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摘要 uj8G6'm% R,Gr{"H 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 ;HKb v~l_6V}
y#Cp Vm#!> d]3c44kkK{ 系统内光栅建模 jwP}{mi* 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 bHJKX>@{ 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 \BRxdK' 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 +2DzX/3 P4\{be>e
dwH8Zg$B sl5y1W/]] 附着光栅堆栈 xH,D
bAC; >DFpL$oP 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 {S9't;%] 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 t:NYsL 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 kiah,7V/ 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 ^)JUl!5j]C u~uR:E%'C J|O=w( ]+U:8* 堆栈的方向 +hUS
sR& *btLd7c% 堆栈的方向可以用两种方式指定: wgN)*dpuI 2qA"emUM 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 i 4}4U v+), uj 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 jX9{Ki" 46yq F 0h3-;%
L+=pEk_ 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 ?k|}\l[X1 bu2@~ 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 ?cZ#0U 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 5qe6/E@ 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 a?d)lnk `wMHjcUP
/Ezx'h3Q
&8!~H<S 高级选项和信息 q2$-U& 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 #1-2)ZO. 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 'j#J1xwJ 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 brdfjE8 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 5z T~/6-( g?9IS,Gp
bV3az/U l%f&vOcd 结构分解 ?*nFz0cs^ u2FD@Xq? 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 ask76
e 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 *l-f">?| 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 @[2Go}VF 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 2_i9
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'g@Yra&09 k$NNpv&;d
光栅级次通道选择 zxo"
+j4Ym wuV*!oef o 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 ov9+6'zya 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 =dp(+7Va 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 .^F(&c*[' p-S&Wq
sN_c4"\q eF06B'uL 光栅的角度响应 &hSABtr} 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 Rt6(y #dF 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 H?a1XEY/ 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 "{@Q..hxC 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 LT2UY* e{}oQK
ALO0yc 3$yOv"` 例:谐振波导光栅的角响应 2x<A7l)6 >%?kp[
<8 ,,pOb Pqtk1=U 谐振波导光栅的角响应 Fs}vI~} ;J&p17~T9
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