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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-03
    摘要 cO.U*UTmX  
    MMN2X xS  
    光栅光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 W7c(] tg.  
    ICN>8|O`&  
    HpC|dtro  
    U"v(9m@  
    系统内光栅建模 T2AyQ~5~  
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 _>9|"seR  
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 )!SVV~y  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 5hUYxF20h8  
    4L85~l  
    q&B'peT  
    hWf Jh0I  
    附着光栅堆栈 YR@@:n'TP  
    z | Hl*T  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 <x,u!}5J  
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 x$Ko|:-  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 &cV$8*2b^  
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 cpF\^[D  
    iW(HOsA  
    M}k )Ep9  
    9OuK}Ssf  
    堆栈的方向 s4<[f%^  
    2Vxr  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: N)K};yMf  
    D}XyT/8G3  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 R]VY PNns  
    16_HO%v->  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 LYhgBG,   
    q(M[ij  
    S7N3L."  
    !@{_Qt1  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 T^B&GgW  
    8  k9(iS  
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 kj~)#KDN  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 (cAv :EKpo  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 [cwc}f^  
    ~aQ>DpSEf  
    eS8tsI  
    ~O;!y%  
    高级选项和信息 d/!sHr69  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 :WIbjI=  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 S5*wUd*p#  
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 B$1nq#@  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 .7++wo!,  
    nud,ag  
    Po'yr]pr  
    TS^(<+'  
    结构分解 &F1h3q)L  
    ol^V@3[<  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 ](a*R  
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 _6Wz1.]n  
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 jhjGDF  
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 QDYS}{A:V  
    QMea2q|3$  
    g6o-/A!Q3  
    O6LZ<}oUR  
    光栅级次通道选择 [X0Wfb}{  
    ]`0(^)U &  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 B;XFPQ#b  
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 (C*G)Aj7  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 BoYWx^VHx^  
    M>P-0IC  
    E@^`B9 ;Q7  
    ;Xg6'yxJ  
    光栅的角度响应 4SCb9| /Q  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 O|m-Uz"+  
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 z=<x.F  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 1v!Xx+}  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 } R!-*Wk  
    REDh`Wd  
    ,uqSq  
    ?1?D[7$  
    例:谐振波导光栅的角响应 GQhzQM1HS  
    gm~Ka%O|F  
    $J"}7+  
    I&Q.MItW  
    谐振波导光栅的角响应 I$xfCu  
    P$S>=*`n U  
    2c@4<kyfP  
     
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