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摘要 8vuCc= QZX~T|Ckv 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 BSq)RV/3 +fx8muz:y
.[u>V |v[ Rp=?] 建模任务 bu&t'?zx! pq:7F @$"L:1_ 光栅特性与参数的严格分析 5/gDK+%4D( *WE1;msr 不同光栅周期下的衍射效率 JbO ~n
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@HBEt^! YUQtMf9 关于光栅周期选择的考虑 7O`o ovW$ >K# ,cxY
q!f1~ aG kkvtB<<Y 偏振相关的衍射特性 ri1C-TJM) /U6%%%-D`
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|wox1Wt|E D;Gq)]O 通过参数优化进行光栅设计 $|KaBx1 Y${l!+q 固定周期的2D参数优化 iqhOi|! PuxK?bwC
ec Oy6@UDY 2D参数优化–设计1 0W`LVue Px5t,5xT8
l{ex? 7n)&FXK` 2D参数优化–设计2 A =Dhod VGw(6`|!
h{lDxOH* WxbsD S; 制造公差分析–设计2 9kKnAf4Z Sd IX-k.
6zIgQ4Bp24 1\dn1Hh 变化光栅周期的3D参数优化 HNa]H;-+5 NHw x:-RH
R7~Yw*#, rOD1_X- 制造公差分析 E)ugLluL kllQca|$4
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b}91rzt Wv!<bT8r VirtualLab Fusion中的工作流程 3Dm8[o$Z DhI>p0* T
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2K7 r)1Z(tl •构造光栅结构 BbJkdt7 −通过使用界面来配置光栅结构 :^C'<SY2Gs [用例] ,6<" •分析光栅衍射效率
Jf:,y~mV −光栅级次分析器[用例] -%IcYzyA •使用参数运行搜索初始解决方案 yy2Ie −参数运行文档的使用[用例] <XQ.A3SG! •通过参数优化找到最终设计 <
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