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摘要 h(3ko
An i[a1ij= 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ?cD2EX%(
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<c$K3 关于光栅周期选择的考虑 ;Zow C#j
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 qu EP" /degBL+ VirtualLab Fusion中的工作流程 IxQ(g#sj_k
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 t'pY~a9F VkChRzhC •构造光栅结构 :s5wFumD
−通过使用界面来配置光栅结构 /PuN +M
[用例] QFS5PZ
•分析光栅衍射效率 byW9]('e
−光栅级次分析器[用例] 2GR dfX
•使用参数运行搜索初始解决方案 E"l/r4*f@
−参数运行文档的使用[用例] 5i 42o+'
•通过参数优化找到最终设计 fi.[a8w:W &+v!mw > VirtualLab Fusion技术 Z:2a_A tm 6pCQ P
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