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摘要 931bA&SL=/ )) R5(R 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 xO$lsZPG 88VZR&v  hU(umL< 1 9&<|qTz 设计任务 vX{J' H]u J,V9 k[88  A'j;\
`1 6 )Hwt_b aK&b{d 光栅特性与参数的严格分析 UM!E NI| JI? rL 不同光栅周期的衍射效率 w Qgo N% K-e9>fmB#  8}c$XmCM O*eby*%h 考虑光栅周期的选择 1QqYQafA *'OxAfa#x  _p# CwExuy 偏振相关衍射特性 |S_T^'<W ST2.:v;lb
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 Dakoqke &yGaCq;0 不同光栅周期的三维参数优化 8j Mk)-
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