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摘要 ~#M d"3 lp&!lb` 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 )"@t6. .uZ7 -l  }{7e7tW 6 _X5_ez^/= 设计任务 @b!"joEy p5c8 YfM  !7H6i#g* O^{1RV3:,T V7C oZnz 光栅特性与参数的严格分析 (VHND%7P Uv?'m&_ 不同光栅周期的衍射效率 x49 !{} "#^MUQ!a  a,'Cyv"> 90 { tI X 考虑光栅周期的选择 T)u4S[
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