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摘要 utuWFAGn A Gf3-%s xA 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 :Ae#+([V
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 *]NfT}} W_E^+Wl@ 建模任务 pZopdEFDK| h U-FSdR  T9 & {s-3* 光栅特性与参数的严格分析 q4w]9b / iKV|~7nwO 不同光栅周期下的衍射效率 &g&,~ Y/z; .Z'NH
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jT$J~M pHh 关于光栅周期选择的考虑 p7-\a1P3
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T 通过参数优化进行光栅设计 a R eJ@ He'VqUw_ 固定周期的2D参数优化 X"d"a={] #J3o~,t <
 J-'XT_k:iM 2D参数优化–设计1 }:c~5whN
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 !ITM:% 1c#\CO1l 变化光栅周期的3D参数优化 9#P~cW?
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 ?2da6v,t y[.lfW?) 制造公差分析 R,78}7B
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\3 N !Whx^B: 走进VirtualLab Fusion , ~38IIS>_
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7dd VirtualLab Fusion中的工作流程 m-\_L=QzM
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 ~A5NseWCK KzV|::S^ •构造光栅结构 de2G "'F
−通过使用界面来配置光栅结构 @d~]3T
[用例] Io JI|lP
•分析光栅衍射效率 qGV(p}$O
−光栅级次分析器[用例] Z7pX%nj_
•使用参数运行搜索初始解决方案 C}<e3BXc
−参数运行文档的使用[用例] dl8f]y#Q
•通过参数优化找到最终设计 ?'a>?al%> F%$ q]J[ VirtualLab Fusion技术 qS! Lt3+ Uaux0W
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