;:f.a(~c +Ibcc8Qud 内容简介 YHl6M&*@ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
0X.pI1jCO 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
Dr&2qX! 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
S-GcH 讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
1Jt5|'tl Iell`; 目录 .cjSgK1 Preface 1
BZe x 内容简介 2
qy"#XbBeV 目录 i
Bi9 S1p 1 引言 1
) m[0, 2 光学薄膜基础 2
jUYb8:B 2.1 一般规则 2
"1t%J7c_ 2.2 正交入射规则 3
wUv
Zc 2.3 斜入射规则 6
h#a,<B| 2.4 精确计算 7
>T=($:n 2.5 相干性 8
CtfI&rb[ 2.6 参考文献 10
%N04k8z 3 Essential Macleod的快速预览 10
pO[ @2tF 4 Essential Macleod的特点 32
{%*,KB>b 4.1 容量和局限性 33
R_`i=>Z- 4.2 程序在哪里? 33
oSq4g{xvMH 4.3 数据文件 35
W{<_gD9 4.4 设计规则 35
akoK4!z 4.5 材料数据库和
资料库 37
R5(<:] 4.5.1材料损失 38
VyK[*kyN 4.5.1材料数据库和导入材料 39
fYBmW') 4.5.2 材料库 41
{1Z8cV 4.5.3导出材料数据 43
~dg7c{o5 4.6 常用单位 43
Cz` !j 4.7 插值和外推法 46
Bvb.N$G 4.8 材料数据的平滑 50
@m[q0G} 4.9 更多光学常数模型 54
BIqZg$ 4.10 文档的一般编辑规则 55
Y[#EFM 4.11 撤销和重做 56
;EDc1: 4.12 设计文档 57
..'k+0u^ 4.10.1 公式 58
ge
%ytrst 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
-PPH]?], 4.10.3 沉积密度 59
'B>fRN 4.10.4 平行和楔形介质 60
d e)7_pCF| 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
*:L-/Q)i 4.10.4 性能 61
I?r7dQEm 4.10.5 保存设计和性能 64
}coSMTMv6 4.10.6 默认设计 64
q$x$ 4 4.11 图表 64
9.)*z-f$ 4.11.1 合并曲线图 67
{xJq F4 4.11.2 自适应绘制 68
D+.<
kY. 4.11.3 动态绘图 68
7L)edR[ 4.11.4 3D绘图 69
BWRAz*V 4.12 导入和导出 73
Q$u&/g3NvL 4.12.1 剪贴板 73
?tx%KU\3 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
'Km
~3t 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
WZ,}]D 4.13 背景 77
#e)A 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
B /q/6Pp 4.15 生成Rugate 84
Av6=q=D 4.16 参考文献 91
8$9Q=M 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
!D#wSeJ 5.1 Jobs 92
5yBaxw` 5.2 创建一个新Job(工作) 93
~xfoZiIA} 5.3 输入材料 94
jT/}5\ 5.4 设计数据文件夹 95
xgeDfpF' 5.5 默认设计 95
Lxz!>JO> 6 细化和合成 97
vz$-KT4e^ 6.1 优化介绍 97
TNun)0p 6.2 细化 (Refinement) 98
A)v!
{ 6.3 合成 (Synthesis) 100
/,Unp1D 6.4 目标和评价函数 101
*WTmS2?'h 6.4.1 目标输入 102
J5Pi"U$FkY 6.4.2 目标 103
ygI81\D 6.4.3 特殊的评价函数 104
4PdJ 6.5 层锁定和连接 104
$r> $
u 6.6 细化技术 104
Jzu U
k 6.6.1 单纯形 105
/1D]\k() 6.6.1.1 单纯形
参数 106
q-?
