7\o!HMfK =O|c-k,f@ 内容简介 $o@R^sJ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
p}Fs'l?7Rq 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
[NnauItI 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
HG/p$L* 讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
F>]#}_ BiE08,nj 目录 Ou'?]{ Preface 1
v+6@cC 内容简介 2
uhN%Aj\iu( 目录 i
4^6.~6a 1 引言 1
4LI0SwD#^/ 2 光学薄膜基础 2
n{*e 9Aw 2.1 一般规则 2
+@X5!S6 2.2 正交入射规则 3
G;gJNK"e 2.3 斜入射规则 6
/R
X1UQ.s 2.4 精确计算 7
Q5S,{ ZeT 2.5 相干性 8
{|9}+
@5Q1 2.6 参考文献 10
}~Q"s2 3 Essential Macleod的快速预览 10
9ykM3 4 Essential Macleod的特点 32
9^P2I)aD 4.1 容量和局限性 33
+.[\g|G 4.2 程序在哪里? 33
3*DXE9gA9 4.3 数据文件 35
h%d^Gq~ 4.4 设计规则 35
QGiAW7b5 4.5 材料数据库和
资料库 37
3E} An% 4.5.1材料损失 38
E04l| 4.5.1材料数据库和导入材料 39
mzL[/B#>M 4.5.2 材料库 41
T0j2a&Pv 4.5.3导出材料数据 43
v}Wmd4Y' 4.6 常用单位 43
{u7##Vrgt8 4.7 插值和外推法 46
g1DmV,W-Q 4.8 材料数据的平滑 50
?_6YtR,{ 4.9 更多光学常数模型 54
"$p#&W69"J 4.10 文档的一般编辑规则 55
K0+;bu 4.11 撤销和重做 56
l QPqcZd 4.12 设计文档 57
~Y5l+EF# 4.10.1 公式 58
x:K?\< 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
Bp AB5=M0 4.10.3 沉积密度 59
B\j~)vg 4.10.4 平行和楔形介质 60
j'Y/ H5 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
)"@t6. 4.10.4 性能 61
.uZ7 -l 4.10.5 保存设计和性能 64
<*'cf2Q$Av 4.10.6 默认设计 64
(g/7yO(s 4.11 图表 64
bggusK< 4.11.1 合并曲线图 67
fF?6j 4.11.2 自适应绘制 68
\hk/1/siyF 4.11.3 动态绘图 68
`ZHP1uQ< 4.11.4 3D绘图 69
"i'bTVs 4.12 导入和导出 73
}4jC_ZAupt 4.12.1 剪贴板 73
U+]Jw\\l
4.12.2 不通过剪贴板导入 76
8?TKN~ja 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
J$uM 03 4.13 背景 77
Dxx;v .$ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
<2Y0{
8) 4.15 生成Rugate 84
7u11&(Lz 4.16 参考文献 91
s(@h 2:j 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
#Olg(:\ 5.1 Jobs 92
,-*iCs< 5.2 创建一个新Job(工作) 93
_ P ,@ 5.3 输入材料 94
4yV].2#rl" 5.4 设计数据文件夹 95
(;o*eFC F 5.5 默认设计 95
&TN2 HZ-bJ 6 细化和合成 97
4~?2wvz G4 6.1 优化介绍 97
)@QJ 6.2 细化 (Refinement) 98
4-4?IwS 6.3 合成 (Synthesis) 100
;'kI/(;;C 6.4 目标和评价函数 101
kM*T$JqN 6.4.1 目标输入 102
Vk<k +=7 6.4.2 目标 103
dBEIMn@ 6.4.3 特殊的评价函数 104
c c G['7 6.5 层锁定和连接 104
Zy$L rr! 6.6 细化技术 104
c;!g 6.6.1 单纯形 105
P@ypk^v 6.6.1.1 单纯形
参数 106
;i)KHj' 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
NXoK@Y 6.6.2.1 Optimac参数 108
XDmbm*~i 6.6.3 模拟退火算法 109
u]vPy
ria 6.6.3.1
模拟退火参数 109
to3?$-L 6.6.4 共轭梯度 111
_'iDF 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
X B I;Lg 6.6.5 拟牛顿法 112
)q+4k m6 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
(9.yOc4 6.6.6 针合成 113
^ "6f\ 6.6.6.1 针合成参数 114
+mWjBY 6.6.7 差分进化 114
4
eh=f!(+ 6.6.8非局部细化 115
T&}Ye\% 6.6.8.1非局部细化参数 115
?vbDB 4 6.7 我应该使用哪种技术? 116
b :\D\X 6.7.1 细化 116
}""p)Y& 6.7.2 合成 117
8fO8Dob]\Y 6.8 参考文献 117
aPBX=;( 7 导纳图及其他工具 118
wa?+qiWnrl 7.1 简介 118
az(5o 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
!RMS+Mm? 7.2.1 四分之一
波长规则 119
K+ehr 7.2.2 导纳图 120
zGs|DB 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
