EQ%,IK/ GX#SCZ&}C 内容简介 |y$8!*S~( Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
?B['8ju 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
PBOZ^%k 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
htu(R$GSM 讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
J^gElp PC)aVr?@@ 目录 )aAKxC7w Preface 1
! _p(H 内容简介 2
d1BE;9*/7 目录 i
TsF>Y""*M 1 引言 1
sLze/D_M* 2 光学薄膜基础 2
oY<R[NYKu 2.1 一般规则 2
rv <_'yj 2.2 正交入射规则 3
fWs @ZCt 2.3 斜入射规则 6
EPiZe- 2.4 精确计算 7
EWC{896, 2.5 相干性 8
<5E: ,< 2.6 参考文献 10
.C\## 3 Essential Macleod的快速预览 10
+rFAo00E| 4 Essential Macleod的特点 32
bnZ~jOHl 4.1 容量和局限性 33
eufGU)M 4.2 程序在哪里? 33
W|CZA 4.3 数据文件 35
_?oofE:{ 4.4 设计规则 35
9/#?]LJ 4.5 材料数据库和
资料库 37
gZ@z}CIw' 4.5.1材料损失 38
?rxq//S2 4.5.1材料数据库和导入材料 39
+)ba9bJ| 4.5.2 材料库 41
k9m9IE"9=$ 4.5.3导出材料数据 43
m <'&`B; 4.6 常用单位 43
FH)_L1n 4.7 插值和外推法 46
<?FkwW\? 4.8 材料数据的平滑 50
\e9rXh% 4.9 更多光学常数模型 54
;Q>+#5H6F8 4.10 文档的一般编辑规则 55
sd&^lpH 4.11 撤销和重做 56
l4$Iv: 4.12 设计文档 57
-gB9476- 4.10.1 公式 58
N;S1s0FN 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
mlix^P 4.10.3 沉积密度 59
2(AuhZ> 4.10.4 平行和楔形介质 60
l05'/duuJ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
wl /1~! 4.10.4 性能 61
Vrn+"2pdJ 4.10.5 保存设计和性能 64
I7XJPc4} 4.10.6 默认设计 64
g[Q+DT 4.11 图表 64
+3[8EM#g 4.11.1 合并曲线图 67
ps_q3Cyp 4.11.2 自适应绘制 68
3|(<]@
$ 4.11.3 动态绘图 68
'.{_
7U 4.11.4 3D绘图 69
P09f 4.12 导入和导出 73
RXRoMg!-P 4.12.1 剪贴板 73
z\`tnz7>$ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
5m2f\^U 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
hn=tSlte 4.13 背景 77
x|$|~6f=n 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
kRqe&N e 4.15 生成Rugate 84
M(?0c}z 4.16 参考文献 91
%JL P=( 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
nc^DFP 5.1 Jobs 92
apgR[=Oy 5.2 创建一个新Job(工作) 93
g.pR4Mf=Z 5.3 输入材料 94
h+ <Jv 5.4 设计数据文件夹 95
/B<QYvv 5.5 默认设计 95
uN4e n, 6 细化和合成 97
`\$EPUM 6.1 优化介绍 97
y96HTQ32 6.2 细化 (Refinement) 98
G8&/Ic 6.3 合成 (Synthesis) 100
|:]}u|O 6.4 目标和评价函数 101
H[RX~Xk2E 6.4.1 目标输入 102
:-Ml?:0_X 6.4.2 目标 103
&grqRt 6.4.3 特殊的评价函数 104
ZeqsXz 6.5 层锁定和连接 104
*yv@B!r 6.6 细化技术 104
:$*@S=8 O 6.6.1 单纯形 105
[2PPa9F 6.6.1.1 单纯形
参数 106
r{KQ3j9O 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
2ZEDyQM 6.6.2.1 Optimac参数 108
( 8X^pL 6.6.3 模拟退火算法 109
.C` YO2, 6.6.3.1
模拟退火参数 109
)|/%]@` N 6.6.4 共轭梯度 111
wjfq"7Q 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
@N]]Cf>x 6.6.5 拟牛顿法 112
6{quO#! 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
t.#ara{ 6.6.6 针合成 113
^YJ%^P 6.6.6.1 针合成参数 114
e%EO/ 2" 6.6.7 差分进化 114
!;;7:!)P 6.6.8非局部细化 115
W{c
Z7$d 6.6.8.1非局部细化参数 115
m(D+!I9 6.7 我应该使用哪种技术? 116
M@o^V(j 6.7.1 细化 116
KP&xk13) 6.7.2 合成 117
(vp#?-i 6.8 参考文献 117
y,/i3^y#_ 7 导纳图及其他工具 118
CeeAw_*@ 7.1 简介 118
mVFo2^%v 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
