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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-03
    摘要 "0(H! }D  
    mct$.{~  
    光栅光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 _^2rRz  
    Vk/!_)  
    a&Stdh  
    DO#!ce  
    系统内光栅建模 tR,&|?0  
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 )e$}sw{t  
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 \D9J!K82  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 YQ&Ww|xe  
    Vg 6/1I  
    }J~ d6m  
    P,|%7'?Y  
    附着光栅堆栈 VuOZZ7y  
    7Z#r9Vr  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 ;PO{ ips  
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 Qd %U(|  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 RZtY3:FBx|  
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 \lJCBb+k  
    "h-G=vo,kl  
    f(^? PGO  
    dOm@cs  
    堆栈的方向 Rd?8LLz  
    m+t<<5I[-  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: J-6l<%962%  
    "G^Z>Z-`  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 &DX&*Xq2  
    0%Y8M` ~s7  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 $S_xrrE#  
    W:s>?(6?  
    zz)[4G  
    XYi-o][Mf  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 Dsl,(qm5  
    l@ amAusE  
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 N-0kB vo  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 " vW4"R6  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。  }de {-  
    _ (U|Kpi  
    i#&iT P`  
    A#yZh\#  
    高级选项和信息 H2ZRUFu  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 |XDbf3^6  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 +b =X~>vZ  
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 pk%%}tP<  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 kB2]Z}   
    6aw1  
    d@$]/=%  
    )p$a1\ ~m  
    结构分解 B<p-qPR K  
     {"RUiL^  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 n=z=%T6  
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 }{R?i,j(  
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 mMNT.a  
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 o*fNY  
    %nRz~3X|+v  
    gB3Tz(!  
    T{A_]2 G  
    光栅级次通道选择 Q7!";ol2  
    {Rm N1'%  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 hT=6XO od4  
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 W Ai91K@  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 L[D<e?j  
    ;R_H8vp  
    fEWXC|"  
    u l-A'  
    光栅的角度响应 G~VukW<e  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 j>}<FW-N  
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 e5s=@-[  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 z0jF.ub  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。  )S8fFV  
    3pk=c-x  
    ~S85+OJ;M  
    <o aVI?  
    例:谐振波导光栅的角响应 hhM?I$t:  
    yUyx&Y/  
    RBA{!  
    <`f~Z|/-_(  
    谐振波导光栅的角响应 )B!64'|M  
    ,rU>)X  
    7 {n>0@_  
     
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