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摘要 @c'|Iqy` Gjz[1d 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 zH=!*[d8 Fv?=Z-wk
u)Q;8$` iRG?# " 系统内光栅建模 Rq~t4sA: 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 R7~Yw*#, 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 >EXb|vw
光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 6@tvRDeaDW 5)zn :$cz
^IgY d*5 PiLJZBUv 附着光栅堆栈 TO;.eN!sv ?IX!+>.H 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 ^TXf sQs 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 R*1kR|*_) 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 j1Yq5`ia 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 ,]Zp+>{
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2K7 ~9D~7UR |!d"*.Q@F 堆栈的方向 YEYY}/YX A%Z)wz{ 堆栈的方向可以用两种方式指定: h5|.Et -%IcYzyA 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 yy2Ie <XQ.A3SG! 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 Gie@JX XeUC0K[D ]*%+H|l Em13dem 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 t~K%.|'0 K.>wQA& 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 ;n#%G^!H 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 a0Oe:]mo\ 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 1M%S
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s[3fqdLP& ySdN;d:q 高级选项和信息 =~FG&rk^ 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 Mxz,wfaH> 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 83]PA<R 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 x.DzViP/ 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 ^!:"Q3 96|[}:+$&:
9$d.P6|d> $v;dV@tB 结构分解 B(HT.%r^A N=,j}FY 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 3"
Vd==oK~ 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 "/x_>ui1F 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 u@ N~1@RT| 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 32XS`Z b#Kq[}
AO0!liQ Jj"HpK>[ 光栅级次通道选择 W=-|` 2M6dMvS 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 9zKBO* p` 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 |w)5;uQ&\ 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 k&s; {|! -6E K#!+
[ x> $Tl<V/ 光栅的角度响应 }Zl"9A#K 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 oh}^?p 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 ]EL\)xCr 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 ]W9B6G_ 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 ]A:( L9 Pern*x9$
,ECAan/@ i2F(GH?p[ 例:谐振波导光栅的角响应 T)\NkM& INNAYQ
&IQ%\W#aY g6' !v 谐振波导光栅的角响应 $p6N|p 5:gj&jt;)7
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