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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-03
    摘要 TtkB  
    }tc,3> /  
    光栅光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 [S3X  
    tao3Xr^?  
    h2h$UZIv  
    )Bd+jli|s  
    系统内光栅建模 Yx XDRb\kW  
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 mP3:Fc _G  
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 )M'#l<9B  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 O6k[1C  
    i aP+Vab  
    #t3j u^ |?  
    `,\WhJ?9  
    附着光栅堆栈 {9'"!fH  
    ]yCmGt+b  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 )h>Cp,|{  
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 -pa.-@  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 r(i<H%"Z  
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 .o.@cLdU  
    uop_bJ  
    63-`3R?;  
    ;'2y6"\Y  
    堆栈的方向 vEn12s(lj  
    1T!_d&A1o  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: {*>$LlL  
    kpK: @  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 F;`of  
    <f{m=Dc  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 $ZwsTV]x  
    wQ(ME7 t  
    <[l2]"Q  
    h/eKVRGs"  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 ~>s^/`|?  
    ]#S.L'  
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 zS|%+er~zO  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 t(Iy[-  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 '2:Ily,S@  
    HHa7Kh|-H  
    P#rwYPww\  
    !4I?59  
    高级选项和信息 M8S4D&vpD4  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 P%B1dRa  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 6t/})Xv  
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 |WubIj*\{  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 e`#Gq0}8  
    Tff7SEP  
    EzzzH(!j  
    %>5Ht e<  
    结构分解 +S0A`rL  
    i!YZF$|  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 {TE0  
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 Mr/^V,rA  
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 +<bq@.x  
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 2tn%/gf'm  
    D1#E&4   
    POUB{ba  
    ][wS}~):  
    光栅级次通道选择  v+G}n\F  
    .B#Lt,m  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 owYfrf3ZLX  
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 k_O"bsI)  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 ,FS iE\  
    ;$[o7Qm5r  
    a,&Kvh  
    z?1G J8  
    光栅的角度响应 t6-c{ZX>A  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 vlzjALy  
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。  jCKRoao  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 ;hd> v&u#  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 EB@!?=0x  
    G.B^C)guu  
    R>pa? tQgK  
    W,AIE 6F  
    例:谐振波导光栅的角响应 ;M4N=G Wd4  
    -b)p6>G-C  
    ~R!(%j ]  
    *;"^b\f5_  
    谐振波导光栅的角响应 Hvor{o5|tB  
    [HQ17  
    `Rj i=k>  
     
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