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摘要 4s Vr]p` d^&F%)AT 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 aWLeyXsAu
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 Tz=YSQy$9 /R_*u4}iD 建模任务 $rZ:$d.C `f@VX
:aL}  )A`Zgg'L7D 光栅特性与参数的严格分析 :\0 q\2e[< CKAs3", 不同光栅周期下的衍射效率 -*?Y4}mK %Jrdr`<
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4LCgQS6 关于光栅周期选择的考虑 ]g>@r.Nc
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 pti`q ) }DTpl?l •构造光栅结构 9&A- o
−通过使用界面来配置光栅结构 M/5e4b
[用例] &nk6_{6
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•分析光栅衍射效率 40pGu
−光栅级次分析器[用例] M}4%LjD
•使用参数运行搜索初始解决方案 j380=? 7
−参数运行文档的使用[用例] >n@?F[ Y
•通过参数优化找到最终设计 ~UjFL~K} /"?y @;Y~ VirtualLab Fusion技术 lgZ3=h sk~rjH]-g$
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