ghd[G} FZ.Yn 内容简介 LFM5W&? Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
D@1^:'$V 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
]be2jQx3 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
&IPK5o, 讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
;%.k}R%O@ X!HSS/' 目录 FHPZQC8 Preface 1
{.8)gVBmA 内容简介 2
uC ;PP=z 目录 i
8i$`oMv[y 1 引言 1
b0CaoSWo 2 光学薄膜基础 2
[B;Ek\ 5W 2.1 一般规则 2
aZ0iwMK 2.2 正交入射规则 3
&XTd[_VW! 2.3 斜入射规则 6
n{NgtH\V 2.4 精确计算 7
)s[S.`STz 2.5 相干性 8
K]Cs2IpI 2.6 参考文献 10
qBrZg 3 Essential Macleod的快速预览 10
T7nX8{l[RG 4 Essential Macleod的特点 32
:v ~q 4.1 容量和局限性 33
.Eyk?"^ 4.2 程序在哪里? 33
C^v- &*v 4.3 数据文件 35
oa|*-nw 4.4 设计规则 35
EF{'J8AQ 4.5 材料数据库和
资料库 37
h/~BUg' 4.5.1材料损失 38
8pt<)Rs} 4.5.1材料数据库和导入材料 39
~g|0uO}. 4.5.2 材料库 41
:rc[j@|pH 4.5.3导出材料数据 43
tF1%=&ss 4.6 常用单位 43
tce8*:rNH 4.7 插值和外推法 46
Olh-(u:9+O 4.8 材料数据的平滑 50
+W[#;)ea( 4.9 更多光学常数模型 54
;AA7wK 4 4.10 文档的一般编辑规则 55
p%_
:( 4.11 撤销和重做 56
lD=j/ 4.12 设计文档 57
yp'>+cLa 4.10.1 公式 58
JU+'UK630 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
mV]g5>Q\ 4.10.3 沉积密度 59
]Y!
Vyn 4.10.4 平行和楔形介质 60
ai9,4 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
$F$R4?_ 4.10.4 性能 61
4?uG> ;V 4.10.5 保存设计和性能 64
1caod0gor 4.10.6 默认设计 64
HBGA
lZ 4.11 图表 64
UHHKI)( 4.11.1 合并曲线图 67
70(?X/5# 4.11.2 自适应绘制 68
*dgNpJ 9 4.11.3 动态绘图 68
zhL,BTH 4.11.4 3D绘图 69
X}^gmu<Vla 4.12 导入和导出 73
;itg>\p3 4.12.1 剪贴板 73
p[:%Ck"$7 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
{-qTU6 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
%*}f<k{6 4.13 背景 77
kfECC&" 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
/a)=B)NH 4.15 生成Rugate 84
8nR,GW\ 4.16 参考文献 91
h%e!f# 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
?"u-@E[m 5.1 Jobs 92
z9w.=[Io 5.2 创建一个新Job(工作) 93
z5w|+9U 5.3 输入材料 94
]iX$p~riH 5.4 设计数据文件夹 95
k] YGD 5.5 默认设计 95
S3wH
M 6 细化和合成 97
uS,$P34^oy 6.1 优化介绍 97
yBKlp08J 6.2 细化 (Refinement) 98
sRnMBW. 6.3 合成 (Synthesis) 100
W<l(C!{ 6.4 目标和评价函数 101
ZK*aVYnu 6.4.1 目标输入 102
l))IO`s=_ 6.4.2 目标 103
[)u{ - 6.4.3 特殊的评价函数 104
h]9^bX__Z 6.5 层锁定和连接 104
pdq h'+5 6.6 细化技术 104
H4jqF~ 6.6.1 单纯形 105
A[a+,TN{ 6.6.1.1 单纯形
参数 106
Xpwom' 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
LXl! !i% 6.6.2.1 Optimac参数 108
@kymL8"2w 6.6.3 模拟退火算法 109
P^-9?uBno 6.6.3.1
模拟退火参数 109
A>yIH)b 6.6.4 共轭梯度 111
Y.#+Yh[ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
B[50{;X 6.6.5 拟牛顿法 112
{*Pp^r 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
R0'EoX 6.6.6 针合成 113
cIjsUqKa 6.6.6.1 针合成参数 114
ObzlZP
r@ 6.6.7 差分进化 114
1fZ:^|\ 6.6.8非局部细化 115
H)tDfk sq\ 6.6.8.1非局部细化参数 115
K(S/D(\
FL 6.7 我应该使用哪种技术? 116
K4~Ox 6.7.1 细化 116
"-%H</ 6.7.2 合成 117
XvY-C 6.8 参考文献 117
q#Vf2U55m 7 导纳图及其他工具 118
!f6 7.1 简介 118
lX3h'h 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
*6tN o-)^ 7.2.1 四分之一
波长规则 119
*E'K{?-K 7.2.2 导纳图 120
|&7,g 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
