1. 建模任务
%xI,A '# 1.1
模拟条件
YR/rN, 模拟区域:0~10
9Lxa?Y1 边界条件:Periodic
~C],?X(zk 偏移
角度:12°(Domain A),-12°(Domain B)
?IV3"\5 单位长度:0.5
!xh.S#B faaFmEC 1=%\4\
1.2堆栈
结构 [VwoZX: ul3._Q 2. 建模过程
I_@XHhyVZ 2.1设置模拟条件
N)Z,/w9 .B9rG~ 8MPXrc,9-
2.2创建堆栈结构,修改各层
参数
t@EHhiBz p2~MJ
LK4 vSy#[9} 2.3创建掩膜并生成多畴结构
Obu>xK( JB= L\E} 3. 结果分析
p1L8g[\ 3.1 指向矢分布和透过率
hK&/A+* 8wqHr@}p IGd]! 3.2所有畴的V-T曲线
[SJ*ks,] &iD