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摘要 $1SUU F\. s&'QN=A 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 hB{jUP)"; 6;b~Ht -W>'^1cR JU&+c6> 设计任务 O$4yAaD
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sL?&a _UuC,Pl3 $\9~)Rq6 2;w*oop,O 光栅特性与参数的严格分析 7 [0L9\xm W^"AU;^V56 不同光栅周期的衍射效率 23gPbtq/ yr,=.?C- *g^x*|f6 f5 `g 考虑光栅周期的选择 hJPlq0C ^Ox3XC vx4+QQYP 偏振相关衍射特性 Vx-7\NB /t(C>$ }p
jVq(?Gc %; D.vKoh 偏振相关衍射特性 P~ &$l2 c_>f0i
TjG4`:*y#m QPq7R 偏振相关衍射特性 *oybD=%4 zen*PeIrA^ LcE+GC ^4o;$u4R 基于参数优化的光栅设计 h?pkE L{c q, jk 具有固定周期的二维参数优化 3*@5S]] znHnVYll(
v~Y^r2 二维参数优化 - 设计#1 dc rSz4E|> 95V@X
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mbueP.q[? pf7it5 制造公差分析 - 设计#2 YSe.t_K2C Xp}Yw"7
W='>:H Q0ON9gqqv 不同光栅周期的三维参数优化 Alxx[l\<J zO
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制造公差分析 9,"L^W8"k =i7`ek
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