{HZS:AV0 G8NRj9k? 内容简介 e)pTC97^L Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
LZ&uj{ < 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
jmW^`%;7 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
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2015年9月3日
QTh0SL Ysk,w,K 目录 sX'U|)/pD Preface 1
'\4fU% 内容简介 2
xw%)rm<t 目录 i
+rQg7a} 1 引言 1
u
2lXd' 2 光学薄膜基础 2
mq`5w)S)\o 2.1 一般规则 2
:c;_a-69 2.2 正交入射规则 3
<;KRj85"j 2.3 斜入射规则 6
$,`VUe{ 2.4 精确计算 7
??TdrTS 2.5 相干性 8
}=pOiILvD 2.6 参考文献 10
>)%#V<{< 3 Essential Macleod的快速预览 10
[a D:A 4 Essential Macleod的特点 32
r
}
7:#XQ 4.1 容量和局限性 33
-><QFJ 4.2 程序在哪里? 33
Dh8(HiXf: 4.3 数据文件 35
-R@JIe_28f 4.4 设计规则 35
Gmgeve 4.5 材料数据库和
资料库 37
1nXqi)&?; 4.5.1材料损失 38
}B*,mn2N 4.5.1材料数据库和导入材料 39
nL\ZId 4.5.2 材料库 41
r03I*b 4.5.3导出材料数据 43
M5rwoyn 4.6 常用单位 43
v|y<_Ya 4.7 插值和外推法 46
4^MSX+zt 4.8 材料数据的平滑 50
w&+\Wo;([b 4.9 更多光学常数模型 54
NV(fN-L 4.10 文档的一般编辑规则 55
(.oaMA"B 4.11 撤销和重做 56
7BrV<)ih{* 4.12 设计文档 57
_s@bz|yqw 4.10.1 公式 58
5^o3y.J?P 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
iiehrK&T! 4.10.3 沉积密度 59
!SN WB 4.10.4 平行和楔形介质 60
ox
JGJ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
b7qnOjC 4.10.4 性能 61
d.b?!kn 4.10.5 保存设计和性能 64
7n<#y;wo 4.10.6 默认设计 64
As p8qHS 4.11 图表 64
E.4n}s 4.11.1 合并曲线图 67
IKtiR8 4.11.2 自适应绘制 68
&V FjHW 4.11.3 动态绘图 68
xtu]F 4.11.4 3D绘图 69
Kd
TE{].d 4.12 导入和导出 73
w1.MhA 4.12.1 剪贴板 73
wC(XRqlE 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
cC'^T6 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
be_C>v 4.13 背景 77
p( HyRCH 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
s.bT[0Vl 4.15 生成Rugate 84
`L+~&M 4.16 参考文献 91
v s w7| 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
O'@m4@L 5.1 Jobs 92
qU}lGf!dVn 5.2 创建一个新Job(工作) 93
a5>)?m 5.3 输入材料 94
*+NZQjl' 5.4 设计数据文件夹 95
;4R=eI 5.5 默认设计 95
Kyyih|{ 6 细化和合成 97
Sn+FV+D 6.1 优化介绍 97
p5D5%B/ 6.2 细化 (Refinement) 98
%h3L 6.3 合成 (Synthesis) 100
CF,8f$:2 6.4 目标和评价函数 101
s&Z35IM8| 6.4.1 目标输入 102
P7cge 6.4.2 目标 103
K:Mujx: 6.4.3 特殊的评价函数 104
}ty"fI3&iY 6.5 层锁定和连接 104
- a 6.6 细化技术 104
b-,]A2. 6.6.1 单纯形 105
[}jj<!9A_; 6.6.1.1 单纯形
参数 106
y4 dp1<t% 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
wK2yt? 6.6.2.1 Optimac参数 108
]VzqQ=U% 6.6.3 模拟退火算法 109
uT'-B7N 6.6.3.1
模拟退火参数 109
,*q#qW!! 6.6.4 共轭梯度 111
.jLMl*6%: 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
Zj:a-= 6.6.5 拟牛顿法 112
QQ5lW 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
x:=0.l# 6.6.6 针合成 113
wxH(&CB-{ 6.6.6.1 针合成参数 114
ev)rOcOU 6.6.7 差分进化 114
',L{CQA?c 6.6.8非局部细化 115
cZCGnzy 6.6.8.1非局部细化参数 115
)RpqZe/h4 6.7 我应该使用哪种技术? 116
Y]D7i?3N 6.7.1 细化 116
L7i}Ga!8 6.7.2 合成 117
<Gb nPG? 6.8 参考文献 117
.vCY%0oE 7 导纳图及其他工具 118
Wg}B@:`T 7.1 简介 118
|LX rGyk^ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
N |OMj %Uk 7.2.1 四分之一
波长规则 119
~ >&I^4 7.2.2 导纳图 120
({D}QEP 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
iSSc5ek4 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
#a|6Q 8 7.5 斜入射导纳图 141
TBoM{s=. 7.6 对称周期 141
+a7EsR 7.7 参考文献 142
