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摘要 kM!V.e[g XrS\+y3 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 cn%2OP:L^ f jI #-
YX*0?S 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) F6W}mMZH/N dv7<AJ 建模任务 bD<qNqX$ yG&2UqX
nLy#|C [9V]On 单次FMM仿真结果 w(BH247` tWY2o3j
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