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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-03
    摘要 -cHX3UAEI  
    ^L<*ggw  
    光栅光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 8\^[@9g3\3  
    txwTJScg  
    4;ig5'U,  
    P2Ja*!K]  
    系统内光栅建模 QAy9RQ0  
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 zoV-@<Eh  
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 )ccd fSe  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 L_rKVoKjt  
    yv<0fQ  
    ^Q?I8,4}  
    -R;.Md_  
    附着光栅堆栈 !Fz9\|  
    t'EH_ U  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 ;mLbJT   
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 IPl>bD~=p  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 9J?G"JV?  
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 {Z_Pry$6  
    ~qiSkG  
    ;6} *0V_!k  
    8F<Qc*'  
    堆栈的方向 7 '@l?u/6  
    %Iv0<oU  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: -< 7KW0CA  
     /y,~?  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 9zkR)C  
    K`@GN T&  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 XRI1/2YA  
    }q(IKH\&  
    h(I~HZ[K&T  
    &:-`3J-  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 d%9r"=/  
    X!n-nms  
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 x c-=;|s  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 Wv"[,5 Z13  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 *4^!e/  
    ,F J9C3  
    (o\:rLZu  
    %rT XT  
    高级选项和信息 HPT9B?^  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 J680|\ER  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 F,e_`  
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 P$@5&/]  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 H+; _fd  
    Z$,1Tk"O/s  
    S{z%Q  
    r! 5C3  
    结构分解 AdB5D_ Ir  
    ]P ->xJ  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 0}Xkj)R,  
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 B{|P}fN5}  
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 6kjBd3  
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 F5J=+Q%8[&  
    ?/{ qRz'C<  
    a'Qy]P}'Ug  
     ?S0VtHQ  
    光栅级次通道选择 a7q-*%+d5  
    :f^O!^N  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 ,KIa+&vJW@  
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 )j@k[}R#g  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 x-U^U.i@  
    xN}P0  
    "aP>}5<h  
    i[^?24~ c  
    光栅的角度响应 _q=$L eO5  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 7 s5?^^  
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 G_[|N>  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 eF}Q8]da  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 Qkk~{OuC  
    >9=Y(`  
    o&?Tz*"l  
    ~@bCSOIy  
    例:谐振波导光栅的角响应 *`);_EVc  
    u3 ?+Hu|*T  
    R8\y|p#c  
    0'|#Hi7@  
    谐振波导光栅的角响应 PKfxL}:"8  
    +]CKu$,8  
    & HphE2 h  
     
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