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摘要 'j79GC0 h([0,:\ 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 \3^Pjx 0|C[-ppr
z\}!RBOq 8~5|KO >F 建模任务 u%opY<h 0xBY(#;Q tA qs2 光栅特性与参数的严格分析 <xF?~7 &&C~@WY,r 不同光栅周期下的衍射效率 "6V_/u5M;= ay[+2"
(3fPt;U oQvFrSz 关于光栅周期选择的考虑 4A~)b"j5 \Da~p9T&
` u=<c cEi<}9r 偏振相关的衍射特性 OK\]*r |Ow$n
lIl9ypikg r5)f82pQ
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h544dNo& )/TVJAJ 通过参数优化进行光栅设计 bX{PSjD &ps6s.K 固定周期的2D参数优化 y Hw!#gWM j?J=w=.Nx
SA3Y:( 2D参数优化–设计1 WFdem/\kX Kz^ hQd
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F\P!NSFZV ~p!QSRu~,b 制造公差分析–设计2 }'_ :XKLj 73#9NZR
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P:vX }V |[ j[BgP\&, •构造光栅结构 :'TX"E! −通过使用界面来配置光栅结构 +0)5H>h [用例] UvoG<; •分析光栅衍射效率 _2x uzmz0 −光栅级次分析器[用例] 2}1!WIin •使用参数运行搜索初始解决方案 4O9tx_<JG −参数运行文档的使用[用例] RH1U_gp4 ] •通过参数优化找到最终设计 @V*au: /Ir 7
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