h 2JmRO ^7i7yM}6( 内容简介 o~CEja&( Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
bJ9*z~z)e 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
R
i,_x 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
KJS-{ed 讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
.v}|Tp&k N^wHO<IO1 目录 9@IL5 47V Preface 1
%CnNu 内容简介 2
z Fj |E 目录 i
}CZw'fhVWO 1 引言 1
A)j!Wgs^z 2 光学薄膜基础 2
;/pI@Ck 2.1 一般规则 2
cX4]ViXSr 2.2 正交入射规则 3
Z]tQmV8e 2.3 斜入射规则 6
]9_}S 2.4 精确计算 7
?*xH
HI/ 2.5 相干性 8
Y-st2r[, 2.6 参考文献 10
5}w 3 Essential Macleod的快速预览 10
3` oOoKX 4 Essential Macleod的特点 32
fI<d&5&g 4.1 容量和局限性 33
|&
jrU-( 4.2 程序在哪里? 33
dKD:mU",M 4.3 数据文件 35
Zo^]y' 4.4 设计规则 35
%{3q=9ii 4.5 材料数据库和
资料库 37
Ac*J;fI 4.5.1材料损失 38
M=&,+#z<V 4.5.1材料数据库和导入材料 39
vGPsjxk& 4.5.2 材料库 41
X6(s][Wn 4.5.3导出材料数据 43
)[M:#;,L 4.6 常用单位 43
3iX\):4 4.7 插值和外推法 46
|6^%_kO!| 4.8 材料数据的平滑 50
cPAR.h,b? 4.9 更多光学常数模型 54
}a9G,@:k 4.10 文档的一般编辑规则 55
P,3w
b 4.11 撤销和重做 56
|Ox='.oIb 4.12 设计文档 57
4 83rU 4.10.1 公式 58
$?k]KD 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
Q[q`)~| 4.10.3 沉积密度 59
nSBhz 4.10.4 平行和楔形介质 60
#,6T. O 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
hOj+z? 4.10.4 性能 61
XpE847!soL 4.10.5 保存设计和性能 64
fn5-Tnsq* 4.10.6 默认设计 64
N]|>\ 4.11 图表 64
gVR]z9 4.11.1 合并曲线图 67
]{\M,txo8 4.11.2 自适应绘制 68
]b sabS? 4.11.3 动态绘图 68
[2Nux0g 4.11.4 3D绘图 69
7:b.c 4.12 导入和导出 73
<LXx_{=: 4.12.1 剪贴板 73
:lvBcFw 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
^eO/?D8~h 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
p nI= 4.13 背景 77
<Up?w/9 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
(*Q:'2e 4.15 生成Rugate 84
BbCO K 4.16 参考文献 91
#RU8yT 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
E!mv} 5.1 Jobs 92
J,u-)9yBA< 5.2 创建一个新Job(工作) 93
Sx e6& 5.3 输入材料 94
IOuqC.RJ}o 5.4 设计数据文件夹 95
p)?6#~9$ 5.5 默认设计 95
yzzJKucVU: 6 细化和合成 97
Pgy[\t 2K 6.1 优化介绍 97
xz5A[)N 6.2 细化 (Refinement) 98
r@Jy*2[-Jq 6.3 合成 (Synthesis) 100
btq4diW 6.4 目标和评价函数 101
k>.8 lc\ 6.4.1 目标输入 102
Rc1k_fZ} 6.4.2 目标 103
*x;4::'Jn 6.4.3 特殊的评价函数 104
\( #"g 6.5 层锁定和连接 104
IVxZ.5:L$ 6.6 细化技术 104
uZ-ZZE C 6.6.1 单纯形 105
;`:YZ+2
Z 6.6.1.1 单纯形
参数 106
fCJjFL: 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
m}=E$zPbO 6.6.2.1 Optimac参数 108
7dACbqba 6.6.3 模拟退火算法 109
fPPP| 6.6.3.1
模拟退火参数 109
0*rD'?)K+ 6.6.4 共轭梯度 111
+s"6[\H1d 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
>,]8iMh 6.6.5 拟牛顿法 112
]- `wXi" 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
}(ORh2Ri 6.6.6 针合成 113
* zyik[o 6.6.6.1 针合成参数 114
}AJoF41X 6.6.7 差分进化 114
s:"Sbml 6.6.8非局部细化 115
DHw)]WB M 6.6.8.1非局部细化参数 115
~tW~%]bs2Q 6.7 我应该使用哪种技术? 116
%>i:C-l8 6.7.1 细化 116
[p`5$\e 6.7.2 合成 117
!@8i(!xb 6.8 参考文献 117
:Z6j5V;s 7 导纳图及其他工具 118
VLkAsM5}% 7.1 简介 118
zN|k*}j1J 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
5Q"w{ n 7.2.1 四分之一
波长规则 119
|.UY'B 7.2.2 导纳图 120
!+^'Ej)z 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
Op?"G 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
B<m0YD?>~> 7.5 斜入射导纳图 141
BrwC9: 7.6 对称周期 141
x}?<9(nE c 7.7 参考文献 142
3+>n!8x ;A 8 典型的镀膜实例 143
;t\h"K<,| 8.1 单层抗反射薄膜 145
KBN% TqH| 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
%(lO>4>| 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
}a6t <m`V 8.4 W-膜层 148
bP9ly9FH 8.5 V-膜层 149
!!^z6jpvn 8.6 V-膜层高折射基底 150
Q,xL8i
M, 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
Wa<<"x$ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
Kx]SiejJ 8.9 四层抗反射薄膜 153
