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摘要 9"g=it2Rh6 5
T1M:~u i 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 L-\-wXg%
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 77- Jx`C $ :kG>R@\t 建模任务 [6Y6{.%~ $}0q=Lg%wv  rr fL [ 光栅特性与参数的严格分析 [Q &{#%M B#'TF?HUEn 不同光栅周期下的衍射效率 CZ*c["x2 _4iTP$7[
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#/zPAcV: 关于光栅周期选择的考虑 Ml)~%ZbF
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 f>i6f @ Ym+k \h 偏振相关的衍射特性 SovK|b & @^oOXc,r$
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s1! =s`\W7/;{- 通过参数优化进行光栅设计 } 5i0R BX&bhWYGFX 固定周期的2D参数优化 |LA./%U +HNY!f v9
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 bI.LE/yk [YG\a5QK VirtualLab Fusion中的工作流程 $}&Y$w>S
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 B9pro%R1Bo , 2T&33m
•构造光栅结构 R{GOlxKs C
−通过使用界面来配置光栅结构 -C]RFlV
[用例] 8 hx4N
•分析光栅衍射效率
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−光栅级次分析器[用例] D+?/MrP
•使用参数运行搜索初始解决方案 j:K>3?
−参数运行文档的使用[用例] uu L"o
•通过参数优化找到最终设计 '"&M4.J{ _MQ) VirtualLab Fusion技术 ~pA_E!3W U 2am1}
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