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摘要 $q*hE&x
Qd CWY-}M 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 TY;%nT Nbb2wr9A
tE WolO[\ z07Xj%zX9 系统内光栅建模 d}Xb8SaE%c 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 G3dA`3 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 8/T[dn 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 sZPyEIXie W$xW9u8@+(
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*`z 附着光栅堆栈 =A{s,UP J_ 7#UjGA, 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 ]FEDAGu 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 7sq15oL 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 ]w_JbFmT 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 L<k(stx~ yb6gYN >u+%H
vzc QjOY1Xze 堆栈的方向 tUi@'%>=5 L$6W,D 堆栈的方向可以用两种方式指定: u0F{.fe KAg-M# 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 mJZB@m u? 'U-8w@\Z 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 =[,EFkU?B M>d^.n zl<D"eP B ?l0u 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 GT,1t=|&V CsEU:v 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 c 5 `74g 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 |3 mcL' 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 f7/M _sx [>KnMi=o)
lvx[C7? 4%#q.qI 高级选项和信息 <%.lPO]&E 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 ?x/Lb*a^ 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 qOv`&%txW 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 Tvt(nWn(H1 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 X?o6=)SC| G
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mt~E&Z(A kB.CeG]tk 结构分解 {YG qa$+\ p8FXlTk 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 (TU/EU5 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 Nw{Cu+AwG 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 0?cJ>)N 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 =b, m31 ]k8f1F
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)%i -]t>'Q? 光栅级次通道选择 a(kY,<} EQ.K+d*K][ 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 iBwM]Eyv. 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 M%WO 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 =RAojoN {eVv%sbq
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>%l !hjF"Pa 光栅的角度响应 I^HwXp([ 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 t37<<5A 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 #lO ^PK 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 :| !5d{8S8 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 AiB]A} oJQ
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'S|7<<>4k ZL:SJ,C 例:谐振波导光栅的角响应 6Yc(|>b! ksTK'7*
[.}Uzx 4;Vi@(G) 谐振波导光栅的角响应 PEg]z ZtmaV27s/
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