1. 建模任务
g;'S5w9S 1.1
模拟条件
q"<=^vi 模拟区域:0~10
*6` ^8Y\ 边界条件:Periodic
9dNkKMc@ 偏移
角度:12°(Domain A),-12°(Domain B)
EQ,`6UT> 单位长度:0.5
0*b8?e 7HH@7vpJ^ @I?,!3`jS 1.2堆栈
结构 zPp22 fc@<' -VA 2. 建模过程
J FnE{ 2.1设置模拟条件
s 0Uid&qE 9)v]jk jn|NrvrX 2.2创建堆栈结构,修改各层
参数 O=7S=Rm4& \ YF@r7 n'^`;- 2.3创建掩膜并生成多畴结构
Z,2?TT|p "$farDDoF 3. 结果分析
;&=CZ6vH 3.1 指向矢分布和透过率
-d'FKOD V'=;M[&