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摘要 eX7dyM \HX'^t` 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 .?{rd3[ec y)iT-$bQ I\djZG$s;N S9/oBxGN 系统内光栅建模 N~7xj? 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 #x-@ >{1k& 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 ?/ xk 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 u[nx?! EC(,-sz\Z :lj1[q:Y> zAT7^q^ 附着光栅堆栈 4q sIJJ[. }
IJ 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 Ip#BR!$n 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 }uWIF|h~ 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 %Jy0?W N 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 AX6z4G Gx Z'" x M-inlZNR t^eWFX 堆栈的方向
4C@ .X[r h|
q!Qsnj' 堆栈的方向可以用两种方式指定: 6*yt^[W g<C_3ap/ 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 =eG?O7z& n^F:p*)Q% 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 &o{= ;',hwo_LBf yB][
3?lv Ky"]L~8$ 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 \@G
7Kk*l >6fc`3*! 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 p4l^b[p 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 OZ{YQ}t{^1 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 JjBG9Rp{ u!kC+0Y G@s]HJ: /S4$qr cM 高级选项和信息 @9-/p^n1 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 `qP <S
求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 L~x
PIu 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 $P<T`3Jg 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 50MdZ;R-3 K)NB{8 _ *Uq1q M#<U=Ha 结构分解 %:61@< l#40VHa?S 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 ahezDDR-.i 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 w[`2t{^j 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 O>8|Lc 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 |Z\?nZ~ i%~^3/K D@jG+k-Lm DeqTr: 光栅级次通道选择 }^T7S2_Qy w8MQA!=l 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 2|="!c8K 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 8:W,"" 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 *g0} pD;r 82w;}(! ~!PAs_O vTrjhTa\ 光栅的角度响应 M5$YFGGR 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 Gk"o/]Sf 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 t(<^of: 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 R$[nYw 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 +TA'P$j ;rBd_ ].E89 _|O 5U%J,W 例:谐振波导光栅的角响应 e_eNtVq I``S%`h &ZkY9XO OR{<)L 谐振波导光栅的角响应 YIP /N U<T.o0s= M8 4{u!>[
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