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摘要 s'$5]9$S b;Nm$`2 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 VZveNz@]r P;~`%,+S  9ZXkuP9vm T0HNld 设计任务 1f }YKT @6["A'h  >qE f991SZ ., ({&L H ){}28dX 光栅特性与参数的严格分析 RBOb/.$ GK6/S_l%D+ 不同光栅周期的衍射效率 9j94]w2v "Y'MuV'x  # <?igtUO Fw{:fFZC[ 考虑光栅周期的选择 &,DZ0xA b@v_db]|t.  yP<ngi^s= 偏振相关衍射特性 "mk@p=d ?Z^?A^; }$
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