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摘要 Z\Z,,g+WL ;L~p|sF 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 BC! 6O/kr
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R_1 qn H_w%'v & 建模任务 R)oB!$k nO{ x^b <  E1 |<Pt 光栅特性与参数的严格分析 ]78!!G[` /[ K_
& 不同光栅周期下的衍射效率 M-J<n>hl XJ gh>^R^
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OQp, 3 M{_ 关于光栅周期选择的考虑 1u~ MXGF
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 B=n[)"5fBO <*(^{a. O 通过参数优化进行光栅设计 q .J sf+ P4k;O?y 固定周期的2D参数优化 Pbn!KX~F~ UDEj[12S
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 ?jx1R^ QDx$==Fo •构造光栅结构 Q~{H@D`<
−通过使用界面来配置光栅结构 -7
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[用例] Ztr Cv?
•分析光栅衍射效率 tDg}Ys=4K>
−光栅级次分析器[用例] u #w29 Pm
•使用参数运行搜索初始解决方案 d5`3wd]]'v
−参数运行文档的使用[用例] f+_h !j
•通过参数优化找到最终设计 FRu]kZv2 r SkUSe6 VirtualLab Fusion技术 ` Ag{) jho**TQ P
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