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摘要 *;T'=u_lR >7z(?nQYT^ 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 9{0%M xeKm} MN]S
S[{,+{b0 WBR# Ux 建模任务 &~'i,v|E Pm QeO*f+ TN<"X :x9 光栅特性与参数的严格分析 eI%kxqc dF5y'
R' 不同光栅周期下的衍射效率 OGO\u# ?Ss~!38
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='jN i~)EUF 关于光栅周期选择的考虑 1$^r@rP uo(LZUjPbN
nWhf jvpv1>KYV 偏振相关的衍射特性 ;wTc_i x:h)\%Dg<
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Ggy?5N7P lXEnm-_ 通过参数优化进行光栅设计 mHa~c(x _xBhMu2f 固定周期的2D参数优化 F{_,IQ]U [.w `r>kZI
hjhZ":I. 2D参数优化–设计1 rq1zvuUx 0uIBaW3s
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?.n1t@sG& :_`Yrx5 变化光栅周期的3D参数优化 =kCiJ8q| T0.sL9
ooP{Q r D&pX0 制造公差分析 8 qZbsZi4 ;jO+<~YP!
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VirtualLab Fusion中的工作流程 UUa@7|x 2izBB,# "
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Gp} •构造光栅结构 d`%7Pk −通过使用界面来配置光栅结构 +_QcLuV, [用例] )@!T_# •分析光栅衍射效率 <*P)"G −光栅级次分析器[用例] .9Dncsnf,` •使用参数运行搜索初始解决方案 ;7QG]JX −参数运行文档的使用[用例] & |