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摘要 >UQY3C :sQ>oNnz 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 i! x>)E o! l Ykud
mqj-/DN6* )q66^%;S 建模任务 ;I&XG ZTibF'\5N .g3=L 光栅特性与参数的严格分析 "[eH|z/ Sx[
eX,q 不同光栅周期下的衍射效率 2Rt6)hgY P)kJ[Zv>f
m"T}em# sH.=Faos 关于光栅周期选择的考虑 hrm<!uKn *a\6X(
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V2!0),]B Wqkb1~]#Y 偏振相关的衍射特性 [~u!*W L
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PcBD;[cn fZezDm(Q 通过参数优化进行光栅设计 \ )=WA! cT(6>@9@ 固定周期的2D参数优化 WR3,woo m`l9d4p
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iCPm7AU vY-CXWC7 VirtualLab Fusion中的工作流程 `^Vd* n&njSj/
=nGFLH6) ;NR|Hi] •构造光栅结构 Z^:_,aJ? −通过使用界面来配置光栅结构 $G-<kC}8: [用例] :YI5O/gsk? •分析光栅衍射效率 dMH_:jb −光栅级次分析器[用例] |gA@WV-% •使用参数运行搜索初始解决方案 "5&"Ij,/ −参数运行文档的使用[用例] 9h amxi •通过参数优化找到最终设计 `*3A7y <NMJkl-r8r VirtualLab Fusion技术 n.&7lg^X &t[[4+Qt
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