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摘要 K}(0H [P liuF;* 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 <+%#xi/_ ?cF-w!>o8
/6$8djw R"0fZENTG 系统内光栅建模 Le*sLuxk< 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 acXB
vs 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 Ig*qn# Dd 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 ^I4/{,Ev ) C?emTih
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'8M u\,("2ZW9+ 附着光栅堆栈 !x, ;& fCq 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 K:i{us` 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 Gxj3/&]^Y 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 gp/_# QVWC 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 0!^vQ +/L "A qg(rG5kD@ svBT~P0x 堆栈的方向 qBkI9H xK3
xiR 堆栈的方向可以用两种方式指定: e!:/enQo W)0y+H\%
r 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 3*DwXH + AhjUFz 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 h kh b8zS BgzER[g|q{ iyRB}[y 8\85Wk{b 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 &?-LL{W{ D~< 3 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 <}^W9>u< 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 LHt{y3l] 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 D9#?l<D 2!Mwui;%
#..-!>lY %/86}DCfE? 高级选项和信息 N<xf=a+j 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 k]vrqjn Q 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 m}x&]">9 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 2(,
`9 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。
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