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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-03
    摘要 5 $:  q  
    F'3-*>]P  
    光栅光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 [LrA_N  
    BZs?tbf  
    Cl'3I%$8K  
    SAtK 'Jx[  
    系统内光栅建模 6),VN>j  
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 VQ'DNv| 9  
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 (g#,AX  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 U(u$5  
    r^$WX@ t&  
    -A;4""  
    N Uq'96 {Y  
    附着光栅堆栈 EP}NT)z,{  
    oK{H <79  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 h0n,WU/Kw  
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 M,/{53  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 (d$ksf_[%f  
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 ?R\:6x<  
    rhvTV(Bz  
    dRPX`%J  
    *u?N{LkqS  
    堆栈的方向 E-XFW]I  
    3m59EI-p  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: iJem9XXb  
    1)N{!w`  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 XY1b_uY  
    oCR-KR>{Q  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 kr6^6I.  
    84UI)nE:Q  
    &a];"2  
    @gHWU>k,A  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 R8YA"(j!L  
    #E#.`/4  
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 [t}$W*hY  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 a<ztA:xt|1  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 268H!'!\  
    Ij}k>qO/2  
    K^fH:pV  
    k| Ye[GM*  
    高级选项和信息 K3($,aB}  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 a54qv^IS  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 o,;Hb4Eu  
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 #I|jFn9  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 !JE=QG"  
    *g;4?_f  
    oiY&O]}  
    sU }.2k  
    结构分解 6fr@y=s2:  
    #pm0T1+jW  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 soi.`xE  
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 {^qp~0  
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 b&~s}IX   
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 f}U@e0Lsb  
    I:9jn"  
    A/+bwCDP  
    @5y ~A}Vd  
    光栅级次通道选择 0zvA>4cq)  
    "Ooc;xD3<  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 uY'77,G_J  
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 3(/J(8  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 [#hoW"'Q9  
    F4%vEn\!  
    [J71aH  
    @p}"B9h*^  
    光栅的角度响应 bPHqZ*f  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 %Yi^{ZrM  
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 }|Wn6X  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 js#72T/_n  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 v1Wz#oP  
    5Sm)+FC :  
    /y<nAGtD&  
    _RcFV  
    例:谐振波导光栅的角响应 bn8`$FA^  
    KL}o%wfLy  
    g.re`m|Aj  
    c7fQ{"f 3B  
    谐振波导光栅的角响应 u:FFZ  
    #=* y7w  
    (T]<  
     
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