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摘要 qQxz(}REu9 PN$
.X"D8 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 &V7>1kD3 G6K
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(#q<\` /,5Z-Z*wq 系统内光栅建模 Rq~t4sA: 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 >EXb|vw
这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 i.iio- 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 %lr|xX .Qt4&B
O`cu_ @\(v X ] 附着光栅堆栈 $R8w+ Id ,pq{& A 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 {OT:3SS7 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 1u]P4Gf= 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 K#K\-TR|$ 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 GR'Ti*Qi 2aw&F Z? dMl+ko tJ&5tNl 堆栈的方向 2
Tvvq(?T 0MIUI<;j 堆栈的方向可以用两种方式指定: lS{r=y_0. YpdNX.P, 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 m:`@?n~.. &h$|j 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 MM{_Ur7Q % U`xu. =Pe><k h`MdKX$ 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 RE46k`44 KA]*ox6j; 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 S+x_c4 T 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 0?bA$y 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 4ax|Vb)D 0vs0*;F;
XOb}<y)r~ #Gv{UU$] 高级选项和信息 (N~$x 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 i6no;}j 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 sLcY,AH 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 ro| vh\y 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 V*jsq[q= ,ul5,ygA
>`V}U*}*H ?Z %: 结构分解 +p:Y=>bTj 3"
Vd==oK~ 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 "/x_>ui1F 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 u@ N~1@RT| 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 fu\s`W6f& 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 l\q}
|o AO0!liQ
}HZ{(? HD # r0) 光栅级次通道选择 2P~)I)3V ?F$6;N6x 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 )Id2GV~2B 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 H:oQ 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 @Jv# fr ]EL\)xCr
`<vxG4=62\ 9R]](g# 光栅的角度响应 sB7" 0M 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 {sc[RRN~C 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 ubGs/Vzye 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 D\rmaF+ 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 `1'5j "v f]_mzF=&
fGu!M9qN4 >A jCl 例:谐振波导光栅的角响应 :1<~}*B@{ @phN|;?
9Q[>.): M<oA<#IW 谐振波导光栅的角响应 !Cb=B *TnzkNN_,
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