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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-07-03
    摘要 4::>Ca^{  
    9zdp 8?T  
    光栅光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 a );>  
    GF6c6TXF@  
    Pn)^mt  
    #;Yn8'a~  
    系统内光栅建模 GA19=gow  
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 @@L@r6  
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 % K$om|]p  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 wRgh`Hc\}  
    sOc<'):TK  
    e:9CD-  
    y %dUry%>  
    附着光栅堆栈 OrX x0Hn  
    P;%4Imq3  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 ?Ji.bnfK  
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 tw. 2h'D  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 0qXkWGB  
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 ,vBi)H  
    (<ybst6+I  
    ;Qpp`  
    {^TVZdw  
    堆栈的方向 GO@pwq<  
    b6Jv|1w'  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: "y R56`=  
    5t6!K?}  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 )|>LSKT El  
    28l",j)S  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 yVe<[!hJ  
    Xg*IOhF6x  
    3VJoH4E!6  
    &]VCZQL  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 ygm4Aj>  
    te ?R(&  
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 %G9: M;|'  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 q2VQS1R`8  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 ien >Ou  
    n7~!klF-  
    MF>1u%  
    #4h_(Y  
    高级选项和信息 :[gM 5G  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 >SJ# rZ  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 \A`pF'50  
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 sa\v9  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 g`KVF"8  
    C3fSSa%b  
    jKV,i?  
    AL/`Pqlk  
    结构分解 y6KI.LWR9  
    V}732?Jy  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 ;EP]A3  
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 EZkg0FhkZ  
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 % R~9qO  
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 <\k=j{@  
     /kGRN @  
    v#/Uq?us  
    Ou IoO  
    光栅级次通道选择 VNx|nP&  
    }?B=R#5  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 xw-x<7  
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 )L#C1DP#  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 Wt+aW  
    |RQ19m@  
    620y[iiK$  
    jnFCt CB  
    光栅的角度响应 2Mx9Kd'a r  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 ;i`X&[y;  
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 S5ka;g  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 .fxI)  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 <:yB4t3H+q  
    Xui${UYN  
    \RZFq<6>  
    WSfla~-'F  
    例:谐振波导光栅的角响应 @L|X('i  
    (x9d7$2  
    5J1A|qII  
    JDVMq=ui  
    谐振波导光栅的角响应 Xr~6_N{J  
    SymSAq0$F  
    KU[eY}   
     
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