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摘要 (oG-h"^/
cg | C S? 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 D&]dlY@*
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 RHj<t"); 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） ([D a* Tk*
OGGuV Y 建模任务 CW .
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