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摘要 LDeVNVM 1,QZnF!.x 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 SZ{cno1` 17)M.(qmuP HW726K* PEEY;x 设计任务 AFTed?( x Ui!|c MPn>&28"|K o(/ia3 3SDWR@x& 光栅特性与参数的严格分析 zI! R-Nb }27Vh0v 不同光栅周期的衍射效率 H$amt^|zQ4 m1i+{(( B:4qW[U# 0t?<6-3`/ 考虑光栅周期的选择 9Fx z!-9m t[,T}BCy. YO$b# 偏振相关衍射特性 ?]D+H%3[$i ]wpYxos
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;fBe ',`4 U F 偏振相关衍射特性 [KI`e y~c[sW
8;\tP29 ;n{j,HB 偏振相关衍射特性 BON""yIC 3dDQz# F>kn:I"X) S aet";pf` 基于参数优化的光栅设计 G>S1Ld'MV |uwteG5?$s 具有固定周期的二维参数优化 b%f2"e0g N vHy'
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d= us,,W(q 不同光栅周期的三维参数优化 ~K#_'Ldrd \3(|c#c
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