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摘要 *aGJ$ P0 (&X/ n=UI 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 7W>(T8K X\
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 A.~wgJDO }[(v(1j='~ 建模任务 zT93S b p djRakN  E mw]` 光栅特性与参数的严格分析 2#s 8Dxt 0-/@-qV\ 不同光栅周期下的衍射效率 xE!b) @>S '- 3K`[
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 z80*Y lx b{X.lz0 VirtualLab Fusion中的工作流程 Ec }9R3 m
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 :`0,f ?cE yA7O<p+ •构造光栅结构 "chf \ -!$
−通过使用界面来配置光栅结构 gV*4{ d`
[用例] G=C2l#
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•分析光栅衍射效率 G/ w@2lYx
−光栅级次分析器[用例] XjYM p3
•使用参数运行搜索初始解决方案 Ki%)LQAg
−参数运行文档的使用[用例] dkSd
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•通过参数优化找到最终设计 A> (EM}\, cBHUa}: VirtualLab Fusion技术 Urksj:N t{B6W)q
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