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摘要 : T qeVf MK!Aq^Jz 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 !d95gq<=> B}N1}i+
++=jh6 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) =RofC9, U8<C4 建模任务 TT&%[A+ ]Z*B17//
"Sw raq vxrqUjK7 单次FMM仿真结果 X*hPE=2`
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In;+wFu;M Z!l]v.S 参数扫描(1D) IL"N_ux~w~ VaO[SW^
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