-
UID:317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2025-12-12
- 在线时间1894小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
摘要 ^Tm`motzh P5h|* ?= 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 HYmC3 ff\~`n~WZ
hj [77EEz ?pTX4a&> 系统内光栅建模 GiV%Hcx 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。
b-&iJ &>' 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 ~#A}=,4> 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 QF#w$%7 G<;~nAo?f0
Ke\\B o, E-bswUVaEE 附着光栅堆栈 jwDlz.sW! n/+X3JJ 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 E.oJ[; 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 Dcl$? 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 8M,*w6P 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 *@2Bh4 I`kfe`_ 2/LSB8n| /`*{57/3 堆栈的方向 >XD?zF)6 T*z]<0E] 堆栈的方向可以用两种方式指定: e
w^(3& 3Vb4zZsl 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 )r2Y@+.FN ;[v!#+yml 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 $*yYmF +\/Q TR"C<&y$j bz4Gzp'6k 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 (o^tmH* "s2_X+4oY 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 (m~>W"x/ 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 i]JTKL{\q 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 hnnB4]c vCzZjGBY
@KN+)q P ks405 高级选项和信息 DeO-@4+qKd 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 IkrB} 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 x.Sf B[SZ 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 3uL
f0D 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 dbp\tWaW X+hHE kJ
OgQdyU J2mHPVA3 结构分解 %xt9k9=vZ u[>"_!T 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 lZFu|( 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 vygzL U^ 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 )M0YX?5AR 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 222 Y?3>@D ~Y 6'sM|
'jev1u[ #'L<7t
K 光栅级次通道选择 uP~,]ci7 3I)~;>meo 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 TI>5g(:3\ 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 X+X:nL.t 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 rrD6x> S%SYvA
|9*Rnm_ )aS:h}zn 光栅的角度响应 ,K5K?C$k 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 u
Ie^Me 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 {X!vb 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 .N(R~_ 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 ]U?nYppV Ly=.
U/>I! 7oe eI8o#4nT 例:谐振波导光栅的角响应 pb!2G/,.[ /b+~BvTh
#MC#K{Xd 1[P}D~ nQ 谐振波导光栅的角响应 CD1Ma8I8 5ibr1zs
qq)5)S
|