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摘要 )QI#szv6 f 0*_& rP 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 xxOhGA )
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 M0%nGpVj> & 5QvUn 建模任务 wqg Ks=y Q |G|5X  /`j2% 8^N 光栅特性与参数的严格分析 \+k~p:d_8 ^,`
L !3 不同光栅周期下的衍射效率 C#L|7M??; fP
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R 0 -Y2v 关于光栅周期选择的考虑 ulfs Z:
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 =`l>< NWj4 U3x 通过参数优化进行光栅设计 F1p|^hYDW uxL 3 8d] 固定周期的2D参数优化 $)'L bOe /Z]hX* QR
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 }{v0}-~@ Z 2lX^z VirtualLab Fusion中的工作流程 ^b*ub(5Ot
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 N8X )/W 4ZB]n, pfT •构造光栅结构 Kc +9n%sp
−通过使用界面来配置光栅结构 8an_s%,AW
[用例] {(h !JeQ
•分析光栅衍射效率 {7K l #b
−光栅级次分析器[用例] 2-^ ['R
•使用参数运行搜索初始解决方案 x_= 3 !)
−参数运行文档的使用[用例] ='(;!3ZH
•通过参数优化找到最终设计 Z*'_/Grv? \*c=bz&l VirtualLab Fusion技术 '(8}
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