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摘要 cuOvN"nuNj k,euhA/& 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 >X*Mio8P#
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yf&7P;A 系统内光栅建模 5`f@> r? 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 K~ ;45Z2 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 /x3/Ubmz~x 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 qJ0fQI\ B]tIi^
KK@.~'d *)+ut(x|# 附着光栅堆栈 @)SL_9 qCv20#!"| 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 RT%pDym\ 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 2h?uNW(0Q 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 *L!!]Q2c 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 )V!dBl"Gq L~ s3b ~axjjv W_0>y9? 堆栈的方向 ZyEHzM{$ 6~*9;!th 堆栈的方向可以用两种方式指定: *Vho?P6y\Y MxBTX4ES 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 3"F`ZJ]= xLx]_R() 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 j(~ *'&|( 4b:s<$TZ m*mm\wN5 NV#FvM/#" 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 D-,L&R!` [e1S^pI 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 cV`E>w=D0 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 6 PxW8pn 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 u :F~K 7.j[a*^
[d* ~@P Hk|0HL 高级选项和信息 csfgJ^ n 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 *28pRvY:b 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 t!IaUW 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 bO<CR 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 X6^},C'E.: `SVmQSwO[
zq%D/H6J, Ux+Q 结构分解 Y[ N^p#t{ Ja
,Cvt 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 T7f ${ 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 nJ"
' 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 MCdx?m3] 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 @JRNb=?a not YeY7wR
\cCV6A[ mg,j:, 光栅级次通道选择 mq%<6/YU \o';"Q1H 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 SRSvot};C 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 +CI1V>6^ 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 LzCw+@-umw ek
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O2"gj"D ~/_SMPLo 光栅的角度响应 D_8x6`z 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 *&
m#qEv 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 }@r{?8Ru 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 'KPASfC 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 Jnv@. >fIk;6<{
5pn)yk~ WMj}kq)SY) 例:谐振波导光栅的角响应 V=1Bo~ }ZqW@-
RW P<B0) y7^{yS[, 谐振波导光栅的角响应 sUYxT>R 6eokCc"o
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