TM
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 sz/ *w 7 " #pzZ)Zh VirtualLab Fusion中的工作流程 YZGS-+
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 sS2_-X[_ {y-2 •构造光栅结构 :)p)=c8%
−通过使用界面来配置光栅结构 3Q"F(uE v^
[用例] d=XpO*v,[
•分析光栅衍射效率 't( }Rq@
−光栅级次分析器[用例] ivzAlwP
•使用参数运行搜索初始解决方案 2@ 9pr
−参数运行文档的使用[用例] BWUt{,? KU
•通过参数优化找到最终设计 M!gBmQZ1 r219M)D? VirtualLab Fusion技术 x _==Ss mX&xn2}qZ"
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