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摘要 $jpAnZR- / B4hT(;k 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 1Qc>A8SU 4x`.nql
=JqKdLH 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) cgQ4 JY/6 Ju0W 建模任务 %^5|3l3y z A ~aiX
-<Wv7FNpD 0[f8Gb3 单次FMM仿真结果 H=_ Wio kp{q5J6/
1>KZ1Kf _P^ xX'v 参数扫描(1D) 4Ou|4WjnL Z=L~W,0'
o7qZy |\4S D2060ze 参数扫描(2D) ?hz9]I/8 2feiD?0 *0*1.>Vg
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