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摘要 E!SxO~ </@3}rfUPg 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 h^aUVuL/
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r{1xjAT 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) ~P@6fK/M JA(M'&q4 建模任务 *$/!.e oD?c]}3
_1EWmHZ? Pko2fJt1 单次FMM仿真结果 9%MHIY5 bzh`s<+
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