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摘要 Kx<T;iJ} /j B 0 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 -]$ =.0 l
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 3~5 %6 ` = 3("gScUj 建模任务
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jph"94 光栅特性与参数的严格分析 yG~7Xo5 R| OY5@ 不同光栅周期下的衍射效率 48p< ~#<W\ 8V f]K}d
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)o\U4t 关于光栅周期选择的考虑 S)L(~ N1
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 B!iz=+RNC1 530Z>q 制造公差分析–设计2 8<X,6
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 Th%2pwvER PY{])z3N 变化光栅周期的3D参数优化 T#:n7$M|?A
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 XzV:q!e- fO'"UI •构造光栅结构 2 zQ62t}
−通过使用界面来配置光栅结构 ?r"QJa>
[用例] G$T #ql
•分析光栅衍射效率 [ _N w5_
−光栅级次分析器[用例] ^ _C]?D?
•使用参数运行搜索初始解决方案 $lYy `OuC
−参数运行文档的使用[用例] U`w `Cr
•通过参数优化找到最终设计 \ =(r6X kl/eJN'S VirtualLab Fusion技术 `N.^+Mvx- $ &III
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