k=RX` 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
n`v;S>aT 6.6.2.1 Optimac参数 108
5~8FZ-x 6.6.3 模拟退火算法 109
;zq3>A 6.6.3.1
模拟退火参数 109
(p6$Vgdt 6.6.4 共轭梯度 111
NWL\"xp
`t 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
B8=r^!jEL 6.6.5 拟牛顿法 112
ayGYVYi 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
Q#gzk%jL@ 6.6.6 针合成 113
+`jI z'+ 6.6.6.1 针合成参数 114
HgVPyo 6.6.7 差分进化 114
7c.96FA 6.6.8非局部细化 115
t?&@bs5~g 6.6.8.1非局部细化参数 115
Gz09#nFZk 6.7 我应该使用哪种技术? 116
~%gO +qD 6.7.1 细化 116
s}1S6*Cr 6.7.2 合成 117
[l`_2{: 6.8 参考文献 117
@$:T]N3m 7 导纳图及其他工具 118
6(M^`&fl 7.1 简介 118
8VWkUsOoI 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
J~jxmh 7.2.1 四分之一
波长规则 119
yiT)m]E
d 7.2.2 导纳图 120
40?xu#" 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
-=;V*; 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
85{2TXQ^%= 7.5 斜入射导纳图 141
T{A5,85 7.6 对称周期 141
U<|hIv-& 7.7 参考文献 142
6x]x>:8 8 典型的镀膜实例 143
`S)*(s?T 8.1 单层抗反射薄膜 145
h=a-~= 8 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
mKTa. 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
!PySYY 8.4 W-膜层 148
Jm#mC 8.5 V-膜层 149
]'"aVGqa. 8.6 V-膜层高折射基底 150
j:Y1 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
'nx";[6( 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
n "J+?~9 8.9 四层抗反射薄膜 153
^Fop/\E 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
&gv{LJd5b 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
v,eTDgw 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
b'5]o 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
isF
jJPe 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
tJ qd 8.15十五层宽带抗反射膜 159
Uo<iZ3J 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
U@'F9UB` 8.17 1/4波长堆栈 162
)NjxKSiU@ 8.18 陷波滤波器 163
Y-ZTv(< 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
+t8{aaV 8.20 褶皱 165
n1E^8[~' 8.21 消偏振分光器1 169
~#]$YoQ&O 8.22 消偏振分光器2 171
VX'cFqrK3 8.23 消偏振立体分光器 172
B*
hW 8.24 消偏振截止滤光片 173
,ve$bSp 8.25 立体偏振分束器1 174
Ho^rYz 8.26 立方偏振分束器2 177
.[Hv/?L 8.27 相位延迟器 178
$~G=Hcl9 8.28 红外截止器 179
f3E%0cg 8.29 21层长波带通滤波器 180
12olVTuw 8.30 49层长波带通滤波器 181
#"PRsMUw 8.31 55层短波带通滤波器 182
{>]7xTpwZ 8.32 47 红外截止器 183
x$gVEh*k 8.33 宽带通滤波器 184
wOg?.6<Kxa 8.34 诱导透射滤波器 186
)=9EShz! 8.35 诱导透射滤波器2 188
%~{G*%: 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
#q-7#pp 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
"Vw;y+F} 8.35 增益平坦滤波器 193
4Yx\U 8.38 啁啾反射镜 1 196
cs\/6gSCo 8.39 啁啾反射镜2 198
iC`mj 8.40 啁啾反射镜3 199
naaww 8.41 带保护层的铝膜层 200
y5!fbmf 8.42 增加铝反射率膜 201
q33Z.3R 8.43 参考文献 202
W]aX}>0 9 多层膜 204
m1\+~*i 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
i,R+C.6{ 9.2 内部透过率 204
sfUKH;xC 9.3 内部透射率数据 205
Osj/={7g 9.4 实例 206
2<X.kM?N{B 9.5 实例2 210
Jmcf9g 9.6 圆锥和带宽计算 212
2$@N4 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
24; BY' 10 光学薄膜的颜色 216
QVq+';cG 10.1 导言 216
uB*Y}"Fn 10.2 色彩 216
[(d))(M$| 10.3 主波长和纯度 220
5;4bZ3e,0 10.4 色相和纯度 221
84|oqwZO 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
#y2IHO- 10.6 色差 226
W6y-~ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
Kc,=J?Ob 10.8 颜色渲染指数 234
g q`S` 10.9 色差计算 235
mu/GOEZ5 10.10 参考文献 236
dPx{9Y<FzU 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
1SY`V?cu 11.1 短脉冲 238
jSKhWxL;' 11.2 群速度 239
LagHzCB 11.3 群速度色散 241
NW
AT" 11.4 啁啾(chirped) 245
+C8yzMN\ 11.5 光学薄膜—相变 245
EW}7T3g 11.6 群延迟和延迟色散 246
NJqjW 11.7 色度色散 246
4IUdlb 11.8 色散补偿 249
\(g/::| 11.9 空间
光线偏移 256
J6s@}@R1 11.10 参考文献 258
dF#`_!4pbf 12 公差与误差 260
(h$[g"8 12.1 蒙特卡罗模型 260
s ~Xa=_+D 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
xJemc3]2 12.2.1 误差工具 267
K|Kc.
