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摘要 Cm~z0c|T 84f^==Y 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 "s.s(TR8 S- JD}+9
9/$Cq Tjj-8cg 建模任务 H.#zbKj :XCRKRDLE (%SKTM 光栅特性与参数的严格分析 ?C* }NM /[,0,B9!3 不同光栅周期下的衍射效率 iKA}??5e _<6B.{$\7m
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p}(pIoyUF 关于光栅周期选择的考虑 Bz4;R9_%I W WN2
{\ ]KYI0 IA^*?,AZy 偏振相关的衍射特性 2g$;ZBHO|8 ^17i98w
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|^C35 6M> Fr)6<9%xVm 通过参数优化进行光栅设计 +XpQ9Cd
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^ wb 9 n x\5v^$ •构造光栅结构 Pa-{bhllu) −通过使用界面来配置光栅结构 Y InPmR [用例] ky I~ •分析光栅衍射效率 ?<U">8cP −光栅级次分析器[用例] @waY+sqt= •使用参数运行搜索初始解决方案 }xpo@(e −参数运行文档的使用[用例] V-x/lo]Co •通过参数优化找到最终设计 iyP0;$ `!y/$7p
VirtualLab Fusion技术 &VT O9d #]z_pp:
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