)#|I(Gz ^ YzasT:EZN 内容简介 ?H7Ym N Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
9Tju+KcK 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
=\[}@Kh 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
2h:*lV^ 讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
tCoT-\Q Ze?(N~ 目录 2D`_!OG= Preface 1
#`kLU: 内容简介 2
Ml bQLtw 目录 i
Zt3Y<3o 1 引言 1
c-?2>%;(V 2 光学薄膜基础 2
eaNMcC1 2.1 一般规则 2
1$A7BP 2.2 正交入射规则 3
|3ob1/)p0 2.3 斜入射规则 6
NG)Xk[q4 2.4 精确计算 7
T~&9/%$F 2.5 相干性 8
M.*3qWM 2.6 参考文献 10
Q^p>hda 3 Essential Macleod的快速预览 10
`Z)]mH\X 4 Essential Macleod的特点 32
GxFmw: 4.1 容量和局限性 33
J%|n^^ /un 4.2 程序在哪里? 33
)p?p39>h 4.3 数据文件 35
d q.'[ 4.4 设计规则 35
vCj,aSW 4.5 材料数据库和
资料库 37
N,oN3mFF 4.5.1材料损失 38
-D?-ctFYj^ 4.5.1材料数据库和导入材料 39
CVa?L"lK 4.5.2 材料库 41
U/p|X) 4.5.3导出材料数据 43
x JXPtm 4.6 常用单位 43
Oo-%;l`& 4.7 插值和外推法 46
zJxO\ 4.8 材料数据的平滑 50
liU/O:Ap 4.9 更多光学常数模型 54
R=/^5DZ} 4.10 文档的一般编辑规则 55
ZvSWIQ6 4.11 撤销和重做 56
DrY5Q&S 4.12 设计文档 57
Zo12F**{ 4.10.1 公式 58
q>n0'`q 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
=
nIl$9 4.10.3 沉积密度 59
krt8yAkG 4.10.4 平行和楔形介质 60
\H6[6*JuB 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
f\/'Fy0 4.10.4 性能 61
\os iY^ 4.10.5 保存设计和性能 64
4fuKpLA 4.10.6 默认设计 64
W)OoHpdw 4.11 图表 64
(hb\1wZ 4.11.1 合并曲线图 67
qhIO7h 4.11.2 自适应绘制 68
q.GA\o 4.11.3 动态绘图 68
-C 4.11.4 3D绘图 69
SniKCqmC] 4.12 导入和导出 73
>}?4;:.= 4.12.1 剪贴板 73
KeIk9T13O 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
|o5F%1o 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
q%rfKHMA50 4.13 背景 77
[Y%H8} 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
[WAnII 4.15 生成Rugate 84
Da@H^ 4.16 参考文献 91
0}:wM':G 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
GELxS! 5.1 Jobs 92
Qr n^T 5.2 创建一个新Job(工作) 93
O=A(x m# 5.3 输入材料 94
q|EE
em 5.4 设计数据文件夹 95
eHt |O~ 5.5 默认设计 95
3%J7_e' 6 细化和合成 97
Gv$}>YJ 6.1 优化介绍 97
0</]Jo% 6.2 细化 (Refinement) 98
pT=YV
k 6.3 合成 (Synthesis) 100
vT&xM 6.4 目标和评价函数 101
s .xJ},E9 6.4.1 目标输入 102
L FncY(b 6.4.2 目标 103
X
(0`"rjg 6.4.3 特殊的评价函数 104
{,Py%.vvR 6.5 层锁定和连接 104
i#RT4}l"a 6.6 细化技术 104
z4UJo!{S 6.6.1 单纯形 105
x9lG$0k:V 6.6.1.1 单纯形
参数 106
"j]85 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
iW\Q>~0#_ 6.6.2.1 Optimac参数 108
.w@o%AO_ 6.6.3 模拟退火算法 109
%^){)#6w 6.6.3.1
模拟退火参数 109
HpQuro'Qh 6.6.4 共轭梯度 111
KK|AXoBf 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
13lJq:bM 6.6.5 拟牛顿法 112
"y5LojdCs 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
$
M8ZF(W 6.6.6 针合成 113
AD=qB5: 6.6.6.1 针合成参数 114
TSPFi0PP 6.6.7 差分进化 114
~|>q)4is6a 6.6.8非局部细化 115
O:hCUr 6.6.8.1非局部细化参数 115
$vQ#ah/k 6.7 我应该使用哪种技术? 116
LKx<hl$O 6.7.1 细化 116
$7~T+fmF 6.7.2 合成 117
555*IT3b 6.8 参考文献 117
e2@{Ab 7 导纳图及其他工具 118
}r)T75_1 7.1 简介 118
4,yS7l 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
G[[hC[}I 7.2.1 四分之一
波长规则 119
uv}?8$<\ 7.2.2 导纳图 120
a7_ &; 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
