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    [技术]使用傅里叶模态法分析闪耀光栅 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 07-10
    摘要 <LJ$GiU  
     t`AD9 H"\!  
    可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 Y%faf.$/9  
    g_=Q=y@,  
     3X:F9x>y  
    傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） L8W3Tpi&(  
     J0#% *B  
    建模任务 0pR04"`;  
    _5zR!|\^  
     6-3l6q  
    #xc[)Y,W  
    单次FMM仿真结果 c:0$ M w=  
    HiC\U%We  
     L4NC -  
    U2aE:$oeYi  
    参数扫描（1D） & zG=  
    E|>I/!{u7`  
     |3i~?] A  
    BjH(E'K[b  
    参数扫描（2D） |0&S>%=  
       C>+UZ  
    T.pPQH__  
     
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