:~Y$\Ww(~ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
ow"Xv 7.5 斜入射导纳图 141
(z7#KJ1+Aw 7.6 对称周期 141
T:$_1I $ 7.7 参考文献 142
+_Z/VQv 8 典型的镀膜实例 143
`m^OnH 8.1 单层抗反射薄膜 145
qzz'v 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
ri
~2t3gg 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
g_U69
z 8.4 W-膜层 148
4^&vRD, 8.5 V-膜层 149
#C^m>o~R 8.6 V-膜层高折射基底 150
ig{5]wZ( 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
C+5nft6: 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
bE~lc}% 8.9 四层抗反射薄膜 153
h;->i] 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
8n? .w:Y/ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
cx}-tj"m- 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
F04Etf
2k 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
LNkyV*TI 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
{W]jVh p 8.15十五层宽带抗反射膜 159
HV@:!zM 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
43XuQg4 8.17 1/4波长堆栈 162
CggEAi~ 8.18 陷波滤波器 163
#eYVZ=E 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
}^muAr 8.20 褶皱 165
Sls>
OIc 8.21 消偏振分光器1 169
Pp2)P7 8.22 消偏振分光器2 171
HdM;c*K 8.23 消偏振立体分光器 172
Cmj)CJ- 8.24 消偏振截止滤光片 173
`Nj|}^A 8.25 立体偏振分束器1 174
I?QKd@ 8.26 立方偏振分束器2 177
$$a"A(Y 8.27 相位延迟器 178
}8HLyK,4 8.28 红外截止器 179
YbKW;L&Ff 8.29 21层长波带通滤波器 180
.FU EF) 8.30 49层长波带通滤波器 181
ioggD 8.31 55层短波带通滤波器 182
|Bp?"8%*l 8.32 47 红外截止器 183
4%TC2Laii 8.33 宽带通滤波器 184
DN+`Q{KS 8.34 诱导透射滤波器 186
q)*0G* 8.35 诱导透射滤波器2 188
{\B!Rjt[T 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
^ ;a[v^&9 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
F~1R.r_Lu 8.35 增益平坦滤波器 193
/03>|Juo 8.38 啁啾反射镜 1 196
cF6|IlhO 8.39 啁啾反射镜2 198
E'Bt1u 8.40 啁啾反射镜3 199
@lwqkJ 8.41 带保护层的铝膜层 200
C7{w I`~ 8.42 增加铝反射率膜 201
{%
P;O ?
8.43 参考文献 202
rfjQx]3pB 9 多层膜 204
SpgVsz 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
&kG<LGXP# 9.2 内部透过率 204
6{M.S}.^ 9.3 内部透射率数据 205
B !XT:.+ 9.4 实例 206
XL:7$ 9.5 实例2 210
!duR7a 9.6 圆锥和带宽计算 212
ydt1ED0Q- 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
+~-|(
y 10 光学薄膜的颜色 216
d1-QkW^0y 10.1 导言 216
W>~V?%F&' 10.2 色彩 216
.qZ<ROZ 10.3 主波长和纯度 220
x-1[2K1"[ 10.4 色相和纯度 221
?CIa)dhu 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
S'txY\ 10.6 色差 226
$Ix^Rm9c 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
gisZmu0 10.8 颜色渲染指数 234
<*[(t;i 10.9 色差计算 235
J8jbtL O' 10.10 参考文献 236
5J,vH[E 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
6[cMPp x 11.1 短脉冲 238
GB#7w82 11.2 群速度 239
-a3C3!! 11.3 群速度色散 241
0^+W"O 11.4 啁啾(chirped) 245
Jps!,Mflc 11.5 光学薄膜—相变 245
FQ5# v{ 11.6 群延迟和延迟色散 246
\?j(U8mB> 11.7 色度色散 246
e*tOXXY1 11.8 色散补偿 249
v[m>;Ubg& 11.9 空间
光线偏移 256
VD4( 11.10 参考文献 258
]?^mb n 12 公差与误差 260
?g 3sv5\u 12.1 蒙特卡罗模型 260
ZR1EtvVG 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
aa|xZ 12.2.1 误差工具 267
\|M z'* 12.2.2 灵敏度工具 271