]tzF
Ob 7.2.1 四分之一
波长规则 119
%>$Puy\U 7.2.2 导纳图 120
74 &q2g{ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
q[GDK^-g
7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
7]9,J(:Ed 7.5 斜入射导纳图 141
wh)F&@6 R! 7.6 对称周期 141
O4Q"2 7.7 参考文献 142
<PiO %w{ 8 典型的镀膜实例 143
"8"aYD_ 8.1 单层抗反射薄膜 145
3YJ"[$w='( 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
SgYMPBh 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
f!#+cM 8.4 W-膜层 148
l))Q/8H 8.5 V-膜层 149
PQp =bX, 8.6 V-膜层高折射基底 150
[2Zl
'+ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
S+#|j
8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
lF_"{dS_6( 8.9 四层抗反射薄膜 153
?(n v_O 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
R1*4 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
3)OQgeKU 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
<uxLG;R 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
r?IBmatK/ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
a9UXg<4 8.15十五层宽带抗反射膜 159
'uE;8., 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
4v`IAR?&K; 8.17 1/4波长堆栈 162
8NiR3*1 8.18 陷波滤波器 163
tJybR"NQ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
{VKFw=$8 8.20 褶皱 165
#q h
, 8.21 消偏振分光器1 169
aZ+><1TD 8.22 消偏振分光器2 171
:m(DRD 8.23 消偏振立体分光器 172
Mc<u?H 8.24 消偏振截止滤光片 173
i")0 3b 8.25 立体偏振分束器1 174
mBE&>}G< 8.26 立方偏振分束器2 177
0{g*\W*+~ 8.27 相位延迟器 178
Bp3E)l 8.28 红外截止器 179
&!OEd] 8.29 21层长波带通滤波器 180
DzQ 8.30 49层长波带通滤波器 181
DY9]$h*y 8.31 55层短波带通滤波器 182
]8}51y8 8.32 47 红外截止器 183
?C#E_ 8.33 宽带通滤波器 184
#c5jCy}n 8.34 诱导透射滤波器 186
15,JD 8.35 诱导透射滤波器2 188
A4'5cR9T! 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
jn:_2g[ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
pF4Z4?W 8.35 增益平坦滤波器 193
:nQlS 8.38 啁啾反射镜 1 196
h%krA<G9 8.39 啁啾反射镜2 198
Ps74SoD- 8.40 啁啾反射镜3 199
xC,x_:R` 8.41 带保护层的铝膜层 200
@phVfP"M 8.42 增加铝反射率膜 201
G[A3H>
> 8.43 参考文献 202
e=WjFnK[x7 9 多层膜 204
)@X0'X< 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
;Mup@)!j 9.2 内部透过率 204
sl `jovT[Y 9.3 内部透射率数据 205
=29IHL3 9.4 实例 206
S0)JIrrHC 9.5 实例2 210
dF\#:[B 9.6 圆锥和带宽计算 212
w?8SQI,~X 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
C/IF~<B 10 光学薄膜的颜色 216
PDuc;RG 10.1 导言 216
})H d]a 10.2 色彩 216
nUOi~cs 10.3 主波长和纯度 220
F5Z,Jmi^M 10.4 色相和纯度 221
4P&2Z0 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
}=5>h' < 10.6 色差 226
\&5V'; 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
eHy UY&N/ 10.8 颜色渲染指数 234
WJ25fTsG 10.9 色差计算 235
r<ucHRO# 10.10 参考文献 236
#cu{AdK 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
=FrB{Eu 11.1 短脉冲 238
3R3H+W0{ 11.2 群速度 239
d_,5;M^k 11.3 群速度色散 241
t$18h2yOL 11.4 啁啾(chirped) 245
ZpV]X(Px(o 11.5 光学薄膜—相变 245
(4T0U5jgT 11.6 群延迟和延迟色散 246
c]PTU2BB8 11.7 色度色散 246
[OW <<6 11.8 色散补偿 249
4|=>gdW)KN 11.9 空间
光线偏移 256
}l|S]m!
