:%]R x&08 (Sp~+#XnF 内容简介 U*h)nc Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
-7VV5W 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
?|YQtY 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
Q</HFpE 讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
leJd){ F>R)~;Ja 目录 9Bw5 t@ Preface 1
X_8NW, 内容简介 2
EPnB%'l\c 目录 i
,.F+x} 1 引言 1
iPYlTV 2 光学薄膜基础 2
D];([:+4 2.1 一般规则 2
6RodnQ 2.2 正交入射规则 3
L KR,CPz 2.3 斜入射规则 6
u#|Jl|aT 2.4 精确计算 7
y^BM*C I 2.5 相干性 8
!qve1H4d2 2.6 参考文献 10
hKeh9 Bt 3 Essential Macleod的快速预览 10
gcF><i6 4 Essential Macleod的特点 32
"evV/Fg( 4.1 容量和局限性 33
%,RU)} 4.2 程序在哪里? 33
@6`@.iZ 4.3 数据文件 35
lI<8)42yq 4.4 设计规则 35
ka[NYW{. 4.5 材料数据库和
资料库 37
G<1mj!{Vp 4.5.1材料损失 38
f#b[KB^Z,2 4.5.1材料数据库和导入材料 39
VH65=9z 4.5.2 材料库 41
V#KM~3e 4.5.3导出材料数据 43
7J/3O[2 4.6 常用单位 43
F\<i>LWT' 4.7 插值和外推法 46
IDZn,^ 4.8 材料数据的平滑 50
_
RT}Ee}Y 4.9 更多光学常数模型 54
M/;g|J
jM 4.10 文档的一般编辑规则 55
.p_$] 4.11 撤销和重做 56
(Cd`~*5 4.12 设计文档 57
)}5rs 4.10.1 公式 58
/RJSkF+! 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
\C|06Bs$
4.10.3 沉积密度 59
]h@:Y] 4.10.4 平行和楔形介质 60
]0E- lD0J 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
IQ8AsV&'C 4.10.4 性能 61
5o#8DIal 4.10.5 保存设计和性能 64
<0}'#9>O 4.10.6 默认设计 64
TUr}p aw_ 4.11 图表 64
%R>MSSjvr 4.11.1 合并曲线图 67
_Z&R'`kg 4.11.2 自适应绘制 68
U"Oq85vY 4.11.3 动态绘图 68
cKAl 0_[f" 4.11.4 3D绘图 69
p {3|W< 4.12 导入和导出 73
dI|/Xm> 4.12.1 剪贴板 73
2[eY q1f! 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
I*"]!z1 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
"'(4l 2. 4.13 背景 77
yD"sYT 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
R)z|("%ec 4.15 生成Rugate 84
.EQFHStr 4.16 参考文献 91
]B||S7idq 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
&5<lQ1 5.1 Jobs 92
mH"`46 5.2 创建一个新Job(工作) 93
0kfw8Lon 5.3 输入材料 94
C54)eT6 5.4 设计数据文件夹 95
V>Cf
8>m 5.5 默认设计 95
eF@E|kK 6 细化和合成 97
k@'.d)y0` 6.1 优化介绍 97
M#m7g4*L ! 6.2 细化 (Refinement) 98
KNhH4K2iP8 6.3 合成 (Synthesis) 100
ptcU_*Gd 6.4 目标和评价函数 101
DS fKUx& 6.4.1 目标输入 102
arJ[.f9s 6.4.2 目标 103
8:bNFgJD 6.4.3 特殊的评价函数 104
&V
L<Rx 6.5 层锁定和连接 104
hV)I
C9 6.6 细化技术 104
bMYRQ,K`C 6.6.1 单纯形 105
TXM.,5Dx\ 6.6.1.1 单纯形
参数 106
sh1fz 6g 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
$n W>]S\| 6.6.2.1 Optimac参数 108
4=Zlsp 6.6.3 模拟退火算法 109
E7D
DMU 6.6.3.1
模拟退火参数 109
!p$V7pFu6 6.6.4 共轭梯度 111
]jYM;e 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
%oo&M; 6.6.5 拟牛顿法 112
Z:Wix|,ONS 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
#*~Uu.T 6.6.6 针合成 113
jWz-7BO 6.6.6.1 针合成参数 114
>*MB_m2| 6.6.7 差分进化 114
NKRXY~zHh 6.6.8非局部细化 115
7>'F=}6[Y 6.6.8.1非局部细化参数 115
1 /`>Eh 6.7 我应该使用哪种技术? 116
G+}LLm.wX 6.7.1 细化 116
f
W ) 6.7.2 合成 117
h;6@-\6 6.8 参考文献 117
pP#?| 7 导纳图及其他工具 118
t65!2G"< 7.1 简介 118
x9=lN^/4 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
b#M<b.R) 7.2.1 四分之一
波长规则 119
h$!qb'| 7.2.2 导纳图 120
<KpQu%2( 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
