;DbEP. %u$ p(o"K@I 内容简介 HE#IJB6BS? Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
*\><MXx 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
^ur?da9z' 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
L,6v!9@ 讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
,xmmS\ 9cQZ`Ex 目录 r&6X|2@ Preface 1
w@,Yj#_9cx 内容简介 2
Q'D%?Vg' 目录 i
"X<vgM^: 1 引言 1
}n /6.% 2 光学薄膜基础 2
KCEBJ{jM 2.1 一般规则 2
tP/0_^m 2.2 正交入射规则 3
`F-<P%k 2.3 斜入射规则 6
{}>s0B 2.4 精确计算 7
?Vg251-H 2.5 相干性 8
/,#HGu]q' 2.6 参考文献 10
4h% G %>j 3 Essential Macleod的快速预览 10
5eS0
B{,c 4 Essential Macleod的特点 32
{yFCGCs 4.1 容量和局限性 33
x -CTMKX 4.2 程序在哪里? 33
tgk] sQY 4.3 数据文件 35
zM:&`6;e 4.4 设计规则 35
,i0Dw"/u 4.5 材料数据库和
资料库 37
~^Ceru"< 4.5.1材料损失 38
^\o 3V< 4.5.1材料数据库和导入材料 39
cP8g.+ 4.5.2 材料库 41
APye 4.5.3导出材料数据 43
[\|`C4@3a 4.6 常用单位 43
s}3g+T\l1w 4.7 插值和外推法 46
rvPY 4.8 材料数据的平滑 50
ol^uM .k%_ 4.9 更多光学常数模型 54
{yj8LxX^ 4.10 文档的一般编辑规则 55
C1/qiSHsh 4.11 撤销和重做 56
7T7
A[A\ 4.12 设计文档 57
'F-;uN 4.10.1 公式 58
XR2Gw4] 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
8rZJvE#c
4.10.3 沉积密度 59
(^),G-] 4.10.4 平行和楔形介质 60
jTSN`R9@ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
P_7QZ0k/ 4.10.4 性能 61
$qndG,([F 4.10.5 保存设计和性能 64
K;uO<{a)r 4.10.6 默认设计 64
'c]Fhe fb 4.11 图表 64
[2~^~K 4.11.1 合并曲线图 67
Ui:WbH<b{ 4.11.2 自适应绘制 68
VPC7Dh%. 4.11.3 动态绘图 68
:`jB1rI 4.11.4 3D绘图 69
ERka l7+ 4.12 导入和导出 73
kh7RQbNY<I 4.12.1 剪贴板 73
kD}w5 U 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
,1|Qm8O 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
d1[;~) 4.13 背景 77
/w|!SZB 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
ab-z 7g 4.15 生成Rugate 84
Qk5pRoL_ 4.16 参考文献 91
:r+BL@9 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
,_wpYTl*X 5.1 Jobs 92
6VUkZKc 5.2 创建一个新Job(工作) 93
4DwQ7KX 5.3 输入材料 94
'}$]V>/ 5.4 设计数据文件夹 95
i#pBzJ 5.5 默认设计 95
eE=}^6)(* 6 细化和合成 97
v~B
"Il 6.1 优化介绍 97
U))2?# 6.2 细化 (Refinement) 98
]cmq 6.3 合成 (Synthesis) 100
\86:f<)P 6.4 目标和评价函数 101
>Tf <8r, 6.4.1 目标输入 102
xU6rZCqE 6.4.2 目标 103
kq$0~lNI$ 6.4.3 特殊的评价函数 104
Kb$6a'u7 6.5 层锁定和连接 104
[@_IUvf^. 6.6 细化技术 104
._X|Ye9/ 6.6.1 单纯形 105
w/49O;r V 6.6.1.1 单纯形
参数 106
>?L)+*^ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
N9S?c 6.6.2.1 Optimac参数 108
Zws[C 6.6.3 模拟退火算法 109
hJc^NU5 6.6.3.1
模拟退火参数 109
l_lK,=cLj+ 6.6.4 共轭梯度 111
=".sCV9"N 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
7*MjQzg-P 6.6.5 拟牛顿法 112
HKXtS>7d 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
)k~{p;Ke 6.6.6 针合成 113
6Zx'$F.iqK 6.6.6.1 针合成参数 114
EYy|JT]B 6.6.7 差分进化 114
^1\[hyZ! 6.6.8非局部细化 115
UCBx?9O/0 6.6.8.1非局部细化参数 115
vEZd;40y 6.7 我应该使用哪种技术? 116
Hw\hTTK 6.7.1 细化 116
Z~{0x#?4% 6.7.2 合成 117
ugy:^U 6.8 参考文献 117
).i :C(| 7 导纳图及其他工具 118
m=#< 7.1 简介 118
95IR.Qfn! 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
rvUJK,oE 7.2.1 四分之一
波长规则 119
CkeqK 7.2.2 导纳图 120
EmYu]"${1 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
