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摘要 I"F
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1W}nYU 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 K5)yM @cq g@k#J"Q'[
4*D fI Dc&9emKI 建模任务 M]4 =(Vv+5 7{Ki;1B[w L&DF,fWsF& 光栅特性与参数的严格分析 ].k+Nzf_ /XW&q)z-Hl 不同光栅周期下的衍射效率 N)vk0IM! M ~ i+F0
e0~sUVYf 6m-:F.k1( 关于光栅周期选择的考虑 /+x#V!zM \&\_>X.,
:Er^"9'A2 'd2qa`H'}B 偏振相关的衍射特性 56bud3CVs ]e@0T{!
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jIx8k8 ;LQ# *NjL\ 通过参数优化进行光栅设计 w PG1P'w; Ss#@=:"P 固定周期的2D参数优化 d%#!nq{vd "'z,[v50&
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rA`` •构造光栅结构 $> "J"IX −通过使用界面来配置光栅结构 6g5PM4\ [用例] Y/.AUN
Z •分析光栅衍射效率 yXJ]U
\ % −光栅级次分析器[用例] v8ba~ •使用参数运行搜索初始解决方案
!M −参数运行文档的使用[用例] BjJ,"sT •通过参数优化找到最终设计 R/^@cA &4,WG VirtualLab Fusion技术 Fi mN?s 9n1ZVP.ag
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