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摘要 X:OUu; 2fMKS 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 >B+!fi'SS> OP\m~1 qbD[<T 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) =a_ >") 2j-^F 建模任务 pn
aSOyR -h,?_d> 5P![fX|5 63pd W/\j 单次FMM仿真结果 ]R]%c*tA @*5(KIeeC> %bgUU|CdA ~>>^7oq 参数扫描(1D) '>#8
F. Hie G Y+li{ {*K7P> & 参数扫描(2D) G9r~O#=gy 18G=j@k7 !4(QeV-=
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