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摘要 #q`[(`Bx E]w1!Ah M 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 :,"dno7OQ H+vONg
BT;hW7){9 <GPL8D 建模任务 J"QXu M O%5cMz?eU B 3|zR 光栅特性与参数的严格分析 txQyHQ)@ _ _cJ+%e 不同光栅周期下的衍射效率 5,`U3na, wVkms
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9's kB1]_v/ 关于光栅周期选择的考虑 W[PZQCL}K) (1H_V(
},'hhj]O tk"L2t 偏振相关的衍射特性 1rh\X[@ 0/hX3h
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)bRe"jxn7 u{0+w\xH\ 通过参数优化进行光栅设计 {`QF(WL hnZI{2XzBE 固定周期的2D参数优化 o_&.R 7iu?Q
u /!U/| 2D参数优化–设计1 9qD/q?Hh$ hj64ES#x
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F7a &- 制造公差分析–设计2 W=M&U vLR)B@O,2
f/Km$#xOr Y M{Q)115 变化光栅周期的3D参数优化 zf$&+E- h95C4jBE
i,rP/A^q $UW!tg*U& 制造公差分析 1 Uz'=a ^k &zX!W
"BjQs<]%sF mXlXB#N 走进VirtualLab Fusion Dntcv|%u d=WC1"
4LARqSmt /b6Y~YbgU VirtualLab Fusion中的工作流程 RK(uC-l 7p3 ;b"'
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dg •构造光栅结构 ;hF >iw −通过使用界面来配置光栅结构 +P|$T:b [用例] $m:}{:LDCf •分析光栅衍射效率 =sRd5aMs −光栅级次分析器[用例] a8M.EFa: •使用参数运行搜索初始解决方案 *{W5QEa −参数运行文档的使用[用例] 9 U1)sPH; •通过参数优化找到最终设计 n4YEu\* C yC<{D+ VirtualLab Fusion技术 hDmtBdE JiZ9ly(G
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