-
UID:317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2025-12-12
- 在线时间1894小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
摘要 -r]L MQ 8F'm#0 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 \j-:5M#m Bj"fUI!dK
<:&{ c-f/ }$sTnea 系统内光栅建模 xJnN95`R@ 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 NTO.;S|2% 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 ^N7 C/" p 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 O4:_c-V2 :Rnwyj])
(^B=> LPZ\T}<l 附着光栅堆栈 -1~o~yGE :t;i2Ck 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 /{/mwS"W 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 @,}tY ?>a 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 +JM@ kdE5b 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 Rlm28 [@B!N+P5; `Q/\w1-Q .JJ50p 堆栈的方向 [0]J
2 Vg :''!4t2 堆栈的方向可以用两种方式指定: SSyARR+;c Zz]/4 4t 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 G:wO1f6
=zDvZ(5 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 ?A24h!7 "q!*RO'a ZR"qrCSw` e\f\CMb 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 o*"Q{Xh#Qd M _lLP8W} 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 !4<A|$mQ 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 cM4{ e^ 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 k7L4~W ,H<nNBv3M
3`RI[%AN~ ~O!E &~ 高级选项和信息 W7@Vma` 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 `2^(Ss#) 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 <OJqeUo+*\ 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 ^#K^W V 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 T|j=,2_ V$oj6i{ky
~2yhZ 57]La^# 结构分解 L/%{,7l<^? Fg}t{e]3a 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 T&bB8tQk 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 tp }Bz&V 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 #`l&HV 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 t]iKU@3 {sj{3I u
~r'ApeI9 qPJSVo 光栅级次通道选择 ;B(16&l=q 0>e]i[P. 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 Y?zo") 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 [Ls%nz| 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 _\=
/~>Xl II[-6\d!
/11CC \ ^ P
A|RFP 光栅的角度响应 PL!dkaD^y> 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 +^J;ic 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 'YYT1H) 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 {i3=N{5b 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 P3Ah1X7W"C `krVfE;_O
!YlEXaS ?P#\CW 例:谐振波导光栅的角响应 =}u?1~V wyAh%'V
-Ekf T_ "T<7j.P? 谐振波导光栅的角响应 wAzaxeV= +%~me?
N+H[Y4c?F&
|