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摘要 *aGJ$ P0 (&X/n=UI 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 7W>(T8K X\ xxld. j6
A.~wgJDO }[(v(1j='~ 建模任务 zT93Sb pdjRakN Emw]` 光栅特性与参数的严格分析 2#s8Dxt 0-/@-qV\ 不同光栅周期下的衍射效率 xE!b) @>S '-3K`[
B;2#Sa. m[BpV.s 关于光栅周期选择的考虑 Q% ^_<u hDc2T
'lOQb) n Q{~D5y,, 偏振相关的衍射特性 TV`sqKW
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8~g~XUl U~dqxR"Q 通过参数优化进行光栅设计 FtlJ3fB@ N,:G5WxW 固定周期的2D参数优化 nswhYSX 1K'cT\aFm
C'S_M@I= 2D参数优化–设计1 ;Zn&Nc7 EYi{~
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++ObsWZ w{]B)>! 1W 制造公差分析 ZZc^~ B~,?Gbl+g
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z80*Ylx b{X.lz0 VirtualLab Fusion中的工作流程 Ec }9R3 m P2U4,?_e
:`0,f ?cE yA7O<p+ •构造光栅结构 "chf\-!$ −通过使用界面来配置光栅结构 gV*4{d` [用例] G=C2l#
Ae! •分析光栅衍射效率 G/w@2lYx −光栅级次分析器[用例] XjYMp3 •使用参数运行搜索初始解决方案 Ki%)LQAg −参数运行文档的使用[用例] dkSd
Y+Q •通过参数优化找到最终设计 A>(EM}\, cBHUa}: VirtualLab Fusion技术 Urksj:N t{B6W)q
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