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摘要 y~ JCSzpU 0{/P1 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 l%?D%'afN `JGV3nN
38wt=0br h]rF2 B 建模任务 5V5E,2+
0 a$7}_kb W?a2P6mAh 光栅特性与参数的严格分析 HeagT(rN' @iZ"I i&+ 不同光栅周期下的衍射效率 GT[,[l %=:*yf>}
Y!VYD_'P #OKzJ"g 关于光栅周期选择的考虑 _R!KHi v(vLk\K7
7a@%^G @! s6(iiB%d 偏振相关的衍射特性 [Yx)`e '1lr "}"Q+
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8*nl Wl9qo }s_'q~R 通过参数优化进行光栅设计 Z&hzsJK{m$ lF]cUp#< 固定周期的2D参数优化 *t{$GBP /P~@__XN
#"^F:: b- 2D参数优化–设计1 TO.71x| stDrF1{
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W+3ZuAP\n 9Foo8e VirtualLab Fusion中的工作流程 K1rF;7Y6 'JR2@W`]]
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v?z •构造光栅结构
y{hy −通过使用界面来配置光栅结构 49%qBO$R [用例] >hcA:\UPk •分析光栅衍射效率 GzJLG=M −光栅级次分析器[用例] zGrUl|j •使用参数运行搜索初始解决方案 ze!S4&B −参数运行文档的使用[用例] o9)pOwk7; •通过参数优化找到最终设计 tGGv 2TCEy ^h+,Kn0@ VirtualLab Fusion技术 6LUO w
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