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摘要 $rJgBN %f?Zg44 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 2St<m-& KAi_+/]K_ Dw>)\\n{Kl :2V|(:^' 设计任务 ,4=mlte" E.*gKfL $3gM P+ CfVL' %{Obhj;c 光栅特性与参数的严格分析 }=B~n0 ~~O4!|t 不同光栅周期的衍射效率 h/2@4XKj =:t<!dp I%($,kd}s a|(|!= 考虑光栅周期的选择 aPRMpY-YC3 i(ZzE z "z 偏振相关衍射特性 C^c<s _pzYmQ i'10qWz 0~P]Fw^w 偏振相关衍射特性 mwMu1# s IBP$9 a^\F9^j [mj=m?j 偏振相关衍射特性 2jlz#Sk H0jbG; Sy]W4% I!}V+gu= 基于参数优化的光栅设计 (XlvPcTi .l|29{J 具有固定周期的二维参数优化 6pt|Crvu J1w3g,
E(wS6 二维参数优化 - 设计#1 s
Ytn'&$\ TU;AO%5 4.Fh4Y:$' 7HQL^Q 二维参数优化 - 设计#2 <f =<r*6 xAO\' #m n*i&o;5 =M9R~J! 制造公差分析 - 设计#2 i[MBO`FF 2
E?]!9T~| Q&lb]U+\u W7(5z 不同光栅周期的三维参数优化 $at\aJ &
P%# }D`ZWTjDay `Y+R9bd 制造公差分析 \gK'g-)} V|F/ynJfA (kyRx+gA /x]^Cqe 走进VirtualLab Fusion .gNziDO
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