FN{/.?w( 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
*FPg#a+ 7.5 斜入射导纳图 141
"Gh#`T0#a 7.6 对称周期 141
}MZan" cfo 7.7 参考文献 142
HYIRcY 8 典型的镀膜实例 143
BR3mAF 8.1 单层抗反射薄膜 145
0VG=?dq 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
75 Fp[Q- 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
YRa4W.&Yn 8.4 W-膜层 148
Sr7@ buF 8.5 V-膜层 149
nZW4} ~0j 8.6 V-膜层高折射基底 150
&q>h*w4O 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
&wGg6$ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
m.146 8.9 四层抗反射薄膜 153
%Rn:GK 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
vahf]2jEB 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
M)=|<h"F 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
cju@W] ! 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
!u0U5>ccw 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
Oy'0I, 8.15十五层宽带抗反射膜 159
a(Sv,@/ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
7K !GK 8.17 1/4波长堆栈 162
bw;iz,Z 8.18 陷波滤波器 163
sN@j5p^jc 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
nOuN|q=C 8.20 褶皱 165
n2;(1qr 8.21 消偏振分光器1 169
g^n;IE$B 8.22 消偏振分光器2 171
lxOqs:b 8.23 消偏振立体分光器 172
=#'+"+lQ } 8.24 消偏振截止滤光片 173
V<W02\Hs 8.25 立体偏振分束器1 174
mS7E_A8 8.26 立方偏振分束器2 177
Bfn]-]>sD 8.27 相位延迟器 178
C zpsqTQ 8.28 红外截止器 179
wLSjXpP8 8.29 21层长波带通滤波器 180
,*w>z 8.30 49层长波带通滤波器 181
| @q9{h7 8.31 55层短波带通滤波器 182
/MqP[*L 8.32 47 红外截止器 183
m`a>,%}P" 8.33 宽带通滤波器 184
f-s~Q4 8.34 诱导透射滤波器 186
5~-}}F 8.35 诱导透射滤波器2 188
<tU
:U<ea] 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
;$[VX/A`f 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
*|CLO|B) 8.35 增益平坦滤波器 193
e
mC\i 8.38 啁啾反射镜 1 196
{V=vnL-- 8.39 啁啾反射镜2 198
kFnUJM$r 8.40 啁啾反射镜3 199
q"l>`KCG` 8.41 带保护层的铝膜层 200
dc)wu] 8.42 增加铝反射率膜 201
k$?&]! <o 8.43 参考文献 202
jUZ[`f; 9 多层膜 204
+}\29@{W 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
8|Q4-VK<! 9.2 内部透过率 204
;]"n?uo 9.3 内部透射率数据 205
v(k*A: 9.4 实例 206
f5N<3 m= 9.5 实例2 210
iF+S%aPd# 9.6 圆锥和带宽计算 212
LP8o7%sv! 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
JH-nvv 10 光学薄膜的颜色 216
&7lk2Q\ 10.1 导言 216
89ZDOji?O 10.2 色彩 216
-^y1iN'D 10.3 主波长和纯度 220
*SXSF95 10.4 色相和纯度 221
^Y#@$c 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
|#!eMJ&0 10.6 色差 226
$kM' 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
XZ!cW=bqS 10.8 颜色渲染指数 234
|\rSa^:5 10.9 色差计算 235
5=Zp%[# 10.10 参考文献 236
HI7]%<L 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
o<~-k,{5P 11.1 短脉冲 238
6{lG1\o 11.2 群速度 239
0LZ=`tI 11.3 群速度色散 241
JIB?dIN
1 11.4 啁啾(chirped) 245
77 *v-8c 11.5 光学薄膜—相变 245
k`{RXx 11.6 群延迟和延迟色散 246
CuF%[9[cT 11.7 色度色散 246
4;",@} 11.8 色散补偿 249
ZKZl>dDuh 11.9 空间
光线偏移 256
WFQ*s4 R( 11.10 参考文献 258
?hP<@L6K 12 公差与误差 260
nmTm(?yE 12.1 蒙特卡罗模型 260
G%y>:$rw[O 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
.Gjr`6R 12.2.1 误差工具 267
;*n_N!v 12.2.2 灵敏度工具 271
6yy|V~5 12.2.2.1 独立灵敏度 271
.ou!g&xu 12.2.2.2 灵敏度分布 275
