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摘要 MJ92S( x/9`2X`~ 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 f_z2d+ 4|Y0$(6o lgnF\) pw(`+x] 设计任务 T /]ayc: `
0\hm` mTs[3opg c4;
`3 "BzRLg!J 光栅特性与参数的严格分析 3>S.wyMR4 R;;)7|;~ 不同光栅周期的衍射效率 _IgG8)k; &/7GhZRt C?E;sRr0 yGN<.IP75 考虑光栅周期的选择 Qh{=Z^r |
C2k( g5T~%t5lo 偏振相关衍射特性 2b3*zB*@V Y
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C[x!Lf8' ^ro?.,c T 偏振相关衍射特性 jMw;`yh w5&UG/z%l
b LxV .t~I[J\< 偏振相关衍射特性 O %)+ w SS H/q/ !(o)*S Ay2|@1e 基于参数优化的光栅设计 B!8]\D &Nec(q< 具有固定周期的二维参数优化 xy|;WB U+'?#"
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kul 二维参数优化 - 设计#1 sN;U,{ 'x!q*|zF2
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FoEZ1O< f[dwu39k 制造公差分析 - 设计#2 "+)ey>_ bJe^x;J9
np)-Yzr &[kwM395 不同光栅周期的三维参数优化 nkG 6. T!/$@]%\7
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