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摘要 ";0-9*I ^eYJ7&t 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 >273V+dy 9*|An
)>=|oY3 xi\uLu?i 系统内光栅建模 HZ2 zL17 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 !q PUQ+ 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 /_bM~g 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 `+r5I5 pk=z<OTb
}Ty_} 6a5 .Qj`_q6= 附着光栅堆栈 t;ga>^NA" p7O4CP>9[ 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 9Bmgz =8 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 !lB,2_ 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 WHF:>0B 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 `[1]wV5(5@ ==j39 b}G +7B :Ws3+OI'm3 堆栈的方向 t,P+~ A /L[:C=u 堆栈的方向可以用两种方式指定: C{S6Ri Z=sAR(n}~ 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 1Kebl <~8W>Y\m 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 K<_H`k*x @49^WY )'<zC XJOo.Y 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 ]X _& A><%"9pZ 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 !p9F'7;Y< 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 ,|c_l) 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 aA
yFu_ 'Ph;:EMj
X:g5>is| %I=J8$B]f 高级选项和信息 4Y/!V[ 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 {k]VT4/ 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 ,!py
n<_ 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 P?uKDON 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 /iQ>he~fy ,zyrBO0 Eq
Rx<pV_|H, D 7E^;W)H 结构分解 },L[bDOV07 (c_hX( 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 :{6[U=O 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 vA{[F7 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 ( jyJ-qe 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 dCyQC A[ %`\{Nxk
/ q!&I Qqaf\$X 光栅级次通道选择 &\K#UVDyhh 4%{m7CK} 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 wLbnsqa 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 zj)[Sntn? 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 O&0R ~<n gy[uqm_ T
\ d;Ow8%d/ >) ^!gz8 光栅的角度响应 zc(7p;w#p 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 Mt:(w;Y 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 ?0<3"2Db~ 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 pVY.&XBZ$ 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 pL-$Np] V 33C#iR1(WJ
M;bQid@BG `jkn*:m 例:谐振波导光栅的角响应 x/<.?[A s_8!x
fe$WR~ /L
4WWQ5 谐振波导光栅的角响应 YD%Kd&es G7<X l}
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