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    [技术]使用傅里叶模态法分析闪耀光栅 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-10
    摘要 p(.N(c  
     4HW;  
    可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 ;t|,nz4kJ  
    |f<9miNu  
     ]Ym=+lgi  
    傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） BO"qD[S  
     :Z[(A"dA  
    建模任务 5E`JD  
    /,X7.t_-  
     O)`Gzx*ShU  
    A0OB$OK  
    单次FMM仿真结果 ^Wm*-4  
    ?&6Q%IUW1  
     w]F!2b!  
    >4~#%&  
    参数扫描（1D） 3+%nn+m  
    dkpQ ZXi9%  
     JDKLKHOMZ  
    !O8.#+  
    参数扫描（2D） xdqK.Z%  
       2Y$  
    /~tP7<7A  
     
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