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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 07-03
    摘要  eX7dyM  
    \HX'^t`  
    光栅光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 .?{rd3[ec  
    y)iT-$bQ  
    I\djZG$s;N  
    S9/oBxGN  
    系统内光栅建模 N~7xj?  
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 #x-@ >{1k&  
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 ?/ xk  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 u[nx?!  
    EC(,-sz\Z  
    :lj1[q:Y>  
    zAT7 ^q^  
    附着光栅堆栈 4q sIJJ[.  
    }  IJ  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 Ip#BR!$n  
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 }uWIF|h~  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 %Jy0?WN  
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 AX6z4G  
    Gx Z'"x  
    M- inlZNR  
    t^eWFX  
    堆栈的方向 4C@ .X[r  
    h| q!Qsnj'  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: 6*yt^[W  
    g<C_3ap/  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 =eG?O7z&  
    n^F:p*)Q%  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 &o{=  
    ;',hwo_LBf  
    yB][ 3?lv  
    Ky"]L~8$  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 \@G 7Kk*l  
    >6fc` 3*!  
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 p4l^b[p  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 OZ{YQ}t{^1  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 JjBG9Rp{  
    u!kC+0Y  
    G@s]HJ:  
    /S4$qr cM  
    高级选项和信息 @9-/p^n1  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 `qP <S  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 L~x PIu  
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 $P<T`3Jg  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 50MdZ;R-3  
    K)NB{8 _  
    *Uq1 q  
    M#<U=Ha  
    结构分解 %:61@<  
    l#40VHa?S  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 ahezDDR-.i  
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 w[`2t{^j  
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 O>8|Lc  
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 |Z\?nZ~  
    i%~^3/K  
    D@jG+k-Lm  
    DeqTr:  
    光栅级次通道选择 }^T7S2_Qy  
    w8MQA!=l  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 2|="!c8K  
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 8:W," "  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 *g0}pD;r  
    82w;}(!  
    ~!PAs_O  
    vTrjhTa\  
    光栅的角度响应 M5$YFGGR  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 Gk"o/]Sf  
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 t(<^of:  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 R$[nYw  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 +TA 'P$j  
    ;rBd_  
    ].E89_|O  
    5U%J,W  
    例:谐振波导光栅的角响应 e_eNtVq  
    I` `S%`h  
    &Z kY9XO  
    OR{<)L  
    谐振波导光栅的角响应 YIP /N  
    U<T.o0s=  
    M84{u!>[  
     
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