S#dS5OX *
vD<6qf 内容简介 7 >(ygu Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
uUs>/+ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
T(DE^E@a 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
4N&}hOM'S 讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
;;5i'h~?]J kvn6
NiU 目录 !NjE5USi Preface 1
(0S7 内容简介 2
"N_?yA#(j 目录 i
{'(8<n57 1 引言 1
70eN]OY 2 光学薄膜基础 2
yW 3h_08 2.1 一般规则 2
Is[0ri 2.2 正交入射规则 3
7&1: ]{_
2.3 斜入射规则 6
htaLOTO;A 2.4 精确计算 7
rg\w!L( 2.5 相干性 8
*Q?HaG|S 2.6 参考文献 10
[G*mQ@G9 3 Essential Macleod的快速预览 10
1wt]J!hgV 4 Essential Macleod的特点 32
/Z_QCj 4.1 容量和局限性 33
u.6%n.g 4.2 程序在哪里? 33
DP_ \%(A 4.3 数据文件 35
[qB=OxH? 4.4 设计规则 35
\ :.p8` 4.5 材料数据库和
资料库 37
Pl4d(2
7 4.5.1材料损失 38
/Y:Zqk3 4.5.1材料数据库和导入材料 39
p20Nk$. 4.5.2 材料库 41
O/Vue 4.5.3导出材料数据 43
3Daq5(fLP 4.6 常用单位 43
ojri~erJE? 4.7 插值和外推法 46
0ZN/-2c A# 4.8 材料数据的平滑 50
Y|F);XXIl 4.9 更多光学常数模型 54
H'2 =yhtVh 4.10 文档的一般编辑规则 55
b%(0AL 4.11 撤销和重做 56
||f4f3R' 4.12 设计文档 57
-/X-.#}- 4.10.1 公式 58
\=)h6AG 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
{$^|^n5j 4.10.3 沉积密度 59
%~~Q XH\ 4.10.4 平行和楔形介质 60
^_uzr}LE` 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
CfU)+20 4.10.4 性能 61
e]QkZg2?Yn 4.10.5 保存设计和性能 64
.kVga+la? 4.10.6 默认设计 64
X9 R-GT 4.11 图表 64
uw]Jm"=w 4.11.1 合并曲线图 67
a$
}^z 4.11.2 自适应绘制 68
f+&yc'[ 4.11.3 动态绘图 68
s6I]H 4.11.4 3D绘图 69
y3#\mBiw 4.12 导入和导出 73
$1e@3mzM 4.12.1 剪贴板 73
6x 0>E^~ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
j^gF~Wz^ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
_~!,x.Dbp 4.13 背景 77
8'y|cF%U 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
:.<&Y=^ 4.15 生成Rugate 84
&N EzKf 4.16 参考文献 91
S`::f(e 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
)lbF'.i 5.1 Jobs 92
ee0J;pP2# 5.2 创建一个新Job(工作) 93
kHO\#fF< 5.3 输入材料 94
1na[=Q2 5.4 设计数据文件夹 95
deNU[ 5.5 默认设计 95
5Ai
Yx} 6 细化和合成 97
UxW~yk 6.1 优化介绍 97
X*T9`]l6 6.2 细化 (Refinement) 98
*;Vq0a! 6.3 合成 (Synthesis) 100
+=R:n^r^, 6.4 目标和评价函数 101
hRP0Djc 6.4.1 目标输入 102
O1z>A 6.4.2 目标 103
Xe5J 6.4.3 特殊的评价函数 104
bnlL-]]9z 6.5 层锁定和连接 104
k@w&$M{tPF 6.6 细化技术 104
t5&$ y` 6.6.1 单纯形 105
;BqX=X+# 6.6.1.1 单纯形
参数 106
Th8xh=F[ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
t/3veDh@ 6.6.2.1 Optimac参数 108
!`SR$dnE 6.6.3 模拟退火算法 109
[-l^,,E 6.6.3.1
模拟退火参数 109
*q^'%' 6.6.4 共轭梯度 111
v#~,)-D& 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
~Sh}\&3p 6.6.5 拟牛顿法 112
6c2fqAF>i 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
t[<=QK 6.6.6 针合成 113
/F\7_ 6.6.6.1 针合成参数 114
W?@ ;(k 6.6.7 差分进化 114
j1BYSfX' 6.6.8非局部细化 115
zmdOL9"a
6.6.8.1非局部细化参数 115
? f%@8%px 6.7 我应该使用哪种技术? 116
<a'j8pw9i 6.7.1 细化 116
62W3W1: W 6.7.2 合成 117
6)W9/V-W 6.8 参考文献 117
A3Su&0uaB 7 导纳图及其他工具 118
PgVM>_nHk 7.1 简介 118
Iv{}U\ u 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
lU\|F5O@# 7.2.1 四分之一
波长规则 119
8}U/fQ~ 7.2.2 导纳图 120
7B'0(70 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
