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摘要 W|L#Q/
RX S[e> 8 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 -PCFOm" PVi0|
{Rz(0oD\ EX/{W$
&K 系统内光栅建模 >aAsUL5W 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 {%D4%X< 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 G.:QA}FE' 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 ] 1s6= WS.lDMYE7
7n[0)XR> ,: Ij@u>) 附着光栅堆栈 T2}X~A ^4C
djMF-E 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 >{{0odBF 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 !PfdY&.) 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 wW,
n~W 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 C.RXQ`-P} F):1@.S 'd]t@[# *&~(>gNF, 堆栈的方向 wln"g,ct v(]dIH 堆栈的方向可以用两种方式指定: {ceY:49 )C$pjjo/` 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 @2~;)* ap<r)<u 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 i|xC#hV ub]s>aqy %-L
T56T bh+m_$X~ 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 0|| 5r# [ZL<Q 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 A3.*d:A 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 Mu@(^zW 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 ;!B,P-Z"g UHS"{%
G%>{Z?!B m U= 3w 高级选项和信息 #kgLdd" 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 "}2I0tM 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 SNC)cq+{ 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 ~!P&LZ 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 xHe"c< y?UB?2VN
zFr#j~L" M%OUkcWCk 结构分解 47)\\n_\z 6$t+Q~2G! 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 XrJLlH>R4 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 C[CNJ66 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 )O8w'4P5 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 ,M Ugww!. SP;1XXlL
z8j7K'vV1 y>c Yw! 光栅级次通道选择 Nk<H=kw+ ^nLk{<D35 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 )BZ6QO`5n 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 >$7{H] 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 Hq|{Nt%Q zd=N.
C8 y[B1Y 2p~G][ 光栅的角度响应 7
b{y 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 nnTiu,2R 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 U:gvK8n 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 p3qKtMs0! 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 YoSBS QC(ce)Y
e\}'i- HE-ErEtGB 例:谐振波导光栅的角响应 'OU`$K7n *JO%.QNg
~BgNMO;| SqVh\Nn 谐振波导光栅的角响应 :ay`Id_tm w$aejz`[
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