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摘要 sbZ)z#Tr cP`f\\c 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 mMjY I1F DbP!wU lqR _)O1v%]"4 vXLiYWo 设计任务 2B3H-` ;RB]awE Uc>kCBCd thDQ44<#) @bOhnd#W 光栅特性与参数的严格分析 8]]uk=P Jm0P~E[n 不同光栅周期的衍射效率 QUVwO
m c^><^LGb M9HM: !fZ\GOx 考虑光栅周期的选择 {3@f(H m _(5SiK R / @X! 偏振相关衍射特性 #Gx%PQ` 6!bVPIyYO
cKdn3 2Y4 S3EY9:^C 偏振相关衍射特性 8{#WF# O
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XxcY iagl^(s 偏振相关衍射特性 %%)"W
n#` B\r2M`N5 ~m8".Z" ^=.R#zrc 基于参数优化的光栅设计 L3GA]TIf O`Er*-O 具有固定周期的二维参数优化 'FgBYy/ =,$*-<p=3
t'|A0r$ 二维参数优化 - 设计#1 L15?\|':Y kfr' P u
=e](eA; X0Zqx1 二维参数优化 - 设计#2 =5/ow!u8 1fm4:xHH
Q^prHn*@ ug{@rt/"Z 制造公差分析 - 设计#2 GK.^Gd b3F)$UQ
:7UC=GKQk Yz]c'M@ 不同光栅周期的三维参数优化 ADK)p?
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