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摘要 +)*aS+ juBzpQYj 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 q@iZo,Yk k1M?6TW&
[`=:uUf3 2T}FX4' 系统内光栅建模 E0"DHjR 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 f'B#h;` 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 UJGmaE 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 dV+GWJNNE JL&ni]m
3G-f+HN^E K@;ls 附着光栅堆栈 &}vc^io 3Tr}t.mt 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 0vdnM8N2 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 gj1l9>f>]a 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 T
eBJ 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 Wx-rW UQ)7uYQ5 9Q*zf@w 3|.KEJC" 堆栈的方向 QD*(wj ekO*(vQ~ 堆栈的方向可以用两种方式指定: ?[S{kMb2 HZzdelo 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 i+Btz- )J!=X`b 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 px.]m- 8rgNG7d t^@4n&Dg HH,G3~EBF 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 Se&%Dr3Nv [:C!g#o 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 t&Z:G<; 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 ;/<J. 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 vxx7aPjC >,%7bq=T!
z3p#` @awN*mO 高级选项和信息 CF+:9PG 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 *`.4M)Ym~ 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 J0"<}" 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 'aW<C> 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 oFUP`p%[ @^93q
<y5f[HjLy B$cx
'_zF 结构分解 _Vxk4KjP5 rJl'+Ae9N| 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 )t$|'c} 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 3RTraF 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 {BKr/) H 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 1]j_4M14aA :N([s(}!$2
ZICcZG_y ,zY!EHpx 光栅级次通道选择 +A,t9 3:k ;l6tZ]-" 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 )51H\o 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 v
J.sa&\H 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 x9!vtrM\Zr N/fH% AtM
Pkw` o # @7aSq-(_l* 光栅的角度响应 ,:QDl 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 +e%U6&l{ 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 .2
/$ !'E 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 *FT )` 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 [1*3 kt*h p4OiCAW;
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6'{ES9D 例:谐振波导光栅的角响应 xPi/nWl`| q={\|j$X
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Me 谐振波导光栅的角响应 /)` kYD6 ^L1#
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