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摘要 a\-AGG{2/X OEw#;l4 C 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Znw3P|>B 9Js+*,t
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NT. a rMWJ 建模任务 y%Rq6P=4Q T<oDLJA\ :%_\!FvS 光栅特性与参数的严格分析 p<[MU4 PctXh, = 不同光栅周期下的衍射效率 <$(y6+lY E$.f AIt
+pPfvE` po\(O8#5U 关于光栅周期选择的考虑 12VIP-ABK RDfvD|}VN
brCXimG&jo :6MV@{;PJ 偏振相关的衍射特性 v-Tkp
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9>ajhFyOhX 4< +f|(fIA 通过参数优化进行光栅设计 nll=Vd[ cJerYRjsL 固定周期的2D参数优化 Q6T"8K/ /WGD7\G'8
}.a{;{y 2D参数优化–设计1 E.%V0} S B~opN
C$p012D1 ~&?57Sw*m 2D参数优化–设计2 E{0e5. { 5dGfO:Dy_
NH;e|8 0W0GSDx 制造公差分析–设计2 )DmydyQ' |8pSMgN
P3 . 7t+d+sQ-l 变化光栅周期的3D参数优化 4> uN H5 _TLspqi
NE.h/+4 lz!(OO,g 制造公差分析 R?zlZS.~ ,hH c
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N5{v;~Cm}V \q?^DI:` 走进VirtualLab Fusion ny{S&f Ni8%K6]z
t{g@z3 L(bDk'zi VirtualLab Fusion中的工作流程 X!:J1'FE :pM)I5MN[
d5NE:%K 118lb] •构造光栅结构 +m]-) −通过使用界面来配置光栅结构 S{?l/*Il*_ [用例] j85B{Mab& •分析光栅衍射效率 wK0x\V6dJ −光栅级次分析器[用例] &c 2Qa •使用参数运行搜索初始解决方案 O}%ES AB −参数运行文档的使用[用例] W/\pqH •通过参数优化找到最终设计 zJP jsD] *xJ ]e. VirtualLab Fusion技术 yUWc8]9\W 9i U/[d
Fm=jgt3wv8
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