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摘要 Jx $iwu W"Q!|#;l. 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 tz4
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d(7NO;S8 光栅特性与参数的严格分析 m'x;,xfY&F |]W2EV ,b 不同光栅周期的衍射效率 } ptMjT{9 .9h )b f+  !][F {)@D`{$ 考虑光栅周期的选择 SEM8`lnu +Ok%e.\ZM  rk|@B{CA; 偏振相关衍射特性 _1|$P|$P. aV6#t*\J
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