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摘要 h( u8&MHx XnMvKPerv' 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 6wjw ^m0 =ToyZm\
k|PN0&J :vQrOn18p 建模任务 `MN4uC aa/(N7 o&)8o5 光栅特性与参数的严格分析 }I6veagK 17"uf.G 不同光栅周期下的衍射效率 Y>dzR)~3[ g63(E,;;J
_P 3G SaAFz&WRl 关于光栅周期选择的考虑 ;LPfXpR b)5uf'?-
4ber!rJM aU "8{ 偏振相关的衍射特性 IT7wT+ yT"Eq"7/Y#
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GxI!{oi2 l\!fj# 通过参数优化进行光栅设计 0oZ=
yh lH x^D;m6 固定周期的2D参数优化 $m{:C;UH uLL]A>vR
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G7`ko1- !N\@'F! •构造光栅结构 L3u&/Tn2 −通过使用界面来配置光栅结构 E"\<s3 [用例] |"X*@s\' •分析光栅衍射效率 t9k zw*U9 −光栅级次分析器[用例] ;v)JnbsH} •使用参数运行搜索初始解决方案 G\/zkrxmv −参数运行文档的使用[用例] F'={q{2wH •通过参数优化找到最终设计 Xk~D$~4< M)J5;^[" VirtualLab Fusion技术 -j#2}[J7 }WC[$Y_@
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