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摘要 nM<B{AR5^ SS)9+0$ 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 bgk+PQ#S- ZH~=;S-t
m }J@w~# AGWs> 建模任务 ><&>JgM M:PEY*4H sB~ |V
< 光栅特性与参数的严格分析 P]~apMi: 762c`aP_( 不同光栅周期下的衍射效率 |ee A>z"I _HAtTW
-eQ>3x&3r ^uV=|1<% 关于光栅周期选择的考虑 j5Cf\*B4J ^o LMgz
X_\$hF ,pTj'I 偏振相关的衍射特性 O>KrTK-AV L2Vj2o"x?
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Q2)CbHSz 6)h~9iK 通过参数优化进行光栅设计 |uIgZ|7[ YXlaE=9bn 固定周期的2D参数优化 L!c.1Rf_ W6A-/;S\
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[!S%nYs&8L 1Xkl.FcFw 走进VirtualLab Fusion nkO4~p 6sQY)F7p
L$3{L"/ jV.9d@EC VirtualLab Fusion中的工作流程 G
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hbSXa' ,c&%/"i:w •构造光栅结构 FwpTQix! −通过使用界面来配置光栅结构 WxJV
zHtR [用例] *s%M!YM •分析光栅衍射效率 KPxf −光栅级次分析器[用例] ayZWt| iHA •使用参数运行搜索初始解决方案 vVFT0_ −参数运行文档的使用[用例] {O_`eS •通过参数优化找到最终设计 M6lNdK 4vMjVbr VirtualLab Fusion技术 m~`f0 l}XnCOIT,
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