sfC/Q"Zs |qb-iXW= 内容简介 &usum~@ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
f4^\iZ{`G 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
<KZ J 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
\m+;^_;5GW 讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
4x" je xUIH,Fp-9 目录 5,du2 Preface 1
!D9V9p 内容简介 2
l6T5]$ 目录 i
?DC;Hk< 1 引言 1
cB7'>L 2 光学薄膜基础 2
(E \lLlN 2.1 一般规则 2
'l._00yu 2.2 正交入射规则 3
OZno 3Hn 2.3 斜入射规则 6
gm}zF%B" 2.4 精确计算 7
zl$z> z ) 2.5 相干性 8
O_&Km[ 2.6 参考文献 10
K[9{]$(Z 3 Essential Macleod的快速预览 10
9S{0vc/2@ 4 Essential Macleod的特点 32
trL8oZ6 4.1 容量和局限性 33
`^
uX`M/ 4.2 程序在哪里? 33
;})so 4.3 数据文件 35
A@n//AZM 4.4 设计规则 35
E1>zKENN; 4.5 材料数据库和
资料库 37
n#)kvr 4.5.1材料损失 38
0zXF{5Up 4.5.1材料数据库和导入材料 39
J\\o#-H 4.5.2 材料库 41
$e,'<Jl 4.5.3导出材料数据 43
s6_[H 4.6 常用单位 43
>('Z9<|r: 4.7 插值和外推法 46
NV9H"fI 4.8 材料数据的平滑 50
+<n8O~h 4.9 更多光学常数模型 54
F vHd` 4.10 文档的一般编辑规则 55
CI@qT}Y_ 4.11 撤销和重做 56
O-]^_LV` 4.12 设计文档 57
]f3R;d 4.10.1 公式 58
jLreN#:9 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
%o#|zaK 4.10.3 沉积密度 59
Y> PC> 4.10.4 平行和楔形介质 60
oCuKmK8 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
mf)E%qo 4.10.4 性能 61
BY??X= 4.10.5 保存设计和性能 64
3+iQct[ 4.10.6 默认设计 64
O:W4W=K 4.11 图表 64
3H@29TrJ+ 4.11.1 合并曲线图 67
6#1:2ZHKG 4.11.2 自适应绘制 68
r#/Bz5Jb* 4.11.3 动态绘图 68
Q#*Pjl 4.11.4 3D绘图 69
*]* D^' 4.12 导入和导出 73
B e2yS]U 4.12.1 剪贴板 73
d]QCk&XU 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
#nJ&`woZt 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
O_y?5 3X 4.13 背景 77
C\;
$RH 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
]LZ,>v 4.15 生成Rugate 84
'Mm=<Bh 4.16 参考文献 91
;n=A245W\ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
f)!7/+9> 5.1 Jobs 92
W1p5F\ wt 5.2 创建一个新Job(工作) 93
{Aq:Kh`& 5.3 输入材料 94
ajALca4 5.4 设计数据文件夹 95
^ l9NF 5.5 默认设计 95
t'L#8MJ 6 细化和合成 97
Shb"Jc_i 6.1 优化介绍 97
Rz!! ;<ye8 6.2 细化 (Refinement) 98
hDHIi\% 6.3 合成 (Synthesis) 100
41jlfKiOm 6.4 目标和评价函数 101
oY0`igH 6.4.1 目标输入 102
xEvm>BZi
6.4.2 目标 103
d3K-| 6.4.3 特殊的评价函数 104
]~-vU{ 6.5 层锁定和连接 104
wQ/Z: 6.6 细化技术 104
##clReS 6.6.1 单纯形 105
Gmp`3 6.6.1.1 单纯形
参数 106
6b9&V` 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
/f)
#CR0$ 6.6.2.1 Optimac参数 108
C#4/~+ 6.6.3 模拟退火算法 109
61{IXx_ 6.6.3.1
模拟退火参数 109
(YH/#n1"{ 6.6.4 共轭梯度 111
`<^1Ik[g 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
;f)o_:(JJ 6.6.5 拟牛顿法 112
![a~y`<K, 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
F(#~.i 6.6.6 针合成 113
6%RN- 6.6.6.1 针合成参数 114
yCG<qQz 6.6.7 差分进化 114
;IYH5sG{ 6.6.8非局部细化 115
|=W=H6h* 6.6.8.1非局部细化参数 115
hXx. 6.7 我应该使用哪种技术? 116
A/#Xr 6.7.1 细化 116
e<[0H 8 6.7.2 合成 117
2>!?EIE7 6.8 参考文献 117
[#-!&> 7 导纳图及其他工具 118
&33.mdBH 7.1 简介 118
s55t>t,g6 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
~ok i s 7.2.1 四分之一
波长规则 119
:[ AP^ 7.2.2 导纳图 120
Ee?+IZ H7| 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
