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摘要 e6Wl7&@6
:8GlyN<E 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 U&w *Sb"
u!hqq^1
 pZyb 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） L~'^ W/N
"K9vm^xP 建模任务 ' 2;Ny23
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 }w;Q^EU 40`9t Xn 单次FMM仿真结果 x& mz-
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 B7NmET4 Fcu Eeca 参数扫描（1D） ;}UIj{sj*
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 X; e`y:9 1^n5CI|7u 参数扫描（2D） 8Cf ^$
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