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摘要 8LUl@!4b 2Mj_wc 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Wjr ^: d
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 `bF4/iBW RM>A9nv$\ 建模任务 $f+cd8j?o >.-4CJ])d  -?NAA]P5c@ 光栅特性与参数的严格分析 ^7YZ>^ 'l_F@ZO{( 不同光栅周期下的衍射效率 '3xK1Am SNSHX2
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Y I2x*t! 关于光栅周期选择的考虑 M,<UnAVP-
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 6OqF-nso[E ,C|{_4 •构造光栅结构 BqUwv B4
−通过使用界面来配置光栅结构 uh%
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[用例] Mi\-
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•分析光栅衍射效率 r! [Qpb-:
−光栅级次分析器[用例] #g ' j0N
•使用参数运行搜索初始解决方案 q $"?P
−参数运行文档的使用[用例] p,!IPWo
•通过参数优化找到最终设计 e X6o 7a Fk9]u^j VirtualLab Fusion技术 Zr =B8wu T <[ u(il
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