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摘要 ytEC yWPIIWHx! 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 D?jk$^p~m#
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 x90*yaw>h igf )Hb;5 建模任务 l kIn%=Z b}OD WdJ1  1xyU 光栅特性与参数的严格分析 / RZR} < O*6 T%; 不同光栅周期下的衍射效率 \ b8 sG"G iItcN;;7
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{X]R-1> 关于光栅周期选择的考虑 Q3W#`6jpF
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 q"Kn LA( 6}~pq1IF{ VirtualLab Fusion中的工作流程 #yseiVm;
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 gMWBu ~;! {cK^,?x •构造光栅结构 o{v&.z
−通过使用界面来配置光栅结构 :vx$vZb
[用例] bo"%0 ?3n
•分析光栅衍射效率 T[k4lM
−光栅级次分析器[用例] U;_[b"SW%
•使用参数运行搜索初始解决方案 wCMQPt)VS
−参数运行文档的使用[用例] uk gAI<O%
•通过参数优化找到最终设计 Hi! Jj ,?UM;^
VirtualLab Fusion技术 i[C~5}% S&O3HC
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