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摘要 \DD0s8    ZObhF#Y9  光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 MvWaB    iIq)~e/ Z   qQsku;C?i    6N;wqn  设计任务 P}TI
q#    cdZ~2vk  A0q|J/T    	 uJ5Eka    Gmq/3tw  光栅特性与参数的严格分析 ,;Hu=;    D6Goa(!9d  不同光栅周期的衍射效率 c(n&A~*AJ%    de;GrPLAi  0Emr<n    B{C??g8/  考虑光栅周期的选择 DJ(q
7W    kLni{IYN7  sh`s/JRf  偏振相关衍射特性 [-;_ZFS{   :SGF45>B@ 
  %y|)=cm[ k=B]&F  偏振相关衍射特性 t$xY	#:
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  ,	'ZD=4_    r]l!WRn  偏振相关衍射特性 mysetv&5    o;=l^-  ])
rrG/3 w[!^;#  基于参数优化的光栅设计 L.2/*H#
    W'.s\e?gh  具有固定周期的二维参数优化 fD07VBS	yl
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  x7<\]94  二维参数优化 - 设计#1 V	{pj~D.E   OV%Q3$15 
  kWe{r5C7    6C]1Q.f;  二维参数优化 - 设计#2 Sk:ws&D1u    y7$iOR 
  z 6?)3'    *hQTO=WF  制造公差分析 - 设计#2 g|<]B$yN#   _jNj-)RB_ 
  q*7zx_	o    %ix)8+Eb  不同光栅周期的三维参数优化 $T`<Qq-r hlJq-*6'
 
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