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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-03
    摘要 ?aG~E  
    #lVSQZO~a  
    光栅光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 S9/\L6Rmf  
    1 d.>?^uE  
    84Hm PPt  
    . 55aY~We  
    系统内光栅建模 U/(R_U>=  
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 ;NJM3g0I  
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 p-g@c wOu  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 \BsvUGd  
    9qZ|=r]y'  
    Z[j-.,Qu  
    [iSLn3XXRX  
    附着光栅堆栈 t^9q>[/d`  
    ER$~kFE2yP  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 1 gRR  
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 QPF[D7\  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。  -gS/  
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 VxAR,a1+n  
    R?%|RCht1  
    D3 E!jQ1  
    ,%m$_wA$  
    堆栈的方向 \@n/L{}(@  
    `Sj8<O}  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: GHWpL\A{8`  
    zjJyc?  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 }KkH7XksF  
    b}G +7B  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 :Ws3+OI'm3  
    V'?nS&,i  
    /L[:C=u  
    g(;ejKSR  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 IPE(  
    mKq9mA"(E  
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 I`KN8ll  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 !*#=7^#  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 IWpUbD|kC  
    WCWBvw4&"{  
    S"Zs'7dy`  
    TT&!WbA-Hk  
    高级选项和信息 DwTZ<H4  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 G6Fg<g9:  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 uTJ?@ ^nq  
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 aA yFu_  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 'Ph;:EMj  
    O "h+i>|l  
    %I=J8$B]f  
    4Y/!V[  
    结构分解 {k]VT4/  
    pcl _$2_  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 O 1X !  
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 Ia"bP` L  
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 <*5D0q#~"  
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 |m EJJg`"7  
    0UB'6wRVo  
    1!NaOfP;@  
    9VY_gi=vL  
    光栅级次通道选择 ]V]o%onW  
    5Np.&  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 1-[{4{R  
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 &]c9}Ic  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 ?3, *  
    4'8.f5  
    Y\x Xo?  
    e O}mZN  
    光栅的角度响应 Fu><lN7  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 ~5#7i_%@E}  
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 V)Xcn'h  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 ?{dno=  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 y|mR'{$I  
    V!=]a^]:  
    ,J#5Y.  
    1|89-Ii]  
    例:谐振波导光栅的角响应 %~[F^  
    /L8=8  
    \dMsv1\  
    jHZ<G c  
    谐振波导光栅的角响应 8YJ({ Ou_  
    $_UF9 l0  
    ;Os3 !  
     
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