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摘要 u;qBW
uO ^B|Q&1 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 ?xuhN
G@ GwoN=
pkL&j<{ 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) g0D(:_QXp: amn\#_( 建模任务 f 6h!wx sSMcF[]@2I
RMx$]wn_ `'{>2d%\g 单次FMM仿真结果 _JjR=
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_cY!\' #X(KW&;m 参数扫描(1D) @sAT#[j D^knN-nZ*
AVys`{*c o7*z@R" 参数扫描(2D) #FBq8iJ .(0'l@#fT BQcrF{q
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