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摘要 uGOvZO^v OPar"z^EV 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 S7@.s`_{w V1M oW;&
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hvO 建模任务 ht` !@B +v/_R{ M *:wu{3g}M` 光栅特性与参数的严格分析 [/xw5rO% 7i`8 c =. 不同光栅周期下的衍射效率
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ZdfIe~Oni #7GbG\ 关于光栅周期选择的考虑 ~]3y667 p \1-.
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cI ? VirtualLab Fusion中的工作流程 ruiAEC<Ej $ReoIU^<
HE6kt6 d)d\h`=Z •构造光栅结构 D;
i%J −通过使用界面来配置光栅结构 jg%HaA<zO [用例] U(*k:Fw •分析光栅衍射效率 F-0 |&0 −光栅级次分析器[用例] F6,[!.wl •使用参数运行搜索初始解决方案 anxZ|DE −参数运行文档的使用[用例] t|XQFb@} •通过参数优化找到最终设计 pH!e<m jr,j1K@_t VirtualLab Fusion技术 ~
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