}:Z A) 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
!sm/BsmL7T 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
eNAxVF0 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
L4g%o9G 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
CPP~,E_ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
0^-1d2Z~ 8.15十五层宽带抗反射膜 159
chE!,gik 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
Kg$RT?q-C6 8.17 1/4波长堆栈 162
V >' 8.18 陷波滤波器 163
/;Tc] 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
ZLv/otf:|" 8.20 褶皱 165
&P|[YP37_ 8.21 消偏振分光器1 169
E
s5:S# 8.22 消偏振分光器2 171
RQx8Du< 8.23 消偏振立体分光器 172
'cXdc 8.24 消偏振截止滤光片 173
@ivd|*?k0 8.25 立体偏振分束器1 174
\% =\4%: 8.26 立方偏振分束器2 177
`NsjtT'_ 8.27 相位延迟器 178
D%YgS$p[M$ 8.28 红外截止器 179
&&X,1/ 8.29 21层长波带通滤波器 180
!SQcV' 8.30 49层长波带通滤波器 181
s3Vb2C* 8.31 55层短波带通滤波器 182
'+cI W(F? 8.32 47 红外截止器 183
{ :tO
RF 8.33 宽带通滤波器 184
^[tE^(|T 8.34 诱导透射滤波器 186
KT(Z
#$ 8.35 诱导透射滤波器2 188
)S)L9('IxT 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
=#b@7Yw: 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
@0?!bua_| 8.35 增益平坦滤波器 193
aKbmj 8.38 啁啾反射镜 1 196
C8}:z\A_@Z 8.39 啁啾反射镜2 198
v~P,OP("c 8.40 啁啾反射镜3 199
Z .6dL 8.41 带保护层的铝膜层 200
"#j}F u_! 8.42 增加铝反射率膜 201
$RPW/Lyiq 8.43 参考文献 202
yp.K- 9 多层膜 204
^"/^)Lb!@M 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
>M,oyM"s 9.2 内部透过率 204
1PkCWRpR 9.3 内部透射率数据 205
u]J@65~'b 9.4 实例 206
[]>'Dw_r 9.5 实例2 210
'-;[8:y. 9.6 圆锥和带宽计算 212
qos7u91z 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
JbMTULA 10 光学薄膜的颜色 216
e`D}[G# 10.1 导言 216
hArY$T&MB 10.2 色彩 216
|7s2xRc 10.3 主波长和纯度 220
Dm>"c;2 10.4 色相和纯度 221
}vd*eexA 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
W(s4R,j 10.6 色差 226
iQwQ5m!d & 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
'pdTV:]zA 10.8 颜色渲染指数 234
{m.$EoS 10.9 色差计算 235
NB"S,\M0 10.10 参考文献 236
(\9`$ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
M?$[WS 11.1 短脉冲 238
x *Lt]]A 11.2 群速度 239
-u2i"I730 11.3 群速度色散 241
B`5<sW 11.4 啁啾(chirped) 245
jVj5 ; } 11.5 光学薄膜—相变 245
#o.e
(C 11.6 群延迟和延迟色散 246
RLB3 -=9t 11.7 色度色散 246
RK>Pe3< 11.8 色散补偿 249
{4 Of. 11.9 空间
光线偏移 256
{meX2Z4 11.10 参考文献 258
0B
NLTRv 12 公差与误差 260
NO"PO
@&Wk 12.1 蒙特卡罗模型 260
n_8[bkbi 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
)ZJvx%@i 12.2.1 误差工具 267
/:&!o2&1H 12.2.2 灵敏度工具 271
*Gbhk8}V' 12.2.2.1 独立灵敏度 271
-Mt
5< s 12.2.2.2 灵敏度分布 275
RgE`H r 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
Y::0v@&( 12.3 参考文献 276
Ykbg5Z 13 Runsheet 与Simulator 277
^URCnJ67Se 13.1 原理介绍 277
%`vzQt`> 13.2 截止滤光片设计 277
'Ts:. 14 光学常数提取 289
Hd|l6/[xz 14.1 介绍 289
W?
iA P 14.2 电介质薄膜 289
.J"N} 14.3 n 和k 的提取工具 295
{|+Y;V` 14.4 基底的参数提取 302
IUcL* 14.5 金属的参数提取 306
iHK~?qd} 14.6 不正确的模型 306
Nkdv'e\ 14.7 参考文献 311
CT|+? 15 反演工程 313
30Q
p^)K 15.1 随机性和
系统性 313
;t`
?| 15.2 常见的系统性问题 314
N+-Tp&:wY 15.3 单层膜 314
bf3!|Um 15.4 多层膜 314
(JhX:1 15.5 含义 319
~}/Dl#9R! 15.6 反演工程实例 319
Pf?kNJ*Tv) 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
=BsV`p7rU 15.6.2 反演工程提取折射率 327
CI|lJ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
&c`-/8c
16.1 光学性质的热致偏移 329
p|4qkJK8 16.2 应力工具 335
"q4tvcK. 16.3 均匀性误差 339
BG{f)2F\ 16.3.1 圆锥工具 339
!,J#
r 16.3.2 波前问题 341
cH]tZ$E` 16.4 参考文献 343
&v\F ah U 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
DA=U=F 17.1 引言 345
xS18t=" 17.2 操作数 345
=bC
+1
C 18 如何在Function中编写脚本 351
9N]Xa 18.1 简介 351
q^@*{H 18.2 什么是脚本? 351
H^_,e= j 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
&4'<