}RD,JgmV 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
R)#"Ab Z' 7.5 斜入射导纳图 141
S`NH6?/uH 7.6 对称周期 141
5vS'Qhc 7.7 参考文献 142
!XK p_v 8 典型的镀膜实例 143
=14p Ee 8.1 单层抗反射薄膜 145
3mx7[Q 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
0hPm,H*Y] 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
[9w8oNg0 8.4 W-膜层 148
3c6<JW 8.5 V-膜层 149
2^|*M@3r 8.6 V-膜层高折射基底 150
A0'Yfuie 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
_N<8!(|w 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
^f4qs 8.9 四层抗反射薄膜 153
xEbcF+@ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
](%-5G1< 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
6n>+cX>E 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
HIF.;ImG^ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
9X!OQxmg 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
=s;7T!7! 8.15十五层宽带抗反射膜 159
PyIIdTm 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
>ztv3^w 8.17 1/4波长堆栈 162
!W8$-iq 8.18 陷波滤波器 163
q'PA2a: 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
_m;Y' 8.20 褶皱 165
qg+8i9Y! 8.21 消偏振分光器1 169
N8:vn0ww 8.22 消偏振分光器2 171
`?~pk)<C]. 8.23 消偏振立体分光器 172
~UXW 8.24 消偏振截止滤光片 173
U*)pUJ{&t 8.25 立体偏振分束器1 174
!)ee{CwNc 8.26 立方偏振分束器2 177
94H 6` 8.27 相位延迟器 178
g&v2=&aj 8.28 红外截止器 179
92XzbbLp 8.29 21层长波带通滤波器 180
yY8q{\G 8.30 49层长波带通滤波器 181
E{h 8.31 55层短波带通滤波器 182
z~Gi/Ln 8.32 47 红外截止器 183
a:1-n%&F 8.33 宽带通滤波器 184
R\)pW9) 8.34 诱导透射滤波器 186
]>&au8 8.35 诱导透射滤波器2 188
`ez_
{ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
I9H+ $Wjd 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
2}t2k> 8.35 增益平坦滤波器 193
|_Z(}%
<o 8.38 啁啾反射镜 1 196
i{xgygp6f 8.39 啁啾反射镜2 198
|6$6Za]: 8.40 啁啾反射镜3 199
*uNa(yd 8.41 带保护层的铝膜层 200
1Qv5m^>vj 8.42 增加铝反射率膜 201
ShFSBD\M# 8.43 参考文献 202
sFMSH:5z 9 多层膜 204
a3JG&6- 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
:4/RB%)" 9.2 内部透过率 204
rD
fUTfv|Q 9.3 内部透射率数据 205
9tWu>keu 9.4 实例 206
"\Z.YZUa\ 9.5 实例2 210
e%SQ~n=H 9 9.6 圆锥和带宽计算 212
eA4@)6W P( 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
u05Zg*.[ 10 光学薄膜的颜色 216
3
rV)JA 10.1 导言 216
Fep#Pw1 10.2 色彩 216
wm!Y5 10.3 主波长和纯度 220
_5y3<H<? 10.4 色相和纯度 221
hgL wxJu 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
{+!m]-s 10.6 色差 226
w>J|416 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
N!{('po 10.8 颜色渲染指数 234
5_9mA4gs@ 10.9 色差计算 235
+\2{{~_z 10.10 参考文献 236
iO~3rWQ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
4DaLmQ2O 11.1 短脉冲 238
f9?\Q'v8 11.2 群速度 239
a^>0XXr}Y 11.3 群速度色散 241
1!~=8FTv 11.4 啁啾(chirped) 245
|1uyJ?%B 11.5 光学薄膜—相变 245
2c
LIz@ 11.6 群延迟和延迟色散 246
^giseWR( 11.7 色度色散 246
?I6 !m~ 11.8 色散补偿 249
>/9f>d?w^ 11.9 空间
光线偏移 256
}vgeQh-G 11.10 参考文献 258
mfc\w' 12 公差与误差 260
bk44qL;8 12.1 蒙特卡罗模型 260
[< Bk% B5 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
Y/?V%X 12.2.1 误差工具 267
9@/X;zO 12.2.2 灵敏度工具 271
5ro^<P0f** 12.2.2.1 独立灵敏度 271