dn)pVti_ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
Jf{
M[ z 7.5 斜入射导纳图 141
7yK1Q_XY> 7.6 对称周期 141
';0NWFP 7.7 参考文献 142
3 @7<e~f 8 典型的镀膜实例 143
Cq-#|+zr 8.1 单层抗反射薄膜 145
O#5ll2? 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
~1yMw.04V 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
U
DC>iHt 8.4 W-膜层 148
XgmblNp1 8.5 V-膜层 149
P.;S6i
n 8.6 V-膜层高折射基底 150
qm&Z_6Pw 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
{UR&Y 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
ef;Ta|# 8.9 四层抗反射薄膜 153
XN=Cq*3} 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
Jqt&TqX@s 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
ToB^/
n[ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
k v}<u 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
9IRvbE~2 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
Hw "UJP 8.15十五层宽带抗反射膜 159
3oCw(Ff 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
X}5aE4K/ 8.17 1/4波长堆栈 162
'C9H6)Zq) 8.18 陷波滤波器 163
I:qfB2tL)O 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
9A4h?/ 8.20 褶皱 165
XFg.Z+ # 8.21 消偏振分光器1 169
dWI.t1`i 8.22 消偏振分光器2 171
VnJ-nfA 8.23 消偏振立体分光器 172
z]YP 8.24 消偏振截止滤光片 173
f2#9E+IQ 8.25 立体偏振分束器1 174
Y)@PGxjz 8.26 立方偏振分束器2 177
u%7a&1c 8.27 相位延迟器 178
28j=q-9Z 8.28 红外截止器 179
Bn"r;pqWiT 8.29 21层长波带通滤波器 180
i~IQlyGr. 8.30 49层长波带通滤波器 181
Qjj:r~l 8.31 55层短波带通滤波器 182
LxGE<xj|V% 8.32 47 红外截止器 183
UEq;}4Bo 8.33 宽带通滤波器 184
sX&M+'h 8.34 诱导透射滤波器 186
5g-apod 8.35 诱导透射滤波器2 188
k"P2J}4eO 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
MGO.dRy_ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
_e.b#{=9 8.35 增益平坦滤波器 193
~EU[? 8.38 啁啾反射镜 1 196
tH:K6^oR 8.39 啁啾反射镜2 198
8j,_ 8.40 啁啾反射镜3 199
kCR)k=* 8.41 带保护层的铝膜层 200
!40t:+I 8.42 增加铝反射率膜 201
1>*]jj} 8.43 参考文献 202
7F-b/AdVq 9 多层膜 204
Ss u{Lj 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
g[;iVX^1& 9.2 内部透过率 204
ru`;cXa, 9.3 内部透射率数据 205
=&fBmV 9.4 实例 206
Xl6)& 9.5 实例2 210
oQDOwM, 9.6 圆锥和带宽计算 212
UBRMV
s 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
^c]Sl 10 光学薄膜的颜色 216
z1+rz% 10.1 导言 216
nRQIrUNq 10.2 色彩 216
w c% 10.3 主波长和纯度 220
T , =ga 10.4 色相和纯度 221
A!k} 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
x=B+FIJ 10.6 色差 226
~~1~ _0?e 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
"|DR"rr'j 10.8 颜色渲染指数 234
pOI+ 10.9 色差计算 235
z K8#gif@ 10.10 参考文献 236
FA^x|C =$ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
%Z{J= 11.1 短脉冲 238
(P#2Am$ 11.2 群速度 239
(&MSP 11.3 群速度色散 241
A?}OOjA 11.4 啁啾(chirped) 245
>q &ouVE 11.5 光学薄膜—相变 245
a`pY&xq:: 11.6 群延迟和延迟色散 246
E2*"~gL^, 11.7 色度色散 246
Y0B*.H
Ae 11.8 色散补偿 249
g&0GO:F` 11.9 空间
光线偏移 256
w78Ius, 11.10 参考文献 258
paBGJ~{= 12 公差与误差 260
T%a]3 12.1 蒙特卡罗模型 260
c0G/irK 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
S,(@Q~ 12.2.1 误差工具 267
@B9|{[P 12.2.2 灵敏度工具 271
Ok`U*j 12.2.2.1 独立灵敏度 271
8]?1gDS|9O 12.2.2.2 灵敏度分布 275