DuWP)#kg 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
{D@y-K5 7.5 斜入射导纳图 141
7]Egu D4 7.6 对称周期 141
>h9U~#G= 7.7 参考文献 142
=YBJ7.Y 8 典型的镀膜实例 143
1\2 m'o 8.1 单层抗反射薄膜 145
qhtc?A/0} 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
:X#(T-!t 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
3Rm$ 8.4 W-膜层 148
Z6=!}a% 8.5 V-膜层 149
u0,~pJvX 8.6 V-膜层高折射基底 150
+38t82%YWo 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
/c7j@=0 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
\=@}(<4 8.9 四层抗反射薄膜 153
+%yh@X6 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
d09GD[5 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
!"kvXxp^ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
(#:Si~3 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
+0OQ"2^& 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
9#p^Z)[)- 8.15十五层宽带抗反射膜 159
p#&6Ed*V 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
5*CwQJC< 8.17 1/4波长堆栈 162
H|^4e 8.18 陷波滤波器 163
G`n-WP 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
X:Zqgf 8.20 褶皱 165
XEuv
aM 8.21 消偏振分光器1 169
%guot~S| 8.22 消偏振分光器2 171
@.0,ka,X 8.23 消偏振立体分光器 172
yP-Dj
, 8.24 消偏振截止滤光片 173
t!k 0n&P 8.25 立体偏振分束器1 174
H\S,^)drJ? 8.26 立方偏振分束器2 177
`>*P(yIN 8.27 相位延迟器 178
c]9OP9F 8.28 红外截止器 179
kO4C^pl"v 8.29 21层长波带通滤波器 180
xnLf R6B 8.30 49层长波带通滤波器 181
F,D& 8.31 55层短波带通滤波器 182
mB\5bSFY` 8.32 47 红外截止器 183
R[Rs2eS_ 8.33 宽带通滤波器 184
("aYjKk 8.34 诱导透射滤波器 186
xP*R H-< 8.35 诱导透射滤波器2 188
e' Zg F~ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
a-W&/ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
:+6m<?R)T 8.35 增益平坦滤波器 193
B<)(7GTv7" 8.38 啁啾反射镜 1 196
#8`G&S* 8.39 啁啾反射镜2 198
acH.L_B: 8.40 啁啾反射镜3 199
[7B&<zY/? 8.41 带保护层的铝膜层 200
A=,m 8.42 增加铝反射率膜 201
^O?$}sr 8.43 参考文献 202
Pk,^q8; 9 多层膜 204
N&n{R8=^" 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
0QPipuP 9.2 内部透过率 204
_V;J7Vz 9.3 内部透射率数据 205
s"'1|^od 9.4 实例 206
eI[z%j[Y* 9.5 实例2 210
b"gYNGgX 9.6 圆锥和带宽计算 212
LC}]6 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
K@fxCj*} 10 光学薄膜的颜色 216
;9^B# aTM 10.1 导言 216
CkP!4^J qQ 10.2 色彩 216
cz0tnF*& 10.3 主波长和纯度 220
G6
GXC`^+ 10.4 色相和纯度 221
4uv }6&R 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
!=-l760 10.6 色差 226
# WxH 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
Uq&|iB#mF 10.8 颜色渲染指数 234
IL~yJx_11 10.9 色差计算 235
YziQU_ 10.10 参考文献 236
GY!&H"% 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
`*slQ}i 11.1 短脉冲 238
X@cV']#V 11.2 群速度 239
mF_/Rhu 11.3 群速度色散 241
A ^~\ 11.4 啁啾(chirped) 245
[fb -G5x 11.5 光学薄膜—相变 245
:!|xg!|y 11.6 群延迟和延迟色散 246
H'Po 11.7 色度色散 246
7(oxmv}#Q 11.8 色散补偿 249
vEb~QX0~ 11.9 空间
光线偏移 256
zR/ATm]9 11.10 参考文献 258
L4dbrPE*0 12 公差与误差 260
2Zl65 12.1 蒙特卡罗模型 260
Mn=_lhWK 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
OZ-F+#d 12.2.1 误差工具 267
Ji7A9Hk 12.2.2 灵敏度工具 271
