-
UID:317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2025-04-02
- 在线时间1761小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
摘要 4::>Ca^{ 9zdp8?T 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 a );> GF6c6TXF@
Pn )^mt #;Yn8'a~ 系统内光栅建模 GA19=gow 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 @@L@r6 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 %
K$om|]p 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 wRgh`Hc\} sOc<'):TK
e:9CD- y %dUry%> 附着光栅堆栈 OrXx0Hn P;%4Imq3 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 ?Ji.bnfK 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 tw.2h'D 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 0qXkWGB 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 ,vBi)H (<ybst6+I ;Qpp[V` {^TV Zdw 堆栈的方向 GO@pwq< b6Jv|1w' 堆栈的方向可以用两种方式指定: "yR56`= 5t6!K?} 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 )|>LSKTEl 28l",j)S 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 yVe<[!hJ Xg*IOhF6x 3VJoH4E!6 &]VCZQL 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 ygm4A j> te?R(& 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 %G9:M;|' 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 q2VQS1R`8 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 ien >Ou n7~!klF-
MF>1u% #4h_(Y 高级选项和信息 :[gM 5G 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 >SJ#
rZ 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 \A`pF'50 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 sa\v9 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 g`KVF"8 C3fSSa%b
jKV,i? AL/`Pqlk 结构分解 y6KI.LWR9 V}732?Jy 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 ;EP]A3 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 EZkg0FhkZ 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 %
R~9qO 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 <\k=j{@ /kGRN@
v#/Uq?us Ou IoO 光栅级次通道选择 VNx|nP& }?B=R#5 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 xw-x<7 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 )L#C1DP# 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 Wt+aW |RQ19m@
620y[iiK$ jnFCtCB 光栅的角度响应 2Mx9Kd'a
r 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 ;i`X&[y; 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 S5ka;g 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 .fxI) 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 <:yB4t3H+q Xui${UYN
\RZFq<6> WSfla~-'F 例:谐振波导光栅的角响应 @L|X('i (x9d7$2
5J1A|qII JDVMq=ui 谐振波导光栅的角响应 Xr~6_N{J SymSAq0$F
KU[eY}
|