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摘要 87K)qsv8 w}Upa(dU 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Ke ?uE ^c\ IZ5
Wv0'?NL. }R1`ThTM 建模任务 ' 4~5ez|: HLe^| =GQ^uVf1 光栅特性与参数的严格分析 q`aY.dD=O O8r"M8 不同光栅周期下的衍射效率 B\_u${C mei_aN7zW
7rSUSra k,7+=.6 关于光栅周期选择的考虑 s\W ;1.>"zX(
Z% ;4Ed pIu H*4Vz 偏振相关的衍射特性 i$ L]X[ aE BP9RX}z
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T'M66kg DnHAm q] 通过参数优化进行光栅设计 Fd[h9 G AD@PNM 固定周期的2D参数优化 R9l7CJM@ M%{?\)s
HqdJdWl#" 2D参数优化–设计1 v{2DBr
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P!y`$Ky& b;L>%; 2D参数优化–设计2 8}, <e>q U+;>S$
(a} HB7( 制造公差分析–设计2 n`)7Y`hBhP ,iVPcza
lmQ 6X yIIETE 变化光栅周期的3D参数优化 `<J#l;y "W@XP+POAY
o}=. +%wWSZ<# 制造公差分析 7"q+"0G `x}
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6z3T?`}Y iS1Gb$? •构造光栅结构 %f(S'<DhC −通过使用界面来配置光栅结构 /zG+] [用例] BF36V\ •分析光栅衍射效率 k(EMp1[:nN −光栅级次分析器[用例] 1n'$Ji7 •使用参数运行搜索初始解决方案 4TUtY: −参数运行文档的使用[用例] A)hhnb0o •通过参数优化找到最终设计 s=N#CE uxOJ3 VirtualLab Fusion技术 8geek$FY x 2QGMe}
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