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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-03
    摘要 7G2TTa  
    6K* 7%8Y/G  
    光栅光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 pspV~9,  
    G~YV6??  
    i' N  
    I_eYTy-a`1  
    系统内光栅建模 Z&/;6[  
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 |4 wVWJ7   
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 +h[$\_y  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 JNk ]$ xz  
    TQbhK^]  
    HiVF<tN  
    Ks!.$y:x  
    附着光栅堆栈 qb "H&)aHw  
    '&s:,o-p  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 *gZ4Ub|O  
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 6P+8{ ?V&  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 VU)ywIs  
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 QJ pUk%Wj  
    1kTJMtZG~  
    0nA17^W  
    {v~&.|  
    堆栈的方向 f,PFvT$5e  
    8M:;9a8fh  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: ?u 9) GJO[  
    m.S@ e8kS  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 &87D.Yy^  
    ILTd*f  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 j'CRm5O  
    4$ejJaE  
    &|Z:8]'P  
    g24)GjDi  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 Fi(_A  
    Uj6R?E{Jt  
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 _<kE32Bb  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 >iWl-hI-  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 ZYrd;9zB  
    <;SMczR  
    xdp{y =,[  
    gwR ^Z{  
    高级选项和信息 JTl 37j  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 q^Oq:l$s  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 Vx-H W;,  
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 j[) i>Qw  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 -twIF49  
    }"Y]GH4Y  
    -Qqb/y  
    #.a4}ya19  
    结构分解 3"!2C,3c#  
    XQ,I Ej|  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 5K{(V^88F  
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 `;5UlkVZ5  
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 "uqa~R{  
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 6+m)   
    +JBhw4et;.  
    w0tlF:Eg  
    e +4p__TmZ  
    光栅级次通道选择 @5Ril9J[b  
    ANn {*h  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 g|e^}voRM  
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 B,|M  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 :#c?`>uV  
    n4(w?,w }  
    Joq9.%7Q  
    x-CY G?-x  
    光栅的角度响应 <`*6;j.&  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 -:cS}I  
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 M1Od%nz3  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 ]n\WCU ]0  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 hFj.d]S  
    Y5cUOfYT  
    u#la+/   
    noh3mi  
    例:谐振波导光栅的角响应 : gv[X  
    {eqUEdC  
    f9&D0x?  
    ./J.OU1  
    谐振波导光栅的角响应 DU]MMR  
    $vlgiJ&f  
    5|S|HZ8G  
     
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