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摘要 Jx$iwu W"Q!|#;l. 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 tz4
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6Y1J2n" 设计任务 \dcdw*v@ A59gIp*> ?TpUf p@ygne4
d(7NO;S8 光栅特性与参数的严格分析 m'x;,xfY&F |]W2EV ,b 不同光栅周期的衍射效率 } ptMjT{9 .9h)bf+ !][F {)@D`{$ 考虑光栅周期的选择 SEM8`lnu +Ok%e.\ZM rk|@B{CA; 偏振相关衍射特性 _1|$P|$P. aV6#t*\J
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+e P.s_t G[Tl%w 偏振相关衍射特性 Qi9-z' dqc1q:k?$ :243 H =Z,5$6%) 基于参数优化的光栅设计 j6g@tx^)' zY=jXa)K~ 具有固定周期的二维参数优化 ,^$|R32 5`-UMz<]
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