P
,eH5w" ']ood! 内容简介 H/~?@CE(YC Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
o**y Z2 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
FZpKFsPx 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
io4A>>W==/ 讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
2_QN&o ~h m:Go-tk 目录 '_+9y5 Preface 1
ts9pM~_~ 内容简介 2
O';ew)tI
目录 i
IF
k 1 引言 1
*j)M] 2 光学薄膜基础 2
;eB ~H[S/ 2.1 一般规则 2
}UyQ# U 2.2 正交入射规则 3
mZ0J!QYk 2.3 斜入射规则 6
xcCl
(M]+ 2.4 精确计算 7
T9y;OG 2.5 相干性 8
oholt/gb+0 2.6 参考文献 10
SjcL#S($&Y 3 Essential Macleod的快速预览 10
&$fbP5uAZ 4 Essential Macleod的特点 32
U!q[e`B 4.1 容量和局限性 33
S9Y[4*// 4.2 程序在哪里? 33
,i`h
x,
Rg 4.3 数据文件 35
eTE2J~\ 4.4 设计规则 35
y)J(K*x/$ 4.5 材料数据库和
资料库 37
]Nk!4" 4.5.1材料损失 38
17UK1Jx, 4.5.1材料数据库和导入材料 39
3=4SGt5m 4.5.2 材料库 41
%EbiMo ]3B 4.5.3导出材料数据 43
h%#_~IA:| 4.6 常用单位 43
8LM#WIm? 4.7 插值和外推法 46
\ a-CN> 4.8 材料数据的平滑 50
U
:9=3A2$x 4.9 更多光学常数模型 54
4B O %{ 4.10 文档的一般编辑规则 55
7$T8&Mh 4.11 撤销和重做 56
\MYU<6{u 4.12 设计文档 57
0my9l;X 4.10.1 公式 58
~Nh&.a 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
[F([ 4.10.3 沉积密度 59
x(r+P9f\< 4.10.4 平行和楔形介质 60
p%RUHN3G[ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
pz}mF D&[ 4.10.4 性能 61
,a(O`##Bn 4.10.5 保存设计和性能 64
?g}kb 4.10.6 默认设计 64
nX
x=1*X 4.11 图表 64
;lfWuU%R 4.11.1 合并曲线图 67
b&t[S[P.V 4.11.2 自适应绘制 68
,Q2N[Jwd$ 4.11.3 动态绘图 68
3XVk#)lw 4.11.4 3D绘图 69
@!H
'+c 4.12 导入和导出 73
af>3V( 7 4.12.1 剪贴板 73
,nE&MeJ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
[yd6gH 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
Gp1EJ2d8 4.13 背景 77
Zq?_dIX
% 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
.ewZV9P)t 4.15 生成Rugate 84
VO9f~>`( 4.16 参考文献 91
R7aXR\ R 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
U)~#g'6:8 5.1 Jobs 92
@l,{x|00 5.2 创建一个新Job(工作) 93
wu^q`!ml 5.3 输入材料 94
F.KrZ3%4iB 5.4 设计数据文件夹 95
0BC`iql5 5.5 默认设计 95
%]jQ48^R 6 细化和合成 97
]gP8?s| 6.1 优化介绍 97
[h", D5 6.2 细化 (Refinement) 98
BvJ=iB<E 6.3 合成 (Synthesis) 100
syFI$rf
_ 6.4 目标和评价函数 101
&:auB:b 6.4.1 目标输入 102
u9>6|w+ 6.4.2 目标 103
pN k8! k 6.4.3 特殊的评价函数 104
8kbBz 6.5 层锁定和连接 104
i<:p.ug-O 6.6 细化技术 104
Ao*FcrXN 6.6.1 单纯形 105
z6Z='=pT 6.6.1.1 单纯形
参数 106
/+P5)q
TKL 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
:@e\'~7sH 6.6.2.1 Optimac参数 108
!fZLQc 6.6.3 模拟退火算法 109
W?PWJkIw 6.6.3.1
模拟退火参数 109
|uQ[W17^N 6.6.4 共轭梯度 111
]PVto\B= 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
@U7Dunu*f 6.6.5 拟牛顿法 112
?z"YC&Tp 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
yM17H\ = 6.6.6 针合成 113
i@{*O@m 6.6.6.1 针合成参数 114
8_awMVAy 6.6.7 差分进化 114
|KaR
n;BM 6.6.8非局部细化 115
l'2H4W_+ 6.6.8.1非局部细化参数 115
R\ q):, 6.7 我应该使用哪种技术? 116
!&0a<~Wi 6.7.1 细化 116
^6&_|f 6.7.2 合成 117
y {;u@o?T 6.8 参考文献 117
~9i qD 7 导纳图及其他工具 118
E@]sq A 7.1 简介 118
s<#N]mp' 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
,Z4^'1{D 7.2.1 四分之一
波长规则 119
r$?Vx_f`Q 7.2.2 导纳图 120
