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摘要 @ kJ0K 3qAwBVWa 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 Q$|^~ ':!3jZP"m
d`9W J7'f@X~nM 系统内光栅建模 })o~E 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 kfqpI
这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 S]e j=6SP 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 t_I\P.aMA m/YH^N0
4?>18%7& XOysgX0g 附着光栅堆栈 * MSBjH| $=PWT-GIR 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 OuOk= 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 ]a$Wxvgq 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 a>wfhmr 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 %s$rP gEr4zae U,Z"G1^ a
-xW 8 堆栈的方向 dSOlD/c
QP6z?j. 堆栈的方向可以用两种方式指定: M11"<3]D \4h>2y 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 AIZW@ Nq.5 H+4=|mkQ 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 \8;Qv $h G;2v Q7,EY / t6'61*)|0 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 hq/J6 M D4< -8 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 -"W )|oC_ 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 g3|BE2? 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 #*!+b 1<xcMn0et
|h5kg<Zgo %mY| 高级选项和信息 Wgxn`6 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 Eo%UuSi 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 %x&F4U 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 BJ~ivT< 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 cyW;,uT)D K*_-5e
1#grB(p? Da"yZ\4 结构分解 - #3{{ *;<e
'[Y7f 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 YecT 96% 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 \% }raI;Y@ 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 yZq?B 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 O$a#2p& RnHQq'J|\
Rr%tbt.sE ./$
<J6-J 光栅级次通道选择 jvu
N KwS`3 6: 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 JW=uK$s O 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 YzVN2f!n 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 egfi;8]E lp(Nv(S
}04Dg' "X`RQ6~]> 光栅的角度响应 r,5-XB 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 /T,zZ9= 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 0z/h+, 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 =(%*LY!Xc 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 DlDB=N0@S .N5'.3
DB#$~(o Y+FP 例:谐振波导光栅的角响应 *2`:VFEV Qh^R Ax
zt?h^zf} s}wO7Df=+ 谐振波导光栅的角响应 I-,>DLG 7R: WX:
T)8p:}P!
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