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摘要 Cdotl$' y? )v-YGu 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 1Jd82N\' TB*g$*
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&5O 建模任务 LV4x9?& Q^b_+M eP(%+[g 光栅特性与参数的严格分析 k2j:s}RHY ^$`xUKp`pn 不同光栅周期下的衍射效率 7==Uz?}C tA3]6SIK@
zTAt% w5 s~IOc%3 关于光栅周期选择的考虑 QKE$>G
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p! zC B.'@~$ 偏振相关的衍射特性 pvDr&n9 jf$6{zO6j
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^ Gq2"rDM N+"Y@X yg 通过参数优化进行光栅设计 JihI1C f8lB xK 固定周期的2D参数优化 Ty*ec%U9F tURIDj%#p
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m{JiF-=u _-o*3gmbQ 变化光栅周期的3D参数优化 wf=#w}f v@XQ)95]F
h:z;b; YRG+I GX 制造公差分析 .sbU-_ij@U ngsax1xO
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p$?c>lim mIFS/C •构造光栅结构 ?OZbns~ −通过使用界面来配置光栅结构 _8 vxb [用例] MeQ(,irr^ •分析光栅衍射效率 r?{Vqephz −光栅级次分析器[用例] <j ;HRm •使用参数运行搜索初始解决方案 +(/XMx}a −参数运行文档的使用[用例] Wq<>a;m •通过参数优化找到最终设计 **_VNDK+ a}i{b2B VirtualLab Fusion技术 &I'~:nWpt 'x+0
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