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摘要 jI0gf&v8 GB^ `A 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 `'^o45 2IE\O8b
i7 21(1 <xF]ca 系统内光栅建模 :fwt PvLo 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 |dbKK\ X9 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 !zx8I7e4 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 mNacLkh[ 0^dYu/i5
Z)$@1Q4P?1 $H[q5(_~ 附着光栅堆栈 cV0CI& OA=~i/n~ 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 D*[Jrq, 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 a*LfT<hmU3 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 Osm))Ua( 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 j*gJP
! KK3iui NU?<bIQ ;*t#:U* 堆栈的方向 aA52Li 6
iMJ0 堆栈的方向可以用两种方式指定: kyvl>I0q@
UWqD)6 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 K)!^NT Xpn\TD<_I 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 1=z[U|&R -,b+tC<V)0 !rr,(!Ip?O M*ZN]9{^. 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 q)Nw$dW< qD ?`Yd 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 =t)qy5 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 *j&)=8Y| 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 |k90aQO M @-:iP
WEe7\bWF +Tu?PuT7k 高级选项和信息 n`&D_AbQ 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 eBnx$ 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 rG6G~|mS 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 CN:T$ f|) 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 gee~>l ?..BA&zRk
th[v"qD9G Vi-Ph;6[ 结构分解 l7qW)<r g,EDE6`8 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 N;'c4=M~( 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 CAC4A 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 ;[R6rVHe{ 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 `}#rcDK i$<['DY
reh{jMC czD"mI! 光栅级次通道选择 y<
*-& ;Go^)bN
; 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 94ruQ/ 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 pN5kcvQ 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 2vjkThh`I ~W8Xg)
G]f|? Ld}?da Pj 光栅的角度响应 .6C/,rQ?c 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 +`k30-<P 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 ftxL-7y% 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 }-Mg&~e` 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 yj&GJuNb~ U _5`
1l#46?]~ bp:`m>4< 例:谐振波导光栅的角响应 D/."0 #q j9[I6ko5'
dE_Xd:> t!qLgJ5%y 谐振波导光栅的角响应 Mi8)r_l%O R#4l"
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