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摘要 j~DoMP5Ls
Op3 IL/ 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 l%S z6
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 *ep!gT*4 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） $
O!f*lG
k9 *0xukJ 建模任务 KvilGh10
qUt VqS
 C,PCU <q 2L<TqC{,- 单次FMM仿真结果 oU~V0{7g
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McG83 参数扫描（1D） !.t'3~dUf$
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 HTqik w5X `MTOe 1 参数扫描（2D） !y] Y'j b}"/K$` Fd  r)j#S kh].
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