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摘要 zk=5uKcPE A 1e| Y 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 CT+pk NC
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 \g< M\3f C9`#57 Pp 建模任务 s`GwRH<# <^ 6|ZgR  YQe9g>G& 光栅特性与参数的严格分析 j v<BGr=4; S~0 mY}
m 不同光栅周期下的衍射效率 |K| c ]n1@!qa48
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)pLde_ k 关于光栅周期选择的考虑 f ?kA,!
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 [!Uzw 2 ErZYPl •构造光栅结构 +<qmVW^X
−通过使用界面来配置光栅结构 >IZ|:lsxE
[用例] l6o?(!:!%
•分析光栅衍射效率 7-Bttv{
−光栅级次分析器[用例] NlLgXn!
•使用参数运行搜索初始解决方案 $'m&RzZ
−参数运行文档的使用[用例] _g{ *;?mS
•通过参数优化找到最终设计 N0UL1[ur >v1E ;-ZA VirtualLab Fusion技术 Tz/=\_} dt -EY
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