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摘要 "\M16N `_Iy8rv:P 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ep`WYR|B cr Hd$~q,
;1PnbU b `(s&H8x# 建模任务 G;:n*_QXE d#E]>:w9 WBT/;),}: 光栅特性与参数的严格分析 FG]xn(E #G2~#\ 不同光栅周期下的衍射效率 1FCqkwq[ EfHo1Yn&
HnU; N S3J "]h4L 关于光栅周期选择的考虑 *ub]M3O m?cC 0(6
fa7Z=:aG [@d$XC]Qz 偏振相关的衍射特性 5u
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A;~lG3j4 wBz?OnD/D 通过参数优化进行光栅设计 )yvI { zUX%$N+w}> 固定周期的2D参数优化 (B|4wR\ JGQlx-qv
S+(TRIjk 2D参数优化–设计1 tPu0r],`o :pj00
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w3xO!;& U*Q1(C •构造光栅结构 tBR"sBiws −通过使用界面来配置光栅结构 Td!@i[6%H [用例] ^{z@=o<o •分析光栅衍射效率 y X%q7ex −光栅级次分析器[用例] zadn`B#2 •使用参数运行搜索初始解决方案 l!r2[T]I@7 −参数运行文档的使用[用例] J<K-Yeph •通过参数优化找到最终设计 $|J16tW sEBZ-qql VirtualLab Fusion技术 m417=wf 8?p40x$m%
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