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摘要 E!dp~RwZu _FFv#R*4 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 =AzOnXW:S ~y@& }
82.HH5Z{ iPkT*Cl8 系统内光栅建模 +U=KXv 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 \d5}5J]a&n 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 BJIFl!w 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 <)J55++ h/9Sg*k
9/Wn!Ld +WdL 附着光栅堆栈 * 2%oZXF C,3T!\ 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 D{3fhPNU<b 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 8'%+G 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 gQ,4xTX 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 ]wR6bEm7
T"B8;| ;Lqm#]C y0y+%H- 堆栈的方向 _[0I^o CL )%p"[x 堆栈的方向可以用两种方式指定: Ss+F9J
5Ny0b|+p 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 P8u"T!G BMF3XcH~G 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 r=|vad$ s1v{~xP }R\B.2#M_@ ~"\P~cg0J 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 LsnXS9_ gi
'^qi2 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 #W.bZ]&WA 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 hOV_Oqe4? 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 BHIM'24bp )biX8yqhR
P0Aas)! '2j~WUEmg 高级选项和信息 Zq9>VqGe 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 KM E XT$p 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 @!Y.935/0 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 z{AM2Z 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 l; */M.B -IGMl_s
x[Hhj' xvHOY: 结构分解 ;,R[]B01u zabw!@] 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 >&g2 IvDS 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 i^~sn `o 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 La@\q[U{@ 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 A<]&JbIt +~@7"
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Y{`3`Pg&N 3KR2TcT#{ 光栅级次通道选择 IwOfZuS "hJ7 Vv_ 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 $]xE$dzJ 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 6Uch0xha! 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 -i2D#i' se}pdL}
T,A!5V>cX 3KB|NS 光栅的角度响应 "Wxo[I 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 7cy+Nz 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 dVij <! Lu 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 6hR^qdHg 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 8Ix-i PV5-^Y"v
jt0H5-x B!$V\Gs 例:谐振波导光栅的角响应 CD*f4I#d `8.1&fBr
c8H9_6 )zo#1$C- 谐振波导光栅的角响应 ^U R-#WaQ oNh68ON:c
oUnq"]
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