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摘要 xA n|OSe 6is +\ 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 F*:H&,
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 <`A!9+ H3JDA^5 建模任务 LzB*d dW^#}kN7V  eo"XHP7ja 光栅特性与参数的严格分析 r"5\\ qf5* ]<fZW"W< q 不同光栅周期下的衍射效率
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*nd!y' 关于光栅周期选择的考虑 y dzvj p=
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 JCITIjD7= 2D参数优化–设计1 k0DX|O8mXV
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 072`i 46 mw=keY9] 制造公差分析–设计2 jATN):8W
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 _&F*4t!n_ p \,PY VirtualLab Fusion中的工作流程 mv9@Az9
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 @1 )][r-7 G]fx3= •构造光栅结构 EXbhyg
−通过使用界面来配置光栅结构
0GiL(e|
[用例] @X0$X+]E*8
•分析光栅衍射效率 l,M?
−光栅级次分析器[用例] ob>2SU[Y
•使用参数运行搜索初始解决方案 W6uz
G
−参数运行文档的使用[用例] cH\.-5NQ
•通过参数优化找到最终设计 e? !A]2 F DO$( & VirtualLab Fusion技术 /=ro$@ VSa#X |z
 ,Tc598 D
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