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摘要 >p[skN DMc H, _( 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 2j UEL=+Y WkF60'Hf
Hy9c<X[F9 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) cu~\&3R !UV1OU 建模任务 )yj:P }=fVO<Rv
zBKfaQI, DA(ur'D 单次FMM仿真结果 v"K # E;vF
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