u7~mnl 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
R}.3|0 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
>DS}#'N4l 7.5 斜入射导纳图 141
.J:;_4x 7.6 对称周期 141
#rq?f 7.7 参考文献 142
_M&{^d 8 典型的镀膜实例 143
2@5A&b 8.1 单层抗反射薄膜 145
2moIgJ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
lG
<yJ~{ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
mCG;[4gM 8.4 W-膜层 148
?GfxBZWJ 8.5 V-膜层 149
#O><A&FrF` 8.6 V-膜层高折射基底 150
mR!rn^<l 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
/6smVz@O 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
.CvFE~
8.9 四层抗反射薄膜 153
k)Zn> 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
n8Q*
_?Z/ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
AW62~* 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
:Ip~)n9t 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
T&!ZD2I 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
0hb/`[Q
8.15十五层宽带抗反射膜 159
M(NH9EE 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
2\,e 8.17 1/4波长堆栈 162
rF'<r~Lw 8.18 陷波滤波器 163
fvO;lA>` 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
` )]lUvR 8.20 褶皱 165
=_uol8v 8.21 消偏振分光器1 169
Slo9#26 8.22 消偏振分光器2 171
u5/t2}^T 8.23 消偏振立体分光器 172
<qr^Nyo4 8.24 消偏振截止滤光片 173
R^|!^[WE 8.25 立体偏振分束器1 174
V3 qT<}y| 8.26 立方偏振分束器2 177
a\>+=mua 8.27 相位延迟器 178
;i/"$K 8.28 红外截止器 179
{q})kO 8.29 21层长波带通滤波器 180
#Af)n( 8.30 49层长波带通滤波器 181
T 4vogoy 8.31 55层短波带通滤波器 182
>
Z]P]e 8.32 47 红外截止器 183
` v>/
8.33 宽带通滤波器 184
.$UTH@;7 8.34 诱导透射滤波器 186
l,^xX=, 8.35 诱导透射滤波器2 188
1x8(I&i 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
( e0_RQ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
4Sqvhz 8.35 增益平坦滤波器 193
yg`E22 8.38 啁啾反射镜 1 196
|^>u<E5 8.39 啁啾反射镜2 198
ktU9LW~ 8.40 啁啾反射镜3 199
Q})t<l+L 8.41 带保护层的铝膜层 200
?{?Vy9'B 8.42 增加铝反射率膜 201
]}_p3W "Y9 8.43 参考文献 202
&^AzIfX}Gw 9 多层膜 204
rtcJ=`)0` 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
33O)k*g 9.2 内部透过率 204
<xXiJU+ 9.3 内部透射率数据 205
,zc"udpKF 9.4 实例 206
|}:e+?{o 9.5 实例2 210
tsB.oDMP 9.6 圆锥和带宽计算 212
Z4=_k{* 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
is64)2F]( 10 光学薄膜的颜色 216
$U\!q@'$ 10.1 导言 216
"sdcP8])d 10.2 色彩 216
nR(#F 9 10.3 主波长和纯度 220
i?lX,9% 10.4 色相和纯度 221
G[ ,,L 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
ZCj>MA 10.6 色差 226
Rd`{qW 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
[^h/(a` 10.8 颜色渲染指数 234
MacL3f 10.9 色差计算 235
Ma% E&.ed 10.10 参考文献 236
muW`pm 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
e!TG< (S 11.1 短脉冲 238
]kyle3#-~ 11.2 群速度 239
9NJ=~Ub- 11.3 群速度色散 241
GjG{qR 11.4 啁啾(chirped) 245
l_UXrnm/N 11.5 光学薄膜—相变 245
['Hp?Q|k 11.6 群延迟和延迟色散 246
8 h55$j 11.7 色度色散 246
U{j5kX 11.8 色散补偿 249
E!:.G+SEl 11.9 空间
光线偏移 256
I|Vk., 11.10 参考文献 258
.%-6&%1 12 公差与误差 260
9{auleu
R 12.1 蒙特卡罗模型 260
J R8 Z6 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
I8E\'`:< 12.2.1 误差工具 267
2<`gs(oxXe 12.2.2 灵敏度工具 271
KfJ c 12.2.2.1 独立灵敏度 271
