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摘要 z0LspRaz [ S 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 PY_8*~Z ~.3v\Q
j=T8b 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) G?@W;o) AR( gI]1 建模任务 C[%Qg=< :y7K3:d3
[c=P)t7
V 8GW+: 单次FMM仿真结果 h=`$ec yfV]f
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P^"RH&ZQJ Ojz'p5d`> 参数扫描(1D) Kw"e4 a ^k7I+A
TO89;O J:W+'x`@ 参数扫描(2D) n*$g1 HG6 AP%R*0] QWa@?BO2p
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