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摘要 9HPwl >vYb'%02 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 6hcK%0z Bga4kjfmk  E'6/@xM l[%=S! 设计任务
{gD`yoPrV K:Z(jF !j  nqTOAL9FF B[#n,ay ;k R=vv 光栅特性与参数的严格分析 tGbx/$ Y BJ'pe[Xa5 不同光栅周期的衍射效率 zKaj <Og Fq
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