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摘要 x.t&NP^V) A)!W VT&2A 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 2/t; }pw8 Bi;a~qE
u SI@Cjp t 3N}): 系统内光栅建模 xjnAK!sD 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 4<}@hk
Y 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 vvY?8/ 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 DFZ@q=ZT (ot56`,k
; \co{_&D =ZU!i0
K 附着光栅堆栈 SfPQ;s' " v
wLj: 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 1TA!9cz0Z 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 _8K8Ai-~.> 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 A0A|c JP 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 2P`./1L _nzq(m1@ [#\OCdb*3 KLG .?`h: 堆栈的方向 ,Js_d %YF
/=l 堆栈的方向可以用两种方式指定: s/J7z$NEU @VOegf+N 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 FdnLxw or;VmU8$zb 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 gU&+^e > hTZ6@i/pS +&f_k@+ N
GnE 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 n{<@-6 Cpd>xXZz&S 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 yr>J^Et%_ 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。
E>*b,^J7g 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 lQ ki58. _a"|
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CiHx.5TiC =&"pG`x 高级选项和信息 $(0<T<\ 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 @|ZUyat 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 !E00I0W-h 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 ,*lns.|n 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 $X.F=Kv b9i_\
$$4flfx !U(S?:hvW 结构分解 Z \ @9* W"#<r 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 O3slYd&V 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 im:[ViR { 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 6-?/kY 6 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 6OC4?#96%' @pv:uON\
W}D[9zo/
O\yYCi( 光栅级次通道选择 ~v/`
`s qx >Z@o 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 CP"5E?dcK 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 MxGQM> 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 zN+jn >yVrIko
x?0(K=h, u\xrC\Ka 光栅的角度响应 0VR,I{<.{ 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 -Tuk.>i) 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 fIx|0,D&7L 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 ?_ uan 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 60>g{1] ]NWcd~"b!Z
*n@rPr- &];W#9"Z 例:谐振波导光栅的角响应 T72Z<h|< |4aU&OX
-2U|G <R2SV=]Sq# 谐振波导光栅的角响应 6,~
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