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摘要 cO.U*UTmX MMN2XxS 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 W7c(]
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系统内光栅建模 T2AyQ~5~ 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 _>9|"seR 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 )!SV V ~y 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 5hUYxF20h8 4L 85~l
q&B'peT hWfJh0I 附着光栅堆栈 YR@@:n'TP z | Hl*T 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 <x,u!}5J 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 x$Ko|:- 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 &cV$8*2b^ 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 cpF\^[D iW(HOsA M}k )Ep9 9OuK}Ssf 堆栈的方向 s4<[f%^ 2Vxr 堆栈的方向可以用两种方式指定: N)K};yMf D}XyT/8G3 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 R]VY
PNns 16 _HO%v-> 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 LYhgBG, q(M[ij S7N3L." !@{_Qt1 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 T^B&GgW 8 k9(iS 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 kj~)#KDN 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 (cAv :EKpo 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 [cwc}f^ ~aQ>DpSEf
eS8tsI ~O;!y% 高级选项和信息 d/!sHr69 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 :WIbjI= 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 S5*wUd*p# 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 B$1nq#@ 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 .7++wo!, nud,ag
Po'yr] pr TS^(<+' 结构分解 &F1h3q)L ol^V@3[< 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 ](a*R 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 _6Wz1.]n 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 jhjGDF 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 QDYS}{A:V QMea2q|3$
g6o-/A!Q3 O6LZ<}oUR 光栅级次通道选择 [X0Wfb}{ ]`0(^)U& 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 B;XFPQ#b 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。
(C*G)Aj7 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 BoYWx^VHx^ M >P-0IC
E@^`B9;Q7 ;Xg6'yxJ 光栅的角度响应 4SCb9|/Q 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 O|m-Uz"+ 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 z=<x.F 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 1v!Xx+} 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 } R!-*Wk RE Dh`Wd
,uqSq ?1?D[7$ 例:谐振波导光栅的角响应 GQhzQM1HS gm~Ka%O|F
$J"}7+ I&Q.MItW 谐振波导光栅的角响应 I$xfCu P$S>=*`n
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