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摘要 >F_Ne)}qTQ \9zC?Cw 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 :.df( 1(RL >*xzSd?\
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Oq! 系统内光栅建模 Vn;]''_ 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 0j MI)aY. 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 ~0Q72 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 6WM_V9Tidq 7N=VVD~!b
ZM`_P!G &\[J 附着光栅堆栈 Lb 4!N`l d's`~HOU2 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 (1]@ fCd + 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 7Apbi}") 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 v"_#.!V 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 *OcptmY< l= S_#
/*HSAjv !,uw./8@Ku 堆栈的方向 YU(x!<Z kO4~N-& 堆栈的方向可以用两种方式指定: qrh7\`,.m/ \Da$bJ 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 imQNfNm 6I![5j 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 O0YGjS|d d^^>3L!h 3$;v# P$%N >i E
基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 5L#M7E a9-;8`fCR 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 WfZ#:G9 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 J?$uNlI 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 u\?u}t v Fj4:_(%nG
tjt#VFq? *n5g";k| 高级选项和信息 v*v&f!Ym&s 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 c[q3O** 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 wE2?/wb 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 Ta$<#wb 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 0g4cyK~n] BJ/%{ C`g
+P.Ir "H@AT$Ny( 结构分解 n\U6oJN rD?o97 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 N@S;{uK 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 <h[^&CY{ 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 ppA8c6 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 7\lc aC@ 8nM]G4H.f
a3[aXe P)
#rvTDRw 光栅级次通道选择 \W!<xE &(0);I@fc 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 0c)19Ig 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 =6:Iv"< 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 1>1!oml1E &bb*~W-
EIAT*l :NW [gDvAtTZ5 光栅的角度响应 gnt[l0m 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 gV0ZZ"M 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 1Mqz+@~11 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 1Cthi[B 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 "]%
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~QXNOtVsN E#OKeMK 例:谐振波导光栅的角响应 #0tM88Wi UNJ|J$T]
4 2~;/4 mz''-1YY$ 谐振波导光栅的角响应 X|as1Y$O+ 5UqCRz<,R
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