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摘要 Iu6KW :x l c)*HYqU 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 87%t=X jR7 , b5
v{Cts3?Br >E^?<}E~. 建模任务 4kGA`XhS* \KfngYD]W \a+F/I$hwa 光栅特性与参数的严格分析 A+%oE dq%N,1.F
不同光栅周期下的衍射效率 dDN#>| QC0^G,9.
-e#YWMo( b Jt397 关于光栅周期选择的考虑 ]c{Zh?0 \7Hzj0hSi
E>Ukxi1 21GjRPs\ 偏振相关的衍射特性 V x1C4 P<GY"W+rR
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fI}Z`* i' J.c4 通过参数优化进行光栅设计 Ixm<wKwW# LNml[" 固定周期的2D参数优化 (8o~ XL CYrVP%xRA
~Kda#= 2D参数优化–设计1 z<c^<hE:l fV*x2g7w
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_Hi;Y J]i=SX+ 9 变化光栅周期的3D参数优化 `g6XVa*%# h>= e<H?f
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S%uH*&` VirtualLab Fusion中的工作流程 1"A1bK 84)$ CA+NX
r&)/3^S ' 0!veLXeK! •构造光栅结构 G/_#zIN`8M −通过使用界面来配置光栅结构 ZgF-.(GV [用例] m9ts&b+TE •分析光栅衍射效率 ,kuJWaUC@ −光栅级次分析器[用例] SSycQ4[{o •使用参数运行搜索初始解决方案 D|Wekhm −参数运行文档的使用[用例] AuHOdiJ •通过参数优化找到最终设计 67%eAS ^Tc&?\3 VirtualLab Fusion技术 nH}api^0A (f5!36mz
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