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摘要 ytEC yWPIIWHx! 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 D?jk$^p~m# 1a0kfM$
x90*yaw>h igf)Hb;5 建模任务 lkIn%=Z b}ODWdJ1 1xyU 光栅特性与参数的严格分析 / RZR} < O*6T%; 不同光栅周期下的衍射效率 \ b8sG"G iItcN;;7
!4@G3Ae22 {X]R-1> 关于光栅周期选择的考虑 Q3W#`6jpF }'"Gr%jf(
,"-Rf<q/ YEu1#N 偏振相关的衍射特性 Z]w#vLR pVp:@0h
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VvbFp 2g{)AtK$# 通过参数优化进行光栅设计 |iFVh$N S&C1 TC 固定周期的2D参数优化 9ch#}/7B YKZrEP4^
ivgpS5 M`Y 2D参数优化–设计1 k#TYKft *=" 8?Z
SZ![%)83 v;#=e$%}MO 2D参数优化–设计2 c47")2/yO /76 1o\Q
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q"KnLA( 6}~pq1IF{ VirtualLab Fusion中的工作流程 #yseiVm; Y-piL8Xc
gMWBu~;! {cK^,?x •构造光栅结构 o{v&.z −通过使用界面来配置光栅结构 :vx$vZb [用例] bo"%0?3n •分析光栅衍射效率 T[k4lM −光栅级次分析器[用例] U;_[b"SW% •使用参数运行搜索初始解决方案 wCMQPt)VS −参数运行文档的使用[用例] ukgAI<O% •通过参数优化找到最终设计 Hi!Jj ,?UM;^
VirtualLab Fusion技术 i[C~5}% S&O3HC
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