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摘要 nA
P.^_K @fs`=lL/ 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 q-]`CW]n Nc+,&R13m
$ "E).j }b=}uiR# 建模任务 >Y_*%QGH_ MS0Fl|YA 0KMctPT]p 光栅特性与参数的严格分析 )Psb>'X F;gx%[$GX 不同光栅周期下的衍射效率 0{dz5gUde )K,F]fc+O
.pfP7weQ 3l3+A+n 关于光栅周期选择的考虑 Z9575CI< X@k`3X
DA2}{ BNd^qB ? 偏振相关的衍射特性 @O@GRq&V 3 n'V\Hvz
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?[)}l9 %g1,Nk 通过参数优化进行光栅设计 ]UH`Pdlt OCZ[D{i9@ 固定周期的2D参数优化 $/=nU*pd iC W*]U
%^1cyk 2D参数优化–设计1 ?t+5s] ow0!%|fO
yaG= j YO}1(m 2D参数优化–设计2 hGbj0 :6zG7qES3
AX= 1b,s 4O;OjUI0a 制造公差分析–设计2 mt5KbA>nU M/):e$S
W?eu!wL#p 34wkzu 变化光栅周期的3D参数优化 94 e):
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Pb8^ b 3,]gEE3 制造公差分析 W-.pmU e2 6I!7c^]t
I! > \#K }';D]c 走进VirtualLab Fusion ;zYqsS :^Fh!br==
UK1_0tp]x B Ce|is0 VirtualLab Fusion中的工作流程 B*~5)}1op `;l?12|X
- !>}_AH 4<cz--g •构造光栅结构 I
j$lDJS −通过使用界面来配置光栅结构
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I8 [用例] jMbC Y07v •分析光栅衍射效率 hSK;V<$[Z −光栅级次分析器[用例] rQEyD •使用参数运行搜索初始解决方案 RPIyO −参数运行文档的使用[用例] C=s1R;"H •通过参数优化找到最终设计 `E!N9qI?t$ 'Fs)Rx}\0 VirtualLab Fusion技术 cZ(elZ0~ 9_QP !,
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