]L5Z=.z& 12.2.2.2 灵敏度分布 275
^(E"3 c 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
I^rZgp<'i 12.3 参考文献 276
Fm-q=3 13 Runsheet 与Simulator 277
UXcH";*9b 13.1 原理介绍 277
FCS5@l,'< 13.2 截止滤光片设计 277
ymzPJ??! 14 光学常数提取 289
A>rW Go.{E 14.1 介绍 289
NgDZ4&L 14.2 电介质薄膜 289
_47j9m]f 14.3 n 和k 的提取工具 295
/6Jy'"+'0 14.4 基底的参数提取 302
j]cXLY
14.5 金属的参数提取 306
v@}1WGY 14.6 不正确的模型 306
2zmQp 14.7 参考文献 311
.3S\Rrv 15 反演工程 313
N|j;=y! 15.1 随机性和
系统性 313
iA1;k*)q 15.2 常见的系统性问题 314
//`cwnjp 15.3 单层膜 314
+=,4@I% 15.4 多层膜 314
"(HA9: 15.5 含义 319
Q]2sj: 15.6 反演工程实例 319
wfU&{7yt 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
q9g[+*9]$ 15.6.2 反演工程提取折射率 327
\E ? iw.} 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
I8pv:>EhC 16.1 光学性质的热致偏移 329
3.K{T 16.2 应力工具 335
,YAPCj 16.3 均匀性误差 339
5kRwSOG%' 16.3.1 圆锥工具 339
O,V6hU/ * 16.3.2 波前问题 341
GDNh?R 16.4 参考文献 343
a
V+o\fId 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
c"QkE* 17.1 引言 345
yP1Y3Tga= 17.2 操作数 345
{m*V/tX 18 如何在Function中编写脚本 351
01UR 18.1 简介 351
@?^LxqAWA 18.2 什么是脚本? 351
d-#u/{jG) 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
D~i@. k 18.4 基础 352
Wzf1-0t 18.4.1 Classes(类别) 352
~T p8>bmSR 18.4.2 对象 352
qD=m{O8%_ 18.4.3 信息(Messages) 352
Zh fD`@>& 18.4.4 属性 352
b[&,%Sm+6 18.4.5 方法 353
U`8^N.Snrp 18.4.6 变量声明 353
9 z8<[> 18.5 创建对象 354
+|}K5q \ 18.5.1 创建对象函数 355
|R/50axI 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
lXKZNCL 18.5.3 丢弃对象 356
$7d"9s\$" 18.5.4 总结 356
]bweQw@i 18.6 脚本中的表格 357
uK5x[m 18.6.1 方法1 357
Tj9q(Vq 18.6.2 方法2 357
G3?z.5,Q 18.7 2D Plots in Scripts 358
y8z%s/gRh 18.8 3D Plots in Scripts 359
c.v)M\: 18.9 注释 360
?s33x# 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
pj]<i.p 18.11 一个更高级的脚本 362
3:
Uik 18.12 <esc>键 364
hhhO+D1( 18.13 包含文件 365
3IFU{0a` 18.14 脚本被
优化调用 366
q|J] 18.15 脚本中的对话框 368
@1@WB]mQQ 18.15.1 介绍 368
90}B*3x 18.15.2 消息框-MsgBox 368
xK3;/!\` 18.15.3 输入框函数 370
]
),'=@ 18.15.4 自定义对话框 371
Q>$L;1E*, 18.15.5 对话框编辑器 371
.SN]hLV5 18.15.6 控制对话框 377
aa/9o] 18.15.7 更高级的对话框 380
9<S-b |!@ 18.16 Types语句 384
<bI,y_<K 18.17 打开文件 385
}}_l@5 18.18 Bags 387
T`sM4 VWqU 18.13 进一步研究 388
rI/KrBM 19 vStack 389
q=6Y2Q 19.1 vStack基本原理 389
4>* `26 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
8t%1x|! 19.3 五棱镜 393
B!@0(A 19.4 光束距离 396
.~J^`/o 19.5 误差 399
_wCSL. 19.6 二向分色棱镜 399
6bba}P 19.7 偏振泄漏 404
+F|[9o z 19.8 波前误差—相位 405
{'!~j!1'j 19.9 其它计算参数 405
v<1;1m 20 报表生成器 406
S##W_OlrI 20.1 入门 406
6EY4@0%A 20.2 指令(Instructions) 406
o1\8>Ew 20.3 页面布局指令 406
wn`budH?c8 20.4 常见的参数图和三维图 407
dp_q:P4;B 20.5 表格中的常见参数 408
Ek3O{< 20.6 迭代指令 408
?9+;[X 20.7 报表模版 408
Yo:&\a K[ 20.8 开始设计一个报表模版 409
M &J*I 21 一个新的project 413
*F0N'* 21.1 创建一个新Job 414
Za w+ 21.2 默认设计 415
nj
mE>2 21.3 薄膜设计 416
?3#X5WT 21.4 误差的灵敏度计算 420
h%%'{^>~ 21.5 显色指数计算 422
k"J?-1L 21.6 电场分布 424
AI2CfH#:C 后记 426
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