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摘要 JmI%7bH@ ?*fa5=ql 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Ma^jy. vhrf 89-q
gmL~n7m:K .<hHK|HF 建模任务 +MoUh'/u U: 9&0`k( &`D$w?beg 光栅特性与参数的严格分析 OdzeHpH3g |#TU"$; 不同光栅周期下的衍射效率 9p{4-] smn"]K
9c>i>Vja! Qa{5]+E 关于光栅周期选择的考虑 s5VK 5
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6j%%CWU{~ Y+?QHtZL 偏振相关的衍射特性 h[
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^h[6{F~J b;i*}4h! 通过参数优化进行光栅设计 8em'7hR9 o=m5AUe?J 固定周期的2D参数优化 F&Md+2 xWLvx'8W
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2[lP ,;! B:zx 9 •构造光栅结构 +)c<s3OCE −通过使用界面来配置光栅结构 Xu{y5N [用例] pMU\f •分析光栅衍射效率 dle\}Sy= −光栅级次分析器[用例] a~2Jf @I3 •使用参数运行搜索初始解决方案 A}(xH`A −参数运行文档的使用[用例] xW"O|x$6 •通过参数优化找到最终设计 o$@/@r l+;S$evY VirtualLab Fusion技术 '(K4@[3t `xM*cJTZ
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