1 l^` d_&~^*> 内容简介 |-%dN }O Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
)/z+W[t 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
7{V N27Fa_ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
R[#B|$ 讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
=`!#V/= }_Y\6fcd 目录 Z5*O\kJv Preface 1
~F;>4q 内容简介 2
eMP0BS" 目录 i
YdYaLTz 1 引言 1
@-ir 2 光学薄膜基础 2
\=(U tro 2.1 一般规则 2
xo(>nFjo 2.2 正交入射规则 3
\}gITc).j 2.3 斜入射规则 6
VT;cz6"6b4 2.4 精确计算 7
\Awqr:A& 2.5 相干性 8
u~Y+YzCxV 2.6 参考文献 10
bV*q~@xh 3 Essential Macleod的快速预览 10
mE9ytFH\k 4 Essential Macleod的特点 32
K~qKr<) 4.1 容量和局限性 33
`R-VJR 2" 4.2 程序在哪里? 33
JaN53,&< 4.3 数据文件 35
-(E-yCu 4.4 设计规则 35
#BI6+rfv| 4.5 材料数据库和
资料库 37
wFJ*2W: 4.5.1材料损失 38
Gd|jE 4.5.1材料数据库和导入材料 39
`Tr !Gj_ 4.5.2 材料库 41
I=k`VI d: 4.5.3导出材料数据 43
cdg&) 4.6 常用单位 43
Qs 'dwc 4.7 插值和外推法 46
U.ew6`'Te 4.8 材料数据的平滑 50
Nu><r 4.9 更多光学常数模型 54
h3p~\%^ 4.10 文档的一般编辑规则 55
1R#1Fy% 4.11 撤销和重做 56
uTmT'u:} 4.12 设计文档 57
h~#.s*0.F 4.10.1 公式 58
:|=Xh"l" 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
*{=q:E$ 4.10.3 沉积密度 59
]w!=1( 4.10.4 平行和楔形介质 60
k[1w] l8 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
T6=~vOzTJ 4.10.4 性能 61
sb%l N 4.10.5 保存设计和性能 64
[t]q#+Zs 4.10.6 默认设计 64
D Z=OZ.v 4.11 图表 64
l YjPrA]TC 4.11.1 合并曲线图 67
|YrvY1d! 4.11.2 自适应绘制 68
%vU*4mH 4.11.3 动态绘图 68
92^Dn`g 4.11.4 3D绘图 69
*C(q{|f 4.12 导入和导出 73
XE;aJ'kt 4.12.1 剪贴板 73
l,
-q:8 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
::Pf\Lb> 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
Bs<LJzS{V 4.13 背景 77
8qs8QK 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
=jvN8R*[ 4.15 生成Rugate 84
0"u=g)3 4.16 参考文献 91
U> {CG+X 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
22D,,nC0+= 5.1 Jobs 92
tBE-:hX* 5.2 创建一个新Job(工作) 93
(FOJHjtkM 5.3 输入材料 94
h6e,w$IL 5.4 设计数据文件夹 95
sV`XJ9e| 5.5 默认设计 95
1<wolTf 6 细化和合成 97
^bXCYkx 6.1 优化介绍 97
'WoB\y569 6.2 细化 (Refinement) 98
2*0n#"
L 6.3 合成 (Synthesis) 100
,>I_2mc 6.4 目标和评价函数 101
6`)Ss5jzk 6.4.1 目标输入 102
83:qIfF 6.4.2 目标 103
@Hst-H.l<l 6.4.3 特殊的评价函数 104
jq+:&8!8(e 6.5 层锁定和连接 104
1i$OcN?x% 6.6 细化技术 104
2spK#0n.HV 6.6.1 单纯形 105
uF]+i^+ 6.6.1.1 单纯形
参数 106
p;{w0uld" 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
)H1chNI) 6.6.2.1 Optimac参数 108
rB3b 6.6.3 模拟退火算法 109
-257g; 6.6.3.1
模拟退火参数 109
*9}~?#b 6.6.4 共轭梯度 111
Wr.~Ns< 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
*q(HW 6.6.5 拟牛顿法 112
2$oGy 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
^4>Icz^ F 6.6.6 针合成 113
ZRCUM"R_ 6.6.6.1 针合成参数 114
KnYHjJa 6.6.7 差分进化 114
jp-]];:aPJ 6.6.8非局部细化 115
i<{/r-w=E 6.6.8.1非局部细化参数 115
Redxg. P 6.7 我应该使用哪种技术? 116
Q9
RCN<! 6.7.1 细化 116
LP}YHW/ 6.7.2 合成 117
Rj,M|9Y)o 6.8 参考文献 117
CV6W)B%Se 7 导纳图及其他工具 118
-!ERe@k( 7.1 简介 118
/M~rmIks 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
u9dL-Nr` 7.2.1 四分之一
波长规则 119
%Lgfi 7.2.2 导纳图 120
+4Lj}8, 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
