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摘要 &9X`tCnL `7_=2C 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 GPlAQk 7fRL'I#[@
|:yQOq| ?|!167/O 建模任务 WvSh i= 5(e?,B }
Z)}q=NjA 光栅特性与参数的严格分析 Xvu|ss E)z[@Np 不同光栅周期下的衍射效率 Pl^-]~ 7LMad%
;ELQIHnD" bL*;6TzRK 关于光栅周期选择的考虑 yem*g1 tk3%0XZH
)P4#P2 rK&ofc]f$ 偏振相关的衍射特性 ;m6Mm`[i< kB_u U !G
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Yas! w' C {.{>M 通过参数优化进行光栅设计 V"":_`1VW q@ !p 固定周期的2D参数优化 qT]Bl+h2 fq-$u;~h
7+]T}4; 2D参数优化–设计1 N}{CL(xi [?TQ!l} 8A
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\phG$4(7+ j}YZl@dYV VirtualLab Fusion中的工作流程 ,-u | l 6suB!XF;
R`=IYnoOA GEP YSp •构造光栅结构 X70 vDoW −通过使用界面来配置光栅结构 V M[9!:
[用例] JA7HO| •分析光栅衍射效率 M64zVxsd −光栅级次分析器[用例] fX G+88:2 •使用参数运行搜索初始解决方案 j}8IT −参数运行文档的使用[用例] Y.rHl4 •通过参数优化找到最终设计 6Nx T W )>at]mH VirtualLab Fusion技术 s<0yQ-=.?N jsTb0
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