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摘要 E$p+}sP(C XU(eEnmom 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 A^<jy=F& Q hO!Ma]
]~3V}z,T* aAUvlb 建模任务 DEZveQr= QhJiB%M >pe.oxY 光栅特性与参数的严格分析 tK\~A,= ;u)I\3`*! 不同光栅周期下的衍射效率 DN:EB@ [Z$[rOF
20Wg=p9L ^k9I(f^c-_ 关于光栅周期选择的考虑 @E|}Y eehb1L2(b
{R6ZKB f%}xO+.s 偏振相关的衍射特性 A~70 ~b8]H|<'Y
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fI|Nc <wD-qT W 通过参数优化进行光栅设计 }0Ed] f4|rVP|x 固定周期的2D参数优化 IjnU?Bf 7-fb.V9
&{t,' [ u 2D参数优化–设计1 13x p_j ncT&Gr
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&s>Jb?_5Mx M x"\5i •构造光栅结构 1<aP92/N& −通过使用界面来配置光栅结构 k)TpnH! " [用例] Q\sK"~@3 •分析光栅衍射效率 cQ}{[YO −光栅级次分析器[用例] deh*Ib:(S •使用参数运行搜索初始解决方案 !&@615Vtw −参数运行文档的使用[用例] qwAT>4 •通过参数优化找到最终设计 Bdpy:'fJn QIFgQ0{ VirtualLab Fusion技术 rEz^ k$:|-_(w
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