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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-03
    摘要 iW$i%`>  
    yYtki  
    光栅光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 41D[[Gh  
     )U`kU`+'  
    qz2d'OhmtH  
    ;BvWU\!  
    系统内光栅建模 '(>N gd[  
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 -e\kIK %  
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 z<=t3dj  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 j zp%.4/j  
    LEa:{s<:  
    []^>QsS(X  
    2*FZ@?X@r  
    附着光栅堆栈 4D$E  
    Vi-@z;k  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 8Qy |;T}  
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 <[~M|OL9q,  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 <O&s 'A[  
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 { ,srj['RS  
    zg"ZXZ  
    Rznr 9L  
    [%q":Ig  
    堆栈的方向 a$A S?`L  
    jqmP^ZS  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: @) wXP@7  
    >8- `  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 pqX=l%{4ES  
    b5C #xxIO  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 A":x<9   
    )63w&  
    ``D-pnKK  
    7c7SU^hD  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 SOJHw6  
    35et+9  
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 <L 0_< T  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 SM?<woY=*  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 sj2+|>  
    >ZWm0nTr  
    wvY$ s;  
    3f x!\  
    高级选项和信息 +(T,d]o]  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 $ :/1U$  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 7EUaf;d^  
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 )Q`<O  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 DoA f,9|_  
    U6"50G~u  
    N0NMRU]zT  
    n$9!G  
    结构分解 :mL.Y em*'  
    x8t1g,QA  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 p+Xz9A"  
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 q_)DY f7V}  
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 I;LqyzM  
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 na>B{6  
    7UfyOOFa  
    &0myA_So  
    5NK:94&JE  
    光栅级次通道选择 ~j_H2+!  
    6 AY%o nY  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 ?*HlAVDcFT  
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 TM9>r :j'  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 ?Z"}RMM)8  
    6gn|WO=W f  
    6Z 7$ZQ~  
    dpS  
    光栅的角度响应 OpfFF;"A'  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 +4 dHaj6  
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 ! JN@4  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 0Pe.G0 #  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 Al?XJ C B@  
    WO^h\#^n  
    6+>rf{5P7  
    ?hO*~w;UU|  
    例:谐振波导光栅的角响应 6_7d1.wv9  
    q~Ud>{  
    1*5n}cU~  
    x:(e: I8x(  
    谐振波导光栅的角响应 94+#6jd e  
    5|Uub ,  
    W cnYD)  
     
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