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摘要 p$a+?5'Q C;oO=R3r 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ?~/_&=NSx {VKP&{~O gQuU_dbXSB n,Q^M$mS0 设计任务 %FLe@.Ep{D fhmBKeFdV
U3t)yr h =4K:l}} /@0 光栅特性与参数的严格分析 fkD-mRKw JY$+<`XM 不同光栅周期的衍射效率 j<}y( ~ ORFi0gFbA x/IAc6H~_8 -*W\$P 考虑光栅周期的选择 -+kTw06_C g|5cO3m0' 2tZ\/6G< 偏振相关衍射特性 RSIhZYA S y^et wN:vI(C PKYm{wO- 偏振相关衍射特性 ET\rd5Po UDV6 ##$ !jRs5{n^Ol a#m T@l\ 偏振相关衍射特性 h&z(;B!;y. 6&,9=(:J&R pPJE.[)V/ A#nSK#wS61 基于参数优化的光栅设计 V@\A<q%jTs Qk].^'\ 具有固定周期的二维参数优化 s(y=u > 6nW]Q^N} oPrK{flm 二维参数优化 - 设计#1 2cko
GafG{ /m h #o )V9wU1. (*Q8!"D^6 二维参数优化 - 设计#2 O@-(fyG OK%d1M^8j EgTj
{emym$we 制造公差分析 - 设计#2 m*` W&k[ 'y|p)r" ,b74m 3mT6HGSKR 不同光栅周期的三维参数优化 2]+f<Z[/ 4AYW'j C #Wely~ `$ZBIe/u 制造公差分析 eV( i:x<Vi 2xt$w% }nMp.7b 走进VirtualLab Fusion DVw 04ay% !0Eo9bU%@ Y
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