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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-03
    摘要 {^CT} \=>  
    xX3'bsN  
    光栅光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 CO-_ea U(  
    dpQG[vXe  
    HCK|~k  
    qbrpP(.  
    系统内光栅建模 =/<LSeLxH  
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 i| \6JpNA:  
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 tqAd$:L  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 +[\eFj|=  
    4=uhh  
    iu**`WjI\  
    $VAx:Y|  
    附着光栅堆栈 !-s!f&_  
    T|&[7%F3"  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 f)]%.>  
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 ,F&g5'  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 5<I   
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 [{4 MR%--  
    `[o)<<}  
    )9,  
    Z\[N!Zt|  
    堆栈的方向 &DqE{bBd!  
    vVGDDDz/  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: HM>lg`S  
    |6G m:jV  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 Uax+dl   
    |AZg*T3:W  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 Cg*H.f%Mr  
    3+ >G#W~  
    1[_mEtM:]B  
    <2C7<7{7  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 .CP& bJP%  
     $R<Me  
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 kyR*D1N&)  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 ^Rm  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 ceNix!P  
    &A#~)i5gF  
    CJ}5T]WZ  
    =PGs{?+&O  
    高级选项和信息 Em[DHfu1Q  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 P`r55@af4  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 M$f7sx  
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 c8Z wr]DF  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 tabT0  
    8Sz})UZ  
    54zlnM$  
    ! 8`3GX:B_  
    结构分解 = k\J<  
    tTd\|  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 ){jl a,[  
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 s/089jlc  
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 KZ~*Nz+H2  
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 [w ;kkMJAy  
    G[jW<'f  
    zbJT&@z  
    YBh'EL}P  
    光栅级次通道选择 V|\7')Qq  
    O|_h_I-2  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 g+X}c/" .  
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 U`hY{E;  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 N&@}/wzZ  
    36US5ef  
    \d::l{VB  
    J90v!p-  
    光栅的角度响应 a22XDes=  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 3_A *$  
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 ! VjFW5'{  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 f 2l{^E#h  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 +^;JS3p@\  
    s(W|f|R  
    (5\N B0  
    [z 7bixN  
    例:谐振波导光栅的角响应 ?6'rBH/w  
    [=~pe|8:  
    #:SNHM^><  
    qe5feky  
    谐振波导光栅的角响应 Hc`A3SMR  
    8V~vXnkM  
    2;w*oop,O  
     
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