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摘要 ?DA,]aa- ?%F*{3IP 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 G!@tW`HO GKSfr8US4 4$@)yZ 8I3"68c_a 设计任务 h`,dg%J*B cOq^}Ohan 9PIm/10pP^ V07e29w t=Tu-2,k 光栅特性与参数的严格分析 b&. o9PV" 6MqJy6 不同光栅周期的衍射效率 ~Qeyh^wo Tt<Ry'Z$3 (g*2OS UF3WpA 考虑光栅周期的选择 \E5%.KR |/5j0 |]w0ytL>(2 偏振相关衍射特性 LcI,Dy|P ayTEQS
4Bsx[~ u& IDyf9Zra? 偏振相关衍射特性 e/'d0Gb- wz3BtCx
^&>(_I\w.6 CXwDG_e 偏振相关衍射特性 ]#z^[XG CA, &R<] -}_-#L!Q Ze[ezu 基于参数优化的光栅设计 t:X\`.W ?{ns1nW: 具有固定周期的二维参数优化
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Y).5(t7zaR z'OY6 制造公差分析 - 设计#2 @5jJoy(mX@ 1D159 NLB
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