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摘要 K(
: NshM z']TRjDbT 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 "]1 !<M6\i
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]A?'&  F x ek# 光栅特性与参数的严格分析 u^HC1r|% S{HAFrkm7 不同光栅周期下的衍射效率 <$6r1y*G 5bKBVkJ'
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w%r c.; ylGT9G19 VirtualLab Fusion中的工作流程 ahh&h1q7|
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 ;B^ 9sr SO|!x}GfI •构造光栅结构 R|m!*B~
−通过使用界面来配置光栅结构 d Dg[ry
[用例] YD9| 2S!G
•分析光栅衍射效率 q!10 G
−光栅级次分析器[用例] "g5<j p
•使用参数运行搜索初始解决方案 2%?Kc]JY9
−参数运行文档的使用[用例] t f3R
•通过参数优化找到最终设计 #x+7-h i WJlJD*3 VirtualLab Fusion技术 BT^Im=A ZGw 6Bd_I
 ,Gi%D3lA
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