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摘要 PVO9KWv**
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i6r]j_ 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 >J=x";,D|~
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 <!,q :[ee5 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） 1{ #Xa=
V mQ7M4j* 建模任务 *8p\.za1
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 hMJ \a vg5zsR0u 单次FMM仿真结果 T[)) ful
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 KHr8\qLH $#4z >~0 参数扫描（2D） jn\\,n"6 zJ9ZqC]  !W$3p'8Tu
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