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摘要 n~V ]Z (P:<t6;+ 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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=aTv! 8</ m* kl 建模任务 >: g3k s|y "WDyx5 |0f>aZ 光栅特性与参数的严格分析 V6,H}k Ev}C<zk* 不同光栅周期下的衍射效率 #^ A* @W"KVPd
jr:7?8cH0L AiO$<CS 关于光栅周期选择的考虑 #$8% w wLnf@&jQ%
m3/O.DY%0 5lUF7:A># 偏振相关的衍射特性 m0a?LY M# %a(Y3K)
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!`Hd-&}bYz vkEiOFU!u 通过参数优化进行光栅设计 "ozr+:#\ ?q{,R" 固定周期的2D参数优化 x#xFh0CA heC/\@B
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r") `Ph@yp kwo3`b VirtualLab Fusion中的工作流程 --HZX ;Q OBBF3HG
>_-s8t=| 1Z+8r •构造光栅结构 t4zkt!`B −通过使用界面来配置光栅结构 pz\
+U7 [用例] ~obqG!2m •分析光栅衍射效率 |y!=J$$_H −光栅级次分析器[用例] ?mFv0_!O •使用参数运行搜索初始解决方案 [B#R94 −参数运行文档的使用[用例] 93("oBd[s( •通过参数优化找到最终设计 5HkKurab t^R][Ay& VirtualLab Fusion技术 8*#R]9 ]6(N@RC
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