[Ihp\!xqI 8 典型的镀膜实例 143
,\\%EZ%a 8.1 单层抗反射薄膜 145
Bf D,z 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
/}h71V! 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
v_?s1+w 8.4 W-膜层 148
2LhfXBWf 8.5 V-膜层 149
R@)'Bs 8.6 V-膜层高折射基底 150
Z;|0"K
8.7 V-膜层高折射率基底b 151
cq'}2pob 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
mB{&7Rb0 8.9 四层抗反射薄膜 153
aF;]7i@ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
;'2`M 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
|_hioMVz 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
<3i4NXnL2 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
aB$y+`f)@ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
&cv@Kihq( 8.15十五层宽带抗反射膜 159
iBGSBSeL& 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
nG4Uk2> 8.17 1/4波长堆栈 162
0%GqCg 8.18 陷波滤波器 163
vF*^xhh 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
.IW_DM- 8.20 褶皱 165
BR&Qw'O% 8.21 消偏振分光器1 169
IGh !d?D 8.22 消偏振分光器2 171
s2(w#n) 8.23 消偏振立体分光器 172
I,C AFq 8.24 消偏振截止滤光片 173
I =tyQ` 8.25 立体偏振分束器1 174
\-$bo=s. 8.26 立方偏振分束器2 177
E3FW*UNg[y 8.27 相位延迟器 178
gL[1wM%? 8.28 红外截止器 179
d'Ik@D]I 8.29 21层长波带通滤波器 180
d'lr:=GQ 8.30 49层长波带通滤波器 181
'XZI{q2i 8.31 55层短波带通滤波器 182
IF36K^K 8.32 47 红外截止器 183
yL.PGF1( 8.33 宽带通滤波器 184
0gwm gc/# 8.34 诱导透射滤波器 186
CN8@c!mB
8.35 诱导透射滤波器2 188
*MnG-\{j 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
\GbHS*\+ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
g|v1qfK 8.35 增益平坦滤波器 193
lJGqR0:r+ 8.38 啁啾反射镜 1 196
]]h:#A2 8.39 啁啾反射镜2 198
|%2/I>o 8.40 啁啾反射镜3 199
_v~D{H&} 8.41 带保护层的铝膜层 200
[G'!`^V, 8.42 增加铝反射率膜 201
|&0"N[t 8.43 参考文献 202
`lu"y F 9 多层膜 204
$$bTd3N+ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
Dh!iY0Lz 9.2 内部透过率 204
]@ Sc} 9.3 内部透射率数据 205
Z3abem<Q 9.4 实例 206
PcNfTB{ 9.5 实例2 210
B:6sVJ 9.6 圆锥和带宽计算 212
Bp$+ F/ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
@o3R`ZgC]\ 10 光学薄膜的颜色 216
4B3irHs\Q 10.1 导言 216
C+L_61 10.2 色彩 216
v0hfY 10.3 主波长和纯度 220
z[KN^2YS 10.4 色相和纯度 221
ulPrb>i 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
},Y;
(n' 10.6 色差 226
~f]r>jQM 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
"z#?OV5 10.8 颜色渲染指数 234
QNa}M{5>h 10.9 色差计算 235
\: _.N8" 10.10 参考文献 236
fa+W9 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
/n(bThDH 11.1 短脉冲 238
zI2KIXcc 11.2 群速度 239
]"7DV3_ 11.3 群速度色散 241
Io4:$w 11.4 啁啾(chirped) 245
O"J.k&C<, 11.5 光学薄膜—相变 245
,@'){V 11.6 群延迟和延迟色散 246
?N!j.E4= 11.7 色度色散 246
Gs=a(0
0i? 11.8 色散补偿 249
\xO2WD 11.9 空间
光线偏移 256
|IcxegE 11.10 参考文献 258
2YE]?!
12 公差与误差 260
"{ QHWZ 12.1 蒙特卡罗模型 260
Y="&|c=w#L 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
|jaY[_.@ 12.2.1 误差工具 267
H-cBXp5z 12.2.2 灵敏度工具 271
_E&vE5<-$ 12.2.2.1 独立灵敏度 271
~4 ~Tcn 12.2.2.2 灵敏度分布 275
'd.@4 9
12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
,^+R%7mv 12.3 参考文献 276
iQ]c
k- 13 Runsheet 与Simulator 277
);uZ4PNK/? 13.1 原理介绍 277
|YGiATD4DG 13.2 截止滤光片设计 277
4gv XJK- 14 光学常数提取 289
W$t}3Ru 14.1 介绍 289
Bc|x:#`C\{ 14.2 电介质薄膜 289
^9*|_\3N 14.3 n 和k 的提取工具 295
xXU/m| 14.4 基底的参数提取 302
qn"T?
