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摘要 4Lh!8g=/
B=yqW 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 8#
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 .TMs bZ|j 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） U; V7 u/{
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/& 建模任务 S)k*?dQ##R
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H 单次FMM仿真结果 f/NH:1)y
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 HU }7z K2 1onM j 参数扫描（1D） ^ f
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 dh*ZKI ^@( Zq|I, l0+E 参数扫描（2D） *vN-Vb^2i) |zNX=mAV  )uIe&B
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