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摘要 d =KOV;~);
v _@_J!s 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 R39R$\
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/<0Z 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） ;Gs**BB&
J3.Q8f 建模任务 4vQHr!$Ep
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 9c7 }-Go 8W[]#~77b 单次FMM仿真结果 l >(G3l Iw
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