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摘要 ]&q<O0^' nGYi mRYO 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 |3!)
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 t&q~ya/C 1Q? RD%lkf 建模任务 <bSPKTKL LD5`9-  l N,a+S/' 光栅特性与参数的严格分析 q Tdwi?j_ :DNI\TmhJ 不同光栅周期下的衍射效率 EA8plQ~GtE V@-Q&K#
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17.n <%uEWb) VirtualLab Fusion中的工作流程 JP6 Noia
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 54>0Dv??H } (-9d •构造光栅结构 bs)wxU`Q*
−通过使用界面来配置光栅结构 *|\bS "
[用例] 16 `M=R
•分析光栅衍射效率 p$1 'e,G
−光栅级次分析器[用例] v8y Cf7+"
•使用参数运行搜索初始解决方案 HSG Ln906
−参数运行文档的使用[用例] v(.m M9>
•通过参数优化找到最终设计 Bt@?l]Y 6&SNFOX{@ VirtualLab Fusion技术 N}B&(dJ QH(&Cu ,
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