/E*P0y~KTW 12.2.2.1 独立灵敏度 271
xv)7-jlx 12.2.2.2 灵敏度分布 275
@}[)uH 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
ljk-xC p/ 12.3 参考文献 276
H<qR^a 13 Runsheet 与Simulator 277
h.c)+wz/%C 13.1 原理介绍 277
~"LOw_BRh 13.2 截止滤光片设计 277
\'p)kDf 14 光学常数提取 289
i#C?& 14.1 介绍 289
"zqt'b0bW 14.2 电介质薄膜 289
U$-FQRM4K 14.3 n 和k 的提取工具 295
-j(/5.a 14.4 基底的参数提取 302
is6JS^Q 14.5 金属的参数提取 306
.Wr7?'D1M 14.6 不正确的模型 306
Qdtfi1_Y1 14.7 参考文献 311
*z(.D\{% 15 反演工程 313
f>RPh bq| 15.1 随机性和
系统性 313
oc15!M3$ 15.2 常见的系统性问题 314
Wima=xYe\5 15.3 单层膜 314
wp@c;gK7 15.4 多层膜 314
c~>M7e( 15.5 含义 319
F6fm{ 15.6 反演工程实例 319
c xX 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
2\7]EW 15.6.2 反演工程提取折射率 327
Z,!Rj7wZ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
d29]R. 16.1 光学性质的热致偏移 329
*<9p88FpDU 16.2 应力工具 335
q k !Q2W 16.3 均匀性误差 339
Q@M,:0+cy 16.3.1 圆锥工具 339
]CTu | 16.3.2 波前问题 341
wi&m(f(~ 16.4 参考文献 343
-
@ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
r^]0LJ 17.1 引言 345
~#gVs*K 17.2 操作数 345
]ao]?=q C 18 如何在Function中编写脚本 351
y<5s)OehG 18.1 简介 351
HC$_p,9OV 18.2 什么是脚本? 351
H
>RGX#| 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
lfCoL@$6D 18.4 基础 352
$#0%gs/x 18.4.1 Classes(类别) 352
d`2VbZC` 18.4.2 对象 352
n0EKNMO 18.4.3 信息(Messages) 352
&<L+;k~P% 18.4.4 属性 352
h883pe= 18.4.5 方法 353
"F0,S~tZZ 18.4.6 变量声明 353
b|4h2iuM 18.5 创建对象 354
s'i1!GNF
B 18.5.1 创建对象函数 355
P$qIB[Xi 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
N<?RN;M 18.5.3 丢弃对象 356
PI }A')Nq. 18.5.4 总结 356
X3'z'5 18.6 脚本中的表格 357
g6nBu 18.6.1 方法1 357
{At1]> 18.6.2 方法2 357
aLP2p] 18.7 2D Plots in Scripts 358
TG'A'wXxy 18.8 3D Plots in Scripts 359
8pPAEf 18.9 注释 360
^gNAGQYA 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
'?q|7[SU 18.11 一个更高级的脚本 362
4Jht{#IIG 18.12 <esc>键 364
fLPB *y6 18.13 包含文件 365
\+
K
^G 18.14 脚本被
优化调用 366
P
hn&hRAO 18.15 脚本中的对话框 368
YsLEbue 18.15.1 介绍 368
$S6AqUk$ 18.15.2 消息框-MsgBox 368
,u!c|4 18.15.3 输入框函数 370
M)Y`u 18.15.4 自定义对话框 371
bPiJCX0d 18.15.5 对话框编辑器 371
<Y9ps`{}: 18.15.6 控制对话框 377
qc@CV: 18.15.7 更高级的对话框 380
fU$zG"a_ 18.16 Types语句 384
N=-hXgX^ 18.17 打开文件 385
MB:E/ 18.18 Bags 387
, Lhgv1 18.13 进一步研究 388
E5.)ro=$ 19 vStack 389
KeY)%{ 19.1 vStack基本原理 389
+xB!T1pD 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
(%\N-[yZ 19.3 五棱镜 393
]#_,?d 19.4 光束距离 396
Wrt3p-N"D 19.5 误差 399
*h$Dh5%P 19.6 二向分色棱镜 399
x1wm ]|BIf 19.7 偏振泄漏 404
L1M]ya!l 19.8 波前误差—相位 405
OyFBM>6gh 19.9 其它计算参数 405
|f.=Y~aY 20 报表生成器 406
4RJ8 2yq- 20.1 入门 406
8%2*RKj 20.2 指令(Instructions) 406
O Y /QA 20.3 页面布局指令 406
.-fJ\`^mi 20.4 常见的参数图和三维图 407
<(;"L<?D<C 20.5 表格中的常见参数 408
&QLCij5: 20.6 迭代指令 408
[\eUCt F 20.7 报表模版 408
$d4eGL2S 20.8 开始设计一个报表模版 409
~%(r47n 21 一个新的project 413
(lT
H EiX 21.1 创建一个新Job 414
bvs0y7M=' 21.2 默认设计 415
&A]*"lt|w 21.3 薄膜设计 416
l8n#sGA % 21.4 误差的灵敏度计算 420
>\[sNCkf 21.5 显色指数计算 422
w=y!|F 21.6 电场分布 424
A\k@9w\Ll; 后记 426
tk2B\}6 有兴趣可以扫码加微联系