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摘要 hVf;{p
& 0;SRmj@W 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 Ers8J V 0o_wy1O1,
o@W:PmKW HqoCl 系统内光栅建模 R~! md 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 b5t:">wC 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 \+VQoB/ 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 ^Y?Y5`!Q GPLq$^AH
5sI9GC rJUXIV>z 附着光栅堆栈 y_}jf,b4 f,0,:) 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 X(dHhO 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 L6n<h 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 EB2 5N~7 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 Fa-F`U@h(m d[$YTw % h"%G=: +xn59V 堆栈的方向 _>4Qh#6K }/g1s71 堆栈的方向可以用两种方式指定: _(0GAz%9 C[s='v~} 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 7?a!x$-U( st-I7K\v 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 M$MFUGS' Yu_`
>so <0!)}O ZP;WXB` 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 q^^&nz<A Dx>~^ ^< 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 ]5sU =\ 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 y7/=-~ 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 #5=!ew dO|n[/qL0
W}rL HAaDh Wk-jaz 高级选项和信息 /`VrV{\/! 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 c'&\[b(m 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 K}TSwY 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 Y JMaIFt 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 X}G3>HcP r(DW,xoK0
XG;Dj<Dm *@zya9y9q 结构分解 zIy&gOX ,pR.HCR#Y 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 .kZ<Q]Vk 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 |P(8T' 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 )bR`uV9< 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 Yrmd
hSY s]Qo'q2
1CA%nqlng {^_K
光栅级次通道选择 Be~In~~ =L&dV]'4P 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 N`rz>6,k1 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 ;Wedj\Kkp 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 u?lbC9}$ ;I!Vba
EVW\Z 2N. *TC#|5 光栅的角度响应 F@rx/3
[ 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 dj5@9X 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 5"2pU{xmK 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 W~d^ *LZt 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 Tjj-8cg H.#zbKj
:XCRKRDLE :?f^D,w_B 例:谐振波导光栅的角响应 y?ypRCgO.u \<Di|X1
!(#d7R |ohCA&k%; 谐振波导光栅的角响应 zr^"zcfz& ) 8 %lZ{
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