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摘要 1Fado$#
7 Wn(pz)+Y 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 a|*{BlY u'o."J^&'
oCBZ9PGkK bN6FhKg| 建模任务 v>2gx1F"? kAF[K,GG ^MyuD?va 光栅特性与参数的严格分析 qeK_w
' ohHKZZ 不同光栅周期下的衍射效率 H0zKL]D'> XNwZSW
gg>O:np8 t,*hxzD" 关于光栅周期选择的考虑 7j&iHL !^dvtv`K
Q0)6 2[cMm NArql 偏振相关的衍射特性 H]LH~l Vf67gux
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PS p#VA-RSUQ| 通过参数优化进行光栅设计 2qY`*Y.2 ]UR@V;JG
固定周期的2D参数优化 <q
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oMH-mG7:K bLrC_ •构造光栅结构 (Sr D −通过使用界面来配置光栅结构 3jMHe~.E< [用例] ? Xb8B5 •分析光栅衍射效率 'l+).}, −光栅级次分析器[用例] 3<ikMUq& •使用参数运行搜索初始解决方案 ys+ AY^/ −参数运行文档的使用[用例] O?<R.W<QI •通过参数优化找到最终设计 )/BI:) ?!R
Z~~d VirtualLab Fusion技术 V87?J w%2 %:bTOw[4r
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