Go8?8* 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
G5R"5d' 7.5 斜入射导纳图 141
<$8`]e?I 7.6 对称周期 141
xKZLXQ'e- 7.7 参考文献 142
l^ Q-KUI 8 典型的镀膜实例 143
1J
tt\yq 8.1 单层抗反射薄膜 145
HLa3lUo 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
T/b%,!N) 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
i- v PJg1 8.4 W-膜层 148
Z^'i16 8.5 V-膜层 149
82z\^a 8.6 V-膜层高折射基底 150
\TF='@u. 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
X`n)]~ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
t[yu3U 8.9 四层抗反射薄膜 153
Vp5i i]B4 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
!qF U 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
YKk*QcAn 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
m,TN%*U! 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
Y<"BhE 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
RF,[1O-\O 8.15十五层宽带抗反射膜 159
e{*-_j"I 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
ROv(O;.Ty 8.17 1/4波长堆栈 162
Yr\pgK, 8.18 陷波滤波器 163
.*3.47O 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
3b#eB 8.20 褶皱 165
-F+
)N$CW 8.21 消偏振分光器1 169
2D"n#O`y 8.22 消偏振分光器2 171
^)| !nd 8.23 消偏振立体分光器 172
ev$\Ns^g$3 8.24 消偏振截止滤光片 173
?$>#FKrt 8.25 立体偏振分束器1 174
AD** 4E 8.26 立方偏振分束器2 177
L93PDp4v 8.27 相位延迟器 178
I&jiH) 8.28 红外截止器 179
bGO[P<< 8.29 21层长波带通滤波器 180
\m\E*c
): 8.30 49层长波带通滤波器 181
m7|}PH"7 8.31 55层短波带通滤波器 182
N3Yf3rK 8.32 47 红外截止器 183
2EU((Q`>=( 8.33 宽带通滤波器 184
Ep.Q&(D
> 8.34 诱导透射滤波器 186
3.c0PRZ 8.35 诱导透射滤波器2 188
gHB*u!w7Z 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
gE_i#=bw 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
=.sg$VX 8.35 增益平坦滤波器 193
mw[T[ 8.38 啁啾反射镜 1 196
~g6`Cp` 8.39 啁啾反射镜2 198
&"h 9Awn2 8.40 啁啾反射镜3 199
{`Jr$*; 8.41 带保护层的铝膜层 200
3
W%Bsqn 8.42 增加铝反射率膜 201
\E!a=cL! 8.43 参考文献 202
'UW(0 PXw 9 多层膜 204
EINjI:/D 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
08+cNT 9.2 内部透过率 204
lVw77bZ 9.3 内部透射率数据 205
CXe2G5 9.4 实例 206
x3`b5^ 9.5 实例2 210
MHm=X8eg 9.6 圆锥和带宽计算 212
f4h|Nn%; 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
vZ
rE9C } 10 光学薄膜的颜色 216
G>>`j2:y 10.1 导言 216
N 9.$--X}D 10.2 色彩 216
3p%B 10.3 主波长和纯度 220
&J
<k m 10.4 色相和纯度 221
GW29Rj1 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
~)ecQ 10.6 色差 226
$wQkTx 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
vLc7RL 10.8 颜色渲染指数 234
v}Gpw6 10.9 色差计算 235
HkP')= sa 10.10 参考文献 236
sp2"c"_+ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
:nt 7jm, 11.1 短脉冲 238
ZSBa+3;z 11.2 群速度 239
{Xc^-A[~ 11.3 群速度色散 241
@AvDV$F 11.4 啁啾(chirped) 245
%y{f]m 11.5 光学薄膜—相变 245
BotGPk><c 11.6 群延迟和延迟色散 246
cIm_~HH 11.7 色度色散 246
/z0X 11.8 色散补偿 249
H(JgqbFB* 11.9 空间
光线偏移 256
zE~{}\J 11.10 参考文献 258
J0 [^hH 12 公差与误差 260
i>]1E^yF 12.1 蒙特卡罗模型 260
FE0}V}\=h 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
THQd`Lj 12.2.1 误差工具 267
DR d|m<Z 12.2.2 灵敏度工具 271
n%SR5+N" 12.2.2.1 独立灵敏度 271
