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摘要 L.[uMuUa 5u doZ >T 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 )#~fS28j
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 no6]{qn=6 {; cB?II 建模任务 P.Z<b:V! 4(GgaQFO?  Q8cPK DB 光栅特性与参数的严格分析 -xIhN?r) kQl cT"R 不同光栅周期下的衍射效率 _hL4@ C 6XK`=ss?
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 5 -WRv; oSA*~ N: •构造光栅结构 oBNX8%5w
−通过使用界面来配置光栅结构 u !3]RGJ
[用例] DMcxa.Sd!
•分析光栅衍射效率 T<e7(=
−光栅级次分析器[用例] {29S`-|P
•使用参数运行搜索初始解决方案 7kX$wQZ_
−参数运行文档的使用[用例] Am4^v?q
•通过参数优化找到最终设计 zIm_7\e vG<pc_ak VirtualLab Fusion技术 [&pW&>p3 g;!@DVF$
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