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摘要 =;E0PB_w ei{tW3
H$ 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Xo&\~b#- /7fd"U$Lh
3:xKq4? F^aD# 建模任务 7(a1@V H Nh}u]<B #dD0vYT&od 光栅特性与参数的严格分析 w=a$]` WuFBt=% 不同光栅周期下的衍射效率 _:WNk( 3^xq+{\)
Yl:[b{Py >EZZEd 关于光栅周期选择的考虑 ]!~?j3-k Q >/lB%<$/
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2 vT^ 通过参数优化进行光栅设计 o4J@M{xb_ -sZb+2tDa 固定周期的2D参数优化 nMfR<%r k_ywwkG9lU
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O(!;7v} L8!yP.3 •构造光栅结构 i*m;kWu, −通过使用界面来配置光栅结构 V,0$mBYa [用例] OKK Ko`RN •分析光栅衍射效率 >1;jBx>Qy% −光栅级次分析器[用例] lS7L| •使用参数运行搜索初始解决方案 H!u8+ −参数运行文档的使用[用例] 6 U[VoUU •通过参数优化找到最终设计 la w$LL ^v'0\(H?P VirtualLab Fusion技术 g?Nk-cg US(RWXyg
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