$,/;QP} 12.2.2.2 灵敏度分布 275
*Y4[YnkPE 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
a-A>A_. 12.3 参考文献 276
!vaS fL*] 13 Runsheet 与Simulator 277
xD:t$~ 13.1 原理介绍 277
J$]-)`[G& 13.2 截止滤光片设计 277
\o&\r)FX 14 光学常数提取 289
X\z`S##kj 14.1 介绍 289
Eeumi#$Z 14.2 电介质薄膜 289
Y]u6f c 14.3 n 和k 的提取工具 295
vM.Y/,7S 14.4 基底的参数提取 302
H/rJ:3 14.5 金属的参数提取 306
;2NJkn9t 14.6 不正确的模型 306
o~aK[
14.7 参考文献 311
'aWrjfDy: 15 反演工程 313
?yfw3s 15.1 随机性和
系统性 313
5$<\ 15.2 常见的系统性问题 314
MRI`h. 15.3 单层膜 314
xrXfLujn% 15.4 多层膜 314
i gyTvt! 15.5 含义 319
bv NXA*0 15.6 反演工程实例 319
D?)^{)49 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
NSsLuM=. 15.6.2 反演工程提取折射率 327
;fdROI 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
lBYc(cr 16.1 光学性质的热致偏移 329
'e/= !"T 16.2 应力工具 335
d*Wg>8| 16.3 均匀性误差 339
&D/@H1fBe 16.3.1 圆锥工具 339
2j*+^&M/ 16.3.2 波前问题 341
w%3R[Kdzk 16.4 参考文献 343
:EkhF6B/ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
_$Wj1h 17.1 引言 345
+9tm9<F8 17.2 操作数 345
s`Y8&e.Yr 18 如何在Function中编写脚本 351
R#n!1~ ( 18.1 简介 351
".Z1CBM( 18.2 什么是脚本? 351
;cFlZGw 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
6*{sZMG 18.4 基础 352
C:?mOM#_ 18.4.1 Classes(类别) 352
:4 &q2- 18.4.2 对象 352
y<h~jz#hkq 18.4.3 信息(Messages) 352
vC#
*w, 18.4.4 属性 352
<r8sZrY 18.4.5 方法 353
4@Q`8N. 18.4.6 变量声明 353
bXx2]E227 18.5 创建对象 354
RTLA* 18.5.1 创建对象函数 355
]"*sp 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
60iMfcT 18.5.3 丢弃对象 356
"8NhrUX 18.5.4 总结 356
k|r+/gIV 18.6 脚本中的表格 357
A#&,S4Wi| 18.6.1 方法1 357
S260h,(, 18.6.2 方法2 357
'X$J+s}6& 18.7 2D Plots in Scripts 358
]ZbZ] 18.8 3D Plots in Scripts 359
b W/^2B 18.9 注释 360
qubyZ8hx 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
jNC@b>E?~ 18.11 一个更高级的脚本 362
\i2S'AblYq 18.12 <esc>键 364
[yEH!7 18.13 包含文件 365
03!!# 5iJ 18.14 脚本被
优化调用 366
{SQ#n@Q&$ 18.15 脚本中的对话框 368
Yp;6.\Z8[ 18.15.1 介绍 368
S,* 18.15.2 消息框-MsgBox 368
H2cY}, 18.15.3 输入框函数 370
2qN|<S& 18.15.4 自定义对话框 371
W`d\A3v 18.15.5 对话框编辑器 371
4D4Y.g_x 18.15.6 控制对话框 377
QMI6l'"s 18.15.7 更高级的对话框 380
pE~>k: 18.16 Types语句 384
1 p|h\H 18.17 打开文件 385
]9 ArT$ 18.18 Bags 387
@ uF$m/g 18.13 进一步研究 388
l_1y#B-k5 19 vStack 389
mj!P
] 19.1 vStack基本原理 389
,lUroO^^ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
3[a&|!Yw 19.3 五棱镜 393
s (hJ * 19.4 光束距离 396
CkHifmc(u- 19.5 误差 399
0o>l+c 19.6 二向分色棱镜 399
c:@lR/oe" 19.7 偏振泄漏 404
k7R}]hq]"" 19.8 波前误差—相位 405
U.kTdNSp 19.9 其它计算参数 405
v!~ ;QO 20 报表生成器 406
vz*'1ugaA 20.1 入门 406
7R{(\s\9: 20.2 指令(Instructions) 406
VOa7qnh4:[ 20.3 页面布局指令 406
.Z2zv*
20.4 常见的参数图和三维图 407
4Gsbcl{ 20.5 表格中的常见参数 408
7/UdE:~]*= 20.6 迭代指令 408
0c,)T1NG > 20.7 报表模版 408
Vlka+$4! 20.8 开始设计一个报表模版 409
(TF;+FRW 21 一个新的project 413
RoY"Haa 21.1 创建一个新Job 414
op|:XLR5 21.2 默认设计 415
#6'+e35^ 8 21.3 薄膜设计 416
?%]?#4bkc 21.4 误差的灵敏度计算 420
UEb'b,O_9 21.5 显色指数计算 422
_ft)e3Gf 21.6 电场分布 424
Ed^F_Gg# 后记 426
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