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摘要 OtY `@\hy nxY\|@ 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 V8 e> l[tH
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 QgrpBG T!-\@PB ! 建模任务 F;>V>" edl iMt:9|yF}8  } elc `jj 光栅特性与参数的严格分析 @v$Y7mw3D qsF<!'m7` 不同光栅周期下的衍射效率 ZWii)0'PV ~{*7"o/
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-B> ++r2A^ 关于光栅周期选择的考虑 Zvhsyz|
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 9Kr+\F 'AzDP;6qFI •构造光栅结构 U0=]
−通过使用界面来配置光栅结构
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[用例] r/& sub"X
•分析光栅衍射效率 u C.K<jD%
−光栅级次分析器[用例] AoY -\E
•使用参数运行搜索初始解决方案 c?P?yIz6p
−参数运行文档的使用[用例] H|,Oswk~-
•通过参数优化找到最终设计 5>VY LI %R1 tJ( / VirtualLab Fusion技术 U QE qX =,%CLS,6w
 C?ulj9=Z
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