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摘要 ,bp pM )u/
^aK53^ 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 xYVjUb(,X vek:/'sj3p
~w9=Fd6 aa%&& 系统内光栅建模 SJc@iffS 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 gIM'bA<~ 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 z "$d5XR 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 S@zkoj@ UQ?OD~7
g74z]Uj.B rjQhU%zv 附着光栅堆栈 Cm<j*Cnl
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9~\f 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 Sc$8tLDLj 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 o"}&qA; 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 B"Kce"! 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 KPd C9H p vQK6r hd
;S>K/C j484b2uj1 堆栈的方向 X8SRQO^ fQy
C6C 堆栈的方向可以用两种方式指定: |}p}`Mb)a ZIL|
.<8I 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 m5em<P!G >"<k8wn 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 !+DJhw&c, <RPoQ'.^ FJ(B]n[> -0VA!3l 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 TFYT vUn $K_YC~ 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 11y.z^ 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 6^IqSNn- 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 -6~y$c&c 'tu@`7*
waWKpk1Wo #W%)$kc 高级选项和信息 6;[/9 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 N>pmhskN? 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 d1TdH s\ 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 uQu/(5 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 oAZF3h]po #;"D)C
0+<eRR9- KW|\)83$ 结构分解 jWK@NXMH Z 5)_B,E:X 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 :IVk_[s 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 E R]sDV 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 Gkv~e?Kc~^ 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 pPyvR;NJ 4d e]?#=
hP1
l v7P oO#xx)b 光栅级次通道选择 { 8f+h "7yNKO;W 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 )b&-3$? 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 W[>iJJwz 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 R{)
Q1~H=q /j' B\,
IObx^N_K MZ5Y\-nq\ 光栅的角度响应 Cl6m$YUt 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 @1qdd~B} 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 Jh43)#G- 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 !0ce kSesr 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 (/SGT$#8 ^.D}k
{ eEC:[ *!g 24 例:谐振波导光栅的角响应 `s`C{|wv ?L@@;tt
;NH~9# t: 3$c (M99r 谐振波导光栅的角响应 @n7t?9Bx MCk^Tp!
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