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摘要 YN\!I p^G:h6|+| 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 ?i.]|#{Z "z
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S`LS/) 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) U]!D=+ C~4$A/&( 建模任务 G22=8V wvAXt*R
@"*8nV# ^]He]FW':G 单次FMM仿真结果 %ZF6%m0S WJG& `PP
#,dE) 83*"58 参数扫描(1D) M(,npW J$)lYSNE
6Xjr0C+ &j@i>(7 参数扫描(2D) hWGCYkuW <r*A(}Y q%u;+/|l
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