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摘要 ]s5e[iS !4+Die X 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 x^)?V7[t {:"<E? +  j~\FDcG*ed ,sc#l<v 设计任务 53aJnxX M x, 5  C TG^lms W f "$ '+$r7?dKP 光栅特性与参数的严格分析 T=pP )vOBF5 不同光栅周期的衍射效率 k]:`<`/I_ 5|eX@?QF58  Y1r'\@L w .{I LeG 考虑光栅周期的选择 ~.^:?yCA 3O*iv{-&  'qiAmaX 偏振相关衍射特性 rU9")4sQ Wx3DWY;
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