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q F'3-*>]P 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 [LrA_N BZs?tbf
Cl'3I%$8K SAtK 'Jx[ 系统内光栅建模 6),VN>j 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 VQ'DNv| 9 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 (g#,AX 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 U(u$5 r^$WX@ t&
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Uq'96{Y 附着光栅堆栈 EP}NT)z,{ oK{H
<79 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 h0n,WU/Kw 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 M,/{ 53 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 (d$ksf_[%f 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 ?R\:6x< rhvTV(Bz dRPX`%J *u?N{LkqS 堆栈的方向 E-XFW]I 3m59EI-p 堆栈的方向可以用两种方式指定: iJem9XXb 1)N{!w` 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 XY1b_uY oCR-KR>{Q 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 kr6^6I. 84UI)nE:Q &a];"2 @gHWU>k,A 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 R8YA"(j!L #E#.`/4 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 [t}$W*hY
然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 a<ztA:xt|1 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 268H!'!\ Ij}k>qO/2
K^fH:pV k| Ye[GM* 高级选项和信息 K3($,aB} 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 a54qv^IS 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 o,;Hb4Eu 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 #I|jFn9 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 !JE=QG" *g;4?_f
oiY&O]} sU}.2k 结构分解 6fr@y=s2: #pm0T1+jW 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 soi.`xE 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 {^qp~0 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 b&~s}IX 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 f}U@e0Lsb I:9jn"
A/+bwCDP @5y ~A}Vd 光栅级次通道选择 0zvA>4cq) "Ooc;xD3< 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 uY'77,G_J 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 3(/J(8 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 [#hoW"'Q9 F4%vEn\!
[J71aH @p}"B9h*^ 光栅的角度响应 bPHqZ*f 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 %Yi^{ZrM 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 }|W n6X 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 js#72T/_n 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 v1Wz#oP 5Sm)+FC:
/y<nAGtD& _RcFV 例:谐振波导光栅的角响应 bn8`$FA^ KL}o%wfLy
g.re`m|Aj c7fQ{"f 3B 谐振波导光栅的角响应 u:FFZ #=* y7w
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