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摘要 '4sT+q '$) Wp _ 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 y_"G Mw
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 <YL\E v/[ Kw'Dzz%kN 建模任务 n#3y2,Ml {CH\TmSz  ^J>2 8Q\S 光栅特性与参数的严格分析 nVG\*#*]| |~H'V4)zXu 不同光栅周期下的衍射效率 ?l,i(I "E pE!jh
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r"fu{4aX 关于光栅周期选择的考虑 :yT~.AK}>1
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 r*p%e\ 3 3:;%@4f VirtualLab Fusion中的工作流程 gSe{ S
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 c//W# V2Q '\_)\`a| •构造光栅结构 i{e<kKh
−通过使用界面来配置光栅结构 rRt<kTk!U
[用例] W@S9}+wl*
•分析光栅衍射效率 SQ1&n;M}f
−光栅级次分析器[用例] eqf~5/Z
•使用参数运行搜索初始解决方案 sNZPv^c
−参数运行文档的使用[用例] mE7Jv)@
•通过参数优化找到最终设计 T ]zjJwa 87>Qw,r VirtualLab Fusion技术 RI*%\~6t? mn4;$1~e>H
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