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摘要 E>|xv#:~DV L,
k\`9bQ 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 p?#cn
Ho FFce7o  C8J3^ ?7E W8/8V, 设计任务 cl4Vi% )(Z)yz  Z Rjqjx R>3a?.X 5 GwXZ;(G 光栅特性与参数的严格分析 <gdKuoY Gz>M`M`[4 不同光栅周期的衍射效率 Qxvj`Ge Sv E|"  z@_ 9.n] #]BpTpRAe< 考虑光栅周期的选择 AIx,c1G]K RC S 91[  P dg %:aY 偏振相关衍射特性 !JkH$~ H"_]Hq
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!Gphs`YI 基于参数优化的光栅设计 LB)sk$ ) `$X|VAS2 具有固定周期的二维参数优化 {U`B|
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 gAx8r-` ` i>Cxi ZT 不同光栅周期的三维参数优化 .
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