pX `BDYg. 12.2.2.2 灵敏度分布 275
SvLI%>B=9 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
$F"'=+0 12.3 参考文献 276
bz <f u 13 Runsheet 与Simulator 277
SfLZVB 13.1 原理介绍 277
T{<riJ`O 13.2 截止滤光片设计 277
ZF^$?;'3 14 光学常数提取 289
Q'>pOtJG*J 14.1 介绍 289
f~
kz=R= 14.2 电介质薄膜 289
agp`<1h9 14.3 n 和k 的提取工具 295
*")Req 14.4 基底的参数提取 302
gqJSz}' 14.5 金属的参数提取 306
?Dm={S6 14.6 不正确的模型 306
\"Jgs. 14.7 参考文献 311
C@1B?OfJ 15 反演工程 313
;5Spdi4w 15.1 随机性和
系统性 313
4c^WQ>[ 15.2 常见的系统性问题 314
;+jz=9Q- 15.3 单层膜 314
9K,PT.c 15.4 多层膜 314
EIQ`?8KSR 15.5 含义 319
0vR
gmn 15.6 反演工程实例 319
rO4R6A 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
bl yU53g 15.6.2 反演工程提取折射率 327
[QwEidX| 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
"%]<Co<S 16.1 光学性质的热致偏移 329
!1(*D*31 16.2 应力工具 335
?i'N9 /( 16.3 均匀性误差 339
]t0]fb[J 16.3.1 圆锥工具 339
4~<78r5m 16.3.2 波前问题 341
U1nObA 16.4 参考文献 343
c[VVCN8dA 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
t@r>GHO 17.1 引言 345
F/p/&9 17.2 操作数 345
x9\z^GU%H 18 如何在Function中编写脚本 351
BPO)<bx_ 18.1 简介 351
V9`?s0nn^ 18.2 什么是脚本? 351
lEAf\T7 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
M]|tXo$? 18.4 基础 352
x
Zp` 18.4.1 Classes(类别) 352
t?1b(oJ 18.4.2 对象 352
1?I_fA} 18.4.3 信息(Messages) 352
Uzh#zeZ`< 18.4.4 属性 352
a=_+8RyVQ 18.4.5 方法 353
<tUl(q+ty 18.4.6 变量声明 353
Q rBb!.r 18.5 创建对象 354
D*=.;Rq 18.5.1 创建对象函数 355
Wdk]>w
'L 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
-A]-o 18.5.3 丢弃对象 356
nMM:Tr 18.5.4 总结 356
pSa
pF)1> 18.6 脚本中的表格 357
kB[l6` 18.6.1 方法1 357
]?S@g'Jd0Q 18.6.2 方法2 357
u~c75Mk_v 18.7 2D Plots in Scripts 358
kF]sy8u] 18.8 3D Plots in Scripts 359
f?JP=j 18.9 注释 360
6+UTEw; 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
p C^=?!:U 18.11 一个更高级的脚本 362
+L0Jje>Az 18.12 <esc>键 364
MoZ8A6e?B 18.13 包含文件 365
v_|k:l 18.14 脚本被
优化调用 366
DbWaF5\yD 18.15 脚本中的对话框 368
(zr2b 18.15.1 介绍 368
%fuV] 18.15.2 消息框-MsgBox 368
LA]UIM@ 18.15.3 输入框函数 370
-kk0zg
&|i 18.15.4 自定义对话框 371
jhR`%aH4 18.15.5 对话框编辑器 371
+7\"^D 18.15.6 控制对话框 377
+-r ~-b s 18.15.7 更高级的对话框 380
'vwu^u? 18.16 Types语句 384
utu
V'5GD 18.17 打开文件 385
c/lT S 18.18 Bags 387
kk>z,A4
h_ 18.13 进一步研究 388
V1#:[o63+ 19 vStack 389
ni$;"RGC 19.1 vStack基本原理 389
{nPiIPH 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
8-B6D~i 19.3 五棱镜 393
;,lFocGv 19.4 光束距离 396
&j}:8Tst 19.5 误差 399
cY^'Cj 19.6 二向分色棱镜 399
icK$W2<8mg 19.7 偏振泄漏 404
^ 0.` 1$ 19.8 波前误差—相位 405
6Vgxfic 19.9 其它计算参数 405
:i3
W U% 20 报表生成器 406
8kLHQ0pmu 20.1 入门 406
7#&e0fw/I 20.2 指令(Instructions) 406
"F=ta 20.3 页面布局指令 406
}U'VVPh_ 20.4 常见的参数图和三维图 407
S3UJ)@
E 20.5 表格中的常见参数 408
D"msD" 20.6 迭代指令 408
d`UK mj 20.7 报表模版 408
:85QwN]\ 20.8 开始设计一个报表模版 409
8 =oUE$9 21 一个新的project 413
wQ^RXbJI9 21.1 创建一个新Job 414
EQtY b"_ 21.2 默认设计 415
?bAv{1dvT= 21.3 薄膜设计 416
_lDNYpv 21.4 误差的灵敏度计算 420
K&VMhMVb 21.5 显色指数计算 422
=w!2R QB 21.6 电场分布 424
!k Heslvi 后记 426
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