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摘要 lpHz*NZ0 `#w`-
可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 $Hbd:1%i
{ [d/uy>z, C'Z6l^{> 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) ,zU7U L^I >zY~")|R( 建模任务 CPS1b #{oGmzG! sQ8_j NY!"?Zko 单次FMM仿真结果 5/"&C-t vaOCH*}h )+xHv zQhc
V 参数扫描(1D) S6pvbaMZ 3D/<R|p '}eA2Q>BV M<"H1>q@ 参数扫描(2D) ss>p K{#1O=Gi H(k-jAO,
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