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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-03
    摘要 E!dp~RwZu  
    _FFv#R*4  
    光栅光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 =AzOnXW:S  
    ~y@& }  
    82 .HH5Z{  
    iPkT*Cl8  
    系统内光栅建模 +U=KXv  
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 \d5}5J]a&n  
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 BJIFl!w  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 <)J55++  
    h/9Sg*k  
    9/Wn!Ld  
    +Wd L  
    附着光栅堆栈 * 2%oZX F  
    C,3T!\  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 D{3fhPNU<b  
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 8'% +G  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 gQ,4xTX  
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 ]wR6bEm7  
    T"B8;|  
    ;Lqm#]C  
    y0y+%H-  
    堆栈的方向 _[0I^o  
    CL )%p"[x  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: Ss+F9J  
    5Ny0b|+p  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 P8u"T!G  
    BMF3XcH~G  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 r=|vad$  
    s1v{~xP  
    }R\B.2#M_@  
    ~"\P~cg0J  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 LsnXS9_  
    gi '^qi2  
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 #W.bZ]&WA  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 hOV_Oqe4?  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 BHIM'24bp  
    )biX8yq hR  
    P0Aas)!  
    '2j~WUEmg  
    高级选项和信息 Zq9>VqGe  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 KM EXT$p  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 @!Y.935/0  
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 z{AM2Z  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 l; */M.B  
    -IGMl_s  
    x[Hhj'  
    x vHOY:  
    结构分解 ;,R[]B01u  
    zab w!@]  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 >&g2 IvDS  
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 i^~sn `o  
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 La@\q[U{@  
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 A<]&JbIt  
    +~@7" |d  
    Y{`3`Pg&N  
    3KR2TcT#{  
    光栅级次通道选择 IwOfZuS  
    "hJ7 Vv_  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 $]xE$dzJ  
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 6Uch 0xha!  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 -i2D#i'  
    se }pdL}  
    T,A!5V>cX  
    3KB| NS  
    光栅的角度响应 "Wxo[I  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 7cy+Nz  
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 dVij <! Lu  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 6hR^qdHg  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 8Ix -i  
    PV5-^Y"v  
    jt0H5-x  
    B!$V\Gs  
    例:谐振波导光栅的角响应 CD*f4I#d  
    `8.1&fBr  
    c8 H9_6  
    )zo#1$C-  
    谐振波导光栅的角响应 ^U R-#WaQ  
    oNh68ON:c  
    oUnq"]  
     
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