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摘要 c}G\F$ 0s72BcP 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 @c-| Sl ]Vm:iF#5P
DX(!G a 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) 3+WmM4| |44 E:pA 建模任务 B1k;!@@14 Koi-b
s= bP@[Gj %0_}usrsk 单次FMM仿真结果 >9+h2B
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<3fY,qw H{,qw%.|KA 参数扫描(2D) *cy!PF& 2I>`{#fV %hVI*p3
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