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摘要 hV4\#K[ Uv"GG:
K_ 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 Q&Ox\*sMK $S0eERga
(G:K?o) Ug|o($CY 系统内光栅建模 <r{ )*]#l 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 YOHYXhc{S 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 =2=n 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 Kzd`|+?'`M -j 6U{l
>@o}l:* I=3e@aTZ, 附着光栅堆栈 ii:h
E= #815h,nP+ 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 Z 7M%}V% 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 De*Z UN|< 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 ?>p<!:E!r 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 tT;=l[7% Q`]El<$ G;%Pf9o26 fuxBoB 堆栈的方向 \KaWR O}!L;? 堆栈的方向可以用两种方式指定: w*Gv#B9G D~xUr)E 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 hC.7Z] bTn7$EG 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 fr0iEO_ Zbp ByRyN <(Wa8PY2( e,}]K'!t 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 {t$
vsR 3?vasL 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 A2b
C5lA 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 :I5]|pt 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 7FVu[Qu qYW{$K
gq6C6 @awaN 高级选项和信息 pX]*&[X? 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 jG0{>P#+ 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 nzTzc5
w 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 "9-duDg 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 +OF(CcA^ Es kh=xA {
%T UljX K} A`7uw|uO$ 结构分解 W9?Yzl QK\QvU2y 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 <=V2~
asB 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 7;C9V` 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 ?J+[|*'yK 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 buRXzSR ctOC.
Ho?+?YJ#P j8@YoD5o 光栅级次通道选择 )@3ce' GG\]}UjX 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 IC9:&C[ 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 ke~O+] 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 'jeGERMr' RC8{QgaI
+7o3TA]- YF@'t~_Z 光栅的角度响应 WZRrqrjq 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 f3-=?Z 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 Z\xR+3 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 TeQWrms 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 FpfOxF6A3 A$W,#`E
.*D~ .! 'r4 j;Jn 例:谐振波导光栅的角响应 `6!l!8
v Mno4z/4{A
F5.Vhg )KR9al f3 谐振波导光栅的角响应 !$St=! XN]kNJX
PP&AF?C
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