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摘要 dV(61C0wn |E)-9JSRy 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 2Ur9*#~kGp _s{on/u  @X\-c2= ";\na!MT 设计任务 8wJfG Y #_) <~  *V}T}nK7 /, T@/ rbfP6t:c3 光栅特性与参数的严格分析 xfYDjf :< b7&5>Q/ g 不同光栅周期的衍射效率 6 2{ (i'K 6A p-J~4  {akS K S[g{
)p) 考虑光栅周期的选择 q^5j&jx Vl " tax  "SGq$3D 偏振相关衍射特性 BWRM
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