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摘要 C%u28| :#Wd~~d 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 6nn*]|7 YK_7ip.a[
=_CzH(=f# %9"H 建模任务 VY-EmbkG-t 81F9uM0 =;L|gtH" 光栅特性与参数的严格分析 [^iN}Lz -"x$ZnHU 不同光栅周期下的衍射效率 )%TmAaj9d b%+Xy8a
CIWO7bS }MySaL> 关于光栅周期选择的考虑 NEs:},)o 0-gAyiKx?
5P bW[ Xw1*(ffk 偏振相关的衍射特性 :jf3HG P}iE+Z3
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zi:BF60]= v=k$A •构造光栅结构 =43auFY-P −通过使用界面来配置光栅结构 mmsPLv6 [用例] l2d{ 73h •分析光栅衍射效率 MDN--p08 −光栅级次分析器[用例] Q\)F;: | •使用参数运行搜索初始解决方案 ,Q,^3*HX9} −参数运行文档的使用[用例] *I'yH8Fcn •通过参数优化找到最终设计 E4!Fupkpf ZuIefMiG~+ VirtualLab Fusion技术 CARzO7b\w S'14hk<
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