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摘要 P% ZCACz V j6{9XIR o_ 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 )=c/{
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 5 U{}A\q #:n:3]t 建模任务 b )mU 9 W .t`  ct#3*] 光栅特性与参数的严格分析 w-M,@[G h1'j 1uI 不同光栅周期下的衍射效率 }Kc03Ue`%e mUW4d3tE
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eL7\})!W 关于光栅周期选择的考虑 !E+. (
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v ^ ( s2ke 通过参数优化进行光栅设计 N-O"y3W} &n)=OConge 固定周期的2D参数优化 L)`SNN\ipR ;m[-yqX
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q t69C48}15 VirtualLab Fusion中的工作流程 }?0At<(d
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 YF]W<ZpY *}hx9:9\B •构造光栅结构 ^s_BY+#
−通过使用界面来配置光栅结构 ve [*t `
[用例] +NH#t} .
•分析光栅衍射效率 . D ~ZE94@
−光栅级次分析器[用例]
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•使用参数运行搜索初始解决方案 dZ1/w0<M2
−参数运行文档的使用[用例] [- *1M4D9
•通过参数优化找到最终设计 HX(Z(rcI 8N8N)#A[ VirtualLab Fusion技术 ;U02V guC Y] ZNAR
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