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摘要 +{Jf]"KD 1[gjb(( 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 a5U2[Ko80 h-_0 A]
rCSG@D. <0Egkz3s 建模任务 ,Y\4xg*` Ay"2W%([` VrGb;L'[ 光栅特性与参数的严格分析 FUqhSW kG;\i 不同光栅周期下的衍射效率 dpGQ0EzH^ 5.K$
X$+7}
ux79"5qb ,?~UpsUx 关于光栅周期选择的考虑 m/F(h-? Fx88R!
SiuO99'nV 8apKp?~yW 偏振相关的衍射特性 U9p.Dh~)vG 1-]x
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Z=t#*"J :qSi>KCGh 通过参数优化进行光栅设计 ~
%YTJS q;a*gqt 固定周期的2D参数优化 X @jYQ. gl7vM
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A&lgiR*ObT 09;'z 变化光栅周期的3D参数优化 4k2c mM$ K#C56k q&
iN/!k.ybW} HYYx*CJ) 制造公差分析 @?cXa: tX u-M$45vct
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f. +:Q/<^Z •构造光栅结构 5b4V/d*
' −通过使用界面来配置光栅结构 6V6g{6W,/ [用例] ,~?A.
5 •分析光栅衍射效率 YGpp:8pen −光栅级次分析器[用例] qkG;YGio •使用参数运行搜索初始解决方案 #`)-$vUv^f −参数运行文档的使用[用例] `k%#0E*H •通过参数优化找到最终设计 Qufv@.'AY / z?7ic0
VirtualLab Fusion技术 PEn^.v@ BRzWZq%r3
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