O 14.5 金属的参数提取 306
^? {kj{v 14.6 不正确的模型 306
V+a%,sI 14.7 参考文献 311
'3u]-GU2_ 15 反演工程 313
pTX'5 15.1 随机性和
系统性 313
HlL@{< 15.2 常见的系统性问题 314
NX""?"q 15.3 单层膜 314
<9@]| 15.4 多层膜 314
hL{B9? 15.5 含义 319
!Ub?eJp 15.6 反演工程实例 319
&G,o guo 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
~Yz/t 15.6.2 反演工程提取折射率 327
2#:]%y;\ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
"g:&Ge*X 16.1 光学性质的热致偏移 329
sV'.Bomq 16.2 应力工具 335
y0&HXX#\
16.3 均匀性误差 339
5 EuJ 16.3.1 圆锥工具 339
3F'dT[; 16.3.2 波前问题 341
@[b:([ 16.4 参考文献 343
MqBATW.pmJ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
OYtus7q< 17.1 引言 345
y yR8VO{ 17.2 操作数 345
@1ta`7# 18 如何在Function中编写脚本 351
!g&B)0u]* 18.1 简介 351
*,[=}v1 18.2 什么是脚本? 351
IK? $!jh 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
t02"v4_i 18.4 基础 352
v|RaB 18.4.1 Classes(类别) 352
*pC-`k 18.4.2 对象 352
)B&<Bk+ 18.4.3 信息(Messages) 352
(l P4D:X 18.4.4 属性 352
'MQGR@* 18.4.5 方法 353
[pWDhY 18.4.6 变量声明 353
PRlo"kN 18.5 创建对象 354
P_g0G#`4 18.5.1 创建对象函数 355
pVa|o&, 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
wG?kcfu 18.5.3 丢弃对象 356
XXwhs-:o 18.5.4 总结 356
Mh.eAM8 _ 18.6 脚本中的表格 357
U1|4vd9 18.6.1 方法1 357
gwz _b 18.6.2 方法2 357
xAz4ZXj=q 18.7 2D Plots in Scripts 358
tWOze, N 18.8 3D Plots in Scripts 359
=+=|{l?F 18.9 注释 360
kGq f@
I+ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
>(ww6vk2 18.11 一个更高级的脚本 362
,$qs9b~ 18.12 <esc>键 364
(l_de)N7 18.13 包含文件 365
8=o(nFJw 18.14 脚本被
优化调用 366
U`p<lxRgQ 18.15 脚本中的对话框 368
>~>[}d;glw 18.15.1 介绍 368
2b,TkG8K 18.15.2 消息框-MsgBox 368
d lLk4a+ 18.15.3 输入框函数 370
>,Bu^] C 18.15.4 自定义对话框 371
KJC9^BAr 18.15.5 对话框编辑器 371
Kcdd=2 [T 18.15.6 控制对话框 377
6ch[B`[h, 18.15.7 更高级的对话框 380
KdpJ[[Ug/ 18.16 Types语句 384
X/7_mU>aKT 18.17 打开文件 385
q8bS@\i 18.18 Bags 387
N,,2VSUr 18.13 进一步研究 388
d>98 E9
19 vStack 389
(g:W|hS
19.1 vStack基本原理 389
9k^=m)yS' 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
gq1Y]t|4F 19.3 五棱镜 393
w&cyGd D5 19.4 光束距离 396
a&VJYAB 19.5 误差 399
{-`OE 19.6 二向分色棱镜 399
c] R![sa 19.7 偏振泄漏 404
uPv?Hq 19.8 波前误差—相位 405
@N{Ht)1r 19.9 其它计算参数 405
Qu\l$/ 20 报表生成器 406
1O7ss_E 20.1 入门 406
kj=2+)!E7 20.2 指令(Instructions) 406
Du4#\OK 20.3 页面布局指令 406
F X2`p_ 20.4 常见的参数图和三维图 407
Ol[IC 20.5 表格中的常见参数 408
XRz6Yf(/ 20.6 迭代指令 408
m8^2k2 20.7 报表模版 408
u.Yb#? 20.8 开始设计一个报表模版 409
h5keYBA 21 一个新的project 413
6lAo`S\)eX 21.1 创建一个新Job 414
DkKD~ 21.2 默认设计 415
.T-p]9*p 21.3 薄膜设计 416
j5^b~F% 21.4 误差的灵敏度计算 420
]qHO{b4k 21.5 显色指数计算 422
6e|5qKr 21.6 电场分布 424
v>!}cB/6 后记 426
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