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摘要 uGOvZO^v OPar"z^EV 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 S7@.s`_{w
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hvO 建模任务 ht ` !@B +v/_R{ M  *:wu{3g}M` 光栅特性与参数的严格分析 [/xw5rO% 7i`8 c =. 不同光栅周期下的衍射效率
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#7GbG\ 关于光栅周期选择的考虑 ~ ]3y66 7
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cI ? VirtualLab Fusion中的工作流程 ruiAEC<Ej
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 HE6 kt6 d)d\h`=Z •构造光栅结构 D;
i%J
−通过使用界面来配置光栅结构 jg%HaA<zO
[用例] U (*k:Fw
•分析光栅衍射效率 F-0 |&0
−光栅级次分析器[用例] F6, [!.wl
•使用参数运行搜索初始解决方案 anxZ|DE
−参数运行文档的使用[用例] t|XQ Fb@}
•通过参数优化找到最终设计 pH!e<m jr, j1K@_t VirtualLab Fusion技术 ~
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