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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-03
    摘要 q:2aPfo&  
    9zoT6QP4  
    光栅光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 aDN6MZM  
    KJ0xp h f  
    |5}rX!wS4  
    JVUZ}#O  
    系统内光栅建模 xfV,==uF  
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 08Pt(kzNA  
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 ih+*T1#:(  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 dN]Zs9]  
    {[M0y*^64$  
     .6O52E  
    KMxNH,5  
    附着光栅堆栈 :rz9M@7  
    } * ?n?'  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 d]O_E4X*  
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 `G=ztL!gq  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 ;mf4 U85  
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 h` irO 5  
    p3M#XC_H]  
    kfMhw M8kP  
    TIcd _>TW  
    堆栈的方向 zuC58B  
    sBP}n.#$  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: j!zA+hF (  
    ]dPVtk  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 &\;<t, 3A~  
    ?1GY%-  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 '}U_D:o.b  
    Q!4i_)rM  
    `ir&]jh.A  
    @k=cN>ZMc  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 g".d"d{  
    (Oxz'#TX  
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 F^ I\X  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 1*C:h g@  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 f,St h7y  
    89LpklD  
    cZNi~  
    0lX)Cl  
    高级选项和信息 ?8 SK\{9r6  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 k_,MoDz  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 *)MX%`Z}  
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 ;;ER"N  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 O0@w(L-  
    %xf)m[JU=  
    =?= )s  
    kP7a:(P_g  
    结构分解 +68+PhHF  
    UppBnw  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 l% rx#;=u  
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 ,/i_QgP  
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 FhWmO  
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 R;H?gE^m-  
    J&A;#<qY  
    M,crz  
    ,VPbUo@  
    光栅级次通道选择 %oAL  
    |J:$MX~  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 =kd YN 5R  
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 ! mm5I#s  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 y)6,0K {k  
    ?Q@L-H`  
    J#0GlK@"  
    N*~_\x  
    光栅的角度响应 *Wzwbwg  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 JxjP@nr  
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 Iph3%RaE  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 o>2e !7  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 |Dg;(i?  
    N6h1|_o  
    Q4X7Iu:  
    ,!`SY)  
    例:谐振波导光栅的角响应 0Qm"n6NQ  
    gF3TwAr  
    mV<i JZh  
    , 7Xqte  
    谐振波导光栅的角响应 Xq|nJ|h  
    4GVNw!V  
    z/S,+!|z  
     
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