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摘要 gXNlnh%?S D?Mj<|| 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 `/"rs@
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 vhEqHjR: tFi'R R Z 建模任务 }MCh$ 1 +0-VRl  KF%tF4^+| 光栅特性与参数的严格分析 R7nT,7k. O<RLw)nzg 不同光栅周期下的衍射效率 u!B6';XY ? ZqvR^
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ma gZmY~ 关于光栅周期选择的考虑 L&I8lG
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!O-@GJ] VirtualLab Fusion中的工作流程 6SqS\ 8
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 Dga;GYx <Crbc$!OeX •构造光栅结构 Ifu[L&U
−通过使用界面来配置光栅结构 DmA~Vj!a^y
[用例] T1\@4x
•分析光栅衍射效率 ~85>.o2RDW
−光栅级次分析器[用例] _pN:p7l(
•使用参数运行搜索初始解决方案 SmUj8?6"
−参数运行文档的使用[用例] 2N}U B=J
•通过参数优化找到最终设计 u= =`]\_@ 49Q
tfk VirtualLab Fusion技术 nc[K h8N9 "|^-Yk\U
 Q|7$SS6 $
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