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摘要 S"m cUU}} rX7QbAB 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 4M&`$Wim S/ywA9~3Q
>kZ57, lS^(&<{ 系统内光栅建模 \vfBrN 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 /2M.~3gQ 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 d@0Kr5_ 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 y4:H3Sk 5qUTMT['T
)+")Sz3zx ?Ucu#UO 附着光栅堆栈 YT/kC'A h_d +$W5 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 ^&/G| 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 U_l'3oPJw 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 ;!<
Znw 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 qH,l#I\CG u}bf-;R >gKh # {fTgq 堆栈的方向 gnp~OVDqfL hd V1nS$ 堆栈的方向可以用两种方式指定: V}o n|A t2" (2 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 $eV$2p3H ,vqr<H9e 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 D0(xNhmKz t&Os;x?To? R1:k23{ %n%xR%| 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 ./j,Z$| p,pR!qC> 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 *=ZsqOHwG 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 Hd7,ZHj3^ 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 S_T^G` [ 1T_QX9
I|-p3g8\ aq+Y7IR_ 高级选项和信息 8l?piig# 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 {y] mk?j 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 zOEY6lAwI 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 SjjIr ^ 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 1pv}]&X l:6,QaT1
0qjXQs} 7J28JK 结构分解 6J~12TU, iz(u=/*\ 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 3lLMu B+ 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 `s '# 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 be5,U\&z 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 fW`&'! &bqT/H18
)5JU:jNy .,~(%#Wl$ 光栅级次通道选择 f"7M^1)h2% w#JJXXQI 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 @ DZD 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 }~h'FHCC+ 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 o]{uc, E|YdcS
h=kQ$`j6 sG~<M"znV 光栅的角度响应 6*l^1;U 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 T&T/C@z'R 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 lT\a2.E 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 /sR%]q
|L 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 ~.PO[hC n\I#CH0V
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S1 _6C:^k 例:谐振波导光栅的角响应 '`Bm'Dd T9 <2A1
wOQ#N++C ?Y:x[pOe 谐振波导光栅的角响应
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