$:T<IU[E 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
"m
wl-= 12.3 参考文献 276
Q@ykQ 13 Runsheet 与Simulator 277
t$ACQ*O
13.1 原理介绍 277
f%`*ba"v 13.2 截止滤光片设计 277
^ uKnP>*l 14 光学常数提取 289
bEoB;] 14.1 介绍 289
{d&X/tT 14.2 电介质薄膜 289
ocb%&m;i 14.3 n 和k 的提取工具 295
A73V6" 14.4 基底的参数提取 302
+9Xu"OFm 14.5 金属的参数提取 306
)Ix-5084 14.6 不正确的模型 306
d08`42Z69 14.7 参考文献 311
a!TBk=P 15 反演工程 313
V[BY/<z)A 15.1 随机性和
系统性 313
!C9ps]6 15.2 常见的系统性问题 314
hr)+Pk 15.3 单层膜 314
z }FiU[Hs 15.4 多层膜 314
:w?:WH?2L 15.5 含义 319
#i}# jMT 15.6 反演工程实例 319
6\NX
5Gh 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
$.suu^>^w 15.6.2 反演工程提取折射率 327
]
P:NnKgK 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
~0'_K1(H 16.1 光学性质的热致偏移 329
^&f{beU9 16.2 应力工具 335
$gj+v+%N 16.3 均匀性误差 339
<M5{.`o 16.3.1 圆锥工具 339
c4!c_a2pS 16.3.2 波前问题 341
mq|A8>g 16.4 参考文献 343
,yB?~ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
v^y}lT 17.1 引言 345
zN?$Sxttx 17.2 操作数 345
i?1js ! 8 18 如何在Function中编写脚本 351
1kz9>;Ud6 18.1 简介 351
/8P4%[\ 18.2 什么是脚本? 351
^P3g9'WK 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
c%xED%X9 18.4 基础 352
!q7;{/QM6 18.4.1 Classes(类别) 352
Ak%no3:9 18.4.2 对象 352
JxMyeo%gv 18.4.3 信息(Messages) 352
o=QRgdPD 18.4.4 属性 352
+SZ%& 18.4.5 方法 353
{UV<=R,E 18.4.6 变量声明 353
PMz{8
F 18.5 创建对象 354
8|S1|t, 18.5.1 创建对象函数 355
$ g1wK}B3 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
mK7^:(<.LO 18.5.3 丢弃对象 356
Tb!B!m 18.5.4 总结 356
^cKv JSY 18.6 脚本中的表格 357
Q5`+eQ?_\ 18.6.1 方法1 357
&F<J#cfe8 18.6.2 方法2 357
6\)8mK 18.7 2D Plots in Scripts 358
lzr>WbM{{p 18.8 3D Plots in Scripts 359
A|`Joxr 18.9 注释 360
#G[
*2h~99 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
OTNZ!U/)j 18.11 一个更高级的脚本 362
qJbhPY8Ak 18.12 <esc>键 364
&dwI8@& 18.13 包含文件 365
>~^mIu_BH 18.14 脚本被
优化调用 366
;QvvU[eb 18.15 脚本中的对话框 368
?C#F?N0 18.15.1 介绍 368
N$ qNe'b 18.15.2 消息框-MsgBox 368
}K#&5E 18.15.3 输入框函数 370
iaaH9X
% 18.15.4 自定义对话框 371
eK=m0 2 18.15.5 对话框编辑器 371
)"i>R
~* 18.15.6 控制对话框 377
ki*79d"$ 18.15.7 更高级的对话框 380
f/IRO33 18.16 Types语句 384
L8?Z!0D/h 18.17 打开文件 385
,,wyydG 18.18 Bags 387
1=/MT#d^?
18.13 进一步研究 388
9m#H24{V' 19 vStack 389
69<rsp(p 19.1 vStack基本原理 389
+*:x#$phx 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
![X.% 19.3 五棱镜 393
kDceBs s 19.4 光束距离 396
T`RQUJO 19.5 误差 399
=?I1V#. 19.6 二向分色棱镜 399
J7
*G/F 19.7 偏振泄漏 404
1Hk<_no5 19.8 波前误差—相位 405
3' :[i2[ 19.9 其它计算参数 405
:+gCO!9Y 20 报表生成器 406
0=(-8vwd 20.1 入门 406
00.iMmJ 20.2 指令(Instructions) 406
(X`t"*y" 20.3 页面布局指令 406
$V {- @= 20.4 常见的参数图和三维图 407
,mE]?XyO 20.5 表格中的常见参数 408
pn_gq~5ng 20.6 迭代指令 408
(Aov}I+ 20.7 报表模版 408
*C:q _/ 20.8 开始设计一个报表模版 409
d)17r\*>I 21 一个新的project 413
i>kNz(* 21.1 创建一个新Job 414
\.{pZMM 21.2 默认设计 415
YRM6\S)py 21.3 薄膜设计 416
5x1jLPl' 21.4 误差的灵敏度计算 420
\A ~I>x 21.5 显色指数计算 422
BB73'W8y 21.6 电场分布 424
N:gstp 后记 426
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