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摘要 e6jdSn `+KLE(]vyH 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ;F, 6]LH! '@hnqcqXq
9<!??'@f r 3T #Nv 建模任务 s5d[sx }?GeU
Xhy V^9%+L+E5 光栅特性与参数的严格分析 pek5P4W_ 'HvW&~i( 不同光栅周期下的衍射效率 2I4G=jM[ ac4dIW{$3
r_a1oO: {2|sk9?W 关于光栅周期选择的考虑 }2?-kj7 7BA9zs392
eLN(NSPoS g;3<oI/P 偏振相关的衍射特性 mxvV~X% =PBJ+"DQs
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V SH64 DGAg#jh 通过参数优化进行光栅设计 TU8K\;l] N;,N6&veK/ 固定周期的2D参数优化 xaSiG K)8 m?sf/
O~#OVFJ9= 2D参数优化–设计1 !jJH}o/KW TlBu3z'P
.Wci@5:3 p@xK`=Urb 2D参数优化–设计2 Tq.%_/@M< x(88Y7o.t
P\|i<Ds_M laFF/g;sRC 制造公差分析–设计2 myY@Wp Uw_z9ZL
h5#V,$ .l&<-l;UQ 变化光栅周期的3D参数优化 Ne,u\q3f kIUb`b>B
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>*mLbp" 制造公差分析 HV6'0_R0 _\xd]~ELj
=l9H]`T/ h|'T'l&z 走进VirtualLab Fusion vV9q5Bj: SA$1rqU=
'xp&)gL wq&TU'O VirtualLab Fusion中的工作流程
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gobqS+c M%2F7 FY •构造光栅结构 3F0:v,+; −通过使用界面来配置光栅结构 ^E8eW [用例] &ExYul •分析光栅衍射效率 Z-+p+34ytq −光栅级次分析器[用例] jlZW!$Iq •使用参数运行搜索初始解决方案 G" Fd]' −参数运行文档的使用[用例] rx#\Dc}
•通过参数优化找到最终设计 ^m:?6y_uw BqKh&m VirtualLab Fusion技术 /TgG^|
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