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摘要 &Ih }" <ot`0 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ! (lF#MG} ch%zu%;f
Es#:0KH].v Z":m(}u O 建模任务 ,{G\-(\ 5uG^`H@X 3.Mpd 光栅特性与参数的严格分析 .lj5pmD ]8wm1_qV 不同光栅周期下的衍射效率 4A"nm6 ?8kFAf~
?i_/f} .K p,k1*|j 关于光栅周期选择的考虑 >Z*b0j }%}$h2:
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•构造光栅结构 $A74V[1^ −通过使用界面来配置光栅结构 <oP`\m [用例] NR&a
er •分析光栅衍射效率 Z>w@3$\z −光栅级次分析器[用例] aVVE2:M •使用参数运行搜索初始解决方案 ?5Z-w −参数运行文档的使用[用例] Bk.`G)t •通过参数优化找到最终设计 | 9 *$6Y dUn]aS VirtualLab Fusion技术 <MO40MP ML$#&Z@
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