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摘要 c>Ri6=C "v0SvV<7 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 2 gca* 77wod}h!:
:)kHXOb. }wI+eMr 建模任务 %;<g!Vw.k @=Dc(5`[ x5rLGt 光栅特性与参数的严格分析 rEbH<| Ug4o2n0sk 不同光栅周期下的衍射效率 +rhBC
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IB)cpo 关于光栅周期选择的考虑 !XM*y WLta{A?
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;5A~n 偏振相关的衍射特性 uyWw3> rfzzMV
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8!@}\6qM d>Nh<PqH6 通过参数优化进行光栅设计 c6y>]8_ <P@O{Xi+K 固定周期的2D参数优化 o02G:!gB vo2GFo
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v(Sh+p D(&WEmm\B 制造公差分析 .j=mT[N,I GdrVH,j
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XGy*#>V VirtualLab Fusion中的工作流程 GhjqStjS&l B?y[ %i
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\=xS?(v! •构造光栅结构 w*o2lg9 −通过使用界面来配置光栅结构 3"k n5)x [用例] !;hp •分析光栅衍射效率 Mm9*$g!R −光栅级次分析器[用例] 5@I/+D •使用参数运行搜索初始解决方案 !(Q@1c&z −参数运行文档的使用[用例] )@y7 qb •通过参数优化找到最终设计 peOoZdJd 0($On`# VirtualLab Fusion技术 *&R|0I{> j#Lj<jX!xR
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