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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-03
    摘要 cuOvN"nuNj  
    k,euhA/&  
    光栅光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 >X*Mio8P#  
    4CGPO c  
    NcY608C  
    yf&7P;A  
    系统内光栅建模 5`f@>r?  
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 K~ ;45Z2  
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 /x3/Ubmz~x  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 qJ0fQI\  
    B]tIi^  
    KK@.~'d  
    *)+ut(x|#  
    附着光栅堆栈 @)SL_9  
    qCv20#!"|  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 RT%pDym\  
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 2h?uNW(0Q  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 *L!!]Q2c  
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 )V!dBl"Gq  
    L~s3b  
    ~a xjjv  
    W_0>y9?  
    堆栈的方向 ZyEHzM{$  
    6~*9;!th  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: *Vho?P6y\Y  
    MxBTX4ES  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 3"F`ZJ]=  
    xLx]_R()  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 j(~ *'&|(  
    4b:s<$TZ  
    m*mm\wN5  
    NV#FvM/#"  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 D-,L&R!`  
    [e1S^pI  
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 cV`E>w=D0  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 6 PxW8pn  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 u :F~K  
    7.j[a*^  
    [d* ~@P  
    Hk|0HL  
    高级选项和信息 c sfgJ^n  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 *28pRvY:b  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 t!I aUW  
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 bO<CR  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 X6^},C'E.:  
    `SVmQSwO[  
    zq%D/H6J,  
    Ux+Q  
    结构分解 Y[ N^p#t{  
    Ja ,Cvt  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 T7f ${  
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 nJ" '  
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 MCdx?m3]  
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 @JRNb=?a  
    not YeY7wR  
    \cCV6A[  
    mg, j:,  
    光栅级次通道选择 mq%<6/Y U  
    \o';"Q1H  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 SRSvot};C  
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 +CI1V>6^  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 LzCw+@-umw  
    ek N' k  
    O2"gj"D  
    ~/_SMPLo  
    光栅的角度响应 D_8x6`z  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 *& m#qEv  
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 }@r{?8Ru  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 'KPASfC  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 Jnv@.  
    >fIk;6<{  
    5pn)yk~  
    WMj}kq)SY)  
    例:谐振波导光栅的角响应 V= 1Bo~  
    }ZqW@ -  
    RW P<B0)  
    y7^{yS[,  
    谐振波导光栅的角响应 sUYxT>R  
    6eokCc"o  
    5MSB dO  
     
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