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摘要 hIJtu;}zU mM,HMrgLqK 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 -]Z7^ KewW8H~tb 1xB}Ed*k 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) ]M7FIDg ~3F'X 建模任务 h_%q`y , 1M]=Nv ngo> ^9/8 v>8C}d^ 单次FMM仿真结果 O3} JOv_ 0MW W(
; Eomfa:WL )+G"57p 参数扫描(1D) +%JBr+1#\ TN(Vzs% DB/~Z $w0TEO! 参数扫描(2D) ?jmP]MM .-d'*$
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