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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-03
    摘要 7e#|Iq:o  
    e;|$nw-  
    光栅光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 }{&;\^i  
    <LJb,l"  
    {#pw rWG  
    F]0 qt$GO  
    系统内光栅建模 .Ep&O#  
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 f)r6F JLU  
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 b0x%#trA{  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 v}IhO~`uEq  
    /cvMp#<]  
    )NqRu+j  
    fILvEf4b  
    附着光栅堆栈  5IF$M2j  
    8L6b:$Y3@C  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 &zP> pQr`#  
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 H9!q)qlK  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 eYu0")  
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 ^oW{N  
    YJ~mcaw  
    K7nyQGS  
    !*?9n ^PaF  
    堆栈的方向 59+KOQul6  
    N8J(RR9O  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: OF-VVIS  
    MhB> bnWXR  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 3od16{YH  
    B^d di  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 ki1j~q  
    )V_;]9<wt  
    _8\B~;0  
    Ji6.-[:  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 2. {/ls  
    64>CfU(  
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 Sn' +~6i  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 j"VDqDDz  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 lWT`y  
    rI6+St  
    - leYR`P  
    $q .}eb0  
    高级选项和信息 \wK4bvUrX  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 f/iMI)J  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 RAuVRm=E  
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 |>.</68Z  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 >[~7fxjK-  
    !_B*Po  
    @X560_x[q  
    Ps[#z@5{x  
    结构分解 DQaE9gmC  
    DVJn;X^T:  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 aUA)p}/:  
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 a#& ( i  
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 nr,Z0  
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 S2nX{=  
    g#cet{>  
    7T t!h f  
    O}p<"3Ub  
    光栅级次通道选择 (mKH,r  
    j2.7b1s  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 ^5( d^N  
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 P|]r*1^5  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 IOY7w"|LW  
    Vo6g /h?`  
    vAqj4:j  
    6<R[hIWpZ}  
    光栅的角度响应 "Wr[DqFd  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 ItZYOt|Hn  
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 U~;tk@  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 ^H{YLO  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 9 %i\)  
    3JkdPh  
    UT9u?  
    HXztEEK6  
    例:谐振波导光栅的角响应 x{tlC}t  
    V*@Y9G  
    B&0 W P5OF  
    bovAFdHW  
    谐振波导光栅的角响应 $CX3P)% `  
    QG2 Zh9R  
    qMA-#  
     
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