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摘要 I_On0@%T5b B}npom\tC 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 J|N>}di ~0Xx] xoNn'LF#u 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) sH\ h{^ KhPDkD- 建模任务 k~pbXA*u 4Q^i"jT +V/m V7FK &1ss
@- 单次FMM仿真结果 }7Y@u@R SAGECK[Ix O%rt7qV"g2 0A.9<&Lod 参数扫描(1D) VMV~K7%0 bT c'E# meR5E?Fm ~:):.5o 参数扫描(2D) i`" L?3T X1\ao[t<;c o]m56
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