d%lwg~@&|5 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
']^_W0?= 7.5 斜入射导纳图 141
3d;w\#?L; 7.6 对称周期 141
@|;XDO`k; 7.7 参考文献 142
'{F
Od_uk% 8 典型的镀膜实例 143
@tfatq+q 8.1 单层抗反射薄膜 145
k%K\~U8" 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
6xW17P 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
3;er.SFu{ 8.4 W-膜层 148
3f)!RKS9q 8.5 V-膜层 149
/8[T2Z! 8.6 V-膜层高折射基底 150
0N`'a?x 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
0 >:RFCo 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
BnPL>11Y 8.9 四层抗反射薄膜 153
o#frNT} 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
eCy]ugsi% 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
IWNIk9T,u 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
pcO{%]?p 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
mKZ^FgG 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
W:y'a3~ 8.15十五层宽带抗反射膜 159
w@ $_2t 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
?y4vHr"c 8.17 1/4波长堆栈 162
,&aD
U 8.18 陷波滤波器 163
NB.&J7v 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
'qlWDt/ 8.20 褶皱 165
z\6/?5D#v 8.21 消偏振分光器1 169
K/D,sH! 8.22 消偏振分光器2 171
Y^ti;: 8.23 消偏振立体分光器 172
B[{Ie
G' 8.24 消偏振截止滤光片 173
Jo9!:2? 8.25 立体偏振分束器1 174
9 Xx4,#? 8.26 立方偏振分束器2 177
[+
N 5 8.27 相位延迟器 178
/GU%{nT 8.28 红外截止器 179
3@^b's'S|} 8.29 21层长波带通滤波器 180
}<
m@82\ 8.30 49层长波带通滤波器 181
r57rH^Hc 8.31 55层短波带通滤波器 182
zmpQ=%/H 8.32 47 红外截止器 183
*h Bo,
8.33 宽带通滤波器 184
5%%A2FrB.S 8.34 诱导透射滤波器 186
]zR,Y=
# 8.35 诱导透射滤波器2 188
O\[Td 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
!Z`xwk"! 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
ealh>Y 8.35 增益平坦滤波器 193
R WK##VHK 8.38 啁啾反射镜 1 196
VkDFR
[k_ 8.39 啁啾反射镜2 198
^`Qh*:T$ 8.40 啁啾反射镜3 199
liG3
8.41 带保护层的铝膜层 200
a&~]77) 8.42 增加铝反射率膜 201
#Cz6c%yK 8.43 参考文献 202
-Drm4sTpDb 9 多层膜 204
WA 79(B 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
&`A2&mZ 9.2 内部透过率 204
,O}2LaK.O 9.3 内部透射率数据 205
yi9c+w)b 9.4 实例 206
!>L+q@l) 9.5 实例2 210
^jMo?Zwy 9.6 圆锥和带宽计算 212
`Ao;xOJ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
> [|SF%
10 光学薄膜的颜色 216
Le':b2o 10.1 导言 216
fl18x;^I 10.2 色彩 216
4!r>
^a 10.3 主波长和纯度 220
gHzjI[WI 10.4 色相和纯度 221
^Wz3 q-^ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
q{t"=@lX01 10.6 色差 226
;o0o6pF 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
*tZ#^YG{( 10.8 颜色渲染指数 234
-?Aa RwZ, 10.9 色差计算 235
N~A#itmdx 10.10 参考文献 236
\ml6B6 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
5`3f"(ay/ 11.1 短脉冲 238
G
]mX+? 11.2 群速度 239
4ng*SE_ 11.3 群速度色散 241
07dUBoq 11.4 啁啾(chirped) 245
TAu*lL(F 11.5 光学薄膜—相变 245
XT5Vo 11.6 群延迟和延迟色散 246
5bzYTK&- 11.7 色度色散 246
_\Cd. 11.8 色散补偿 249
|fk,&5s 11.9 空间
光线偏移 256
AH(O"v` 11.10 参考文献 258
xR,;^R|C 12 公差与误差 260
8@a|~\3- 12.1 蒙特卡罗模型 260
WxS=Aip' 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
~Zd n#z\ 12.2.1 误差工具 267
{l7@<xZ??M 12.2.2 灵敏度工具 271
S hM}w/4 12.2.2.1 独立灵敏度 271