12.2.2 灵敏度工具 271
}s>.Fh 12.2.2.1 独立灵敏度 271
A&8{0 12.2.2.2 灵敏度分布 275
Zp'q;h_ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
J}M_Ka 12.3 参考文献 276
uNoP8U%* 13 Runsheet 与Simulator 277
]@G$L,3 13.1 原理介绍 277
W}0cM9 g 13.2 截止滤光片设计 277
Z+EN]02| 14 光学常数提取 289
QswbIP/>:' 14.1 介绍 289
D&C83^m 14.2 电介质薄膜 289
wSGW_{;- 14.3 n 和k 的提取工具 295
.`;
bQh'! 14.4 基底的参数提取 302
qbZY[Q+F 14.5 金属的参数提取 306
Mb
+ 14.6 不正确的模型 306
T x
6\ 14.7 参考文献 311
NBaXfWh 15 反演工程 313
Ao}J 15.1 随机性和
系统性 313
8F(Vd99I 15.2 常见的系统性问题 314
T:?01?m 15.3 单层膜 314
Ce~
a(J|" 15.4 多层膜 314
A!bH0=<I 15.5 含义 319
?K>=>bS^h 15.6 反演工程实例 319
IJ zPWs5W: 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
AhauNS^"{R 15.6.2 反演工程提取折射率 327
Y[p 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
YVT\@+C' 16.1 光学性质的热致偏移 329
p*l]I*x'< 16.2 应力工具 335
9@{=2 k 16.3 均匀性误差 339
HgfeSH 16.3.1 圆锥工具 339
UL<*z!y 16.3.2 波前问题 341
wz1fl#WU 16.4 参考文献 343
)(`HEl>-9c 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
Hs>|-iDs( 17.1 引言 345
Sn~h[s_( 17.2 操作数 345
xzrA%1y 18 如何在Function中编写脚本 351
.Km6
(U 18.1 简介 351
Bq
9Eu1 18.2 什么是脚本? 351
@Z{!T)#}j 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
9d8bh4[ 18.4 基础 352
+GDT@,/ 18.4.1 Classes(类别) 352
rV6SN. 18.4.2 对象 352
P{tH4V23T 18.4.3 信息(Messages) 352
^+b ??K 18.4.4 属性 352
lemE/(`a_ 18.4.5 方法 353
[L4s.l_# 18.4.6 变量声明 353
JrhDqyk* 18.5 创建对象 354
=Ti[Q5SZ 18.5.1 创建对象函数 355
*!p#1fE 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
o n+:{ad 18.5.3 丢弃对象 356
,- FC 18.5.4 总结 356
q\q8xF~[p 18.6 脚本中的表格 357
cZd{K[fuK 18.6.1 方法1 357
$u-yw1FT 18.6.2 方法2 357
f.X<Mo 18.7 2D Plots in Scripts 358
v$_YZm{!< 18.8 3D Plots in Scripts 359
z&@O\>Q 18.9 注释 360
hErO.ad1o 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
-Uu65m~:{k 18.11 一个更高级的脚本 362
Qe,aIh 18.12 <esc>键 364
p#DJow 18.13 包含文件 365
s+RSAyU 18.14 脚本被
优化调用 366
{T2=bK~ 18.15 脚本中的对话框 368
Kp.d#W_TX 18.15.1 介绍 368
J=@D]I*3 18.15.2 消息框-MsgBox 368
kH9P(`;Vq 18.15.3 输入框函数 370
cQOc^W 18.15.4 自定义对话框 371
,rZp(moj 18.15.5 对话框编辑器 371
2zQ62t} 18.15.6 控制对话框 377
?r"QJa> 18.15.7 更高级的对话框 380
R-\a3q 18.16 Types语句 384
:,]*~Nl 18.17 打开文件 385
,Q>RtV 18.18 Bags 387
u:[vqlU 18.13 进一步研究 388
U 4Sxr 19 vStack 389
hCvK2Xu 19.1 vStack基本原理 389
+*AdSzX 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
Z#nPn>,q 19.3 五棱镜 393
ay-M.J 19.4 光束距离 396
5S&'O4yz^ 19.5 误差 399
e <]^7pz 19.6 二向分色棱镜 399
']]5xH*U 19.7 偏振泄漏 404
_t'S<jTI 19.8 波前误差—相位 405
5l]G1+ 19.9 其它计算参数 405
g E#4 3 20 报表生成器 406
:<w2j6V 20.1 入门 406
|?=a84n1l 20.2 指令(Instructions) 406
5:r*em 20.3 页面布局指令 406
FWu[{X; 20.4 常见的参数图和三维图 407
|:jka 20.5 表格中的常见参数 408
E]<Ce;Vj 20.6 迭代指令 408
kafRuO~$ 20.7 报表模版 408
%
bpVK~z 20.8 开始设计一个报表模版 409
MfJ8+3@K 21 一个新的project 413
+q NX/F 21.1 创建一个新Job 414
VGDds 21.2 默认设计 415
[ h;&r"1 21.3 薄膜设计 416
hnf7Q l} 21.4 误差的灵敏度计算 420
45+w)Vf! 21.5 显色指数计算 422
EqB3f_ 21.6 电场分布 424
gqCDF H 后记 426
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