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摘要 }<H0CcG U~<~>^[ 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 \Jr7Hy1;
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MS JE[J}-2 建模任务 r} a , 3}i(i0+  fZ pUnc 光栅特性与参数的严格分析 ??g
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`yH l gTw>r 不同光栅周期下的衍射效率 uS NlI78D DbH'Qs?z
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-K iI&Q 关于光栅周期选择的考虑 kC0^2./p
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 ^TCfj^FP MHAWnH8 变化光栅周期的3D参数优化 >D*%1LH~V
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2> F •构造光栅结构 k= oCpXq^
−通过使用界面来配置光栅结构 t{Gc, S!]5
[用例] td\'BV
•分析光栅衍射效率 &cB +la\_
−光栅级次分析器[用例]
:A]CD (
•使用参数运行搜索初始解决方案 4W36VtQ@E
−参数运行文档的使用[用例] .Sjg
•通过参数优化找到最终设计 %pr}Xs(-f CGJ>j}C VirtualLab Fusion技术 L$
ZZ]?7j 2U `g[1
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