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摘要 *|AnL}GJ bTC2Ya 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 IBl}.o&]B# @Zd+XWFw
;}IF'ANA YlOYgr^ 建模任务 g92M\5
x9 M0o=bYI (omdmT%D 光栅特性与参数的严格分析 Rf2/[ _J&u{ 不同光栅周期下的衍射效率 q,d]i/T rBs7,h
Tp~yn (]j*)~=V 关于光栅周期选择的考虑 y<PPO6u7 sAk~`(:4!
s9'g'O5 fT._Os?i 偏振相关的衍射特性 EH3jzE3N (d993~|h
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a[s%2>e Cd#*Wp)s 通过参数优化进行光栅设计 |NtT-T)7 m'k`p5[=h 固定周期的2D参数优化 Tv3 ZNh doc5;?6
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7C2/^x P vo71T<K VirtualLab Fusion中的工作流程 D4#,9?us 5jNBt>.0
w5n>hz_5 "6KOql3 •构造光栅结构 /u:Sn=SPd −通过使用界面来配置光栅结构 ^"buF\3L [用例] HwST^\Ao •分析光栅衍射效率 I}:>M!w −光栅级次分析器[用例] '3hvR4P •使用参数运行搜索初始解决方案 bMSF-lQ −参数运行文档的使用[用例] M!X@-t# •通过参数优化找到最终设计 3&' STPpW Z,iklB- VirtualLab Fusion技术 v?LJ_>hw*T {{EQM
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