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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-03
    摘要 qQxz(}REu9  
    PN$ .X"D8  
    光栅光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 &V7>1kD3  
    G6K  <  
    (#q<\`  
    /,5Z-Z*wq  
    系统内光栅建模 Rq~t4sA:  
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 >EXb|vw   
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 i.iio-  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 %lr|xX  
     .Qt4&B  
    O`cu_  
    @\(vX]  
    附着光栅堆栈 $R8w+ Id  
    ,pq{& A  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 {OT:3SS7  
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 1u]P4Gf=  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 K#K\-TR|$  
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 GR'Ti*Qi  
    2aw&F Z?  
    dMl+ko  
    tJ& 5tNl  
    堆栈的方向 2 Tvvq(?T  
    0MIUI<;j  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: lS{r=y_0.  
    YpdNX.P,  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 m:`@?n~..  
    &h$|j  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 MM{_Ur7Q  
    % U`xu.  
    =Pe><k  
    h`MdKX$  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 RE46k`44  
    KA]*ox6j;  
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 S+x_c4 T  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 0? bA$y  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 4ax|Vb)D  
    0vs0*;F;  
    XOb}<y)r~  
    #Gv{UU$]  
    高级选项和信息 (N~$x  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 i 6no;}j  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 sLcY,AH  
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 ro| vh\y  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 V*jsq[q=  
    ,ul5,ygA  
    >`V}U*}*H  
    ?Z %:  
    结构分解 +p:Y=>bTj  
    3" Vd==oK~  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 "/x_>ui1F  
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 u@ N~1@RT|  
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 fu\s`W6f&  
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 l\q} |o  
    AO 0!liQ  
    }HZ{(?  
    HD# r0)  
    光栅级次通道选择 2P~)I)3V  
    ?F$6;N6x  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 )Id2GV~2B  
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 H:oQ  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 @Jv# fr  
    ]EL\)xCr  
    `<vxG4=62\  
    9R]](g#  
    光栅的角度响应 sB7" 0M  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 {sc[RRN~C  
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 ubGs/Vzye  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 D\rmaF+  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 `1'5j "v  
    f]_mzF=&  
    fGu!M9qN4  
    >A jCl  
    例:谐振波导光栅的角响应 :1<~}*B@{  
    @phN|;?  
    9Q[>.):  
    M<oA<#IW  
    谐振波导光栅的角响应 ! Cb=B  
    *TnzkNN_,  
    #8?^C]*{0  
     
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