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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-03
    摘要 Av>xgfX  
    /*e6('9s  
    光栅光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 5$&',v(  
    fLg :+Ue<B  
    !QlCt>{  
    IC:>60A,]  
    系统内光栅建模 ib%'{?Q.  
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 6Z<|L^  
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 }6"l`$=Ev  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 ]]9 VI0   
    1Vx>\A  
    _sAcvKH  
    y<kg;-& 8  
    附着光栅堆栈 hMyN$7Z  
    m+QZ|  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 nm,(Wdr  
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 KGrYF  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 E<'V6T9bi  
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 *nB-] w/  
    1h3`y  
    s\e b  
    7Qd boEa  
    堆栈的方向 4m!w<c0NL  
     6apK  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: cq~~a(IS  
    v;#0h7qd  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 Nz>xilU'  
    M>ntldV#g%  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 -oi@1g @  
    y*!8[wASHq  
    *^:s! F  
    S2 MJb  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 =klfCFwP  
    G^:?)WRG  
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 WsW]  1p  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 {7Hc00FM  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 )cU$I)  
    Y/T-2)D  
    e_}tK1XY  
    HV{W7)  
    高级选项和信息 q<[o 4qY  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 $!^C|,CS  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 r-No\u_  
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 a5pXn v]A  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 :OV6R ,  
    "gt1pf~y  
    Ro=dgQ0:t  
    '4}8WYKQ  
    结构分解 q4g)/x%nc  
    AWg'J  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 4'"WD0  
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 ~-UO^$M-  
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 .:O($9^Ho  
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 [-Xah]g  
    :mhO/Bx  
    Ymf@r?F<  
    +&G]\WX<  
    光栅级次通道选择 , [<$X{9  
    zm3$)*p1  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 {s{+MbD  
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 izu_1X  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 ^91Ae!)d  
    :i|Bz6Ht4  
    D^6Q`o  
    yd[4l%G(zS  
    光栅的角度响应 lYmxd8  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 gA gF$H .  
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 yb,$UT"]  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 ;*hVAxs1  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 0"Zxbgu)  
    FiSx"o  
    & Zjs  
    dptfIBYc+  
    例:谐振波导光栅的角响应 bXA%|7*  
    RK p9[^/?  
    ([#'G+MC&  
    7a=ul:  
    谐振波导光栅的角响应 v`S ;.iD  
    *P|~v Cnr  
    Zu 4au<  
     
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