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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-03
    摘要 Jzj1w}?H  
    Xp >7iX!:  
    光栅光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 e]`[yf  
    d_CKP"TA  
    |*:'TKzNS  
    $@"l#vJPfc  
    系统内光栅建模 cimp/n"  
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 MJOz.=CbhR  
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 IT(lF  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 /~}}"zx&  
    (mgS"zPS  
    >Nvjl~o5  
    J]v%q,"  
    附着光栅堆栈 e^d0zl{  
    q ]M+/sl  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 18~>ZR  
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 )#P; x "  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 { D^{[I  
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 ^c<ucv6.  
    ;-9=RI0  
     U mNa[ s  
    1xD=ffM>8N  
    堆栈的方向  5V6G=H  
    D&/kCi=R  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: `!XY]PI+e  
    A9f)tqbc  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 W{%TlN  
    {)"iiJ  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 /s?r`'j[  
    Ey_" ~OB  
    #1`-*.u  
    *FC=X)_&W  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 L%BNz3:Dt  
    k40* e\  
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 2r!s*b\Ix  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 <0H"|:W>I]  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 0ZBJ ~W  
    <\Eh1[F  
    TT'[qfAI  
    >=RmGS  
    高级选项和信息 R<[qGt|L  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 WX=Jl<  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 b?TO=~k,  
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 q<\,  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 {p;zuCF1  
     /<HRwG\w  
    vV[eWd.o6M  
    g6Q!8  
    结构分解 QrfG^GID  
    L{hnU7sY  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 I|>^1kr8w  
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 yHs- h   
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 `wus\&!W  
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 j<u@j+V  
     TR<<+  
    w9NHk~LHKF  
    *"D3E7AO  
    光栅级次通道选择 dik:4;  
    7]9 a<  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 ?mWw@6G,  
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 D[^m{ 9_  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 MO&}r7qq  
    hvA^n@nr  
    <z]cyXv/  
    /wP@2ADB  
    光栅的角度响应 pcYG~pZ9  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 5#> 8MU?&  
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 p8Q,@ql.  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 --HF8_8;'  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 ROk5]b.  
    3T"j)R_=l  
    ;cPy1  
    s0DGC  
    例:谐振波导光栅的角响应  AT9q3  
    BB~OqZIP  
    uM_#  
    UG)8D5  
    谐振波导光栅的角响应 "NgxkbDEbG  
    | \'rP_I>  
    T{Sb^-H#X  
     
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