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摘要 txo?k/w -^H5z+"^ 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 z8|9WZ: o'7ju~0L
mzB#O;3= 2w|u)ow) 建模任务 ?ev G=S4> IKDjatn |u ;BAb 光栅特性与参数的严格分析 1K9?a;. -Y=c g; 不同光栅周期下的衍射效率 )ek 5 5?L:8kHsH
HoE.//b kQd[E-b7 关于光栅周期选择的考虑 MD4 j~q\g |D`b7h
~_db<!a = )l: ^+q 偏振相关的衍射特性 G=!bM(]R~ wT~;tOw~
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BMWeD ]a!; `m$ 通过参数优化进行光栅设计 dU>R<jl!$ J
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:Bv&)RK ]i,Mq VirtualLab Fusion中的工作流程 ^W[B[Y<k GkGC4*n
snTJe[^d :S99}pgY •构造光栅结构 OZC/+"\, −通过使用界面来配置光栅结构 X\p`pw$ [用例] JM+sHHs •分析光栅衍射效率 HDSA]{:sl −光栅级次分析器[用例] Ca5Sc, no •使用参数运行搜索初始解决方案 |Y8Mk2,s −参数运行文档的使用[用例] Q9eYF-+ •通过参数优化找到最终设计 \p3nd!OIG ^E<~zO=Z VirtualLab Fusion技术 {GX
&)c4 =JbdsYI(
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