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摘要 26**tB< W1s|7 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 a$GKrc,z oMPQkj;
kel {9b=i $Yka\tS' 系统内光栅建模 $CmTsnR1#y 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 GyCpGP|AZ 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 *O;N"jf
光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 VX%+!6+fS `et<Z
_=] FJhO #59zv= 附着光栅堆栈 tu'M YY liTr3T`,V 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 \9p;md` 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 erqB/ C 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 Ua]zTMI 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 EkX6> mo K"1J1>CHQ -O5m@rwt< OK 6}9Eu9 堆栈的方向 mAzW'Q4D (0+m&,
z 堆栈的方向可以用两种方式指定: F\I^d]#,[ z-DpLV 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 riL!]'akV 9E^piLA 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 ry0 =N^ D\R^*k@V ,3j7Y5v =X*E(.6Ip 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 0u_'(Z-^2 }#J}8. 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 xh0A2bw'OP 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 NS q=_8 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 s<b7/;w' wLbngO=VG
oB9m\o7$ Q1Ao65 高级选项和信息 X\%3uPQ 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 yH^*Fp8V
求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 @XmkIm 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 _HsvF[\[ 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 bed+Ur& '_)tR;s
@Hh"Y1B In&vh9Lw 结构分解 /`> P|J }b`*%141 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 H[
q{R 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 I>aa'em 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 R
28* 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。
v%5(- DF2&j!
4&D="GA 1tW:(~=a; 光栅级次通道选择 IJ;*N 3;:V1_JA 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 S)yV51^B 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 ub5hX{uT 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 '9@R=#nd ?C35
`'WLGQG 5g5NTm`=< 光栅的角度响应 !$Z"\v'b 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 9DX3]Z\7X 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 Sj?sw]3 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 G>QTPXcD 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 %SCu29km lvi:I+VgA
.Er/t"Qs; ?` i/ 例:谐振波导光栅的角响应 ;4$C$r!t "6Uj:9
PBtU4) NCt sx /C 谐振波导光栅的角响应 yan[{h]EZ @~3c"q;i7
)7g_v*
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