zy[|4Q(? 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
s&qr2'F+z 7.5 斜入射导纳图 141
,5Tw5<S 7.6 对称周期 141
}ilX
2s?> 7.7 参考文献 142
" qrL:, 8 典型的镀膜实例 143
.(zZTyZr 8.1 单层抗反射薄膜 145
Gh9dv|m=[; 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
zGE{Z A 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
MYeGr3V3 8.4 W-膜层 148
[{9&KjI0K 8.5 V-膜层 149
fT_swhIO 8.6 V-膜层高折射基底 150
8^dsx1U# 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
FI(M 1iJ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
Nh\y@\F> 8.9 四层抗反射薄膜 153
VEg/x z4c 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
5V/CYcO 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
rzgzX 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
_fANl}Mf: 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
;:pd/\< 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
)ur&Mnmm 8.15十五层宽带抗反射膜 159
dCM*4B< 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
q9"~sCH 8.17 1/4波长堆栈 162
$~*d. 8.18 陷波滤波器 163
&:)e 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
VR0#" 8.20 褶皱 165
j\8'P9~% 8.21 消偏振分光器1 169
tc<t%]c 8.22 消偏振分光器2 171
uu582%tiG 8.23 消偏振立体分光器 172
prg8Iq'w 8.24 消偏振截止滤光片 173
a'ODm6# 8.25 立体偏振分束器1 174
6 _\j_$ 8.26 立方偏振分束器2 177
>zAI#N4 8.27 相位延迟器 178
7?JcB?G4 8.28 红外截止器 179
>jDx-H.N 8.29 21层长波带通滤波器 180
XD\Z$\UJE 8.30 49层长波带通滤波器 181
v;@-bED(Qs 8.31 55层短波带通滤波器 182
iP~dH/B|v 8.32 47 红外截止器 183
wY j~ (P" 8.33 宽带通滤波器 184
3
,?==? 8.34 诱导透射滤波器 186
CVFsp>+ 8.35 诱导透射滤波器2 188
Af"vSL 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
MhpR^VM'. 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
$R<eXDW6: 8.35 增益平坦滤波器 193
Ey"<hAF 8.38 啁啾反射镜 1 196
*oX~z>aE 8.39 啁啾反射镜2 198
>, }m=X8 8.40 啁啾反射镜3 199
"i_}\p.,X 8.41 带保护层的铝膜层 200
dO[w3\~ 8.42 增加铝反射率膜 201
XOy#?X/` 8.43 参考文献 202
-m~[z 9 多层膜 204
QYL
'; 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
cIgicp}U 9.2 内部透过率 204
Kv:ih=? 9.3 内部透射率数据 205
q}["Nww- 9.4 实例 206
$'Hg}|53 9.5 实例2 210
qqYH}%0dz 9.6 圆锥和带宽计算 212
lFY;O !Y5\ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
:I }_ 10 光学薄膜的颜色 216
uv[e0,@ 10.1 导言 216
:Y [r^=> 10.2 色彩 216
VmB/X)) 10.3 主波长和纯度 220
+6{KrREX) 10.4 色相和纯度 221
R%Yws2Le2 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
K9*#H( 10.6 色差 226
'4A8\&lQO 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
J)n g,i 10.8 颜色渲染指数 234
KV0e^c; 10.9 色差计算 235
JPk3T.qp 10.10 参考文献 236
WiL~b
=fT 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
O!uB|* 11.1 短脉冲 238
"t"=9:_t 11.2 群速度 239
n.y72-&v 11.3 群速度色散 241
'vTD7a^ 11.4 啁啾(chirped) 245
8C=Y(vPk2 11.5 光学薄膜—相变 245
/=\__$l) 11.6 群延迟和延迟色散 246
xTM&SVNbL_ 11.7 色度色散 246
~4*9w3t
11.8 色散补偿 249
UgJ^NF2w 11.9 空间
光线偏移 256
+Z[%+x92 11.10 参考文献 258
/kVy#sT| 12 公差与误差 260
9ffRY,1@ 12.1 蒙特卡罗模型 260
MnsnW{VGX 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
-zz9k=q 12.2.1 误差工具 267
zT~ GBC-IX 12.2.2 灵敏度工具 271
i\rI j0+ 12.2.2.1 独立灵敏度 271
