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摘要 <'u'#E@"sl $Sq:q0 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 Nn6%9PX_) w)f#V s
BmT! aue C|bET 系统内光栅建模 V~GDPJ+ 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 )~>YH*g 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 rq{$,/6. 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 5P2K5,o|n~ 6ujWNf
vM={V$D& vx
=&QavL 附着光栅堆栈 hrk r'3lv E.h*g8bXe 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 }f ?y*
H 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。
a?1Wq 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 KNl$3nX 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 >*bvw~y, xT8?&Bx @7}W=HB PCA4k.,T 堆栈的方向 K/$KI7P
(3e2c 堆栈的方向可以用两种方式指定: ?6!LL5a. e-;}366} 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 G@0&8 4+n\k 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 42{~Lhxt qq?!LEZ /
{%%"j ~*7]r`6\@ 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 7<4qQ.deE Om&Dw|xG8 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 \V:^h[ad 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 H,J8M{ 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 XppOU qs6aB0ln
*p d@.|^)m ooGM$U 高级选项和信息 xw%0>K[ 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 kfNWI#'9
求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 2oW"'43X 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 d9ihhqq3} 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 M5B# TAybC ]n~V!hl?A
}]TxlSp!; t^HRgY'NjM 结构分解 u2I Cl Xj*Wu_ 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 %y@AA>x! 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 iLT}oKF2N; 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 p_ =z# 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 <3iMRe H]s.=.Ki
i4Jc.8^9$ ^.tg 7%dJ 光栅级次通道选择 mOSv9w#, 8MBAtVmy 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 ^8tEach 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 R]dg_Da 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 t)
+310w Cw%{G'O
fM}#ON>Z ?"FbsMk.d 光栅的角度响应 ]Dzlp7Y} 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 tkhCw/ 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 ;jPXs 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 VL^EHb7 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 +(*DT9s+ DlT{`
Q?T]MUY(L |%wX*zaf 例:谐振波导光栅的角响应 51u0]Qx;fm >7r!~+B"9'
S'14hk< X8|EHb< 谐振波导光栅的角响应 +V+a4lU14 bcR_E5x$
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