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摘要
{^CT}\=> xX3'bsN 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 CO-_ea U( dpQG[vXe
HCK|~k qbrp P(. 系统内光栅建模 =/<LSeLxH 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 i|
\6JpNA: 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 tqAd$:L 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 +[\eFj|= 4=uhh
iu**`WjI\ $VAx:Y| 附着光栅堆栈 !-s!f&_ T|&[7%F3" 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 f)]%.> 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 ,F&g5' 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 5<I 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 [{4MR%-- `[o)<<} ) 9, Z\[N!Zt| 堆栈的方向 &DqE{bBd! vVGDDDz/ 堆栈的方向可以用两种方式指定: HM>lg`S |6Gm:jV 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 Uax+dl |AZg*T3:W 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 Cg*H.f%Mr 3+>G#W~ 1[_mEtM:]B <2C7<7{7 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 .CP&bJP% $R<Me 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 kyR*D1N&) 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 ^Rm 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 ceNix!P &A#~)i5gF
CJ}5T]WZ =PGs{?+&O 高级选项和信息 Em[DHfu1Q 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 P`r55@af4 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 M$f7sx 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 c8Z wr]DF 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 tabT0 8Sz})UZ
54zlnM$ !8`3GX:B_ 结构分解 = k\J< tTd\| 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 ){jla,[ 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 s/089jlc 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 KZ~*Nz+H2 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 [w ;kkMJAy G[jW<'f
zbJT&@z YBh'EL}P 光栅级次通道选择 V|\7')Qq O|_h_I-2 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 g+X}c/". 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 U`hY{E; 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 N&@}/wzZ 36US5ef
\d::l{VB J90v!p- 光栅的角度响应 a22XDes= 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 3_A
*$ 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 ! VjFW5'{ 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 f 2l{^E#h 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 +^;JS3p@\ s(W|f|R
(5\NB0 [z7bixN 例:谐振波导光栅的角响应 ?6'rBH/w [=~ pe|8:
#:SNHM^>< qe5feky 谐振波导光栅的角响应 Hc`A3SMR 8V~vXnkM
2;w*oop,O
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