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摘要 >UQY3C :sQ>oNnz 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 i! x>) E
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 mqj-/DN6* )q66^% ;S 建模任务 ;I& XG ZTibF'\5N  .g 3=L 光栅特性与参数的严格分析 "[eH|z/ Sx[
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 =nGFLH6) ;NR |Hi] •构造光栅结构 Z^ :_,aJ?
−通过使用界面来配置光栅结构 $G-<kC}8:
[用例] :YI5O/gsk?
•分析光栅衍射效率 dMH_:jb
−光栅级次分析器[用例] | gA@WV-%
•使用参数运行搜索初始解决方案 "5&" Ij,/
−参数运行文档的使用[用例] 9h amxi
•通过参数优化找到最终设计 `* 3A7y <NMJkl-r8r VirtualLab Fusion技术 n.&7lg^X &t[[4+Qt
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