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摘要 q?t>!1c 8[y7(Xw 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 NuXU2w~ RP(FV<ot
hA~}6Qn 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) v=W%|iZ ~MQN& 建模任务 %EVg.k$ yBr{nFOgdY
pYa<u,>pN ,f1+jC 单次FMM仿真结果 "n05y} E]7G4
v'iQLUgI L' )(Zn1 参数扫描(1D) Z`:V~8=l M.l;!U!}
%_3{Db`R> {`}RYfZ 参数扫描(2D) )<~b*^kl\ 3yZ@i<rfH f.8L<<5 c
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