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摘要 jsP+,brO `O`MW} c 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 (O&HCT| :#D~j]pP
oVW>PEgB- [2!C^\t 建模任务 7`&6l+S| yJ;Qe_up &=XK:+ 光栅特性与参数的严格分析 tYhcoV p6ryUJc6 不同光栅周期下的衍射效率 Mq_P'/ T`9nY!
ncTMcu I1I-,~hO 关于光栅周期选择的考虑 Qj$w7*U L~RFI&b
Eu%E2A|`I UD9JE S, 偏振相关的衍射特性 v8n^~=SH fB]NEx|o~
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:6/$/`I0W 通过参数优化进行光栅设计 Ty#sY'% hDQk zqW 固定周期的2D参数优化 =^ \?{oV JpxQS~VX
cDK)zD 2D参数优化–设计1 #Tt*NU 4Z5;y[k(
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FFN Sn ),[@NK&= VirtualLab Fusion中的工作流程 ?~(#~3x [J(b"c6
h=JW^\?\] 3:xKq4? •构造光栅结构 +\)Y,@cw −通过使用界面来配置光栅结构 gNc;P[ [用例] Nh}u]<B •分析光栅衍射效率 #dD0vYT&od −光栅级次分析器[用例] $G5:/,Q •使用参数运行搜索初始解决方案 WuFBt=% −参数运行文档的使用[用例] _:WNk( •通过参数优化找到最终设计 0L1sF'ZN Yl:[b{Py VirtualLab Fusion技术 08D:2 z1z 6(uZn=
M ?AX:0
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