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摘要 q
okgu$2 uK2MC?LP 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 wKIQK!B)mF
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 ba^B$$?B o tXV9+AJ 建模任务 1>r7s* s{4|eYR  imv [xBA(d 光栅特性与参数的严格分析 0,1:l3iu1M U R>zL3 不同光栅周期下的衍射效率
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<C`qJP- 关于光栅周期选择的考虑 AKk6kI8 F
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 q/w<>u )NAC9:8! VirtualLab Fusion中的工作流程 E ]$YM5
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 =.NZ {G {,EOSta •构造光栅结构 $.{CA-~%[
−通过使用界面来配置光栅结构 |:yQOq|
[用例] ?|!167 /O
•分析光栅衍射效率 yZ k HBG4
−光栅级次分析器[用例] 5(e?,B }
•使用参数运行搜索初始解决方案
Z)}q=NjA
−参数运行文档的使用[用例] Xvu|ss
•通过参数优化找到最终设计 5dOA^P@`,M Pl^-]~ VirtualLab Fusion技术 7LMad% ;ELQIHnD"
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