eeb8v:4 12.2.2.2 灵敏度分布 275
*(d^k; 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
tO?*x/XC{ 12.3 参考文献 276
m=fmf( 13 Runsheet 与Simulator 277
J\
13.1 原理介绍 277
BoIe<{X(9 13.2 截止滤光片设计 277
#D+Fq^="P 14 光学常数提取 289
mXF
pGo5 s 14.1 介绍 289
qr=U=oK 14.2 电介质薄膜 289
^ I,1kl~i 14.3 n 和k 的提取工具 295
foE2rV/Y 14.4 基底的参数提取 302
,l7ty#j 14.5 金属的参数提取 306
8yFD2(# 14.6 不正确的模型 306
/IV:JVT 14.7 参考文献 311
,-DE;l^Q= 15 反演工程 313
L +. K}w 15.1 随机性和
系统性 313
_I|wp<R 15.2 常见的系统性问题 314
p|Rxy"} 15.3 单层膜 314
dGh<R|U3 15.4 多层膜 314
ZVIBmx 15.5 含义 319
.#WF' 15.6 反演工程实例 319
T*h+"TmE 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
|klL KX& 15.6.2 反演工程提取折射率 327
7@tr^JykO 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
n7<<}wcV 16.1 光学性质的热致偏移 329
!b _<_Y{l 16.2 应力工具 335
R?|_`@@A 16.3 均匀性误差 339
~T4=Id 16.3.1 圆锥工具 339
!8=uBS% 16.3.2 波前问题 341
$9QVl 16.4 参考文献 343
( v
~/glf 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
gi;V~>kh 17.1 引言 345
V(!b!i@ 17.2 操作数 345
4VU5}"< 18 如何在Function中编写脚本 351
J;_JHlK 18.1 简介 351
-U/&3 18.2 什么是脚本? 351
bR&hI9`%F 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
[>_(q|A6+ 18.4 基础 352
&
bw1 18.4.1 Classes(类别) 352
'pm2C6AC 18.4.2 对象 352
LK:|~UV? 18.4.3 信息(Messages) 352
`XWxC:j3% 18.4.4 属性 352
ki+9Ln; 18.4.5 方法 353
T.`%1S 18.4.6 变量声明 353
;:$Na= 18.5 创建对象 354
=$`DBLX 18.5.1 创建对象函数 355
wH${q@z _ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
0U/:Tpyr 18.5.3 丢弃对象 356
?ST}0F00} 18.5.4 总结 356
vCpi|a_eCu 18.6 脚本中的表格 357
dNJK[1e6 18.6.1 方法1 357
p6HZ2Q:a 18.6.2 方法2 357
VJR'B={h 18.7 2D Plots in Scripts 358
BgpJ;D+N4 18.8 3D Plots in Scripts 359
Le3S;SY& 18.9 注释 360
3.dUMJ$_ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
@$nI\n?* 18.11 一个更高级的脚本 362
mML^kgy\N 18.12 <esc>键 364
"]N QTUb; 18.13 包含文件 365
3mm`8!R 18.14 脚本被
优化调用 366
vy"Lsr3 18.15 脚本中的对话框 368
QOF;j#H^ 18.15.1 介绍 368
l[fNftT- 18.15.2 消息框-MsgBox 368
rf`Br\g8 18.15.3 输入框函数 370
$&e(V6A@ 18.15.4 自定义对话框 371
\W(p )M 18.15.5 对话框编辑器 371
PZ ogN 18.15.6 控制对话框 377
mJsYY,b8 18.15.7 更高级的对话框 380
6=@n
b3D% 18.16 Types语句 384
y1
}d(% 18.17 打开文件 385
c~tSt.^WX 18.18 Bags 387
s?6 7@\ 18.13 进一步研究 388
VmUM_Q~ 19 vStack 389
!gk\h 19.1 vStack基本原理 389
AQiP2`? 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
<m6Xh^Ko; 19.3 五棱镜 393
yav)mO~QU6 19.4 光束距离 396
=)zq%d?i; 19.5 误差 399
\YKh'|04 19.6 二向分色棱镜 399
tAC,'im:* 19.7 偏振泄漏 404
DS$ _"'g%i 19.8 波前误差—相位 405
$>h#|?*? 19.9 其它计算参数 405
@B'Mu:|f 20 报表生成器 406
iP!Y4F 20.1 入门 406
t~a$|(
9 20.2 指令(Instructions) 406
ZK
?x_`w 20.3 页面布局指令 406
{&<}*4D 20.4 常见的参数图和三维图 407
NuooA 20.5 表格中的常见参数 408
@LE?XlhD 20.6 迭代指令 408
3w9
]@kU 20.7 报表模版 408
c0qv11,:t 20.8 开始设计一个报表模版 409
JyqFFZ& 21 一个新的project 413
'0O[ dN 21.1 创建一个新Job 414
:U:7iP: 21.2 默认设计 415
tZ@+18 21.3 薄膜设计 416
\G= E%aK 21.4 误差的灵敏度计算 420
Gzir>'d2'V 21.5 显色指数计算 422
n% `r 21.6 电场分布 424
dikWk 后记 426
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