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摘要 8 DO3L
" Vb$4'K ' 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 HLsG<# 1$1[6
\3v  sBV})8]K M Lj#K^c Ee 设计任务 s6+`cC4
u/S{^2`b  w4%yCp[, (>usa|| Gr}lr gP S 光栅特性与参数的严格分析 c3]X#Qa#m$ Eu)(@,]w e 不同光栅周期的衍射效率 QnN cGH _ oBJ'8R\  Iy JHKDFk
##_Jz 5P 考虑光栅周期的选择 m2h@* 6tKCY(#oO+  <yw(7 偏振相关衍射特性 MeMSF8zS Q E
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aqR"% 偏振相关衍射特性 0<'Q;'2* L
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 m&!4*D 4k4 d% 偏振相关衍射特性 hiBZZ+^[ ZA {T0:  \Jy/
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=QQTHL{3 基于参数优化的光栅设计 -M x\W|YK bxR6@ 具有固定周期的二维参数优化 JT(6Uf
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 uS}qy -8J 二维参数优化 - 设计＃1 op5G}QZ s.qo/o\b
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 gR\-%<42 Ww)p&don 制造公差分析 - 设计＃2 '"Z\8;5i ^]{m* bEkR
 RF$2p4=[ vA"M Tncv 不同光栅周期的三维参数优化 _'Rzu'$`
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