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摘要 [ l5 "'{x k*c:%vC! 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 )x| BY> 7< ^D7  n7q-)Dv_U e?lqs,m@" 设计任务 W{m0z+N[B \ a]\j Zb  6eK^T= 83l)o$S c[y=K)<Z 光栅特性与参数的严格分析 3Ob"r` j*:pW;)^ 不同光栅周期的衍射效率 kdYl>M UXk8nH  5!ReW39c ; :M[E-j; 考虑光栅周期的选择 x(7K3(#| r&3 fSx9  <7]
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