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摘要 h8Q+fHDYv J_C<Erx[O 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 U[*VNJSp
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 h$)(-_c3 i6?,2\ K 建模任务 l)[\TD
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 5I/wP qR[ _OV\W'RrA VirtualLab Fusion中的工作流程 ^ C VhV
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 56gpAc 1{+x >Pv: •构造光栅结构 n X 4R
−通过使用界面来配置光栅结构 BC*vG=a
[用例] (uW/t1
•分析光栅衍射效率 j(^ot001%v
−光栅级次分析器[用例] ^,u0kMG5l
•使用参数运行搜索初始解决方案 ALvj)I`Al
−参数运行文档的使用[用例] .{sKEVK
•通过参数优化找到最终设计 J$6h% Eyo w}+#w8hu VirtualLab Fusion技术 X8~dFjhX >dKK [E/[d
 j1 _ E^
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