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摘要 +oY[uF "8Ud&o 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 A| #9
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 i#t)tM " _|x b)_ 建模任务 /++CwRz@Gm kzhncku  /q4<ZS# 光栅特性与参数的严格分析 fA
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 ZcgSVMqEX iva&W VirtualLab Fusion中的工作流程 hc}d S$=C
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 /gZrnd? S 8mqz. •构造光栅结构 |[n-H;0
−通过使用界面来配置光栅结构 l\7 N R
[用例] ^~Nz8PCY
•分析光栅衍射效率 {7 &(2Z]z
−光栅级次分析器[用例] =D.M}x qo
•使用参数运行搜索初始解决方案 ,@ A1eX}
−参数运行文档的使用[用例] B`)o?GcVN
•通过参数优化找到最终设计 /%Lj$]S7[4 y#8|
@? VirtualLab Fusion技术 [uP_F,Y/ |LA./%U
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