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摘要 {r_x\VC=p &o7"L; 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 3j/~XT
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 c='uy x ~U1M -<IX 建模任务 t ]P^6jw' N==Y]Z$G  8-FW'bA 光栅特性与参数的严格分析 Qp~3DUM .]ZMxDZ 不同光栅周期下的衍射效率 +}Qq#^:_\ WJii0+8e
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FTcXjWBPF9 关于光栅周期选择的考虑 <O4W!UVg
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 im"3n= =o_zsDv 偏振相关的衍射特性 A8 j$c ~ $uYfy<
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 )KUEkslR: )\QPUdOvx 通过参数优化进行光栅设计 7X/KQ97 D9higsN 固定周期的2D参数优化 #NQ x(C hus k\
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 uX~YDy *m:'~\[u 变化光栅周期的3D参数优化 yrFl,/8&G
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 `f\+aD'u TQ25"bWi 制造公差分析 :djbZ><
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 $(&+NJ$U$ H<ZXe!q(nx VirtualLab Fusion中的工作流程 c[;=7-+
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 y{J7^o(_~ &-p!Lg&D •构造光栅结构 QHw{@*
−通过使用界面来配置光栅结构 G u# wH
[用例] 17yg ~
•分析光栅衍射效率 QA#
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−光栅级次分析器[用例] ZBXn&Gm
•使用参数运行搜索初始解决方案 V5S6?V \
−参数运行文档的使用[用例] NU.Y L1
•通过参数优化找到最终设计 qWb 8" m";?B1%x VirtualLab Fusion技术 Ql? >,FZ *M+ CA_I(
 JJu}Ed_
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