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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-03
    摘要 cu[!D}tVU  
    i]it5  
    光栅光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 X'cf&>h  
    K!3{M!B   
    _h0-  
    No:^hY:F8  
    系统内光栅建模 )-=2w-ZX  
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 `.{U-U\  
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 B{s]juPG  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 @Z?7E8(  
    WK pUn8&N  
    |q3f]T&+>{  
    `vudS?  
    附着光栅堆栈 9'1hjd3k  
    d i!"IQAvK  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 \X&]FZ(*  
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 53B.2 4Tm  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 A2Q[%A  
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 m&Lt6_vi  
    UM<@t%|>  
    +H7y/#e+3  
    E]NY (1  
    堆栈的方向 {5>3;.  
    d-~vR(tU  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: vCj4;P g  
    7'Lp8  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 l1&5uwuF  
    ~%`EeJwT  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 NdZ)[f:2  
    XM$GQn]B  
    u=%y  
    (wife#)~  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 #zxd;;p3  
    dsV ~|D6:  
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 'GkvUrD9D$  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 f3 !n$lj  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 TM0b-W (H  
    `4LJ;KC(  
    u*hH }  
    Vc|NL^  
    高级选项和信息 GWgd8x*V  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 W,Ty=:qm*  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 S/VA~,KCe;  
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 !nwbj21%  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 Rb#/qkk/  
    \7yJ\I  
    q3+I<qsAz  
    V{0%xz #  
    结构分解 G.Tpl-m  
    ;Z*'D}  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 [m\,+lG?)j  
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 `_GO=QQ  
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 DcN"=Y  
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 e8{^f]5  
    '*4iqP R;  
    p5-<P?B  
    Qwv '<  
    光栅级次通道选择 &U&Zo@ot"x  
    6}ftBmv  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 x9%-plP  
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 j{)~QD?  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 .Vmtx  
    ;, rnk-  
    OF8WDo`  
    <7^Kt7k  
    光栅的角度响应 ?I[h~vr6.  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 _dr*`yXi  
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 \-OC|\{32  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 &\k?xN  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 V\AK6U@r^  
    p.C1nh  
    l<xFnj  
    K_>/lirE?  
    例:谐振波导光栅的角响应 vL$|9|W(  
    !!WJn}  
    b66R}=P l  
    zmb@*/fK  
    谐振波导光栅的角响应 @h#Xix7  
    sL i*SR  
    j=W@P-  
     
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