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摘要 6/Yo0D>M$ B0p;Zh 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 u r Q vJ " W {rS4L  wu11)HFL|z \o3s&{+ y, 设计任务 bivo7_ m@*aA }69  p\#;(pf}s ]9'F<T= $_ Pg`+Q^^6S 光栅特性与参数的严格分析 Y*A y=@z=y ; 14Q@yrZ0 不同光栅周期的衍射效率 `s\ [X-j] 8'zfq
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