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摘要 %6--}bY^ .@-$5Jw 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ddVa.0Z!<
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 exdx\@72 hm<}p&!J 建模任务 L#)(H^[ _ pO `  7 h y&-< 光栅特性与参数的严格分析 [31p&FxM ) _ I,KEe 不同光栅周期下的衍射效率 e?bYjJ q 5<L_|d)0"
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4.RG4Jq 关于光栅周期选择的考虑 Q%aU42?_1
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 &@"]+33 0e ["]Tlnm •构造光栅结构 %[<Y9g,:Q
−通过使用界面来配置光栅结构 5s de
[用例] Q Z8QQ`*S
•分析光栅衍射效率 bt+,0\Vg5
−光栅级次分析器[用例] 0h$GI "dR
•使用参数运行搜索初始解决方案 tNs~M4TVVH
−参数运行文档的使用[用例] m8+(%>+7
•通过参数优化找到最终设计 4"\ yf 9+Y D!y VirtualLab Fusion技术 V%HS\< $h k6IG+:s
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