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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-03
    摘要  uj8G6'm%  
    R,Gr{"H  
    光栅光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 ;HKb  
    v~l_6V}  
    y#Cp Vm#!>  
    d]3c44kkK{  
    系统内光栅建模 jwP}{mi*  
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 bHJKX>@{  
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 \BRx dK'  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 +2DzX/3  
    P4\{be>e  
    dwH8Zg$B  
    sl5y1W/]]  
    附着光栅堆栈 xH,D bAC;  
    >DFpL$oP  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 {S9't;%]  
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 t:NYsL  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 kiah,7V/  
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 ^)JUl!5j]C  
    u~uR:E%'C  
    J|O=w(  
    ]+U:8*  
    堆栈的方向 +hUS sR&  
    *btLd7c%  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: wgN)*dpuI  
    2qA"emUM  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 i 4}4U  
    v+), uj  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 jX9{Ki"  
    4 6yq F  
    0h3 -;%  
     L+=pEk_  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 ?k|}\l[X1  
    bu2@~  
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 ?cZ#0U  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 5qe6/E@  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 a?d)l nk  
    `wMHjcUP  
    /Ezx'h3Q  
    &8!~H<S  
    高级选项和信息 q2$-U&  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 #1-2)ZO.  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 'j#J1 xwJ  
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 brdfj E8  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 5z T~/6-(  
    g?9IS,Gp  
    bV3az/U  
    l%f &vOcd  
    结构分解 ?*nFz0cs^  
    u2FD@Xq?  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 as k76  e  
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 *l-f">?|  
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 @[2Go}VF  
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 2_i9 q>I  
    R.Uwf  
    'g@Yra&09  
    k$NNpv&;d  
    光栅级次通道选择 zxo" +j4Ym  
    wuV*!oefo  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 ov9+6'zya  
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 =dp(+7Va  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 .^F(&c*['  
    p-S&Wq  
    sN_c4"\q  
    eF06B'uL  
    光栅的角度响应 &hSABtr}  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 Rt6(y #dF  
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 H?a1XEY/  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 "{@Q..hxC  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 L T2UY*  
    e{}oQK  
    ALO0yc  
    3$yOv "`  
    例:谐振波导光栅的角响应 2x<A7l)6  
    >%?kp[  
    <8,,pOb  
    Pqtk1=U  
    谐振波导光栅的角响应 Fs}vI~}  
    ;J&p17~T9  
    ulAOQGZ  
     
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