&sx|sLw) 12.2.2.2 灵敏度分布 275
{M?!nS6t 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
Ueyt}44.e2 12.3 参考文献 276
r4c3t,L*$I 13 Runsheet 与Simulator 277
E4'D4@\W 13.1 原理介绍 277
3&@MZF& 13.2 截止滤光片设计 277
$u4esg 14 光学常数提取 289
,b@0Qa" 14.1 介绍 289
g/q$;cB 14.2 电介质薄膜 289
7=ZB;(`L1 14.3 n 和k 的提取工具 295
NW9k.D% 14.4 基底的参数提取 302
o /fq 14.5 金属的参数提取 306
9e Dji, 14.6 不正确的模型 306
m(3bO[u1 14.7 参考文献 311
::vw1Es 15 反演工程 313
GfQP@R" 15.1 随机性和
系统性 313
'ej{B0rE 15.2 常见的系统性问题 314
2/BFlb 15.3 单层膜 314
ZX.VzZS 15.4 多层膜 314
':!;6v|L 15.5 含义 319
J 6S 15.6 反演工程实例 319
,9#G/nF 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
cQv*lvG9> 15.6.2 反演工程提取折射率 327
b@f.Kd7I 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
$XI5fa4Tt 16.1 光学性质的热致偏移 329
\Rp)n=| 16.2 应力工具 335
yg2~qa:dZ 16.3 均匀性误差 339
@ec QVk 16.3.1 圆锥工具 339
m`9)DsR
N 16.3.2 波前问题 341
|l ~BdP 16.4 参考文献 343
.#h]_% 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
|U^
ff^] 17.1 引言 345
){>;eky 17.2 操作数 345
(cYc03" 18 如何在Function中编写脚本 351
h3p 3~xq 18.1 简介 351
V_}`2.Pg 18.2 什么是脚本? 351
IHo6& 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
$vy.BYFm 18.4 基础 352
W{;!JI7;z 18.4.1 Classes(类别) 352
mc(&'U8R0I 18.4.2 对象 352
`s:| 4;.
18.4.3 信息(Messages) 352
8XJ%Yuu 18.4.4 属性 352
;gm){ g 18.4.5 方法 353
66'TdF]" 18.4.6 变量声明 353
1}8e@`G0.] 18.5 创建对象 354
>uOc#+5M. 18.5.1 创建对象函数 355
o-O/M S 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
^s5.jlZr@ 18.5.3 丢弃对象 356
CaBTqo 18.5.4 总结 356
wKY6[ vvF 18.6 脚本中的表格 357
E7_^RWG 18.6.1 方法1 357
\Y!Z3CK 18.6.2 方法2 357
t41cl 18.7 2D Plots in Scripts 358
x2ol 18.8 3D Plots in Scripts 359
+]]wf'w 18.9 注释 360
%q*U[vv 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
g>im2AD+e 18.11 一个更高级的脚本 362
Z^fF^3x 18.12 <esc>键 364
}(tGjx] 18.13 包含文件 365
Tz*5;y%4 18.14 脚本被
优化调用 366
!)9zH 18.15 脚本中的对话框 368
',!#?aGV 18.15.1 介绍 368
ao-C9|2>NU 18.15.2 消息框-MsgBox 368
#Y18z5vo 18.15.3 输入框函数 370
6:EO 18.15.4 自定义对话框 371
R9CAw>s 18.15.5 对话框编辑器 371
p[o2F5 T2 18.15.6 控制对话框 377
`P z !H 18.15.7 更高级的对话框 380
IWT##']G 18.16 Types语句 384
A:NY:#uC 18.17 打开文件 385
iuHG9 #n 18.18 Bags 387
<aHK{*'3 18.13 进一步研究 388
s{q2C}=$?D 19 vStack 389
kcYR:;y 19.1 vStack基本原理 389
5;^8wh( 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
8Peqm?{5Y5 19.3 五棱镜 393
)@Zel.XD 19.4 光束距离 396
QHM39Eu] 19.5 误差 399
0Hz3nd?v 19.6 二向分色棱镜 399
#SqOJX~Q 19.7 偏振泄漏 404
Qp=uiXs 19.8 波前误差—相位 405
7CIje=u.q 19.9 其它计算参数 405
J`mp8?;% 20 报表生成器 406
rzTyHK[ 20.1 入门 406
}%1E9u 20.2 指令(Instructions) 406
Sc0ZT/Lm 20.3 页面布局指令 406
fzKKK+ 20.4 常见的参数图和三维图 407
3Q ]MT 20.5 表格中的常见参数 408
~clWG-i 20.6 迭代指令 408
{ &qBr&kg 20.7 报表模版 408
v[|iuOU 20.8 开始设计一个报表模版 409
hW},% 21 一个新的project 413
eP2 y U 21.1 创建一个新Job 414
vB
Jva8;Q 21.2 默认设计 415
E+2y-B)E 21.3 薄膜设计 416
k
Z3tz?Du 21.4 误差的灵敏度计算 420
/.?\P#9) 21.5 显色指数计算 422
<^~F~]wnH 21.6 电场分布 424
X%-4x 后记 426
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