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摘要 kA__*b}8UK 2HXKz7da 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 A+I&.\QAR zXZ'nJ5OGG M"^Vf{X^ G%!\ p:w 设计任务 = O1;vc}AA n=? 0g;1! gvNZrp>e! u!o]Co> 5lnSa+_/f 光栅特性与参数的严格分析 mE`qvavP|/ J4"swPf 不同光栅周期的衍射效率 zpqGh *ldMr{s<R br Z,s pYl{:uIPN8 考虑光栅周期的选择
YX`=M \bm6/fhA: ttaQlEa=Z 偏振相关衍射特性 kLt9;<L (YHvGGr
}m%?&c =5~F6to 偏振相关衍射特性 -,VhS I S tnv>
>:E*7 ^Opy6Bqb 偏振相关衍射特性 s;2/Nc .l+~)$ xDJ+BQ<1A @GQ8q]N:< 基于参数优化的光栅设计 W Gw!Y1wq vX0"S 具有固定周期的二维参数优化 Zknewv*sS4 1@^Ek8C
c5E#QV0&v~ 二维参数优化 - 设计#1 $i:||L^8p +Y)#yGUn
HCG@#W<wc :e]9T3Q 二维参数优化 - 设计#2 `{U%[$<[W { ^2W>^
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I\P6R` LxlbD#<V 制造公差分析 - 设计#2 t{SMSp .S!>9X,
QW~5+c9JJ $iqi:vY 不同光栅周期的三维参数优化 BKQIo)g.G *SkiFEoD
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