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摘要 R;j!}D!4 ^pYxKU_O 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 uH(f$ A 07 [_.i .l  TTKs3iTXz I= & stsH 设计任务 *3?'4"B{8 3nhXZOO1  hy`?E6=9+ K2<9mDn& vMm1Z5S/ 光栅特性与参数的严格分析 [DF,^4g MerFZd 1 不同光栅周期的衍射效率 | b)Y#)C; ,.7*Hpa  @CT;g\4 1#ft#-g} 考虑光栅周期的选择 ^ Gqt+K % v^1pN>#%g  {62n7'U{ 偏振相关衍射特性 W#hj 1 4/wa+Y+=vt
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