11.10 参考文献 258
dRX~eIw 12 公差与误差 260
LE\=Y;% 12.1 蒙特卡罗模型 260
Uj):}xgi' 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
P.'.KZJ:WD 12.2.1 误差工具 267
STp9Gh- 12.2.2 灵敏度工具 271
#i[:oC6m: 12.2.2.1 独立灵敏度 271
>
S>*JP 12.2.2.2 灵敏度分布 275
zj1~[$
( 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
zuV%`n 12.3 参考文献 276
:\\NK/" 13 Runsheet 与Simulator 277
0O9b
7F 13.1 原理介绍 277
*nCA6i 13.2 截止滤光片设计 277
apo)cR 14 光学常数提取 289
jk9f{Iu 14.1 介绍 289
2.D2
o 14.2 电介质薄膜 289
0%ul6LvM 14.3 n 和k 的提取工具 295
EtKq.<SJ 14.4 基底的参数提取 302
_MBhwNBxZ 14.5 金属的参数提取 306
eV[{c %wN: 14.6 不正确的模型 306
b=,BLe\ 14.7 参考文献 311
#ibwD:{ 15 反演工程 313
BNfj0e 5b 15.1 随机性和
系统性 313
m,k0 h% 15.2 常见的系统性问题 314
T/_u;My; 15.3 单层膜 314
ppyy0E^M 15.4 多层膜 314
42NfD/"g+s 15.5 含义 319
}QFL 15.6 反演工程实例 319
u?=mh` 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
V eGSr 15.6.2 反演工程提取折射率 327
g8<ODU0[g 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
1dQAo1 16.1 光学性质的热致偏移 329
aZN?V}^+ 16.2 应力工具 335
>)kKP8l7 16.3 均匀性误差 339
b`jR("U 16.3.1 圆锥工具 339
Ew/MSl6} 16.3.2 波前问题 341
.z>/A/&+ 16.4 参考文献 343
n-Iz!;q 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
6g|,]{ 17.1 引言 345
(a[BvJf 17.2 操作数 345
]9oj,k 18 如何在Function中编写脚本 351
uf6egm5] 18.1 简介 351
7=P)` @ 18.2 什么是脚本? 351
.]v>LsbhF 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
b)diYsTH 18.4 基础 352
&FXf]9
_X 18.4.1 Classes(类别) 352
T3wTMbZ!VK 18.4.2 对象 352
oGcgd$%ZB 18.4.3 信息(Messages) 352
~7:q+\ 18.4.4 属性 352
+ -<8^y 18.4.5 方法 353
!db=Iz5) 18.4.6 变量声明 353
D!`[fjs6A 18.5 创建对象 354
|]&3*%b@ 18.5.1 创建对象函数 355
)s!A\a`vEd 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
ug9Ja)1| 18.5.3 丢弃对象 356
7X$CJ%6b 18.5.4 总结 356
3H#,qug$ 18.6 脚本中的表格 357
>ywl()4O 18.6.1 方法1 357
56pj(}eq 18.6.2 方法2 357
!VD$uT 18.7 2D Plots in Scripts 358
C*YQ{Mz(f 18.8 3D Plots in Scripts 359
([8*Py| 18.9 注释 360
6s@!Yn|? 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
$bE"3/uf 18.11 一个更高级的脚本 362
.x=abA$!9 18.12 <esc>键 364
f7&ni#^Ztj 18.13 包含文件 365
4@{;z4*` 18.14 脚本被
优化调用 366
MT{1/A;`) 18.15 脚本中的对话框 368
]3v)3Wp 18.15.1 介绍 368
Hk}P 18.15.2 消息框-MsgBox 368
Ftyxz&-4$p 18.15.3 输入框函数 370
-RP{viGWK 18.15.4 自定义对话框 371
Z\0wQ;} 18.15.5 对话框编辑器 371
qsj$u-xhX 18.15.6 控制对话框 377
K3zY-yIco 18.15.7 更高级的对话框 380
G? SPz 18.16 Types语句 384
!!.@F;]W 18.17 打开文件 385
7{r7 18.18 Bags 387
>l0Qd1 18.13 进一步研究 388
C^$E#|E9 N 19 vStack 389
#'/rFT4{v 19.1 vStack基本原理 389
zw3I(_d[ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
Yup#aeXY/ 19.3 五棱镜 393
xhALJfv 19.4 光束距离 396
9"[,9HN 19.5 误差 399
:a8Sy(" 19.6 二向分色棱镜 399
<SE-:T]sBz 19.7 偏振泄漏 404
Ja1 `S+ 19.8 波前误差—相位 405
7^>~k}H 19.9 其它计算参数 405
>:.c?{%g* 20 报表生成器 406
$}4ao2 20.1 入门 406
}X9&!A8z 20.2 指令(Instructions) 406
i6bUJtL 20.3 页面布局指令 406
56Lxr{+X 20.4 常见的参数图和三维图 407
OsOfo({I_ 20.5 表格中的常见参数 408
W2<'b05 20.6 迭代指令 408
(%6fZ 20.7 报表模版 408
_E9[4%f 20.8 开始设计一个报表模版 409
VK/L}^=GOO 21 一个新的project 413
^4IJL", 21.1 创建一个新Job 414
hrX/,D -c 21.2 默认设计 415
b\\lEM>o1 21.3 薄膜设计 416
KEy8EB 21.4 误差的灵敏度计算 420
K7s[Fa6J 21.5 显色指数计算 422
GYtgw9 "Y 21.6 电场分布 424
g8/ ,E-u 后记 426
8}BM`@MG 有兴趣可以扫码加微联系