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摘要 He*L"VpWv vSL{WT]m 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 R 1 b`( YOoP]0'L
0zxeA+U 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) 1&As:kv5I >k jJq]A2 建模任务 {p\KB!Y- t8+93,*B
Smux&e +~v(*s C 单次FMM仿真结果 aRwBxf c8s/`esA
!{XO#e -XyuA:pxx 参数扫描(1D) =+L>^w#6= U
Oo(7
M:$nL ?C{N0?[P- 参数扫描(2D) qTGy\i X[ (J!"+ c2f$:XiM
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