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摘要 ET-Vm >] _z8;lt 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 t`u!]DHv Tpzw=bC^ }OrYpZob S}7>RHe 设计任务 "2;N2=~7 3LW[H+k -H\,2FO ]l[2hy=
cV +'XhC#: 光栅特性与参数的严格分析 bUs|t V@Wcb$mgk 不同光栅周期的衍射效率 "HC)/)Mv@ _M5Xk? e= 3eKQ<$w
%+wF" 考虑光栅周期的选择 cy1jZ1) O,mip YwAnqAg 偏振相关衍射特性 D1Yh,P<CF\ gX,9Gh J#7y<
s 16$y`~c-z 偏振相关衍射特性 GZ8:e3ri |4Ha?W CgnXr/!L
Oh`2tc- 偏振相关衍射特性 d+}k g U:|H9+5 FT/amCRyT aws"3O%
uW 基于参数优化的光栅设计 ez*jjm 1S%}xsR0 具有固定周期的二维参数优化 Q)^g3J n
)K6i7]xk jvs[ / 二维参数优化 - 设计#1 f0oek{ V8"Wpl9Cz g-@h>$<
1 SxMj,u%X/ 二维参数优化 - 设计#2 k/lFRi-i cwynd=^nC R]QpMj%o nY^Nbh0 制造公差分析 - 设计#2 CBHc A'L s[c^"@HT hz)9"B\S d^84jf.U 不同光栅周期的三维参数优化 ]rW8y%yD h0VzIuV ;V.vfar J_xG}d 制造公差分析 -7`-wu 7X'y>\^w^> K/Y Agg k
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