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摘要 |L9p. q S\76`Ot 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 p
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K;8{qQ* >c`r&W.t 系统内光栅建模 cr,fyAvX 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 n4XEyCrD 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 *@;bWUJ 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 tJe5`L 6~34L{u
vVhSl$mW xig4H7V 附着光栅堆栈 f;D(X/"f] hZIbN9)8A 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 Six2{b)p 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 |@W|nbAfX 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 U8S<wf& 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 ?_-5W9 q}PUwN6 -6W$@,K zK_Q^M` 堆栈的方向 HXm&` (N6=+dNY 堆栈的方向可以用两种方式指定: |zbM$37?k ECsb?n7e 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 t5CJG '!ql =Q,D3F
-+f 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 j'x@P+A %)ri:Q q /Qu<>#[? `#*`hH8 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 h e=A%s \zh`z/=92 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 [_`<<!u>- 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 %0p9\I 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 RD6>\9 Fs}B\R/J
v}5||s!= !eHQe7_ 高级选项和信息 E]Qd5l 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 FKtG 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 nt%fJ k 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 }ssP%c] 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 `z^50Vh| %!7A" >ai
oj=%< a !<&To 结构分解 ov5g`uud '%&-`/x 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 = R n 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 ol1J1Zg 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 >guX,hx^ 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 EK Ac>g &lo<sbd.
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kZ 光栅级次通道选择 l\"CHwN?Y bN&DotG 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 I^)_rOgM 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 a$EudD#+ 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 ]|N"jr?7H peew<SX
Y>{%,d#s_ b\^1P;!'W 光栅的角度响应 8lyNg w1 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 ^?:
Az 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 .]0:`Y,; 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 -UWyBM3c@ 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 cJ>^@pd{ R|k!w]
4QE")Ge ~<}?pDA}~ 例:谐振波导光栅的角响应 "u'dd3! |fb*<o eT
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c?:U& uF{l`|b' 谐振波导光栅的角响应 [,Y;#; l$!Z};mw0E
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