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摘要 !%ju.Xs8 jH!;}q 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 Nr~!5XO rDhQ3iCqo
HbI{Xf[6LP 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) \fiy[W/k ^4+NPk
建模任务 hTzj{}w wT\BA'VQ
J8p; 1-C" *$BUow/> 单次FMM仿真结果 G}g;<,g~
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GEF's#YWK Eu'E;*-f 参数扫描(1D) b4-gNF]Yt #e-K It
`G1"&q,i vJ}WNvncVF 参数扫描(2D) O>qlWPht ch]Qz[d yuBRYy#E|%
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