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摘要 %%uE^nX>
E 8}evi 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 :Z6j5V;s
l&q Cgw
 Z CPUNtOl 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） Dpw*m.f
Cg]),S 建模任务 }P
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 .)!QsBU u%) gnj_ 单次FMM仿真结果 p .=9[`
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