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摘要 ?aG ~E #lVSQZO~a 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 S9/\L6Rmf 1d.>?^uE
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PPt . 55aY~We 系统内光栅建模 U/(R_U>= 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 ;NJM3g0I 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 p-g@cwOu 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 \BsvUGd 9qZ|=r]y'
Z[j-.,Qu [iSLn3XXRX 附着光栅堆栈 t^9q>[/d` ER$~kFE2yP 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 1 gRR 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 QPF[D7\ 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 -gS/ 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 VxAR,a1+n R?%|RCht1
D3 E!jQ1 ,%m$_wA$ 堆栈的方向 \@n/L{}(@ `Sj8<O} 堆栈的方向可以用两种方式指定: GHWpL\A{8` zjJyc? 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 }KkH7XksF b}G +7B 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 :Ws3+OI'm3 V'?nS&,i /L[:C=u g(;ejKSR 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 IPE( mKq9mA"(E 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 I`KN8ll 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 !*#=7^# 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。
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S"Zs'7dy` TT&!WbA-Hk 高级选项和信息 DwTZ<H4 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 G6Fg<g9: 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 uTJ?@^nq 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 aA
yFu_ 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 'Ph;:EMj O "h+i>|l
%I=J8$B]f 4Y/!V[ 结构分解 {k]VT4/ pcl_$2_ 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 O 1X
! 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 Ia"bP` L 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 <*5D0q#~" 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 |m EJJg`"7 0UB'6wRVo
1!NaOfP;@ 9VY_gi=vL 光栅级次通道选择 ]V]o%onW 5Np. & 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 1-[{4{R 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 &]c9}Ic 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 ?3, * 4'8.f5
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O}mZN 光栅的角度响应 Fu><lN7 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 ~5#7i_%@E} 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 V)Xcn'h 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 ?{dno= 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 y|mR'{$I V!=]a^]:
,J#5Y. 1|89-Ii] 例:谐振波导光栅的角响应 %~[F^ / L8=8
\dMsv1\ jHZ<Gc 谐振波导光栅的角响应 8YJ({ Ou_ $_UF9l0
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