fIu/*PFPVY 12.2.2.1 独立灵敏度 271
K$4Ky&89
12.2.2.2 灵敏度分布 275
){v nmJJ% 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
|K]tJi4fz 12.3 参考文献 276
.m
.v$( 13 Runsheet 与Simulator 277
.L}ar7 13.1 原理介绍 277
C`fQ` RL\ 13.2 截止滤光片设计 277
/wQDcz 14 光学常数提取 289
q N>j2~ 14.1 介绍 289
dwRJ0D]& 14.2 电介质薄膜 289
~!I
\{( 14.3 n 和k 的提取工具 295
i9d.Ls 14.4 基底的参数提取 302
=dPrG=A 14.5 金属的参数提取 306
&a V`u?'e 14.6 不正确的模型 306
&W1cc#( 14.7 参考文献 311
\QVL%,.%M 15 反演工程 313
:>|[ o&L 15.1 随机性和
系统性 313
a$ Z06j 15.2 常见的系统性问题 314
Gd!y,n&s 15.3 单层膜 314
j
sm{|' 15.4 多层膜 314
oYW:ptJ 15.5 含义 319
tlj^0 15.6 反演工程实例 319
q:fkF^> 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
biQDupTz 15.6.2 反演工程提取折射率 327
yJ?6B LJi 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
C&\#{m_1B 16.1 光学性质的热致偏移 329
A," u~6Bn 16.2 应力工具 335
%k9GoX_ 16.3 均匀性误差 339
Zf ;U=]R 16.3.1 圆锥工具 339
[5H#ay 16.3.2 波前问题 341
bO9X;}\6 16.4 参考文献 343
uT_bA0jK 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
&4LrV+`$V 17.1 引言 345
KrB"2e+J 17.2 操作数 345
$%ps:ui~X 18 如何在Function中编写脚本 351
MFRM M%` 18.1 简介 351
q.*k
J/L 18.2 什么是脚本? 351
Dc
U$sf* 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
L^dF
)y? 18.4 基础 352
O.i.<VD7 18.4.1 Classes(类别) 352
C-&\qAo?<: 18.4.2 对象 352
DKR2b`J 18.4.3 信息(Messages) 352
!IcPO 18.4.4 属性 352
d-y8c 18.4.5 方法 353
8K'3iw>z 18.4.6 变量声明 353
U 1vZr{\ 18.5 创建对象 354
w~Aw?75t 18.5.1 创建对象函数 355
,VI2dNst\ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
S3$&}I < 18.5.3 丢弃对象 356
^DD]jx 18.5.4 总结 356
5y0N }} 18.6 脚本中的表格 357
RGsgT ^ 18.6.1 方法1 357
tw,uV)xm 18.6.2 方法2 357
]@0C1r 18.7 2D Plots in Scripts 358
]v=A}}kS 18.8 3D Plots in Scripts 359
!ap}+_IA7^ 18.9 注释 360
:>f}rq 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
@P@?KZ..v! 18.11 一个更高级的脚本 362
Phr+L9Eog 18.12 <esc>键 364
\(C6|-:GY 18.13 包含文件 365
;X , A|m$( 18.14 脚本被
优化调用 366
s^#B* 18.15 脚本中的对话框 368
mb,\ wZ 18.15.1 介绍 368
LtW}R4}3 18.15.2 消息框-MsgBox 368
yvv]iRk< 18.15.3 输入框函数 370
shKTj5s? 18.15.4 自定义对话框 371
^VOFkUp) 18.15.5 对话框编辑器 371
=bgWUu\F 18.15.6 控制对话框 377
]lqLC 18.15.7 更高级的对话框 380
Qco8m4n 18.16 Types语句 384
tnE), 18.17 打开文件 385
Kl_(4kQE_ 18.18 Bags 387
|h%=a8 18.13 进一步研究 388
nvbzC tC 19 vStack 389
g-? @a 19.1 vStack基本原理 389
!y+uQ_IS@ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
52ExRG S 19.3 五棱镜 393
CVE(N/&b 19.4 光束距离 396
%tB7 &%ut 19.5 误差 399
y*=sboX 19.6 二向分色棱镜 399
T[Lz4;TRk5 19.7 偏振泄漏 404
'hR0JXy 19.8 波前误差—相位 405
F_G .$aCc 19.9 其它计算参数 405
jI Entk 20 报表生成器 406
DQ<4`wE M 20.1 入门 406
(@m/j2z 20.2 指令(Instructions) 406
r3qKT 20.3 页面布局指令 406
?zex]!R 20.4 常见的参数图和三维图 407
8yk7d76Y 20.5 表格中的常见参数 408
?8N^jjG 20.6 迭代指令 408
_ _!LTpp 20.7 报表模版 408
.do8\ 20.8 开始设计一个报表模版 409
S4\a"WYg 21 一个新的project 413
I3HO><of 21.1 创建一个新Job 414
/% g+|C 21.2 默认设计 415
R:4@a ':H 21.3 薄膜设计 416
j"K^zh 21.4 误差的灵敏度计算 420
,p{naT%R 21.5 显色指数计算 422
{xx}xib3 21.6 电场分布 424
|sd G<+ 后记 426
Qk? WX
(`B 有兴趣可以扫码加微联系