3+|6])Hi1 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
jATU b- 12.3 参考文献 276
e4)gF* 13 Runsheet 与Simulator 277
`u>BtAx8 13.1 原理介绍 277
X3m?zQbhv 13.2 截止滤光片设计 277
;5|EpoM 14 光学常数提取 289
oM7^h3R 14.1 介绍 289
#P9VX5Tg 14.2 电介质薄膜 289
*i?qOv/=> 14.3 n 和k 的提取工具 295
GC\/B0! 14.4 基底的参数提取 302
2@&|hd=- 14.5 金属的参数提取 306
<@vE3v; 14.6 不正确的模型 306
\QMSka> 14.7 参考文献 311
0&nF Vsz 15 反演工程 313
;Z`)*TRp4 15.1 随机性和
系统性 313
|wb7`6g 15.2 常见的系统性问题 314
1I+5 15.3 单层膜 314
R]Yhuo9,&n 15.4 多层膜 314
B)Q'a3d# 15.5 含义 319
\fKE~61 15.6 反演工程实例 319
8Cqs@<r4Od 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
|@g1|OWd| 15.6.2 反演工程提取折射率 327
0/gcSW
b 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
I coL/7k3 16.1 光学性质的热致偏移 329
d$TW](Bby 16.2 应力工具 335
\S<5b&G
16.3 均匀性误差 339
72,iRH 16.3.1 圆锥工具 339
<M7*N. 16.3.2 波前问题 341
LX fiSM{o 16.4 参考文献 343
<di_2hN 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
J7_H.RPa 17.1 引言 345
qC4-J)8Wk 17.2 操作数 345
_)l %-*Z7p 18 如何在Function中编写脚本 351
6-=_i)kzq 18.1 简介 351
mCGcM^21-x 18.2 什么是脚本? 351
DsX>xzM 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
_'7/99]4g} 18.4 基础 352
ZYsFd_ 18.4.1 Classes(类别) 352
ifs*-f 18.4.2 对象 352
mb/[2y < 18.4.3 信息(Messages) 352
<n\.S 18.4.4 属性 352
eC$v0Gtq 18.4.5 方法 353
{Pb^Lf > 18.4.6 变量声明 353
K|G$s 18.5 创建对象 354
C'._}\nX 18.5.1 创建对象函数 355
i-?zwVmn 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
Wn^^Q5U# 18.5.3 丢弃对象 356
V)2_T!e%* 18.5.4 总结 356
c2^7"` 18.6 脚本中的表格 357
^JtHTLHL= 18.6.1 方法1 357
s.sy7%{ 18.6.2 方法2 357
yU|ji?)e 18.7 2D Plots in Scripts 358
?X'*
p<` 18.8 3D Plots in Scripts 359
}BJ1#< 18.9 注释 360
uC(S`Q[Bg 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
4QFOO
sNp 18.11 一个更高级的脚本 362
-YV4
O 18.12 <esc>键 364
;n!X% S<z* 18.13 包含文件 365
JJ?ri, 18.14 脚本被
优化调用 366
C/waH[Yzan 18.15 脚本中的对话框 368
Z5Ihc%J^ 18.15.1 介绍 368
j#,M@CE 18.15.2 消息框-MsgBox 368
-^H5z+"^ 18.15.3 输入框函数 370
j dhml%pAd 18.15.4 自定义对话框 371
?0NSjK5ma 18.15.5 对话框编辑器 371
#>jH[Q 18.15.6 控制对话框 377
|u ;BAb 18.15.7 更高级的对话框 380
X&s\_jQ 18.16 Types语句 384
3c ^=<i
% 18.17 打开文件 385
s| r7DdI 18.18 Bags 387
y] ]Vp~R:[ 18.13 进一步研究 388
GFdJFQio 19 vStack 389
%]0U60 19.1 vStack基本原理 389
|D`b7h 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
}r~l72
` 19.3 五棱镜 393
Q(5:~**I 19.4 光束距离 396
o>;0NF| } 19.5 误差 399
D2:a 19.6 二向分色棱镜 399
T{4fa^c2J 19.7 偏振泄漏 404
T0v@mXBQ 19.8 波前误差—相位 405
m2uML*&O5K 19.9 其它计算参数 405
FP9<E93br 20 报表生成器 406
p:<gFZb 20.1 入门 406
RrU~"P1C 20.2 指令(Instructions) 406
!BQ ELB$0 20.3 页面布局指令 406
0rJ\e 20.4 常见的参数图和三维图 407
O|OSE 20.5 表格中的常见参数 408
~q?"w:@;x 20.6 迭代指令 408
Ed&,[rC 20.7 报表模版 408
k3/JQ]'D 20.8 开始设计一个报表模版 409
o%^k T& 21 一个新的project 413
_l!U[{l*d 21.1 创建一个新Job 414
-?w v}o 21.2 默认设计 415
`-K)K< 21.3 薄膜设计 416
y)^CDe2xU 21.4 误差的灵敏度计算 420
'x,GI\;? 21.5 显色指数计算 422
2mG&@E 21.6 电场分布 424
TaQ "G 后记 426
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