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摘要 G>YJ3p7 jF Bq> 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 agM.-MK *P61q\2Z
" 5synfO UH%oGp$ykX 系统内光栅建模 NQ'^z 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 ~SUA.YuF 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 dV<M$+;s] 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 ,B5Ptf# O->i>d
c^6v7wT5 &oWWc$ 附着光栅堆栈 zb?wlfT 8v*>~E/0 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 mkk74NY 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 y$r9Y!?s 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 p27A#Uu2} 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 ^;6~=@#*C {l0;G)- nxsQDw\hy j<szQ%tJlI 堆栈的方向 h|!B;D k]qZOO} 堆栈的方向可以用两种方式指定: JAC W#'4hV 7. G 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 [YHvyfk~_ #Vs/1y`() 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 xp)#a_} (e=ksah3> V*=cNj "<v_fF<Y 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 HAf.LdnzS !V+5$TsS 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 KjZ^\lq' 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 j /)cdP 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 yz9`1R2c ,H1J$=X'
}E*d)n| !Ya
+ 高级选项和信息 `DG6ollp{ 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 JEdtj1v{O 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 Tb IM{X 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 ;FMK>%Zq 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 pcur6:8W! t<ftEJU"'w
#xW%RF /nv1.c)k 结构分解 6|T{BOW!d **! lV]/ 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 )P|%=laE8 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 :{_Or'L 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 AA>5h<NM 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 .Z%7+[ +FY-r[_~
)6bxP&k h,FP,w;G 光栅级次通道选择 ^>%=/RX "{z9 L+ 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 4fzq C) 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 nz+o8L, 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 g+ 2SB5 2D T2Y`q'
OiM{@ ni2H~{]z
光栅的角度响应 &sS k~: 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 \RQ5$!O 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 a Q`a>&R0 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 ^ /
f*5k 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 <(BA ws(X &CUkR6
+S;8=lzuV OQ+?nB 例:谐振波导光栅的角响应 $ZcmE<7k wTIf#y1=9
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OjCA_& /3KEX{'@U 谐振波导光栅的角响应 c}QQ8'_ 7DOAG[gH
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