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摘要 ;-9=RI0 M\sN@+ 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 Rec6c&5_ `!XY]PI+e
A9f)tqbc 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) +g` 'J$ #z&&M"*a| 建模任务 r
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U@gn;@\ }lh I\q 单次FMM仿真结果 )Gj8X}DM .$Ik`[+Z
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